KR20070069670A - 스토커 시스템 및 그의 제어 방법. - Google Patents

스토커 시스템 및 그의 제어 방법. Download PDF

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Abstract

액정표시패널 제조 장비가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템은 기판이 수납된 카세트가 수납되는 선반과 외부에서 카세트를 하역할 수 있도록 구비되는 입고 포트 및 출고 포트와 선반과 입고 포트 및 출고 포트 사이를 왕래하며 카세트를 하역하는 스태커 및 입고 포트에 구비되고, 외부에서 입고된 카세트를 출고할 수 있는 컨베이어를 포함한다.
LCD, 기판, 카세트, 스토커

Description

스토커 시스템 및 그의 제어 방법.{STOCKER SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}
도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 종래의 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도이다.
도 3은 도 2의 카세트 반송 시스템의 스토커의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템이 운영되는 것을 설명하기 위한 시스템 구성도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 스토커(stocker)를 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 입고 포트(441)의 컨베이어를 회전시키는 구조의 일 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7a은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 입고 포트에서 출고 포트로 직접 출고하기 위한 처리 방법을 도시한 순서도이다.
도 7b은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커의 입고 포트에서 카세트 처리 방법을 도시한 순서도이다.
** 도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명 **
410: 호스트부 420: 장비부
430: 운송부 440: 스토커
441: 입고 포트 442: 출고 포트
441a: 입고 포인트 441b: 출고 포인트
441c: 접근 포인트 443: 선반
500: 카세트 600: 컨베이어
본 발명은 액정표시패널 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수 개의 기판이 수납된 카세트를 공정이 수행되는 각 장비들에 공급하기 전에 임시로 보관하는 스토커 시스템의 베이(bay)간 반송을 위한 스토커 시스템에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 가진 LCD는 현재 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하고 있는 추세이다.
이러한 LCD는 상기한 이동형 표시장치의 용도 이외에도, 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 데스크톱 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되어 보급되고 있다.
이와 같은 액정표시장치는 화상을 표시하는 액정표시패널과 액정표시패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동회로로 크게 구분될 수 있다.
도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.
도시된 바와 같이, 액정표시패널은 공간을 갖고 합착 된 제1 및 제2 기판(110, 120)과 제1 및 제2 기판(110, 120) 사이에 형성된 액정층(111)으로 구성된다.
여기서, 제1 기판(110)(TFT 어레이 기판)에는 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(112)과, 각 게이트 라인(112)과 수직인 방향의 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(113)과, 각 게이트 라인(112)과 데이터 라인(113)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(114)과, 게이트 라인(112)의 신호에 의해 스위칭 되어 데이터 라인(113)의 신호를 각 화소 전극(114)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
제2 기판(120)(컬러 필터 기판)에는 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(121)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B(Red, Green, Blue) 컬러 필터층(122)이 형성되어 있다.
이러한 구조를 가지는 액정표시장치는 제1 기판(110)에 박막 트랜지스터 어 레이를 제조하는 공정, 제2 기판(120)에 컬러 필터 어레이를 제조하는 공정, 제1 및 제2 기판(110, 120)을 합착하는 공정, 합착 된 두 제1 및 제2 기판(110, 120) 사이에 액정을 형성하는 공정, 액정이 형성된 각 액정표시패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정표시패널에 백라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 거쳐 제조된다.
도 2는 종래의 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도이다.
도시된 바와 같이, 기판은 상술한 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시패널로서 완성된다.
그런데, 생산 현장에서는 작업 효율을 높이기 위하여 다수의 기판(110)을 각 공정이 수행되는 장비(230)에 자동 반송 장치(220)(Automatic Guided Vehicle)를 이용하여 운반하고 있다.
이때, 자동 반송 장치(220)가 기판(110)을 반송하는 효율을 높이기 위하여 여러 개의 기판(110)은 하나의 카세트(221)(cassette)에 수납된 후, 자동 반송 장치(220)에 의해 운반된다.
따라서, 자동 반송 장치(220)는 카세트(221)가 임시로 저장된 스토커(210)(stocker)와 일련의 공정이 수행되는 장비(230a, 230b; 미도시) 사이를 왕복하면서, 카세트(221)를 스토커(210)에서 각 장비(230)들로 그리고 각 장비(230)들에서 스토커(210)로 각각 반송하게 된다.
이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 자동 반송 장치(220)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(240)이 제공된다.
여기서, 스토커(210)는 각 공정이 수행되는 장비(230)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르기 때문에 발생하는 카세트(221) 운반의 버퍼링(buffering) 문제를 효과적으로 해결하기 위해 제공되는 것이다.
