KR20080055140A - 자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법 - Google Patents

자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법 Download PDF

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KR20080055140A
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Abstract

본 발명은 카세트의 반송 시간을 줄여 생산성을 높일 수 있는 자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법을 제공한다. 자동 반송대차 시스템을 이용한 카세트 반송 방법은, 초기 공정 장비에 입고된 카세트의 제조 공정이 완료되면 호스트에 반송 지시를 접수하는 단계, 호스트에서 카세트를 언로딩하기 위한 반송 지시를 자동 반송대차 컨트롤러로 송신하는 동시에, 초기 공정 장비에 다음 카세트를 로딩시키기 위한 로딩 반송 지시를 스토커로 송신하는 단계, 언로딩 및 로딩 반송 지시에 따라 다수의 자동 반송대차를 주행시키는 단계, 언로딩 반송 지시에 따라 카세트를 언로딩하여 다음 공정 장비로 이송하는 단계, 이러한 단계와 동시에, 로딩 반송 지시에 따라 초기 공정 장비에 로딩할 다음 카세트를 스토커에서 반출시키는 단계, 반출된 카세트를 초기 공정 장비로 반송하는 단계가 반복된다.
액정 표시 장치, 자동 반송대차(AGV), 카세트, 반송시간

Description

자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법{AUTOMATIC GUIDED VEHICLE SYSTEM AND METHOD FOR CONVEYING CASSETTE USING THE SAME}
도 1은 종래 기술에 따른 자동 반송대차 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 종래 기술에 따른 자동 반송대차 시스템을 이용하여 카세트를 반송하는 데 소요되는 반송 시간을 반송 구간에 따라 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 통신 구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템에서 카세트 반송 방법을 순차적으로 도시한 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 반송 방법을 예로 들어 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따라 카세트를 반송하는 데 소요되는 반송 시간을 반송 구간에 따라 나타낸 도면이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
110: 다수의 공정 장비 120: 자동 반송대차(AGV)
120a, 120b: 자동 반송대차 이동라인
130: 스토커(STK) 133a, 133b: 입력/출력 포트
133: 이제 로봇 140: AGV 컨트롤러
150: 호스트(HOST)
본 발명은 자동 반송대차 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트를 반송하는 데 소요되는 반송시간을 줄여 생산성을 높일 수 있는 자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD)는 전계 생성 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 서로 대향되게 배치하고 두 기판 사이에 액정층을 형성한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정층의 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 광 투과율을 조절하여 화상을 표현하는 장치이다.
이러한 액정 표시 장치는 상부 기판을 제조하는 공정, 하부 기판을 제조하는 공정, 상부 기판과 하부 기판을 합착하는 공정, 합착된 두 기판 사이에 액정을 형성한 후 밀봉하는 공정, 리페어(repair)하는 공정, 그리고 액정 패널에 백라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정 표시 모듈을 제조하는 모듈 공정 등을 통해 제조된다.
이때, 다수의 기판을 각 제조 공정에 사용되는 제조 장비로 순차적으로나 그룹 형태로 반송 또는 이송해야 할 필요가 있다.
따라서, 다수의 기판을 카세트 단위로 이송하기 위한 반송대차가 사용되고 있다.
반송대차는 기존의 컨베이어 시스템에 비해 부품 공급이 쉽고, 작업 환경의 변화에 빠르게 대처할 수 있어서, 제품의 입출고, 공작물의 운반, 부품의 공급 등의 자동화를 이루는 데 이점이 있다.
일반적으로 반송대차의 종류로는 레일을 따라 이동되는 레일 반송대차(Rail Guided Vehicle: RGV), 컨트롤러에 의한 자체 구동력으로 지정된 경로를 이동하는 자동 반송대차(Automatic Guided Vehicle: AGV) 등이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 자동 반송대차 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 자동 반송대차 시스템은 액정 표시 장치의 제조 공정 단계마다 기판을 적재한 다수의 카세트(cassette)들을 스토커(stocker: 30)에 저장한 다음, 자동 반송대차(20)에 의해 다음 제조 공정으로 카세트들을 반입 또는 반송한다.
