KR20070065721A - 카세트 반송 시스템 및 반송 방법. - Google Patents

카세트 반송 시스템 및 반송 방법. Download PDF

Info

Publication number
KR20070065721A
KR20070065721A KR1020050126450A KR20050126450A KR20070065721A KR 20070065721 A KR20070065721 A KR 20070065721A KR 1020050126450 A KR1020050126450 A KR 1020050126450A KR 20050126450 A KR20050126450 A KR 20050126450A KR 20070065721 A KR20070065721 A KR 20070065721A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stocker
controller
automatic
cassette
conveying
Prior art date
Application number
KR1020050126450A
Other languages
English (en)
Inventor
김현영
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020050126450A priority Critical patent/KR20070065721A/ko
Publication of KR20070065721A publication Critical patent/KR20070065721A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

카세트 반송 시스템이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 반송 시스템은 자동 반송 장치가 이동하는 인베이(in-bay) 반송라인의 주위에 공정장비와 카세트를 임시 보관하는 스토커가 배치되는 베이(bay)를 포함하는 카세트 반송 시스템에 있어서, 반송 명령을 입력 받는 메인 호스트, 메인 호스트에 연결되어 스토커의 카세트 반송을 제어하는 스토커 컨트롤러, 스토커 컨트롤러에 연결되어 자동 방송 장치의 카세트 반송을 제어하는 자동 방송 장치 컨트롤러, 및 스토커의 상태 정보를 스토커 컨트롤러를 통하여 수신하며, 수신된 정보를 이용하여 자동 방송 장치의 재하 또는 대체 반송을 처리하는 재하/대체 반송 컨트롤러를 포함한다.
재하, 대체, 반송

Description

카세트 반송 시스템 및 반송 방법.{SYSTEM FOR CONVEYING CASSETTE AND METHOD FOR CONVEYING THE SAME}
도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 종래의 카세트 반송 시스템이 운영되는 것을 설명하기 위한 구성도이다.
도 3은 종래의 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 개략적인 구성도를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 구성도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 상세 블록도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 반송 시퀀스 다이어그램이다.
** 도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명 **
410: 컨트롤부 420: 장비
430: 스토커 440: 자동 반송 장치
411: 메인 호스트
412: 장비 컨트롤러(Machine Controller)
413: 스토커 컨트롤러(Stocker Controller; STC)
414: 자동 반송 장치 컨트롤러(Automatic Guided Vehicle Controller; AGVC)
415: 재하/대체 반송 컨트롤러
본 발명은 액정표시패널 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 자동 반송 장치에 의하여 다수 개의 기판이 수납된 카세트를 공정이 수행되는 각 장비들에 공급하기 위한 카세트 반송 시스템 및 반송 방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 가진 액정표시패널(LCD)는 현재 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하고 있는 추세이다.
이러한 액정표시패널은 상기한 이동형 표시장치의 용도 이외에도, 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 데스크 탑 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되어 보급되고 있다.
이와 같은 액정표시패널은 화상을 표시하는 액정표시패널과 액정표시패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동회로로 크게 구분될 수 있다.
도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.
도시된 바와 같이, 액정표시패널은 공간을 갖고 합착 된 제1 및 제2 기판(110, 120)과 제1 및 제2 기판(110, 120) 사이에 형성된 액정층(111)으로 구성된다.
여기서, 제1 기판(110)(TFT 어레이 기판)에는 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(112)과, 각 게이트 라인(112)과 수직인 방향의 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(113)과, 각 게이트 라인(112)과 데이터 라인(113)이 교차하여 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(114)과, 게이트 라인(112)의 신호에 의해 스위칭 되어 데이터 라인(113)의 신호를 각 화소 전극(114)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
제2 기판(120)(컬러 필터 기판)에는 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차 단하기 위한 블랙 매트릭스층(121)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B(Red, Green, Blue) 컬러 필터층(122)이 형성되어 있다.
이러한 구조를 가지는 액정표시패널은 제1 기판(110)에 박막 트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 제2 기판(120)에 컬러 필터 어레이를 제조하는 공정, 제1 및 제2 기판(110, 120)을 합착하는 공정, 합착 된 두 제1 및 제2 기판(110, 120) 사이에 액정을 형성하는 공정, 액정이 형성된 각 액정표시패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정표시패널에 백라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 거쳐 제조된다.
