KR20060072943A - 자동 반송 시스템 - Google Patents

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KR20060072943A
KR20060072943A KR1020040111738A KR20040111738A KR20060072943A KR 20060072943 A KR20060072943 A KR 20060072943A KR 1020040111738 A KR1020040111738 A KR 1020040111738A KR 20040111738 A KR20040111738 A KR 20040111738A KR 20060072943 A KR20060072943 A KR 20060072943A
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윤경환
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 AGV를 원격제어하는 AGV 콘트롤러 내에 호스트로부터 부여받은 우선순위를 특정 판단조건하에서 최우선순위 수치를 갖도록 자체적으로 자동 변경함으로써 우선순위가 낮아 반송이 지연되는 것을 방지할 수 있는 AGV 반송 시스템을 제공한다.
반송 시스템, AGV, AGV 콘트롤러, 반송지연, 우선순위

Description

자동 반송 시스템{Automatic transfer system}
도 1은 AGV를 간략히 도시한 도면.
도 2는 AGV 콘트롤러를 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 공정장비, AGV, AGV 컨트롤러를 포함하는 액정표시장치의 제조공정 시스템을 간략히 도시한 도면.
도 4는 종래의 액정표시장치의 제조공정 시스템에서 카세트 반송지시의 처리 플로우를 도시한 순서도.
도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조공정 시스템에서 카세트 반송지시의 처리 플로우를 도시한 순서도
본 발명은 액정표시장치의 제조에 이용되는 카세트 운송 시스템에 관한 것으로 좀더 자세히는 AGV 반송 시스템에 관한 것이다.
최근에 평판표시장치 중 하나인 액정표시장치가 해상도, 컬러표시, 화질 등 이 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.
일반적인 액정표시장치는 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 상기 두 전극이 서로 대향하도록 배치하고, 상기 두 기판 사이에 액정을 주입한 다음, 상기 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직여 빛의 투과율을 조절하여 화상을 표현하는 장치이다.
액정표시장치에 대해 조금 상세히 설명하면, 액정표시장치는 서로 일정간격 이격되어 상부기판과 하부기판이 대향하고 있고, 상기 서로 대향된 상부 및 하부 기판 사이에는 액정층이 개재되어 있다.
상기 하부기판은 어레이 기판이라 칭하며, 상기 어레이 기판에는 다수 개의 게이트 및 데이터 배선이 서로 교차되어 있고, 이 게이트 및 데이터 배선이 교차되는 지점에 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차되는 영역으로 정의되는 화소영역에는 상기 박막 트랜지스터와 연결된 화소전극이 형성되어 있다.
이때, 상기 어레이 기판 내에 구성된 박막 트랜지스터는 게이트 신호 전압을 인가받는 게이트 전극과, 데이터 신호 전압을 인가받는 소스 및 드레인 전극과, 상기 인가된 게이트 신호 전압과, 데이터 신호 전압 차에 의해 전압의 온(on), 오프(off)를 조절하는 채널(channel)로 구성된다.
한편, 상기 하부기판인 어레이 기판과 대향되는 상부기판은 컬러필터 기판이라 칭하며, 상기 컬러필터 기판에는 컬러필터층과 공통전극이 차례대로 형성되어 있다.
이때, 상기 컬러필터층은 특정한 파장대의 빛만을 투과시키는 적, 녹, 청색의 컬러필터 패턴과, 상기 각 컬러필터 패턴의 경계부에 위치하여 비정상적으로 구동하는 액정이 위치한 영역상의 빛을 차단하는 블랙매트릭스로 구성된다.
그리고, 상기 어레이 기판 및 컬러필터 기판 각각의 외부면에는 편광축과 평행한 빛만을 투과시키는 상부 및 하부 편광판이 구비되며, 상기 어레이 기판 하부명에 구비된 하부 편광판의 하부에는 여러 광학시트 및 램프를 포함하여 구성된 백라이트(back light) 어셈블리가 구비되어 있다.