따라서, 도시된 바와 같이 액정 표시 장치의 각종 제조 공정을 수행하는 다수의 공정 장비(10)들이 배열되고, 다수의 공정 장비(10)와 스토커(30) 사이에는 자동 반송대차(20)가 이동할 수 있는 자동 반송대차 이동라인(20a, 20b)이 마련된다.
그리고, 스토커(30)에 설치된 카세트의 입출력 포트(30a)는 자동 반송대차 이동라인(20a, 20b)과 연결되도록 설치된다.
이와 같이 구성되는 종래의 자동 반송대차 시스템은, 자동 반송대차 이동라인(20a, 20b)을 따라 이동하는 자동 반송대차(20)가 스토커(30)의 입출력 포트(30a)에서 카세트를 스토커(30)에 반입하여 저장하거나, 스토커(30)로부터 반출하여 다음 공정 장비(10)로 이송하게 된다.
이러한 자동 반송대차(20)를 이용한 반송 동작은 자동 반송대차(20)와 각 공정 장비(10)의 동작을 제어하는 호스트(도시하지 않음)의 반송 지시를 통해 이루어진다.
도 2는 종래 기술에 따른 자동 반송대차 시스템을 이용하여 카세트를 반송하는 데 소요되는 반송 시간을 반송 구간에 따라 나타낸 도면이다.
도 1과 연계하여 설명하면, 먼저 초기 공정 장비(EQ1)에서 카세트의 제조 공정이 완료되면 초기 공정 장비(EQ1)로부터 반송할 반제품이 발생하게 된다.
이에 대한 반송 지시를 호스트에서 접수받으면, 호스트는 자동 반송대차(20)에게 주행 명령을 출력하게 된다.
이후, 자동 반송대차(20)는 초기 공정 장비(EQ1)로 주행하여 초기 공정 장 비(EQ1)의 카세트를 언로딩한 다음, 다음 공정 장비(EQ2)로 카세트를 이송한다(①).
이송이 완료되면 호스트는 카세트가 언로딩된 초기 공정 장비(EQ1)에 다음 카세트를 로딩하기 위해 스토커(30)에 반송 지시를 출력한다.
이에 따라, 스토커(30)에 적재된 카세트를 출력 포트(30a)로 반출하고(②), 출력 포트(30a)에서 반출된 카세트를 자동 반송대차(20)를 이용하여 초기 공정 장비(EQ1)로 반송한다(③).
따라서, 이와 같은 반송 동작으로 1세트의 반송이 완료된다.
그런데, 종래 기술에 따른 자동 반송대차 시스템은 초기 공정 장비(11)에서 카세트를 언로딩한 다음, 다음 공정 장비(12)로 이송하는 반송 동작(①)을 완료하여야만 스토커의 반송 동작(②,③)이 순차적으로 진행된다.
이로 인하여, 1세트를 반송하는 데 소요되는 전체 반송 시간은 초기 공정 장비(EQ1)로부터 카세트를 언로딩하여 반송하는 시간(t1)과, 스토커(30)로부터 다음 카세트를 반출하여 초기 공정 장비(EQ1)로 로딩하는 데 소요되는 반송 시간(t2)을 합산한 만큼 된다.
통상 제조 공정에 있어서, 각 공정 진행에 대한 효율 및 물량을 극대화하기 위해서는 각 공정 장비에서 반제품이 항시 대기 상태로 있어야 한다.
다시 말해, 공정 장비(10)에서 다음 카세트를 언로딩하는 반송 동작을 완료하기 전에 전체 반송 시간(t1+t2)이 완료되어, 대기 시간 없이 다음 반송 작업을 수행할 수 있어야 하나, 종래 방식에 따르면 그렇지 못하다.
특히, 초기 공정 장비(EQ1)에서의 공정 진행 시간이 짧은 경우 문제가 되고 있다.