도 2는 종래의 카세트 반송 시스템이 운영되는 것을 설명하기 위한 구성도이고, 도 3은 종래의 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도이다.
도시된 바와 같이, 기판은 상술한 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시패널로서 완성된다.
그런데, 생산 현장에서는 작업 효율을 높이기 위하여 다수의 기판(도 1 참조, 110, 120)을 각 공정이 수행되는 장비(220)에 자동 반송 장치(230)(Automatic Guided Vehicle; AGV)를 이용하여 운반하고 있다.
즉, 도시된 바와 같이, 종래의 카세트 반송 시스템을 운영하기 위하여서는 컨트롤부(210), 장비(220), 자동 반송 장치(230) 및 스토커(240)를 포함한다.
컨트롤부(210)는 메인 호스트(211), 장비 컨트롤러(212) (Machine Controller; MC), 스토커 컨트롤러(213)(Stocker Controller; STC) 및 자동 반송 장치 컨트롤러(214)(Automatic Guided Vehicle Controller; AGVC)를 포함한다.
장비(220)는 액정표시패널을 제작하는 생산 공정에서 사용되는 다수의 장비를 포함한다.
스토커(240)는 액정표시패널을 임시 저장할 수 있도록 선반(241) 및 스태커(stacker; 242)등 다양한 장치를 포함한다.
메인 호스트(211)는 카세트(231)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다.
작업자가 메인 호스트(211)에 반송 명령을 입력하면, 메인 호스트(211)는 반송 명령을 장비 컨트롤러(212)와 스토커 컨트롤러(213)로 전달한다.
장비 컨트롤러(212)는 메인 호스트(211) 및 스토커 컨트롤러(213)와 통신하며, 임의의 공정을 수행하는 장비(220)를 통제한다.
메인 호스트(211)에서 장비 컨트롤러(212)로 전송된 반송 명령은 장비(220)에 전달된다.
스토커 컨트롤러(213)는 메인 호스트(211) 및 장비 컨트롤러(212)와 통신하며, 자동 반송 장치 컨트롤러(214) 및 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(231)를 다수 개 저장하는 스토커(240)를 통제한다.
메인 호스트(211)에서 스토커 컨트롤러(213)로 전송된 반송 명령은 자동 반송 장치 컨트롤러(214)로 전달된다.
자동 반송 장치 컨트롤러(214)는 스토커 컨트롤러(213)와 통신하며, 자동 반송 장치 컨트롤러(214)에 수신된 반송 명령이 자동 반송 장치(230)에 전달되어 통제한다.
즉, 자동 반송 장치(230)는 자동 반송 장치 컨트롤러(214)의 제어에 따라, 카세트(231)를 장비(220)에서 스토커(240)의 입고 포트(미도시)로, 그리고 스토커(240)의 출고 포트(미도시)에서 다른 장비(220)로 반송한다.
여기서, 자동 반송 장치 컨트롤러(214)는 자동 반송 장치(230)를 제어하며, 자동 반송 장치(230)에는 자동 반송 장치 컨트롤러(214)의 명령에 따라 자동 반송 장치(230)의 각 구성요소를 제어한다.
자동 반송 장치(230)는 자동 반송 장치 컨트롤러(214)의 제어에 따라, 그리고 생산 라인의 바닥에 구비된 레일(250)의 안내에 따라 정해진 구간을 운행한다.
이때, 자동 반송 장치(230)가 기판(110)을 반송하는 효율을 높이기 위하여 여러 개의 기판(110)은 하나의 카세트(231)에 수납된 후, 자동 반송 장치(230)에 의해 운반된다.
따라서, 자동 반송 장치(230)는 카세트(231)가 임시로 저장된 스토커(240) 와 일련의 공정이 수행되는 장비(220) 사이를 왕복하면서, 카세트(231)를 스토커(240)에서 각 장비(220)들로 그리고 각 장비(220)들에서 스토커(240)로 각각 반송하게 된다.
이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 자동 반송 장치(230)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(250)이 제공된다.