이러한 구성을 갖는 액정표시장치는 상기 화소전극과 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 각 화소별로 형성된 어레이 기판을 제조하는 어레이 공정과, 상기 어레이 기판과 대향되어 공통전극 및 적, 녹, 청색의 컬러필터 패턴이 각 화소영역에 대응하여 형성된 컬러필터 기판을 제조하는 컬러필터 공정과, 상기 두 공정을 통해 제작된 어레이 기판과 컬러필터 기판을 이용하여 상기 두 기판 사이에 액정을 주입하고, 합착하는 셀 공정을 진행하여 액정패널을 완성하고, 상기 액정패널에 편광판과 구동회로 기판 및 백라이트 어셈블리를 부착하는 모듈 공정을 진행함으로써 완성된다.
전술한 바와 같은 여러 가지 공정에 의하여 액정표시장치가 완성되는데, 어레이 기판 및 컬러필터 기판 또는 상기 두 기판이 합착된 액정패널이 각 단위 공정 진행을 위한 공정장비로 이동시키는 이동수단을 필요로 하고 있으며, 이러한 기판 또는 액정패널을 더욱 정확히는 상기 기판 또는 액정패널이 장착된 카세트를 각 공정장비로 이동시키는 이동수단으로서 자동반송차량(Automatic guided vehicle ; 이 하 AGV라 칭함)이 주로 이용되고 있다.
상기 자동반송차량은 자동으로 카세트를 적재하고 지시된 장소 일반적으로 공정장비의 로더나 또는 언로더까지 자동 주행하여 상기 로더나 언로더에 기판 또는 액정패널이 적재된 카세트를 이재하는 무궤도 차량을 말한다. 이러한 AGV는 전자유도 방식에 의해 이미 입력된 궤도로 운행될 수 있으므로 즉 유연한 반송 형태를 취할 수 있기에 액정표시장치 제조 공정에 중요한 카세트 이송 수단으로 이용되고 있다.
도 1은 AGV를 간략히 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, AGV(10)는 크게 주행부(20)과 이재부(30) 나뉘며, 상기 이재부(30)는 그 중앙에 카세트(40)를 이재하는 수단인 로봇암(35)이 구비되어 있으며, 그 상부로 상기 로봇암(35)을 통해 이동된, 기판이 적재된 카세트를 적재할 수 있는 적치대(38)가 구비되어 있다.
또한 주행부(20)는 바퀴(22) 등이 구비되어 있어 바닥면을 이동할 수 있는 구조를 이루고 있으며, 상기 주행부(20)에는 호출한 공정장비의 앞에 정확히 멈추어 설수 있도록 상기 공정장비의 위치 등을 감지하는 여러 센서(24) 등이 구비되어 있다.
이러한 AGV는 각 공정장비와 유선상으로 연결된 AGV 컨트롤러에 의해 원격 제어되고 있다.
도 2는 AGV 콘트롤러를 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와같이, AGV 콘트롤러(50)는 디스플레이 장치이며, 디스플레이 화 면을 통해 각 AGV의 주행경로와 반송시간과 카세트 ID 및 반송장비 정보를 알 수 있으며, 주로 호스트(host)에서 반송정보를 입력받아 AGV로 반송명령을 지시하는 역할을 하며, 직접 화면상으로 AGV를 선택하여 반송명령을 지시할 수도 있다.
도 3은 공정장비, AGV, AGV 컨트롤러를 포함하는 액정표시장치의 제조공정 시스템을 간략히 도식화한 도면이다.
도시한 바와 같이, 다수의 공정장비(EQ1 내지 EQ8)가 AGV(10)의 이동 궤도(70)를 따라 위치하고 있으며, 다수의 AGV(10a 내지 10d)가 상기 AGV 이동 궤도(70) 상을 주행하고 있으며, 상기 AGV 이동 궤도(70) 주변에 상기 AGV(10)를 원격제어하는 AGV 콘트롤러(50)가 위치하고 있다.