도 2를 참조하면, 특정 공정 장비에서 제조 공정을 완료한 전 카세트를 언로딩하고 다음 카세트를 로딩하는 전체 반송 시간(t1+t2)이 전 카세트를 언로딩하는 반송 시간(t1)과 다음 카세트에 대한 제조 공정을 완료한 후 언로딩하는 반송 시간(t3)에 비해 긴 경우, 또 다른 카세트에 대한 로딩 반송 동작을 처리할 때까지 대기 상태로 있어야 하므로 IDLE 구간이 발생하게 된다.
이에 따라, 카세트를 반송하는 시간이 불필요하게 증가하여 생산 효율이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 카세트의 반송 시간을 줄여 생산성을 높일 수 있는 자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 자동 반송대차 시스템은, 복수 개의 기판에 대한 각종 제조 공정을 수행하는 다수의 공정 장비, 상기 다수의 공정 장비로 투입되거나 배출되는 기판을 카세트 단위로 일시 보관하기 위한 스토커(stocker), 상기 다수의 공정 장비와 상기 스토커 사이에서 상기 카세트를 반입/반송하기 위한 자동 반송대차(Automatic Guided Vehicle), 상기 자동 반송대차의 이동을 원격 제어하는 자동 반송대차 컨트롤러, 및 상기 자동 반송대차의 이동 정보, 상기 다수의 공정 장비와 상기 스토커내 카세트의 입출고에 관한 정보를 포함하는 반송 지시를 출력하며, 상기 공정 장비에서 상기 카세트에 대한 제조 공정이 완료되면 상기 카세트의 언로딩 반송 지시를 상기 자동 반송대차 컨트롤러로 출력하는 동시에, 상기 언로딩된 포트에 대한 카세트의 로딩 반송 지시를 출력하는 호스트를 포함한다.
본 발명에 따른 자동 반송대차 시스템을 이용한 카세트 반송 방법은, 초기 공정 장비에 입고된 카세트의 제조 공정이 완료되면 호스트에 반송 지시를 접수하는 단계, 상기 호스트에서 상기 카세트를 언로딩하기 위한 반송 지시를 자동 반송대차 컨트롤러로 송신하는 동시에, 상기 초기 공정 장비에 다음 카세트를 로딩시키기 위한 로딩 반송 지시를 스토커로 송신하는 단계, 상기 언로딩 및 로딩 반송 지시에 따라 다수의 자동 반송대차를 주행시키는 단계, 상기 언로딩 반송 지시에 따라 상기 카세트를 언로딩하여 다음 공정 장비로 이송하는 단계, 상기 이송하는 단계와 동시에, 상기 로딩 반송 지시에 따라 상기 초기 공정 장비에 로딩할 다음 카세트를 상기 스토커에서 반출시키는 단계, 상기 반출된 카세트를 상기 초기 공정 장비로 반송하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 초기 공정 장비에 로딩할 다음 카세트를 상기 스토커에서 반출시 킨 후 상기 초기 공정 장비로 반송하는 데 소요되는 총 시간은, 상기 초기 공정 장비에서 이미 제조 공정을 마친 카세트에 대한 반송 시간과 상기 다음 카세트에 대한 반송 시간을 합한 시간보다 짧거나, 동일한 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템 및 이를 이용한 카세트 반송 방법에 대하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 구성을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템의 통신 구조를 나타낸 도면이다.
먼저 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템은 복수 개의 기판에 대한 각종 제조 공정을 수행하는 다수의 공정 장비(110)와, 다수의 공정 장비(110)로부터 투입되거나 배출된 기판을 카세트(cassette) 단위로 보관하기 위한 스토커(STK: 130), 스토커(130)와 다수의 공정 장비(110) 사이에서 기판을 반입/반송하기 위한 자동 반송대차(ACV: 120)을 포함한다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이 자동 반송대차(120)의 운행을 원격 제어하는 자동 반송대차 컨트롤러(150)와, 중앙 서버로서 자동 반송대차 컨트롤러(140)와 다수의 공정 장비(110) 및 스토커(130)를 제어하기 위한 호스트(150)를 포함한다.
