JP2008304508A - ガラス基板の移載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工装置に検査装置が設けられ、A)搬送ロボットは、ガラス基板の搬送順序でカセット内の棚位置順に収納し、空のカセットに連続して収納する機能を有し、B)基板情報伝達手段は、カセット番号及びガラス基板番号を設定し、カセット番号、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別(欠陥)などの基板情報を修正装置に伝達し、修正装置が修正するガラス基板を抜き出し、修正を行い、元の棚位置に収納する指示、及び、修正しないガラス基板と、修正終了したガラス基板とで充填したカセットを次工程へ搬送する指示をする機能を有する。
【選択図】図4
Description
図12、及び図13に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたものである。
図12、及び図13はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(42)は12個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角17インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
或いは、ガラス基板(40)上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
上に、着色画素の処理ラインを用いて、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜(43)の形成は、透明導電膜の処理ラインを用いて、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。
尚、ガラス基板は図示していないが、ガラス基板の動線を実線矢印で表している。
フォトレジストの塗布後に行われる膜厚/ムラ検査装置(14)は、例えば、光学式非接触の膜厚検査と、マクロ画像を撮像するムラ検査を行うものである。また、検査装置(18)は、例えば、外観検査装置であり、形成されたパターンの検査を行う。これらは、着色画素の処理ライン内に組み込まれた、所謂、インラインの検査装置である。
で示すように、3個のカセットポート(CSP)間を移動できるようになっている。
カセット(CS)へのガラス基板の収納は、例えば、図15中、上方のカセットポート(CSP)上に載置されたカセット(CS)から、下方のカセットポート(CSP)上に載置されたカセット(CS)への順序とし、上方のカセット(CS)がガラス基板で充填されると下方のカセット(CS)への収納が開始される。
ガラス基板で充填された上方のカセット(CS)は、移載装置(ULD)外へ回収され、空のカセット(CS)が上方のカセットポート(CSP)上に供給される。
この種別は、例えば、種別Aは形成された着色画素に欠陥のないガラス基板、種別Bは異物が付着したガラス基板、種別Cは色修正を要するガラス基板である。
図16は、ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置(ULD)の一例を示す平面図である。この移載装置(ULD)は、ガラス基板の種別が3種別である場合に対応した移載装置の例である。
回収され、空のカセットが当該カセットポート(CSP)に供給されるのであるが、加工装置(K)が1枚のガラス基板を処理する時間よりも、カセット(CS)にガラス基板が充填されてから、カセット(CS)を回収し次のカセット(CS)を供給するまでの時間の方が長いために、カセットの供給が間に合わず、加工装置(K)が一時停止してしまうのを回避するためである。
尚、前記膜厚/ムラ検査装置(14)による検査結果が不良のガラス基板は、露光装置(15)に搬送されずに、膜厚/ムラ検査装置(14)と露光装置(15)の間で加工装置(K)から排出されることが多い。
また、種別Bのガラス基板、例えば、異物が付着したガラス基板は、カセットポート(CSP3)上のカセット(CS)に収納され種別Bのガラス基板で充填されると、異物を修正する修正装置へと、例えば、AGVにて搬送される。
このカセット(CS)に収納されたガラス基板に異物の修正が施され、修正されたガラス基板はカセット(CS)単位で、次工程(当該処理ラインの後段の処理ライン)へと、例えば、AGVにて搬送される。
移載装置(ULD)の大型化は、初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストが増大するといった問題を引き起こしている。