상기 각 공정장비(EQ1 내지 EQ8)에는 도면에 도시하지 않았지만 상기 AGV(10)와 광통신하는 광송수신부가 구비되어 있으며, 동시에 상기 AGV 컨트롤러(50)와 유선상으로 연결됨으로써 상호 통신을 할 수 있도록 하는 유선통신부가 구비되어 있다.
각 공정장비(EQ1 내지 EQ8)의 공정진행을 모니터링하고 주관하는 호스트(60)로부터 반송지시가 상기 AGV 콘트롤러(50)로 송출되면 상기 AGV 콘트롤러(50)는 상기 호스트(60)로부터 송출받은 반송지시를 접수하고, 상기 접수된 반송명령을 AGV(10a, 10b, 10c, 10d)에 할당한다. 이때, 상기 다수의 공정장비(EQ1 내지 EQ8)와 연결된 AGV 이동 궤도(70) 상에는 다수의 AGV(10a 내지 10d)가 운행하고 있는데, 상기 AGV(10a 내지 10d)가 운행 중이 아니라면, 즉 운행 대기중이라면 바로 상기 AGV 콘트롤러(50)로부터 반송지시를 할당받을 수 있지만, 이미 이전에 할당받은 반송지시에 의해 운행중일 경우, 상기 AGV 콘트롤러(50)는 접수된 반송명령을 AGV(10a 내지 10d)로 송출 대기한 채로 상기 AGV(10a 내지 10d)의 운행이 마치기를 기다리게 된다.
이 경우, 상기 송출 대기되는 반송지시는 상기 호스트(60)로부터 상기 AGV 콘트롤러(50)로 도달한 순서대로 AGV(10a 내지 10d)로 반송지시를 할당하는 것이 아니라 상기 반송지시 자체에 우선순위가 있어, 우선순위대로 우선 처리를 하게 된다. 즉, 상기 호스트(60)로부터 새로운 반송지시가 송달되면 현재 송출 대기 중인 반송지시 리스트에 포함시킨 후, 상기 반송지시 리스트를 우선순위대로 소트(sort)한 후, 우선순위가 가장 상위인 반송명령을 반송지시 리스트의 최상위로 올리게 되고, 이전 반송지시에 의한 운행을 마친 AGV(10a 내지 10d)에 상기 반송지시 리스트 상의 최상위에 있는 반송지시부터 차례로 상기 AGV(10a 내지 10d)로 반송지시를 송출하게 된다.
액정표시장치 제조 시스템에서 카세트 반송처리 플로우에 대해 도면을 참조하여 좀 더 상세히 설명한다.
도 4는 종래의 액정표시장치의 제조공정 시스템에서 카세트 반송지시의 처리 플로우를 도시한 순서도이다.
도시한 바와 같이, 제 1 단계(st1)는 AGV 콘트롤러가 호스트로부터 반송지시를 접수하는 단계이다.
호스트는 제조공정에 대한 모든 사항을 주관하고 있으며, 각 단위공정장치의 상태를 파악하고 있으며, 각 공정장비의 진행상태에 따라 공정이 끊이지 않고 연속 하여 진행할 수 있도록 각 단위공정을 진행한 기판이 적재된 카세트를 다음 단계의 단위공정 장비로 적절히 이동시키기 위해 적당한 시기에 반송지시 예를들면 99번 우선순위를 가지며 제 3 공정장비의 제 2 언로더에 대기중인 카세트를 제 5 공정장비의 로더로 이동시키라는 반송지시를 AGV 콘트롤러로 송출하게 되며, 이러한 호스트로부터의 반송지시를 상기 AGV 콘트롤러는 접수하게 된다.