자동 반송 장치(230)에는 카세트(231)를 하역(loading, unloading)하는 암(미도시)이 구비되어 장비(220)와 스토커(240)의 출고 포트(미도시)에 있는 카세트(231)를 직접 로딩하거나, 로딩(loading) 된 카세트(231)를 장비(220) 및 스토커 (240)의 입고 포트(미도시)에 언로딩(unloading)할 수 있다.
여기서, 자동 반송 장치(230)는 카세트(231)를 반송할 때, 스토커(240)의 입고 포트(미도시) 및 출고 포트(미도시) 또는 장비(220) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다.
스토커(240)는 각 공정을 수행하는 장비(220)의 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위하여 카세트(231)를 임시로 보관하는 설비이다.
따라서, 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(231)를 다음 공정이 수행되는 다른 임의의 장비로 공급되기 전에 스토커(240)에 임시로 저장된 후 다른 공정이 수행되는 장비에 공급된다.
따라서, 스토커(240)에는 카세트(231)가 수납되는 다수의 선반(241)과 스토커(240) 내에서 카세트(231)를 하역하는 스태커(미도시)가 구비된다.
여기서, 선반(241)은 서로 소정 간격을 가지고 다수 개의 열로 배치되며, 각 선반(241)에는 하나의 카세트(231)가 수납될 수 있는 수납 공간(미도시)이 다수 개 구비된다.
이러한 구조에 의하여, 재하(在荷) 반송인 경우에는 제1 자동 반송 장치(230a)가 카세트(231) 로딩을 위해 주행 중에 에러(error)가 발생할 경우, 에러 초기화(error reset)가 이루어지면서 제1 자동 반송 장치(230a)가 가지고 있는 카세트(231)는 근접한 스토커(240)로 재하 반송을 하게 된다.
여기서, 재하 반송은 자동 반송 장치 제어기(미도시)가 지시하므로 재하 반 송 목적지인 스토커(240)의 현 상태를 알지 못하여 스토커(240)가 만석(full) 또는 장애(down)이더라도 스토커(240)로 반송을 하기 위해 제1 자동 반송 장치(230a)는 이동한다.
제1 자동 반송 장치(230a)가 목적의 스토커(240)에 도착하면 카세트(231)를 로딩하기 위해 스토커(240) 입력 포트 또는 출력 포트에 인터페이스(interface)를 수행한다.
그러나, 스토커(240)가 만석(full) 또는 장애(down)이면 해당 입력 포트 또는 출력 포트 앞에서 카세트(231) 로딩이 이루어질 때까지 제1 자동 반송 장치(230a)는 스토커(240)와 지속적으로 인터페이스를 수행한다.
이러한 경우에 제1 자동 반송 장치(230a)가 스토커(240)의 입력 포트 또는 출력 포트 앞의 주행로를 차지하여 다른 제2 자동 반송 장치(230b)의 주행에 방해가 된다.
또한, 대체 반송의 경우에는 특정 장비로의 예약 반송이 이미 접수된 상태에서 해당 장비가 장애(down) 또는 스토커(240)의 만석(full)인 경우에는 제1 자동 반송 장치(230a)에 설정되어 있는 대체 스토커(240) 중 근접한 스토커(240)로 대체 반송을 수행한다.