また、搬送ロボットの処理能力の低下、或いは搬送ロボットの安定性の低下を回避することが可能となる。
I)前記加工装置には、当該処理の欠陥に対応した検査装置が設けられており、前記搬出装置(移載装置)は、搬送ロボット、2個のカセットポート、基板情報伝達手段で構成され、
II)A)前記搬出装置(移載装置)の搬送ロボットは、
1)前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際に、搬送されてきた順序で、第1カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
2)該カセットがガラス基板で充填された際には、第2カセットポート上に載置されているカセットに、上記1)と同様に、搬送されてきた順序で、第2カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
3)第2カセットポート上に載置されているカセットがガラス基板で充填された際には、該カセットへのガラス基板の収納中に、第1カセットポート上に載置されたカセットが回収され、新たに第1カセットポート上に供給された空のカセットに、上記1)と同様にして、ガラス基板を収納し、
4)以降、カセットがガラス基板で充填された際には、同様にして、第1カセットポート又は第2カセットポート上に載置されている空のカセットに、交互に連続してガラス基板を収納する機能を有し、
B)前記搬出装置(移載装置)の基板情報伝達手段は、
1)前記第1カセットポート又は第2カセットポート上に供給される空のカセットに、カセットポート上への供給順にカセット番号を設定し、
2)前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際には、ガラス基板に、搬送されてきた順でガラス基板番号を設定し、
3)ガラス基板で充填されたカセット毎のカセット番号、及び該カセットに収納されたガラス基板毎の、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別(欠陥)の基板情報を記録し、
4)該基板情報を、当該処理により発生した種別(欠陥)を修正する修正装置に伝達し、5)前記検査装置による検査を終了したガラス基板が充填され、カセットポートから回収されたカセットが上記修正装置に搬送されてきた際には、
a)修正装置が上記基板情報に基づき、搬送されたカセットから修正を要するガラス基板を抜き出し、修正処理を行い、再び元の棚位置に収納するように指示をし、
b)修正装置が修正を要しないガラス基板と、修正を終了したガラス基板とで充填されたカセットを回収し、次工程(当該処理ラインの後段の処理ライン)へ搬送するように指示
をする、
機能を有することを特徴とするガラス基板の移載装置である。
A)搬出装置(移載装置)の搬送ロボットは、1)検査装置による検査を終了したガラス基板が加工装置から搬送されてきた際に、搬送されてきた順序で、第1カセットポート又は第2カセットポート上に載置されている空のカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、カセットがガラス基板で充填され次第、次の空のカセットにガラス基板を連続して交互に収納する機能を有し、
B)搬出装置(移載装置)の基板情報伝達手段は、1)第1カセットポート又は第2カセットポート上に供給される空のカセットに、カセットポート上への供給順にカセット番号を設定し、
2)検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際には、ガラス基板に、搬送されてきた順でガラス基板番号を設定し、3)ガラス基板で充填されたカセット毎のカセット番号、及び該カセットに収納されたガラス基板毎の、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別(欠陥)の基板情報を記録し、4)該基板情報を、当該処理により発生した種別(欠陥)を修正する修正装置に伝達し、5)前記検査装置による検査を終了したガラス基板が充填され、カセットポートから回収されたカセットが上記修正装置に搬送されてきた際には、a)修正装置が上記基板情報に基づき、搬送されたカセットから修正を要するガラス基板を抜き出し、修正処理を行い、再び元の棚位置に収納するように指示をし、b)修正装置が修正を要しないガラス基板と、修正を終了したガラス基板とで充填されたカセットを回収し、次工程(当該処理ラインの後段の処理ライン)へ搬送するように指示をする、機能を有する移載装置であるので、同一のカセットに各種別のガラス基板を区別せず収納し、当該処理ラインで発生した、修正を要する種別(例えば、種別B、種別C)のガラス基板には、対応した修正を施した後に、次工程へと搬送することが可能な、つまり、ガラス基板の種別数が増加しても、カセットポートの個数は増加しないガラス基板の移載装置となる。