다음, 제 2 단계(st2)로서 송달받은 반송지시를 이전의 반송지시 리스트에 포함시킨 후, 상기 반송지시 리스트를 우선순위대로 소트함으로써 상기 반송지시 리스트를 재편성한다.
다음, 제 3 단계(st3)로서 상기 AGV 콘트롤로가 원격 조정하는 AGV 중 현재 운행 대기 중인 AGV 대수를 파악한다.
다음, 제 4 단계로서 상기 운행 대기 중인 AGV 대수와 반송지시 리스트 상의 반송지시 개수를 비교한다. 이때, 상기 운행 대기중인 AGV대수가 반송지시 리스트 수보다 많거나 같다면, 상기 모든 반송지시를 각 AGV에 할당하고, 상기 반송지시 리스트 수가 운행대기 중인 AGV수보다 많다면, 상기 반송지시 리스트 중 운선순위가 높은 순서대로 상기 AGV 대수만큼의 반송지시를 상기 AGV에 할당하고, 반송지시가 AGV에 할당되지 않은 반송지시는 다시 상기 제 1 단계로 회귀하여 AGV 콘트롤러로 반송지시 접수된다.
다음, 제 5 단계로서 반송지시를 받은 AGV는 상기 반송지시대로 운행을 실시한다.
하지만, 전술한 액정표시장치 제조 시스템에서의 종래의 반송지시 처리 플로 우는 문제점이 있다.
AGV가 호스트로부터의 반송지시를 접수하고, 상기 접수된 반송지시를 우선순위대로 소트하여 리스트를 작성하는 과정에서, 우선 순위가 낮은 반송지시는 호스트로부터 우선순위가 높은 반송지시가 계속 송출되면 계속 반송지시 리스트 상에서 뒤로 밀리게 되어 적절한 순간에 카세트의 반송이 이행되지 않아, 단위공정 장비에서 공정 진행이 멈추게 되는 문제가 있다. 즉, 전술한 종래의 반송지시 처리 플로우대로 반송지시를 처리하게 되면, AGV의 부하율이 높을수록 반송 우선순위가 낮을수록 반송지연 현상이 급격히 증가되어 각 단위공정 장비가 액정표시장치의 제조를 원만히 진행할 수 없게 되므로 생산성이 저하되는 문제가 있다.
따라서, 본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 AGV 콘트롤 내에서 호스트로부터 접수한 반송지시를 우선순위에 따라서 소트하여 반송지시 리스트를 작성하는데 있어서, 특정한 시점에서 우선순위가 낮은 반송지시를 우선순위가 높은 반송지시로 변경할 수 있도록 함으로써 우선순위가 낮은 반송지시에 대해 반송 지연없이 원할한 반송이 이루어지도록 하는 것이 그 목적이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시예에 의한 자동 반송 시스템은 다수의 공정장비와; 상기 공정장비를 연결시키는 궤도를 주행하는 다수의 AGV 와; 상기 다수의 AGV의 이동 정보 및 우선순위에 관한 정보를 포함하는 반송지시를 출력하는 호스트와; 상기 다수의 AGV를 원격 제어하며, 상기 호스트로부터 접수된 반송지시를 상기 다수의 AGV에 할당하며, 상기 반송지시가 접수 시 갖는 우선순위에 대한 정보를 변경시키는 AGV 콘트롤러를 포함한다.
이때, 상기 공정장비는 액정표시장치 제조용 장비인 것이 바람직하며, 상기 AGV는 기판이 적재된 카세트를 적재 및 이재시키는 것이 특징이다.