구체적으로 설명하면, 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템은 각종 제조 공정을 수행하기 위한 다수의 공정 장비(110)들이 배열되고, 다수의 공정 장비(110)와 스토커(130) 사이에는 자동 반송대차(120)가 이동할 수 있는 자동 반송대차 이동라인(120a, 120b)이 마련되어 있다.
각 공정 장비(110)에는 도면에 도시하지 않았지만, 자동 반송대차(120)와 광통신하는 광송수신부가 구비되어 있으며, 이와 동시에 자동 반송대차 컨트롤러(140)와 유선상으로 연결됨으로써 상호 통신을 할 수 있도록 하는 유선통신부가 구비되어 있다.
여기서, 각 공정 장비(110)는 액정 표시 장치를 제조하기 위한 장비가 된다.
자동 반송대차(120)는 복수 개의 기판들이 적재된 카세트를 반송하기 위한 이송 수단으로서, 다수의 공정 장비(110)와 스토커(130) 사이에서 자동 반송대차 이동라인(120a, 120b)을 따라 주행한다.
이러한 자동 반송대차(120)는 다수의 공정 장비(110)와 유선상으로 연결된 자동 반송대차 컨트롤러(140)의 의해 원격 제어되고 있다.
자동 반송대차 컨트롤러(140)는 디스플레이 장치로서 자동 반송대차 이동라인(120a, 120b)의 주변에 구비되어 있으며, 디스플레이 화면을 통해 다수의 자동 반송대차(120)의 주행 경로와 반송 시간, 카세트 아이디(ID), 반송 장비 정보를 모니터링한다. 주로 호스트(150)에서 반송 정보를 입력받아 각 자동 반송대차(120)로 반송 명령을 지시하는 기능을 한다.
스토커(130)는 복수 개의 기판을 적재한 카세트를 각 공정 장비(110)로 반송하기 전에 일시적으로 보관하기 위한 저장 장소이다.
이러한 스토커(130) 내부에는 입고되는 카세트를 로딩 및 언로딩하기 위해 이재 로봇(133)이 설치되어 있으며, 중앙 서버인 호스트(150)와 통신하여 기판의 반송 명령을 수신받는 송수신부를 갖는다.
그리고, 스토커(130)로 반송하기 위한 입력 포트(input port: 131a)와 출력 포트(output port: 131b)는 자동 반송대차(120)를 통해 반송되는 카세트를 쉽게 반입/반출할 수 있도록 자동 반송대차 이동라인(120a, 120b)과 연결된다.
호스트(150)는 상기한 다수의 공정 장비(110)와 스토커(130) 및 자동 반송대차(120)를 포함하는 자동 반송대차 시스템의 전 동작을 제어한다.
이러한 호스트(150)는 도 4에 도시된 바와 같이 상위 서버로서, 하위 서버인 자동 반송대차 컨트롤러(140)와 공정 장비(110) 및 스토커(130)와 상호 통신하도록 구비된다.
이때, 공정 장비(110)는 다수의 공정 장비(110)와 연계되어 카세트의 입출고를 제어하며, 스토커(130)는 스토커(130)의 입력 포트(131a)와 출력 포트(131a)에 대한 카세트의 유무 및 이재 로봇(133)의 이동 등을 제어한다.
따라서, 호스트(150)는 자동 반송대차의 이동 정보, 다수의 공정 장비(110)와 스토커(130)내 카세트의 입출고에 관한 정보를 포함하는 반송 지시를 출력하며, 특히 각 공정 장비에서 카세트에 대한 제조 공정이 완료되면 카세트의 언로딩 반송 지시를 자동 반송대차 컨트롤러(140)로 출력한다. 이와 동시에, 카세트가 언로딩된 공정 장비에는 다음 카세트를 로딩하도록 로딩 반송 지시를 출력한다.