여기서, 특정 장비에서 문제가 될 경우 대체 반송 스토커(240)로 대부분 한곳으로 반송이 집중되기에 대체 반송 스토커(240)도 장해 또는 만석일 경우 스토커(240) 주변에 제1 및 제2 자동 반송 장치(230a, 230b)의 반송 정체 현상이 발생한다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 재하 또는 대체 반송일 경우 효율적인 운용이 가능한 카세트 반송 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상술한 카세트 반송 시스템의 제어 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 반송 시스템은 자동 반송 장치가 이동하는 인베이(in-bay) 반송라인의 주위에 공정장비와 카세트를 임시 보관하는 스토커가 배치되는 베이(bay)를 포함하는 카세트 반송 시스템에 있어서, 반송 명령을 입력 받는 메인 호스트; 상기 메인 호스트에 연결되어 상기 스토커의 카세트 반송을 제어하는 스토커 컨트롤러; 상기 스토커 컨트롤러에 연결되어 상기 자동 방송 장치의 카세트 반송을 제어하는 자동 방송 장치 컨트롤러; 및 상기 스토커의 상태 정보를 상기 스토커 컨트롤러를 통하여 수신하며, 상기 수신된 정보를 이용하여 상기 자동 방송 장치의 재하 또는 대체 반송을 처리하 는 재하/대체 반송 컨트롤러;을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 반송 시스템의 상기 자동 반송 장치 컨트롤러는 둘 이상의 자동 방송 장치에게 구동명령을 전송하는 것이 바람직하다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 반송 시스템의 제어 방법은 자동 반송 장치가 이동하는 인베이(in-bay) 반송라인의 주위에 공정장비와 카세트를 임시 보관하는 스토커가 배치되는 베이(bay)를 포함하는 카세트 반송 시스템에 있어서, (a) 상기 자동 반송 장치의 에러신호를 상기 자동 반송 장치 컨트롤러가 상기 재하/대체 반송 컨트롤러에게 전송하는 단계; 및 (b) 상기 재하/대체 반송 컨트롤러는 상기 전송된 에러신호를 기초로 재하 또는 대체 반송을 지시하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 반송 시스템의 제어 방법은 상기 (a)단계의 에러신호는 코드로 전송되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 반송 시스템의 제어 방법은 (a-1) 상기 (a)단계에서 상기 자동 반송 장치 컨트롤러에서 상기 에러신호를 분석하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 반송 시스템의 제어 방법은 (b-1) 상기 (b)단계의 재하 또는 대체 반송을 상기 재하/대체 반송 컨트롤러가 지시하기 위해서 상기 스토커의 상태정보를 검색하는 단계; (b-2) 상기 스토커의 상태정보의 검색 결과와 상기 에러신호를 이용하여 처리 가능한 스토커를 검색하는 단계; 및 (b-3) 상기 처리 가능한 스토커의 검색 결과에 따라 상기 자동 반송 장치 컨트롤러 에 처리 가능한 스토커로 반송할 것을 지시하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템을 도시한 것이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템은 컨트롤부(410), 장비(420), 자동 반송 장치(440) 및 스토커(430)를 포함한다.
컨트롤부(410)는 메인 호스트(411), 장비 컨트롤러(Machine Controller)(412), 스토커 컨트롤러(Stocker Controller; STC)(413), 자동 반송 장치 컨트롤러(Automatic Guided Vehicle Controller; AGVC)(414) 및 재하/대체 반송 컨트롤러(415)를 포함한다.
메인 호스트(411)는 카세트(441)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 입력 받는 최상위 호스트이다.
작업자에 의해서 메인 호스트(411)에 반송 명령이 입력되면, 메인 호스트(411)는 반송 명령을 장비 컨트롤러(412)와 스토커 컨트롤러(413)로 전달한다.
장비 컨트롤러(412)는 메인 호스트(411) 및 스토커 컨트롤러(413)와 통신하며, 메인 호스트(411)에서 장비 컨트롤러(412)로 전송된 반송 명령은 장비(420)에 전달되어 임의의 공정을 수행하는 장비(420)를 제어한다.
스토커 컨트롤러(413)는 메인 호스트(411) 및 장비 컨트롤러(412)와 통신하며, 자동 반송 장치 컨트롤러(414) 및 다수 개의 기판들이 탑재된 카세트(441)를 다수 개 저장하는 스토커(430)를 제어한다.
메인 호스트(411)에서 스토커 컨트롤러(413)로 전송된 반송 명령은 자동 반송 장치 컨트롤러(414)로 전달된다.
자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 스토커 컨트롤러(413)와 통신하며, 자동 반송 장치 컨트롤러(414)에 수신된 반송 명령이 자동 반송 장치(440)에 전달되며, 자동 반송 장치(440)를 제어한다.
즉, 자동 반송 장치(440)는 자동 반송 장치 컨트롤러(414)의 제어에 따라, 카세트(441)를 장비(420)에서 스토커(430)의 입고 포트(미도시)로, 그리고 스토커(430)의 출고 포트(미도시)에서 다른 장비(420)로 반송한다.
자동 반송 장치(440)는 자동 반송 장치 컨트롤러(414)의 제어에 따라, 그리고 생산 라인의 바닥에 구비된 레일을 따라 정해진 구간을 운행한다.
이때, 자동 반송 장치(440)가 기판을 반송하는 효율을 높이기 위하여 여러 개의 기판은 하나의 카세트(441)에 수납된 후, 자동 반송 장치(440)에 의해 운반된다.