도 3은 도 2의 카세트 반송 시스템의 스토커(stocker)의 일부를 보여주는 사시도이다.
도시된 바와 같이, 스토커(210)는 카세트(221)를 저장하기 위한 다수 개의 선반(211)과, 카세트(221)를 스토커(210)에 입고하기 위한 입고 포트(212)와, 카세트(221)를 자동 반송 장치(220)로 출고하기 위한 출고 포트(213)와, 입고 포트(212)와 출고 포트(213) 및 선반(211) 사이를 왕복하면서 카세트(221)를 운반하는 스태커(215)(stacker)가 구비된다.
여기서, 선반(211)은 일반적으로 2열로 배치되며 각 열 사이에는 스태커(215)의 이동을 안내하는 레일(214)이 제공된다.
따라서, 스태커(215)로 카세트(221) 운반 명령이 전달되면 스태커(215)는 입고 포트(212) 및 출고 포트(213) 또는 선반(211)에 있는 카세트(221)를 로딩(loading)한 후 목적지까지 레일(214)을 따라 이동하고, 목적지에서 카세트(221)를 입고 포트(212) 및 출고 포트(213) 또는 선반(211)에 언로딩(unloading)하게 된다.
어느 하나의 장비에서 처리된 기판이 수납된 카세트(221)를 스토커(210)에 저장하고, 스토커(210)에 저장된 카세트(221)를 다른 장비로 반송할 수 있기 때문에 버퍼링 문제를 효과적으로 해소할 수 있다.
그러나, 이러한 시스템을 이용하여 카세트를 자동으로 반송하는 과정에서, 카세트(221)는 항상 입고 포트(212)에서 입고한 후 스태커(215)에 의하여 출고 포트(213)까지 운반하는 동선을 항상 경유해야 하는 단점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 입력 포트에 입고된 카세트가 출력 포트를 경유하지 않고, 바로 출고가 가능한 스토커 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상술한 스토커 시스템의 제어 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템은 기판이 수납된 카세트가 수납되는 선반; 외부에서 상기 카세트를 하역할 수 있도록 구비되는 입고 포트 및 출고 포트; 상기 선반과 상기 입고 포트 및 출고 포트 사이를 왕래하며 상기 카세트를 하역하는 스태커; 및 상기 입고 포트에 구비되고, 외부에서 입고된 카세트를 출고 할 수 있는 컨베이어;를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 상기 입고 포트는, 외부에서 입고되는 상기 카세트가 안착 되는 입고 포인트; 상기 스태커가 상기 카세트를 하역하는 접근 포인트; 및 상기 카세트가 직접 외부로 출고되는 출고 포인트;를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 제어 방법은 (a) 외부에서 입고 포트에 카세트가 수납되는 단계; 및 (b) 상기 수납된 카세트를 출고할 것인지 판단하는 단계;를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 제어 방법은 (c) 상기 (b)단계의 판단 결과가 출고할 경우에는 상기 카세트를 출고하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 제어 방법은 상기 (c) 단계는, (c-1) 상기 카세트가 출고 가능한 상태인지 검사하는 단계; 및 (c-2) 상기 카세트가 출고 되도록 상기 카세트를 이송하는 단계;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 제어 방법은 (c-11) 상기 (c-1)단계의 검사 결과가 출고가 가능한 상태가 아닌 경우에는 출고가 가능한 상태로 상기 카세트를 회전하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 제어 방법은 d) 상기 (b)단계의 판단 결과가 수납할 경우에는 상기 카세트를 수납하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있 다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템이 운영되는 것을 설명하기 위한 시스템 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템은 호스트부(410), 장비부(420), 운송부(430) 및 스토커(440)를 포함한다.
1. 각부의 구성은 다음과 같다.
호스트부(410)는 제1 호스트(411), 제2 호스트(412), 제3 호스트(413), 제4 호스트(414) 및 제5 호스트(415)를 포함한다.
장비부(420)는 액정표시패널을 제작하는 생산 공정에서 사용되는 다수의 장비(미도시)를 포함한다.
운송부(430)는 자동 반송 장치(Automatic Guided Vehicle; AGV), 수동 반송 대차(Manual Guided Vehicle; MGV) 및 개인 반송 대차(Person Guided Vehicle; PGV)과 같은 다양한 대차를 포함한다.
여기서, 본 발명의 설명에 편의를 도모하고자 운송부(430)의 다양한 장치 중 자동 반송 장치(Automatic Guided Vehicle; AGV)에 대해서 설명한다.