또한, 상기 AGV 콘트롤러 내에서의 우선순위의 정보 변경은 '공정장비의 T/T-(반송접수시간-현재시간) ≤ AGV의 평균 반송 시간'의 식 또는 '공정장비의 T/T-(반송접수시각-현재시각) ≤ AGV의 평균 반송 시간 + a(AGV 콘트롤러 내에서 AGV에 반송지시를 할당하는 평균시간)'의 식을 만족하는 경우인 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 자동 반송 시스템을 이용한 AGV 반송 방법은 상기 호스트로부터 상기 반송지시를 접수 받는 (a)단계와; 상기 접수받은 반송지시를 우선순위에 의해 소팅하는 (b)단계와; 상기 우선순위에 의해 소팅(sorting)된 반송지시를 운행 대기중인 AGV에 할당하는 (c)단계와; 상기 운행 대기중인 AGV에 할당하고 남는 반송지시를 T/T를 포함하는 판단기준을 만족하는 반송지시에 대해서 우선순위를 변경시키는 (d)단계와; 상기 우선순위가 변경된 반송지시를 상기 (a),(b) 단계에 의해 새롭게 접수된 호스트로부터의 반송지시에 포함시키고 우선순위에 따라 상기 반송지시를 소팅하고 상기 (c)단계로 연결되는 (e)단계를 포함한다.
이때, 상기 T/T를 포함하는 판단기준은 '공정장비의 T/T-(반송접수시각-현재시각) ≤ AGV의 평균 반송 시간'이거나 또는, 상기 T/T를 포함하는 판단기준은 '공 정장비의 T/T-(반송접수시각-현재시각) ≤ AGV의 평균 반송 시간 + a'로 표현되며, 상기 a는 상기 AGV 콘트롤러 내에서 AGV에 반송지시를 할당하는 평균시간인 것이 바람직하다.
이때, 상기 우선순위 변경은 상기 판단기준을 만족할 때 발생하는 것이 특징이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
이때, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조를 위한 공정시스템은 AGV와 상기 AGV가 주행하는 궤도와, 상기 궤도 주변에 배치된 단위공정장비를 갖는 구조에 있어서는 종래와 동일한 구조를 갖는 바 그 시스템 구조는 도면없이 간단히 설명한다.
본 발명에 따른 액정표시장치 제조를 위한 공정 시스템은 단위공정을 진행하기 위한 다수의 단위 공정장비가 구비되며, 상기 각 단위공정 장비간을 이동하며 공정 진행을 위한 기판 또는 액정패널이 적재된 카세트를 이송시키기 위한 수단인 AGV 및 상기 AGV를 콘트롤하기 위한 AGV 콘트롤러가 구비되어 있다.
이때, 상기 각 단위공정장비는 그 공정 진행이 이를 모니터닝하고 주관하는 호스트 컴퓨터에 의해 각 공정을 진행하게 되는데 상기 호스트 컴퓨터는 공정진행상황을 상기 각 단위공정장비로부터 그 정보를 입력받아 적절한 시간에 단위공정 진행을 마친 기판 등이 적재된 카세트를 다음 공정을 진행하는 단위공정 장비로 반송하는 반송지시 등을 상기 AGV 콘트롤러에 지시하게 되며, 상기 AGV 콘트롤러는 상기 호스트로부터의 반송지시를 접수하고 상기 접수된 반송지시에 따라 상기 AGV 코트롤러가 원격 제어하는 다수의 AGV 중 하나의 AGV로 n번째 단위공정 장비의 언로더 상의 카세트를 m번째 단위공정장비의 로더로 이동시키라는 반송지시를 하게 된다.
전술한 바를 반복함으로써 각 단위공정 장비는 상기 각 단위공정 장비를 통해 특정 공정을 진행할 기판이 적재된 카세트를 제공받고, 상기 단위공정 장비를 통해 공정 진행 완료된 기판이 적재된 카세트를 이후 공정을 진행할 단위공정 장비에 제공함으로써 최종적으로 액정표시장치가 완성되는 것이다.
이러한 AGV를 이용한 카세트 반송 시스템은 여러 가지 상황을 고려하여 상기 AGV의 주행 궤도를 결정하고, 상기 주행궤도 상을 이동하며 카세트를 반송시키는 AGV 대수를 결정하고, 상기 AGV 주행궤도 내에 적절한 수의 단위공정장비를 배치하게 된다.