따라서, 자동 반송 장치(440)는 카세트(441)가 임시로 저장된 스토커(430) 와 일련의 공정이 수행되는 장비(420) 사이를 왕복하면서, 카세트(441)를 스토커(430)에서 각 장비(420)들로 그리고 각 장비(420)들에서 스토커(430)로 각각 반송하게 된다.
스토커(430)에는 카세트(441)가 수납되는 다수의 선반(431)과 스토커(430) 내에서 카세트(441)를 하역하는 스태커(432)가 구비된다.
여기서, 선반(431)은 서로 소정 간격을 가지고 다수 개의 열로 배치되며, 각 선반(431)에는 하나의 카세트(441)가 수납될 수 있는 수납 공간이 다수 개 구비된다.
즉, 스토커(430)는 각 공정이 수행되는 장비(420)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르기 때문에 발생하는 카세트(441) 운반의 버퍼링(buffering) 문제를 효과적으로 해결하기 위해 제공되는 것이다.
자동 반송 장치(440)는 카세트(441)를 반송할 때, 스토커(430)의 입고 포트(미도시) 및 출고 포트(미도시) 또는 장비(420) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다.
따라서, 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(441)를 다음 공정이 수행되는 다른 임의의 장비로 공급되기 전에 스토커(430)에 임시로 저장된 후 다른 공정이 수행되는 장비에 공급된다.
재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 스토커 컨트롤러(413)와 자동 반송 장치 컨트롤러(414) 간 재하 및 대체 반송을 처리한다.
즉, 재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 스토커(430)와 통신하는 스토커 컨트롤 러(413)와 자동 반송 장치(440)와 통신하는 자동 반송 장치 컨트롤러(414) 간 재하 및 대체 반송을 처리를 수행하며 이러한 재하 및 대체 반송에 대한 자세한 설명은 도 5에서 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 개략적인 구성도를 도시한 것이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 개략적인 구성은 하나의 베이(450)에 하나의 스토커 컨트롤러(413)가 설치되는 경우를 전제로 한 것이다.
작업자가 메인 호스트(411)에 반송 명령을 입력하면, 메인 호스트(411)는 장비 컨트롤러(412) 또는 스토커 컨트롤러(413)로 반송 작업을 지시하고, 장비 컨트롤러(412)는 장비(420)에게 반송이 수행되도록 지시하고, 스토커 컨트롤러(413)는 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b)에게 반송이 수행되도록 지시하고, 자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)로 반송이 수행되도록 지시하도록 구성되어 있다.
1. 제3 자동 반송 장치(440c)가 카세트(441)를 로딩하고 주행 중 에러가 발생할 경우의 재하/대체 반송 컨트롤러(415)의 처리를 설명하면 다음과 같다.
자동 반송 장치 컨트롤러(414)가 제2 자동 반송 장치 (440b)에게 제1 스토커(430a)로 반송을 수행하도록 지시한다.
제2 자동 반송 장치(440b)는 제1 스토커(430a)로 반송을 수행하기 위하여 이동한다.
제2 자동 반송 장치(440b)가 제1 스토커(430a)로 이동하는 동안 제3 자동 반송 장치(440c)가 에러가 발생할 경우에는 제3 자동 반송 장치(440c)는 초기화가 수행된다.
제3 자동 반송 장치(440c)가 초기화되면 에러신호를 자동 반송 장치 컨트롤러(414)로 전송하게 되고, 자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 전달받은 에러신호를 재하/대체 반송 컨트롤러(415)에게 전송한다.
재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 스토커 컨트롤러(413)로 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b)의 상태정보를 요청한다.
스토커 컨트롤러(413)는 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b)의 상태정보를 검색하여 각각의 제1 및 제2 스토커(430a, 430b)의 상태정보를 재하/대체 반송 컨트롤러(415)로 전송한다.
재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b) 중에 재하 반송할 수 있는 제2 스토커(430b)를 검색하여 자동 반송 장치 컨트롤러(414)로 반송을 지시한다.
자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 제3 자동 반송 장치(440c)에게 재하 반송할 수 있는 제2 스토커(430b)로 반송하도록 지시한다.