스토커(440)는 액정표시패널을 임시 저장할 수 있는 다양한 장치를 포함한다.
2. 각 호스트의 연결 구조는 다음과 같다.
제1 호스트(411)는 제2 호스트(412)와 제3 호스트(413)와 연결된다.
제2 호스트(412)는 장비부(410) 및 제3 호스트(413)에 연결된다.
제3 호스트(413)는 제4 호스트(414)와 제5 호스트(415)와 연결된다.
제4 호스트(414)는 자동 반송 장치(430)에 연결된다.
제5 호스트(415)는 스토커(440)에 연결된다.
3. 시스템의 동작은 다음과 같다.
제1 호스트(411)는 카세트(500)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다.
작업자가 제1 호스트(411)에 반송 명령을 입력하면, 제1 호스트(411)는 반송 명령을 제2 호스트(412)와 제3호스트(413)로 전달한다.
제2 호스트(412)는 제1 호스트(411) 및 제3 호스트(413)와 통신하며, 임의의 공정을 수행하는 장비부(420)를 통제한다.
제1 호스트(411)에서 제2 호스트(412)로 전송된 반송 명령은 장비부(420)에 전달된다.
제3 호스트(413)는 제1 호스트(411) 및 제2 호스트(412)와 통신하며, 제4 호스트(414) 및 제5 호스트(415)를 통제한다.
제1 호스트(411)에서 제3 호스트(413)로 전송된 반송 명령은 제4 호스트(414) 및 제5 호스트(415)로 전달된다.
제4 호스트(414)는 제3 호스트(413)와 통신하며, 제4 호스트(414)에 수신된 반송 명령이 자동 반송 장치(430)에 전달되어 통제한다.
제5 호스트(415)는 제3 호스트(413)와 통신하며, 제5 호스트(415)에 수신된 반송 명령이 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(500)를 다수 개 저장하는 스토커(440)를 통제한다.
즉, 자동 반송 장치(430)는 제4 호스트(414)의 제어에 따라, 카세트(500)를 장비부(420)에서 스토커(440)의 입고 포트(441)로, 그리고 스토커(440)의 출고 포트(442)에서 다른 장비부(420)로 반송한다.
여기서, 제4 호스트(414)는 적어도 자동 반송 장치(430)를 제어하며, 자동 반송 장치(430)에는 제4 호스트(414)의 명령에 따라 자동 반송 장치(430)의 각 구성요소를 제어하는 컨트롤러가 구비된다.
여기서, 자동 반송 장치(430)는 컨트롤러의 제어에 따라, 그리고 생산 라인의 바닥에 구비된 레일(미도시)의 안내에 따라 정해진 구간을 운행한다.
여기서, 자동 반송 장치(430)에는 카세트(500)를 하역(loading and unloading)하는 암(미도시)이 구비되어 장비부(420)와 스토커(440)의 출고 포트(442)에 있는 카세트(500)를 직접 로딩하거나, 로딩(loading)된 카세트(500)를 장 비부(410) 및 스토커(440)의 입고 포트(441)에 언로딩(unloading)할 수 있다.
여기서, 자동 반송 장치(430)는 카세트(500)를 반송할 때, 스토커(440)의 입고 포트(441) 및 출고 포트(442) 또는 장비부(420) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다.
스토커(440)는 각 공정을 수행하는 장비부(420)의 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위하여 카세트(도 5참조, 500)를 임시로 보관하는 설비이다.
따라서, 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(도 5참조, 500)를 다음 공정이 수행되는 장비부(420)의 다른 임의의 장비로 공급되기 전에 스토커(440)에 임시로 저장된 후 다른 공정이 수행되는 장비에 공급된다.
따라서, 스토커(440)에는 카세트(도 5참조, 500)가 수납되는 다수의 선반(도 5참조, 443)과 스토커(440) 내에서 카세트(도 5참조, 500)를 하역하는 스태커(도 5참조, 444)(stacker)가 구비된다.
여기서, 선반(도 5참조, 443)은 소정 간격을 가지고 다수 개의 열로 배치되며, 각 선반(도 5참조, 443)에는 하나의 카세트(도 5참조, 500)가 수납될 수 있는 수납 공간(미도시)이 다수 개 구비된다.