이때, 상기 단위공정장비는 하나의 카세트에 적재되는 기판을 처리하는 시간 즉, 각 단위공정 장비의 기판 하나당 공정시간 및 각 단위공정장비 내에 구비된 로더나 언로더의 개수 또한 각 단위공정 장비마다 다르기 때문에 각 장비에서 호스트를 통해 카세트 반송을 요청하는 시간이 다르며, 또한 반송 요청 건수도 상기 AGV 주행궤도 상을 주행하는 AGV의 대수보다 많으므로, 카세트 반송을 효율적으로 진행시키기 위해 각 단위공정 장비로부터의 카세트의 반송요청에 대해 우선순위를 부여하고 있다.
도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조공정 시스템에서 카세트 반송지시의 처리 플로우를 도시한 순서도이다
도시한 바와 같이, 제 1 단계(ST1)는 AGV 콘트롤러가 호스트로부터 반송지시를 접수하는 단계이다.
상기 호스트 더욱 정확히는 호스트 컴퓨터는 각 단위 공정장비를 통한 액정표시장치 제조공정에 대한 모든 사항을 주관하고 있으며, 각 단위 공정장비의 현재 진행 상태를 파악하고 있으며, 각 공정장비의 공정 진행 상태에 따라 공정이 끊임없이 연속하여 진행할 수 있도록 각 단위 공정장비를 통해 각 단위공정을 진행한 기판이 적재된 카세트를 다음 단계의 공정을 진행할 단위 공정장비로 적절히 이동시키기 위해 적당한 시기 즉, 각 단위 공정장치의 T/T(tact time ; 하나의 카세트 내에 적재된 기판 모두를 공정 완료하는데 걸리는 시간)를 고려하여 AGV 콘트롤러로 카세트를 반출할 단위공정장비와, 상기 반출된 카세트를 입고시킬 단위 공정장비와 우선순위 등의 정보를 포함하는 반송지시를 송출하게 되며, 이때, 상기 AGV 콘트롤러는 호스트로부터의 반송지시를 접수하게 된다.
다음, 제 2 단계(AT2)로서 상기 AGV 콘트롤러는 상기 접수한 반송지시를 이전의 반송지시 리스트에 포함시킨 후, 상기 반송지시 리스트를 우선순위에 따라 순서대로 소트함으로써 상기 반송지시 리스트를 재편성한다. 이때, 상기 반송지시 리스트에는 우선순위가 높은 순으로 정렬되며, 반송지시의 개수 또한 파악된다.
다음, 제 3 단계(ST3)로서 상기 AGV 콘트롤러는 상기 AGV 콘트롤로가 원격제어하고 있는 액정표시장치 제조 시스템 내의 AGV 궤도를 운행중인 AGV 중 현재 운행 대기 중인 AGV 대수를 파악한다.
다음, 제 4 단계(ST4)로서 상기 운행 대기 중인 AGV 대수와 반송지시 리스트 상의 반송지시 개수를 비교한다.
이때, 상기 운행 대기중인 AGV대수가 반송지시 리스트 내의 반송지시 수보다 많거나 같다면, 상기 반송지시 리스트 내의 모든 반송지시를 각 AGV에 할당하고, 상기 반송지시 리스트 내의 반송지시 수가 운행 대기 중인 AGV 대수보다 많다면, 우선 상기 반송지시 리스트 중 운선순위가 높은 순서대로 상기 AGV 대수만큼의 반송지시를 상기 AGV에 할당하고, 이후 상기 반송지시 리스트 내의 반송지시 중 우선순위가 낮아 운행 대기 중인 AGV에 할당되지 않은 반송지시는 당시 상기 AGV 콘트롤러 내에서 소정의 식에 의해 판단하게 된다.