이러한 구조에 의하여, 자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 다수의 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)에게 반송 명령을 지시할 수 있기에, 제3 자동 반송 장치 (440c)는 제1 스토커(430a)로 향하는 제2 자동 반송 장치(440b)의 이동경로를 차단하지 않게 된다.
2. 제1 스토커(430a)에 에러가 발생할 경우의 재하/대체 반송 컨트롤러(415)의 처리를 설명하면 다음과 같다.
자동 반송 장치 컨트롤러(414)가 제2 자동 반송 장치(440b)에게 제1 스토커(430a)로 반송이 수행되도록 지시한다.
제2 자동 반송 장치(440b)는 제1 스토커(430a)로 반송이 수행되기 위하여 이동한다.
제2 자동 반송 장치(440b)가 제1 스토커(430a)에 도착하면, 제2 자동 반송 장치(440b)와 제1 스토커(430a)는 반송을 위한 통신을 수행한다.
이러한 상황에서 제2 스토커(430b)가 에러가 발생하면, 제2 스토커(430b)로 반송을 위해 이동하던 제3 자동 반송 장치(440c)는 대체 반송을 수행하기 위하여 기설정된 제1 스토커(430a)로 이동한다.
또한, 제1 스토커(430a)로 반송을 위해 이동하던 제1 자동 반송 장치(440a)도 대체 반송을 수행하기 위해 기 설정된 제1 스토커(430a)로 이동한다.
즉, 베이 내 대체 반송이 실시될 경우에 대체 반송을 위한 스토커가 기설정된다.
앞서 제2 스토커(430b)가 에러가 발생하면, 해당 제3 자동 반송 장치(440c)가 에러신호를 자동 반송 장치 컨트롤러(414)로 전송하게 되고, 자동 반송 장치 컨 트롤러(414)는 전달받은 에러신호를 재하/대체 반송 컨트롤러(415)에게 전송한다.
재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 스토커 컨트롤러(413)에 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b)의 상태정보를 요청한다.
스토커 컨트롤러(413)는 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b)의 상태정보를 검색하여 각각의 제1 및 제2 스토커(430a, 430b)의 상태정보를 재하/대체 반송 컨트롤러(415)에게 전달한다.
재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b) 중에 재하 반송할 수 있는 스토커(430b)를 검색하여 자동 반송 장치 컨트롤러(414)에 반송을 지시한다.
자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 제3 자동 반송 장치(440c)에 재하 반송할 수 있는 스토커(430b)로 반송하도록 지시한다.
이러한 구조에 의하여, 제1 자동 반송 장치(440a), 제2 자동 반송 장치(440b) 및 제3 자동 반송 장치(440c)는 기설정된 제1 스토커(430a)에 반송하려 하지 않고 제2 스토커(430b)로 반송을 수행하게 된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 구성도는
작업자가 반송 명령을 입력하는 메인 호스트(411)가 최상위에 위치하며, 하 부에는 메인 호스트(411)에 등록된 반송 명령을 접수하고 각 베이의 반송을 총괄하는 스토커 컨트롤러(413)가 순서대로 위치한다.
스토커 컨트롤러(413)의 하부에는 자동 반송 장치 컨트롤러(414)가 각 위치하고, 자동 반송 장치 컨트롤러(414)의 하부에는 3개의 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)가 위치한다.
스토커 컨트롤러(413)는 하부의 자동 반송 장치 컨트롤러(414)에 반송을 지시하고, 자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)에 반송을 지시한다.
스토커 컨트롤러(413)는 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)중 하나를 지정하여 반송이 수행되도록 한다.
여기서, 베이의 개수와 베이별 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)의 개수가 한정되는 것은 아니다.
또한, 재하/대체 반송 처리를 위한 재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 스토커 컨트롤러(413)와 자동 반송 장치 컨트롤러(414)에 각각 연결된다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 상세한 설명은 도 7에서 한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 상세 블록도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 메인 호스트(411), 스토커 컨트롤러(413), 재하/대체 반송 컨트롤러(415), 자동 반송 장치 컨트롤러(414), 스토커(430), 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)의 상세도는 다음과 같다.
메인 호스트(411), 스토커 컨트롤러(413), 재하/대체 반송 컨트롤러(415) 및 자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 제어부, 저장부 및 통신부를 포함한다.