また、搬送ロボットの処理能力の低下、或いは搬送ロボットの安定性の低下を回避することが可能となる。
図1は、本発明によるガラス基板の移載装置の一実施例を示す平面図である。
図1に示すように、本発明によるガラス基板の移載装置(ULD−2)は、ガラス基板を収納するカセット(CS)を載置するカセットポート(CSP)と、処理が施されたガラス基板をカセット(CS)に収納する搬送ロボット(R)と、基板情報伝達手段(30)とで構成されている。カセットポートは第1カセットポート(CSP11)と第2カセットポート(CSP12)の2個が設けられている。第1カセットポート(CSP11)には第1カセット(CS11)が、第2カセットポート(CSP12)には第2カセット(CS12)が載置されている状態が示されている。
示すように、2個のカセットポート(CSP11〜CSP12)間を移動できるようになっている。
搬送ロボット(R)は、1枚目のガラス基板(G1)を第1カセット(CS11)内の棚位置順1(最上段)へ収納し、2枚目のガラス基板(G2)を棚位置順2へ収納し、3枚目のガラス基板(G3)を棚位置順3へ収納する。
第1カセット(CS11)がガラス基板で充填されると、第2カセットポート(CSP12)上に載置されている第2カセット(CS12)に、上記と同様に、i枚目のガラス基板(Gi)から搬送されてきた順序で、第2カセット(CS12)内の棚位置順にガラス基板を収納する。
以降、カセットがガラス基板で充填されると、同様にして、搬送ロボット(R)は、第1カセットポート又は第2カセットポート上に載置されている空のカセットに、交互に連続してガラス基板を収納する。
図3に示す符号(G1(A))の(G1)は、加工装置から最初に搬送されてきたガラス基板に、基板情報伝達手段(30)設定した該ガラス基板のガラス基板番号である。また、(A)は、このガラス基板の検査装置(18)による検査結果が種別Aであることを示すものであり、検査装置(18)がら基板情報伝達手段(30)へ伝達されたものである。
カセットポート(CSP)は、第1カセットポート(CSP21)と第2カセットポート(CSP22)の2個が設けられており、例えば、AGVによって、前記処理ラインの移載装置(ULD)から搬送されてきた第1カセット(CS11)が第1カセットポート(CSP21)上に供給された状態が示されている。
た種別Bのガラス基板(G2(B))を搬送ロボット(R)が抜き出している状態を示したものである。
カセットポート(CSP)は、第1カセットポート(CSP31)と第2カセットポート(CSP32)の2個が設けられており、例えば、AGVによって、前記処理ラインの移載装置(ULD)から搬送されてきた第1カセット(CS11)が第1カセットポート(CSP31)上に供給された状態が示されている。
尚、この段階の第1カセット(CS11)には、修正を要しない種別Aのガラス基板と、種別Bの修正が施されたガラス基板と、種別Cの修正が施されたガラス基板が収納されている。
移載装置(ULD−D)は、カセット(CS)を載置するカセットポート(CSP)と、カセット(CS)と異物修正部(21B)と色修正部(21C)の三者間でガラス基板を自在に移載する搬送ロボット(R)と、修正装置の基板情報伝達手段(30D)で構成されている。
又は、1)搬送ロボット(R)は、第1カセットポート(CSP41)上の第1カセット(CS11)から種別Cのガラス基板(G(C))を抜き出して色修正部(21C)に搬入し、2)色修正部(21C)は色修正処理を行い、3)搬送ロボット(R)は再び元の棚位置に、修正されたガラス基板(G(C))を収納する。
図11に示す例は、前記処理ラインの移載装置(ULD)の基板情報伝達手段(30)と、異物を修正する修正装置(20B)の基板情報伝達手段(30B)と、色修正する修正装置(20C)の基板情報伝達手段(30C)とが有線で接続された例である。情報伝達経路としては、例えば、ICタグのような、記憶媒体を用いることによってワイヤレスにすることも可能である。
12・・・洗浄装置
13・・・塗布装置
14・・・膜厚/ムラ検査装置
15・・・露光装置
16・・・現像装置
17・・・ポストベーク装置
18・・・検査装置
20B・・・異物を修正する修正装置
20C・・・色修正をする修正装置
20D・・・異物及び色修正をする修正装置
21B・・・異物修正部
21C・・・色修正部
30・・・処理ラインの基板情報伝達手段
30B・・・異物を修正する修正装置の基板情報伝達手段
30C・・・色修正をする修正装置の基板情報伝達手段
30D・・・異物及び色修正をする修正装置の基板情報伝達手段
40・・・ガラス基板
41・・・ブラックマトリックス
42・・・着色画素
43・・・透明導電膜
CS・・・カセット
CSP・・・カセットポート
CS11・・・第1カセット
CS12・・・第2カセット
CS13・・・第3カセット
CSP11、CSP21、CSP31、CSP41・・・第1カセットポート
CSP12、CSP22、CSP32、CSP42・・・第2カセットポート
G1、G2、G3、G4・・・1枚目、2枚目、3枚目、4枚目のガラス基板
G1(A)・・・1枚目の種別Aのガラス基板
G2(B)・・・2枚目の種別Bのガラス基板
G3(C)・・・4枚目の種別Cのガラス基板
Gi、Gn・・・i枚目、n枚目のガラス基板
G(A)、G(B)、G(C)、G(B、C)・・・種別A、B、C、BとC、のガラス基板
G(i−1)・・・第1カセットに最後に収納されるガラス基板
G(n−1)・・・第2カセットに最後に収納されるガラス基板
K・・・加工装置
LD・・・搬入装置
R・・・搬送ロボット
ULD・・・搬出装置(移載装置)
ULD−2・・・本発明によるガラス基板の移載装置
ULD−B・・・異物を修正する修正装置の移載装置
ULD−C・・・色修正をするの修正装置の移載装置
ULD−D・・・異物及び色修正をするの修正装置の移載装置
Claims (1)
- 少なくとも、搬入装置、加工装置、搬出装置(移載装置)で構成されるガラス基板の処理ラインにおいて、
I)前記加工装置には、当該処理の欠陥に対応した検査装置が設けられており、前記搬出装置(移載装置)は、搬送ロボット、2個のカセットポート、基板情報伝達手段で構成され、
II)A)前記搬出装置(移載装置)の搬送ロボットは、
1)前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際に、搬送されてきた順序で、第1カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
2)該カセットがガラス基板で充填された際には、第2カセットポート上に載置されているカセットに、上記1)と同様に、搬送されてきた順序で、第2カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
3)第2カセットポート上に載置されているカセットがガラス基板で充填された際には、該カセットへのガラス基板の収納中に、第1カセットポート上に載置されたカセットが回収され、新たに第1カセットポート上に供給された空のカセットに、上記1)と同様にして、ガラス基板を収納し、
4)以降、カセットがガラス基板で充填された際には、同様にして、第1カセットポート又は第2カセットポート上に載置されている空のカセットに、交互に連続してガラス基板を収納する機能を有し、
B)前記搬出装置(移載装置)の基板情報伝達手段は、
1)前記第1カセットポート又は第2カセットポート上に供給される空のカセットに、カセットポート上への供給順にカセット番号を設定し、
2)前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際には、ガラス基板に、搬送されてきた順でガラス基板番号を設定し、
3)ガラス基板で充填されたカセット毎のカセット番号、及び該カセットに収納されたガラス基板毎の、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別(欠陥)の基板情報を記録し、
4)該基板情報を、当該処理により発生した種別(欠陥)を修正する修正装置に伝達し、5)前記検査装置による検査を終了したガラス基板が充填され、カセットポートから回収されたカセットが上記修正装置に搬送されてきた際には、
a)修正装置が上記基板情報に基づき、搬送されたカセットから修正を要するガラス基板を抜き出し、修正処理を行い、再び元の棚位置に収納するように指示をし、
b)修正装置が修正を要しないガラス基板と、修正を終了したガラス基板とで充填されたカセットを回収し、次工程(当該処理ラインの後段の処理ライン)へ搬送するように指示をする、
機能を有することを特徴とするガラス基板の移載装置。
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