이때, 상기 소정의 식은
T/T-(현재시각-반송접수시각)≤AGV 평균 반송시간 -------①
라 표현되고, 상기 ①식을 만족하면, 상기 AGV에 할당되지 않은 각 반송지시는 우선순위 수치의 변경없이 즉, 호스트에서 처음에 부여한 우선순위 수치를 그대로 유지한 채로 AGV 콘트롤러의 반송지시 접수단계로 마치 호스트에서 반송지시를 한 것처럼 회귀한다. 단, 이때, 상기 반송지시 접수단계로 회귀하는 반송지시들은 반송 접수시간은 마치 호스트에서 반송지시를 하는 것과 같은 형태이나, 최초로 호스트를 통해 반송지시를 접수할 때의 반송접수시간은 변하지 않는다.
상기 ①식을 만족하지 않는 반송지시에 대해서는 현재의 우선순위 수치를 호스트에서 부여한 낮은 우선순위 수치에서 최상위 우선순위의 수치로 변경한 후, AGV 콘트롤러의 반송지시 접수단계로 회귀한다.
다음, 제 5 단계(ST5)로서 반송지시를 할당받은 AGV는 상기 반송지시 내에 포함하된 정보대로 카세트의 출고를 호스트를 통해 접수한 단위 공정장비로 이동하여 단위공정장비의 언로더로부터 카세트를 이재하여 상기 AGV내의 적재부로 안착 시킨 후, 이동하여 상기 카세트 내의 기판을 필요로 하는 단위 공정장비의 로더로 상기 카세트를 옮긴다. 이때, 상기 단위 공정장비는 단순히 공정진행을 위한 장비뿐만 아니라 공정진행을 완료한 기판을 적재한 카세트를 보관하는 스토커가 될 수도 있다.
전술한 ①식에 대해 간단히 설명하면, 공정장비의 T/T에서 현재시각과 반송접수시각의 차이를 빼게되면 결국은 현재 상기 공정장비에서 진행되고 있는 한 카세트분의 기판에 대해 진행되고 있는 현재 공정의 완료시까지 남은시간이 되며, 이 시간까지 카세트 반송이 이루어지지 않으면 상기 공정은 완료된 후, 더 이상 공정진행을 하지 못하고 유휴상태가 된다.
따라서, 공정장비에서 현재 진행중인 공정의 완료시까지 남은 시간에서 AGV의 평균적인 반송시간과 비교하여 상기 평균적인 AGV의 반송시간이 같거나 작게 되면 빨리 반송이 이루어져야 상기 단위공정장비가 유휴상태가 되는 것을 방지하게 되므로, 상기 단위 공정장비로의 반송지시를 최상위 우선순위를 갖도록 하여 그 다음 AGV로의 반송지시 할당에는 상기 단위 공정장비부터 반송지시가 우선적으로 할당되도록 한 것이다.
상기 ①식은
T/T-(현재시각-반송접수시각)≤AGV 평균 반송시간 + a
라 표현될 수도 있으며, 이때, a는 상기 AGV 콘트롤러에서 다음 반송지시가 이루어지기까지의 평균적으로 소요되는 시간을 말하며, 상기 a를 상기 AGV 평균적인 반송 시간과 합한 시간과 단위공정 진행이 완료되기까지 남아있는 시간과 비교 판단한다면, 좀 더 안전하게 단위 공정장비에서 카세트 반송 지연에 의한 공정 끊김을 방지할 수 있다.
전술한 바와 같은 AGV 반송 플로우를 갖는 액정표시장치 제조용 시스템은 AGV 콘트롤러 내에서 호스트로부터 최초로 받은 반송지시에 대한 우선순위 수치를 소정의 식을 만족할 때, 최우선 순위의 수치로 변경할 수 있도록 함으로써 우선순위가 낮은 반송지시가 계속 AGV로 할당되지 않아 반송지연이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 AGV 반송 시스템은 AGV 콘트롤러 자체에 반송지시에 대해 우선순위를 변경할 수 있는 처리 플로우를 구비함으로써 우선순위가 낮은 반송지시가 우선순위가 높은 반송지시에 의해 뒤로 밀려 반송지연이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.
또한, 우선순위를 변경할 수 있음으로써 낮은 우선순위를 갖는 반송지시에 대한 반송지연을 방지하여 유휴 공정장비를 발생시키지 않음으로 액정표시장치의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 다수의 공정장비와;
    상기 공정장비를 연결시키는 궤도를 주행하는 다수의 AGV와;
    상기 다수의 AGV의 이동 정보 및 우선순위에 관한 정보를 포함하는 반송지시를 출력하는 호스트와;
    상기 다수의 AGV를 원격 제어하며, 상기 호스트로부터 접수된 반송지시를 상기 다수의 AGV에 할당하며, 상기 반송지시가 접수 시 갖는 우선순위에 대한 정보를 변경시키는 AGV 콘트롤러
    를 포함하는 자동 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공정장비는 액정표시장치 제조용 장비인 자동 반송 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 AGV 콘트롤러 내에서의 우선순위의 정보 변경은
    공정장비의 T/T-(반송접수시간-현재시간) ≤ AGV의 평균 반송 시간
    의 식을 만족하는 경우인 자동 반송 시스템.
    인 자동 반송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 AGV 콘트롤러 내에서의 우선순위의 정보 변경은
    공정장비의 T/T-(반송접수시각-현재시각) ≤ AGV의 평균 반송 시간 + a(AGV 콘트롤러 내에서 AGV에 반송지시를 할당하는 평균시간)
    의 식을 만족하는 경우인 자동 반송 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 AGV는 기판이 적재된 카세트를 적재 및 이재시키는 자동 반송 시스템.
  6. 제 1 항의 자동 반송 시스템에 있어서,
    상기 호스트로부터 상기 반송지시를 접수 받는 (a)단계와;
    상기 접수받은 반송지시를 우선순위에 의해 소팅하는 (b)단계와;
    상기 우선순위에 의해 소팅(sorting)된 반송지시를 운행 대기중인 AGV에 할당하는 (c)단계와;
    상기 운행 대기중인 AGV에 할당하고 남는 반송지시를 T/T를 포함하는 판단기 준을 만족하는 반송지시에 대해서 우선순위를 변경시키는 (d)단계와;
    상기 우선순위가 변경된 반송지시를 상기 (a),(b) 단계에 의해 새롭게 접수된 호스트로부터의 반송지시에 포함시키고 우선순위에 따라 상기 반송지시를 소팅하고 상기 (c)단계로 연결되는 (e)단계
    를 포함하는 AGV 자동 반송 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 T/T를 포함하는 판단기준은
    공정장비의 T/T-(반송접수시각-현재시각) ≤ AGV의 평균 반송 시간
    인 AGV 자동 반송 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 T/T를 포함하는 판단기준은
    공정장비의 T/T-(반송접수시각-현재시각) ≤ AGV의 평균 반송 시간 + a
    로 표현되며, 상기 a는 상기 AGV 콘트롤러 내에서 AGV에 반송지시를 할당하는 평균시간인 AGV 자동 반송 방법.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 우선순위 변경은 상기 판단기준을 만족할 때 발생하는 AGV 자동 반송 방법.
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Cited By (6)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR100987169B1 (ko) * 2008-11-10 2010-10-11 한국타이어 주식회사 타이어 생산을 위한 반제품 공급방법
KR101129691B1 (ko) * 2009-12-18 2012-03-28 한국타이어 주식회사 타이어 공장에서 반제품 잔량을 감소시키기 위한 대차 공급 방법
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KR20210158211A (ko) * 2020-06-23 2021-12-30 세메스 주식회사 물품 보관 장치, 상기 물품 보관 장치의 우선 순위 설정값 계산 방법 및 이를 이용한 물품 저장 방법
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