여기서, 상하층 블록간의 데이터통신을 위한 통신부, 통신부에 연결되어 전체적인 동작을 제어하는 제어부, 데이터의 저장을 위한 저장부를 포함하고 있다.
스토커(430), 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)는 제어부, 구동부 및 통신부를 포함한다.
여기서, 상하층 블록간의 데이터통신을 위한 통신부, 통신부에 연결되어 전체적인 동작을 제어하는 제어부, 제어 명령을 실행하는 구동부를 포함한다.
여기서, 메인 호스트(411)의 통신부는 스토커 컨트롤러(413)의 통신부와 연결되며, 스토커 컨트롤러(413)의 통신부는 자동 반송 장치 컨트롤러(414)의 통신부와 스토커(430)의 통신부에 각각 연결된다.
또한, 재하/대체 반송 시스템의 통신부는 스토커 컨트롤러(413)의 통신부와 자동 반송 장치 컨트롤러(414)의 통신부에 연결된다.
자동 반송 장치 컨트롤러(414)의 통신부는 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)의 통신부에 각각 연결된다.
여기서, 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)의 개수가 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 반송 시퀀스 에 관해서는 도 8에서 설명한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널 생산 시스템의 반송 시퀀스 다이어그램이다.
도시된 바와 같이, 제1, 2, 3 자동 반송 장치(440a, 440b, 440c)에 에러가 발생되면 자동 반송 장치 컨트롤러(414)에게 에러신호를 전송한다(1).
여기서, 상술한 에러신호는 에러상황에 기설정된 코드로 정의되어 있다.
예를 들어, 에러 발생지, 에러 종류, 에러 발생시간, 수행 여부, 에러 복구 여부 등의 다양한 정보가 코드화 되어 있다.
즉, 에러 발생지는 에러가 발생된 장치 또는 장비를 나타내고, 에러 종류는 재하 또는 대체 등과 같은 다양한 에러 종류를 나타내며, 에러가 발생된 시간, 발생된 에러에 대한 완료여부 및 에러를 복구 시도 등을 나타낸다.
자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 보고받은 에러신호를 분석한다(2).
자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 분석된 에러신호를 재하/대체 반송 컨트롤러(415)에게 전송한다(3).
재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 스토커 컨트롤러(413)에게 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b)의 상태정보를 요청한다(4).
스토커 컨트롤러(413)는 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b)의 상태정보를 검색하여(5) 각각의 제1 및 제2 스토커(430a, 430b)의 상태정보를 재하/대체 반송 컨트롤러(415)에게 전송한다(6).
재하/대체 반송 컨트롤러(415)는 제1 스토커(430a) 또는 제2 스토커(430b) 중에 재하 반송할 수 있는 스토커(430b)를 검색하여(7) 자동 반송 장치 컨트롤러(414)에게 반송을 지시한다(8).
자동 반송 장치 컨트롤러(414)는 제3 자동 반송 장치(440c)에게 재하 반송할 수 있는 스토커(430b)로 반송하도록 지시한다(9).
이러한 구조에 의하여, 자동 반송 장치, 스토커 또는 장비에 고장이 발생하거나 만석이 되어 자동 반송 장치가 이동을 할 경우에도 서로 이동 경로를 차단하지 않는다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 실시예에 따른 카세트 반송 시스템 및 제어 방법을 이용하면 카세트 반송 시스템의 재하 또는 대체 반송이 효율적으로 운용이 가능하다.

Claims (6)

  1. 자동 반송 장치가 이동하는 인베이(in-bay) 반송라인의 주위에 공정장비와 카세트를 임시 보관하는 스토커가 배치되는 베이(bay)를 포함하는 카세트 반송 시스템에 있어서,
    반송 명령을 입력 받는 메인 호스트;
    상기 메인 호스트에 연결되어 상기 스토커의 카세트 반송을 제어하는 스토커 컨트롤러;
    상기 스토커 컨트롤러에 연결되어 상기 자동 방송 장치의 카세트 반송을 제어하는 자동 방송 장치 컨트롤러; 및
    상기 스토커의 상태 정보를 상기 스토커 컨트롤러를 통하여 수신하며, 상기 수신된 정보를 이용하여 상기 자동 방송 장치의 재하 또는 대체 반송을 처리하는 재하/대체 반송 컨트롤러;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는, 카세트 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 자동 반송 장치 컨트롤러는 둘 이상의 자동 방송 장치에게 구동명령을 전송하는 것을 특징으로 하는, 카세트 반송 시스템.