여기서, 스토커(440)에 관한 것은 도 5, 도 6a 및 도 6b를 참조하여 자세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커(stocker)를 설명하기 위한 도면 이고, 도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 입고 포트(441)의 컨베이어(600)를 이용하여 카세트(500)를 회전시키는 구조의 사시도이며, 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 입고 포트(441)의 컨베이어(600)를 이용하여 카세트(500)를 회전시키는 구조를 설명하기 위한 배면 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커(stocker)는 입고 포트(441), 출고 포트(442), 스태커(stacker; 444)를 포함한다.
1. 스토커(stocker)의 동작은 다음과 같다.
스토커(440)는 선반(443)이 다수 형성되어 자동 반송 장치(430)가 외부에서 접근하여 카세트(500)를 하역할 수 있는, 입고 포트(441)와 출고 포트(442)가 구비된다.
입고 포트(441)와 출고 포트(442)가 구비되면, 제1 베이(510) 상에 이동하는 자동 반송 장치(430)는 장비부(420)에서 처리된 기판이 수납된 카세트(500)를 입고 포트(441)를 통해 스토커(440)에 입고하거나, 스토커(440) 내에 저장되어 있던 카세트(500)를 출고 포트(442)를 통해 제2 베이(520) 상에 이동하는 자동 반송 장치(430)를 통하여 외부로 출고할 수 있다.
입고 포트(441)의 경우, 제1 베이(510) 상에 이동하던 자동 반송 장치(430)가 외부에서 접근하여 카세트(500)를 입고하는 입고 포트(441)의 입고 포인트(441a), 제2 베이(520) 상에 이동하던 자동 반송 장치(430)를 하역하는 입고 포트(441)의 출고 포인트(441b) 및 스태커(444)가 접근하여 카세트(500)를 하역하는 입 고 포트(441)의 접근 포인트(441c)를 포함한다.
출고 포트(442)의 경우, 자동 반송 장치(430)가 외부에서 접근하여 카세트(500)를 출고하는 출고 포트(442)의 출고 포인트(442b)와 스태커(444)가 접근하여 카세트(500)를 하역하는 출고 포트(442)의 접근 포인트(442a)를 포함한다.
즉, 입고 포트(441)와 출고 포트(442)에는 각각 컨베이어(600)가 제공되는데, 입고 포트(441)의 컨베이어(600)는 입고 포트(441)의 입고 포인트(441a)에 안착 된 카세트(500)를 입고 포트(441)의 접근 포인트(441c)로 이송하거나, 입고 포트(441)의 접근 포인트(441c)에 안착 된 카세트(500)를 입고 포트(441)의 출고 포인트(441b)로 이송하며, 출고 포트(442)의 컨베이어(600)는 출고 포트(442)의 입고 포인트(442a)에 안착 된 카세트(500)를 출고 포트(442)의 출고 포인트(442b)로 이송하는 것이다.
스태커(444)는 이송부(444a), 로봇 암(444b) 및 로봇 암 지지축(444c)을 포함하며, 선반(443)들 사이에 배치되며, 입고 포트(441)와 출고 포트(442), 그리고 선반(443)의 수납 공간(미도시) 사이를 왕래하면서 카세트(500)를 하역한다.
이러한 입고 포트(441)의 구조에 의하여 제1 베이(510)에서 제2 베이(520)로 카세트(500)를 이동해야 할 경우, 종래에 비하여 출고 포트(442)까지 카세트(500)를 하역해야 하는 경로가 감소한다.
2. 컨베이어(600)의 동작은 다음과 같다.
컨베이어(600)는 카세트(500)를 선반(443)에 수납하기 쉽게 또는 자동 반송 장치(430)에 하역하기 쉽게, 카세트(500)를 입고 포트(441) 또는 출고 포트(442) 내에서 대략 90°정도 회전시킬 수 있다.
즉, 제1 베이(510)에서 제2 베이(520)로 카세트(500)를 이동해야 할 경우에는 제1 베이(510) 상에 이동하던 자동 반송 장치(430)가 외부에서 접근하여 입고 포트(441)의 입고 포인트(441a)의 컨베이어(600)의 상면에 카세트(500)를 하역한다.
하역된 카세트(500)는 제2 베이(520) 상에 이동하던 자동 반송 장치(430)에게 하역하기 위하여 입고 포트(441) 내부에서 컨베이어(600)를 회전한 뒤 회전된 컨베이어(600)는 입고 포트(441)의 출고 포인트(441b)까지 이송한다.
이러한 구조에 의하여, 입고 포트(441) 내부에서 필요에 따라 바로 출고가 가능하여 제1 베이(510)에서 제2 베이(520)으로 바로 출고되어야 하는 카세트(500)는 스태커(444)의 동작이 필요 없게 된다.
여기서, 컨베이어(600)의 제어 방법은 다음 도 7a 및 도 7b에서 자세히 설명한다.
도 7a은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 입고 포트에서 출고 포트로 직접 출고하기 위한 처리 방법을 도시한 순서도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 시스템의 입고 포트(441)에서 출고 포인트(441b)로 직접 출고하기 위한 처리 방법은 자동 반송 장치(430)가 스토커(440)의 입고 포트(441)에 카세트(500)를 입고한다(S710).
스토커(440)와 호스트 간에 입고된 카세트(500)가 직접 출고되어야 하는지 판단을 한다(S720).
판단 결과에 따라, 직접 출고하지 않을 경우에는 입고 포트(441)에서 스태커(444)를 이용하여 스토커(440)의 내부 선반(443)에 수납하게 되고(S730), 직접 출고할 경우에는 입고 포트(441)에서 스태커(444)를 이용하지 않고 바로 출고 포인트(441b)로 카세트(500)를 이송하여 출고한다(S740).
도 7b은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커의 입고 포트에서 카세트 처리 방법을 도시한 순서도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커(440)의 입고 포트(441)에서 카세트(500) 처리 방법은 카세트(500)가 입고 포트(441)에 입고된 후 바로 출고가 가능한 상태인지 판단한다(S741).
즉, 카세트(500)의 유형에 따라 카세트(500)의 회전이 필요 없이 바로 출고가 가능한지 또는 카세트(500)를 컨베이어(600)에 의하여 회전을 한 후, 출고가 되어야 하는지 판단하는 것이다.
판단 결과에 따라, 입고 포트(441) 내부에서 회전이 필요할 경우에는 카세트(500)가 놓인 컨베이어(600)을 회전한 후(S742) 입고 포트(441)의 출고 포인트(441b)까지 카세트(500)가 놓인 컨베이어(600)를 이송하고(S743), 입고 포트(441) 내부에서 카세트(500)의 회전이 불필요할 경우에는 카세트(500)가 놓인 컨베이어(600)의 회전 없이 입고 포트(441)의 출고 포인트(441b)까지 카세트(500)를 이송한 다(S743).
이러한 구조에 의하여 제1 베이(510)에서 제2 베이(520)로 카세트(500)를 이동해야 할 경우, 종래의 스태커(444)에 의하여 출고 포트(442)까지 카세트(500)를 하역해야 하는 리소스가 감소할 뿐만 아니라, 수행되는 시간도 감소한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 실시예에 따른 스토커 시스템 및 제어 방법을 이용하면 입력 포트에 입고된 카세트가 출력 포트를 경우 하지 않고, 바로 출고가 가능하다.

Claims (7)

  1. 기판이 수납된 카세트가 수납되는 선반;
    외부에서 상기 카세트를 하역할 수 있도록 구비되는 입고 포트 및 출고 포트;
    상기 선반과 상기 입고 포트 및 출고 포트 사이를 왕래하며 상기 카세트를 하역하는 스태커; 및
    상기 입고 포트에 구비되고, 외부에서 입고된 카세트를 출고 할 수 있는 컨베이어;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는, 스토커 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 입고 포트는,
    외부에서 입고되는 상기 카세트가 안착 되는 입고 포인트;
    상기 스태커가 상기 카세트를 하역하는 접근 포인트; 및
    상기 카세트가 직접 외부로 출고되는 출고 포인트;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 스토커 시스템.
  3. (a) 외부에서 입고 포트에 카세트가 수납되는 단계; 및
    (b) 상기 수납된 카세트를 출고할 것인지 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는, 스토커 시스템 제어방법.
  4. 제3항에 있어서,
    (c) 상기 (b)단계의 판단 결과가 출고할 경우에는 상기 카세트를 출고하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 스토커 시스템 제어방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 (c) 단계는,
    (c-1) 상기 카세트가 출고 가능한 상태인지 검사하는 단계; 및
    (c-2) 상기 카세트가 출고 되도록 상기 카세트를 이송하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는, 스토커 시스템 제어방법.
  6. 제5항에 있어서,
    (c-11) 상기 (c-1)단계의 검사 결과가 출고가 가능한 상태가 아닌 경우에는 출고가 가능한 상태로 상기 카세트를 회전하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 스토커 시스템 제어방법.
  7. 제3항에 있어서,
    (d) 상기 (b)단계의 판단 결과가 출고하지 않을 경우에는 상기 카세트를 수납하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 스토커 시스템 제어방법.
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