통상 자동 반송대차 시스템에 있어서, 각 공정 장비(110)에서 하나의 카세트에 적재된 기판에 대한 제조 공정이 완료되면, 해당 공정 장비(110)로부터 공정을 마친 카세트를 언로딩하고, 다음 카세트를 로딩해야 한다. 이때, 공정 진행의 효율을 위해서는 공정 장비(110)로부터 카세트를 언로딩한 후, 다음 카세트를 바로 로딩하는 것이 좋다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템에 따르면, 호스트(150)에서 각 공정 장비(110)에 대한 카세트의 언로딩 반송 지시와 카세트의 로딩 반송 지시를 동시에 송신하기 때문에, 기존과 같이 카세트의 언로딩을 완료한 후에 로딩하는 작업으로 진행되지 않는다.
즉, 각 공정 장비(110)에서 카세트를 언로딩하는 반송과, 카세트를 로딩하는 반송이 서로 동시에 수행되게 운용함으로써 두 반송이 중첩되는 시간만큼 반송 시간을 단축할 수 있다.
이하에서는 반송 시간을 단축할 수 있는 자동 반송대차 시스템의 카세트 반송 과정을 살펴보기로 한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송대차 시스템에서 카세트 반송 방법을 순차적으로 도시한 흐름도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 반송 방법을 예로 들어 설명하기 위한 도면이며, 도 7은 본 발명의 실시예에 따라 카세트를 반송하는 데 소요되는 반송 시간을 반송 구간에 따라 나타낸 도면이다.
먼저 도 6과 연계하여 도 5를 설명하면, 본 발명의 실시예에 따른 자동 반송 대차 시스템의 카세트 반송 방법은 처음 단계로, S10 단계에서, 하나의 카세트에 적재된 기판에 대하여 특정 공정 장비에서 제조 공정이 완료되면 호스트(150)에 반송 지시를 접수한다.
여기서, 특정 공정 장비는 액정 표시 장치를 제조하기 위한 장비로서, 설명의 편의상 도 6에 도시된 초기 공정 장비(EQ1: 111)를 기준으로 설명한다. 초기 공정 장비라 함은 다수의 공정 장비(110) 중 처음으로 거치게 되는 공정 장비를 말한다.
초기 공정 장비(111)에서 하나의 카세트에 대한 제조 공정이 완료되면 초기 공정 장비(111)로부터 반송할 반제품이 발생하게 된다.
이에 따라, 초기 공정 장비(111)는 제조 공정을 완료한 카세트를 언로딩하기 위한 반송 작업과, 이후 제조 공정을 진행할 다음 카세트를 로딩하기 위한 반송 작업이 모두 가능하다.
다음으로 S20 내지 S40 단계에서, 호스트(150)는 초기 공정 장비(111)로부터 카세트를 언로딩하기 위한 반송 지시와 초기 공정 장비(111)에 다음 카세트를 로딩하기 위한 로딩 반송 지시를 자동 반송대차 컨트롤러(140)로 동시에 출력한다.
반송 지시를 송신받은 자동 반송대차 컨트롤러(140)는 해당 자동 반송대차(120)에 반송 명령을 각각 지시함으로써 각 자동 반송대차(120)를 별도로 주행시킨다.
이를 테면, 언로딩 반송 지시에 따라 다수의 자동 반송대차(120) 중 어느 하나를 초기 공정 장비(111)로 주행시키고, 이와 동시에 로딩 반송 지시에 따라 다수 의 자동 반송대차(120) 중 다른 하나를 스토커(130)로 주행시킨다.
이와 같이, 다수의 자동 반송대차(120)를 언로딩 또는 로딩에 따라 선택하는 것은 호스트(150)에서 미리 저장된 바에 따라 수행된다.
다음으로 S50 단계에서는, 호스트(150)로부터 송신받은 언로딩 반송 지시에 따라 초기 공정 장비(111)에 제조 공정을 완료한 카세트를 언로딩하여 다음 공정 장비(112)로 이송한다(④).
이러한 단계에서는 자동 반송대차(120)를 이용하여 반송할 수 있다.
다음으로 S60 단계에서는, 호스트(150)로부터 송신받은 로딩 반송 지시에 따라 초기 공정 장비(111)에 로딩할 다음 카세트를 스토커(130)에서 반출시킨다(④').
이때, S60 단계는 시간적으로 S50 단계와 동시에 수행되며, 스토커(130)내 이재 로봇(133)을 이용하여 반출한다.
다음으로 S70 내지 S80 단계에서는, 스토커(130)로부터 초기 공정 장비(111)에 로딩할 다음 카세트가 반출되면 초기 공정 장비(111)로 반송할 것을 지시하고, 반송 지시에 따라 자동 반송대차(120)를 주행하여 스토커(130)로부터 반출된 다음 카세트를 초기 공정 장비(111)로 반송한다(⑤).
따라서, 이와 같은 반송 동작으로 1세트(set)의 반송이 완료된다.
그리고, 전술한 바와 같은 반송 과정을 반복함으로써 각 공정 장비(110)는 특정 공정을 진행할 기판이 적재된 다음 카세트를 제공받고, 공정 장비(110)를 통해 공정 진행 완료된 기판이 적재된 카세트를 이후 공정을 진행할 공정 장비에 제 공함으로써 최종적으로 액정 표시 장치가 완성된다.
이때, 초기 공정 장비(111)에 로딩할 다음 카세트를 스토커(130)에서 반출시킨 후 초기 공정 장비(111)로 반송하는 데 소요되는 총 시간(도 7의 t5)은 도 7에 도시된 바와 같이 초기 공정 장비(111)로부터 다음 카세트를 언로딩하여 다음 공정 장비(112)로 이송(⑥)하는 시간(t6)보다 길다.
게다가, 초기 공정 장비(111)에 로딩할 다음 카세트를 스토커(130)에서 반출시킨 후 초기 공정 장비(111)로 반송하는 데 소요되는 총 시간(t5)은, 초기 공정 장비(111)에서 이미 제조 공정을 마친 카세트를 언로딩하는 반송 시간(t4)과 다음 카세트를 언로딩하는 반송 시간(t6)을 합한 시간보다 짧거나 동일하다.
이에 따르면, 초기 공정 장비(111)에서 다음 카세트에 대한 반송 동작을 완료하기 전에, 초기 공정 장비(111)에서 이미 제조 공정을 마친 카세트를 스토커(130)에서 반출시킨 후 초기 공정 장비(111)로 반송하는 동작을 완료할 수 있다.
따라서, 초기 공정 장비(111)에서 제조 공정을 완료한 카세트에 대하여 언로딩 반송 작업을 곧바로 수행할 수 있다.
특히, 초기 공정 장비(111)에서 제조 공정을 수행할 카세트에 적재되는 기판의 수가 적거나, 혹은 제조 공정이 비교적 짧아 초기 공정 장비(111)에서의 공정 진행 시간이 짧은 경우에도, 초기 공정 장비(111)에서 제조 공정이 완료된 다음 카세트를 언로딩하는 반송 시간(t6)이 완료될 때까지 전 카세트에 대한 반송 시간(t5)이 완료되기 때문에, 초기 공정 장비(111)에 또 다른 후속 카세트를 로딩하기 위한 반송 동작을 처리할 때까지 대기 상태로 있어야 할 필요가 없다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 반송 방법에 따르면 기존 방식 보다 반송 시간을 훨씬 단축할 수 있다.
반송 시간은 공정 장비에서 언로딩하는 데 소요되는 반송 시간과 공정 장비에 로딩하는 데 소요되는 반송 시간이 중첩되는 시간만큼 단축시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따른 자동 반송대차 시스템은, 각 공정 장비에서 제조 공정을 완료한 카세트를 언로딩한 후, 다시 공정 장비에 제조 공정을 수행할 카세트를 로딩하기 위한 반송 시간을 단축시킴으로써 전체 반송 시간을 줄여 반송의 효율을 증가시키는 효과가 있다.
또한, 전체 반송 시간을 줄임에 따라 평균적으로 수행할 수 있는 반송의 횟수를 증가할 수 있어 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 복수 개의 기판에 대한 각종 제조 공정을 수행하는 다수의 공정 장비;
    상기 다수의 공정 장비로 투입되거나 배출되는 기판을 카세트 단위로 일시 보관하기 위한 스토커(stocker);
    상기 다수의 공정 장비와 상기 스토커 사이에서 상기 카세트를 반입/반송하기 위한 자동 반송대차(Automatic Guided Vehicle);
    상기 자동 반송대차의 이동을 원격 제어하는 자동 반송대차 컨트롤러; 및
    상기 자동 반송대차의 이동 정보, 상기 다수의 공정 장비와 상기 스토커내 카세트의 입출고에 관한 정보를 포함하는 반송 지시를 출력하며, 상기 공정 장비에서 상기 카세트에 대한 제조 공정이 완료되면 상기 카세트의 언로딩 반송 지시를 상기 자동 반송대차 컨트롤러로 출력하는 동시에, 상기 언로딩된 포트에 대한 카세트의 로딩 반송 지시를 출력하는 호스트
    를 포함하는 자동 반송대차 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 공정 장비 및 상기 스토커는
    상기 호스트와 상호 통신하기 위한 송수신부를 갖는 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 호스트는
    상기 언로딩된 포트에 대한 카세트의 로딩 반송 지시를 상기 스토커에 송신하는 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템.
  4. 초기 공정 장비에 입고된 카세트의 제조 공정이 완료되면 호스트에 반송 지시를 접수하는 단계;
    상기 호스트에서 상기 카세트를 언로딩하기 위한 반송 지시를 자동 반송대차 컨트롤러로 송신하는 동시에, 상기 초기 공정 장비에 다음 카세트를 로딩시키기 위한 로딩 반송 지시를 스토커로 송신하는 단계;
    상기 언로딩 및 로딩 반송 지시에 따라 다수의 자동 반송대차를 주행시키는 단계;
    상기 언로딩 반송 지시에 따라 상기 카세트를 언로딩하여 다음 공정 장비로 이송하는 단계;
    상기 이송하는 단계와 동시에, 상기 로딩 반송 지시에 따라 상기 초기 공정 장비에 로딩할 다음 카세트를 상기 스토커에서 반출시키는 단계;
    상기 반출된 카세트를 상기 초기 공정 장비로 반송하는 단계
    를 포함하는 자동 반송대차 시스템을 이용한 카세트 반송 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 초기 공정 장비에 로딩할 다음 카세트를 상기 스토커에서 반출시킨 후 상기 초기 공정 장비로 반송하는 데 소요되는 총 시간은, 상기 카세트를 언로딩하여 다음 공정 장비로 이송하는 시간보다 긴 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템을 이용한 카세트 반송 방법.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 초기 공정 장비에 로딩할 다음 카세트를 상기 스토커에서 반출시킨 후 상기 초기 공정 장비로 반송하는 데 소요되는 총 시간은, 상기 초기 공정 장비에서 이미 제조 공정을 마친 카세트에 대한 반송 시간과 상기 다음 카세트에 대한 반송 시간을 합한 시간보다 짧은 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템을 이용한 카세트 반송 방법.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 초기 공정 장비에 로딩할 다음 카세트를 상기 스토커에서 반출시킨 후 상기 초기 공정 장비로 반송하는 총 시간은, 상기 초기 공정 장비에서 이미 제조 공정을 마친 카세트에 대한 반송 시간과 상기 다음 카세트에 대한 반송 시간을 합한 시간과 동일한 것을 특징으로 하는 자동 반송대차 시스템을 이용한 카세트 반송 방법.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 다수의 자동 반송대차를 주행시키는 단계는,
    상기 언로딩 반송 지시에 따라 상기 자동 반송대차를 상기 초기 공정 장비로 주행시키는 단계, 및
    상기 로딩 반송 지시에 따라 상기 자동 반송대차를 상기 스토커의 출구 포트로 주행시키는 단계
    를 포함하는 자동 반송대차 시스템을 이용한 카세트 반송 방법.
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