  3. 자동 반송 장치가 이동하는 인베이(in-bay) 반송라인의 주위에 공정장비와 카세트를 임시 보관하는 스토커가 배치되는 베이(bay)를 포함하는 카세트 반송 시스템에 있어서,
    (a) 상기 자동 반송 장치의 에러신호를 상기 자동 반송 장치 컨트롤러가 상기 재하/대체 반송 컨트롤러에게 전송하는 단계; 및
    (b) 상기 재하/대체 반송 컨트롤러는 상기 전송된 에러신호를 기초로 재하 또는 대체 반송을 지시하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는, 카세트 반송 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 (a)단계의 에러신호는 코드로 전송되는 것을 특징으로 하는, 카세트 반송 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    (a-1) 상기 (a)단계에서 상기 자동 반송 장치 컨트롤러에서 상기 에러신호를 분석하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 카세트 반송 방법.
  6. 제3항에 있어서,
    (b-1) 상기 (b)단계의 재하 또는 대체 반송을 상기 재하/대체 반송 컨트롤러가 지시하기 위해서 상기 스토커의 상태정보를 검색하는 단계;
    (b-2) 상기 스토커의 상태정보의 검색 결과와 상기 에러신호를 이용하여 처 리 가능한 스토커를 검색하는 단계; 및
    (b-3) 상기 처리 가능한 스토커의 검색 결과에 따라 상기 자동 반송 장치 컨트롤러에 처리 가능한 스토커로 반송할 것을 지시하는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 카세트 반송 방법.
KR1020050126450A 2005-12-20 2005-12-20 카세트 반송 시스템 및 반송 방법. KR20070065721A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050126450A KR20070065721A (ko) 2005-12-20 2005-12-20 카세트 반송 시스템 및 반송 방법.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050126450A KR20070065721A (ko) 2005-12-20 2005-12-20 카세트 반송 시스템 및 반송 방법.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070065721A true KR20070065721A (ko) 2007-06-25

Family

ID=38364965

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050126450A KR20070065721A (ko) 2005-12-20 2005-12-20 카세트 반송 시스템 및 반송 방법.

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20070065721A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101411767B1 (ko) * 2007-07-11 2014-06-26 엘지디스플레이 주식회사 자동반송 시스템 및 그의 제어방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101411767B1 (ko) * 2007-07-11 2014-06-26 엘지디스플레이 주식회사 자동반송 시스템 및 그의 제어방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20070065721A (ko) 카세트 반송 시스템 및 반송 방법.
KR101309859B1 (ko) 스토커 시스템 및 그의 제어 방법
KR102411706B1 (ko) 에이징 시스템 및 이의 동작방법
US20060286700A1 (en) Apparatus for stacking cassette and a method of fabricating a liquid crystal display device using the same
KR101048709B1 (ko) 스토커의 제어시스템
KR20080001944A (ko) 카세트 반송 시스템
KR101243799B1 (ko) 카세트 반송장치 및 그 제어방법
KR100510181B1 (ko) 자동반송시스템
KR100983573B1 (ko) 스토커 시스템 및 카세트 입고 시 이의 제어 방법
KR100989157B1 (ko) 카세트 반송 시스템 및 반송 방법
KR20060072943A (ko) 자동 반송 시스템
KR101291794B1 (ko) 액정표시패널 제조 시스템 및 이에 의해 제조된액정표시패널
KR100959127B1 (ko) 스토커
KR20070000030A (ko) 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법
KR20090024412A (ko) 기판 이송장비
KR20050060371A (ko) 스토커
KR20060136000A (ko) 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법
KR20050105599A (ko) 스토커 시스템
KR20090073523A (ko) Ｌｃｄ 제조장치와 그의 구동방법
KR20080055140A (ko) 자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법
KR20090024580A (ko) 카세트 이송장치 및 카세트 이송방법
KR20080012582A (ko) 스토커 시스템
KR100652054B1 (ko) 자동 반송 장치와 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템및 안내 방법
KR20070069670A (ko) 스토커 시스템 및 그의 제어 방법.
KR101467523B1 (ko) 기판 트랜스퍼 장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination