JP5012415B2 - 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
図3、及び図4に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたものである。
図3、及び図4はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(42)は12個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角17インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
或いは、ガラス基板(40)上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜(43)の形成は、透明導電膜の製造ラインを用いて、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。
プロセス処理装置は、洗浄装置(P1)、塗布装置(P2)、露光装置(P3)、現像装置(P4)、及びポストベーク装置(P5)で構成され、検査装置は、ガラス基板上に形成した塗布膜の検査を行う第一検査装置(K1)、第二検査装置(K2)、第三検査装置(K3)と、パターニングした着色画素の検査を行う第四検査装置(K4)、第五検査装置(K5)、第六検査装置(K6)、及び第七検査装置(K7)で構成される。
尚、ガラス基板は図示していないが、ガラス基板の動線を実線矢印で表している。ガラス基板は、搬入装置(LD)から順次に搬入され、搬送装置及び移載装置により各プロセス処理装置及び検査装置間を順次に搬送される。
フォトレジストの塗布膜が設けられたガラス基板は、第二ロボット(RB2)によって、第一検査装置(K1)に移載され、第一検査装置(K1)にて塗布膜の第一不良項目の検査を受ける。
続いて、ガラス基板には、ポストベーク装置(P5)にて、ポストベーク処理が施され、第六検査装置(K6)にて、着色画素の第三不良項目の検査が行われ、また、第七検査装置(K7)にて、第四不良項目の検査が行われる。第四不良項目の検査が行われた後に、着色画素が形成されたガラス基板は、第三コンベア(CV3)により搬出装置(ULD)へ搬送される。
これら検査装置で不良と判定されたガラス基板は、当該検査装置以降の各装置を空通しされ、搬出装置(ULD)において不良品として回収されるようになっている。
この間、検査装置により不良と判定されたガラス基板は、搬出装置(ULD)にて別途回収される。
この滞留する時間が長引くと、例えば、製造ラインに浮遊する異物がガラス基板上、或いは塗布膜上に付着して異物不良をもたらすことがある。或いは、滞留する時間が長引くと、例えば、ガラス基板上の塗布膜の膜厚に微小な変化が生じて着色画素の線幅不良や膜厚不良をもたらすことがある。
10枚程度となる。
しかし、第二ロボット(RB2)が一時停止しても、洗浄装置(P1)を作動させて、処理を施したガラス基板を蓄積して待機させるバッファー装置(図示せず)が第一ロボット(RB1)に隣接して設けられているので、最大で、例えば、数十枚程度のものとなる。
このような、不良品であっても良品として扱われるガラス基板には、次工程にて、次の処理が施されることになるので、甚大なロスとなっている。
尚、製造されたカラーフィルタには、出荷前に、改めて全数検査が行われるので、この種の不良品が得意先に納入されることは回避される。
1)前記製造ライン内でのガラス基板の所要時間を監視するため、製造ラインを複数のゾーンに区分し、
2)該ゾーン内でガラス基板が滞留しても不良とならない時間を許容時間として予めゾーン毎に設定しておき、
3)前記ライン制御装置は、ゾーン毎のガラス基板の所要時間を監視し、ガラス基板の所要時間が、上記許容時間を越えた際には、前記複数種の検査装置の内、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をし、
4)全数検査に切替えた検査装置は、当該ゾーンに滞留するガラス基板を全数検査して当該ガラス基板の良否判定を行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を前記搬出装置にて回収することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
前記複数種のプロセス処理装置が、洗浄装置、塗布装置、露光装置、現像装置、及びポストベーク装置で構成され、この順序に設けられている製造ラインを用いたことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
1)製造ライン内でのガラス基板の所要時間を監視するため、製造ラインを複数のゾーンに区分し、2)ゾーン内でガラス基板が滞留しても不良とならない時間を許容時間として予めゾーン毎に設定しておき、3)ライン制御装置は、ゾーン毎のガラス基板の所要時間を監視し、ガラス基板の所要時間が、許容時間を越えた際には、検査装置の内、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をし、4)全数検査に切替えた検査装置は、当該ゾーンに滞留するガラス基板を全数検査して当該ガラス基板の良否判定を行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を前記搬出装置にて回収するので、カラーフィルタの製造ラインにおいて、何らかの原因による滞留により不良となってしまったガラス基板を搬出装置において不良品として回収することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法となる。
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、前記複数種のプロセス処理装置が、洗浄装置、塗布装置、露光装置、現像装置、及びポストベーク装置で構成され、この順序に設けられている製造ラインを用い、また、前記複数種の検査装置が、塗布膜の検査を行う複数の検査装置と、着色画素の検査を行う複数の検査装置で構成され、該両複数の検査装置は全数検査又は抜取検査を行うので、カラーフィルタの着色画素の形成において、何らかの原因による滞留により不良となってしまったガラス基板を搬出装置において不良品として回収することのできる着色画素の製造方法となる。
図2は、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において用いられるカラーフィルタの製造ラインの一例を示す説明図である。図2は、前記図1に例示する着色画素の製造ラインを基にした製造ラインである。この着色画素の製造ライン(20)は、プロセス処理装置、検査装置、搬送装置、移載装置、搬入装置、搬出装置、及びライン制御装置で構成されている。
プロセス処理装置は、洗浄装置(P1)、塗布装置(P2)、露光装置(P3)、現像装置(P4)、及びポストベーク装置(P5)で構成され、検査装置は、ガラス基板上に形成した塗布膜の検査を行う第一検査装置〜第三検査装置(K1〜K3)と、パターニングした着色画素の検査を行う第四検査装置〜第七検査装置(K4〜K7)で構成される。
尚、ガラス基板は図示していないが、図2中、矢印で示すように、ガラス基板は、搬入装
置(LD)から順次に搬入され、搬送装置及び移載装置により各プロセス処理装置及び検査装置に順次に搬送され、ガラス基板に各プロセス処理及び各検査が連続して施される。
これら検査装置で不良と判定されたガラス基板は、当該検査装置以降の各装置を空通しされ、搬出装置(ULD)において不良品として回収されるようになっている。
図2に示す一例においては、製造ラインを第一ゾーン〜第六ゾーン(Z1〜Z6)の6区分としている。
尚、第一ゾーン(Z1)においては、搬入装置(LD)からの投入開始時刻と、第二ゾーン(Z2)へ搬入させた時刻との間の時間を指し、また、第六ゾーン(Z6)においては、第六ロボット(RB6)へ搬入させた時刻と、搬出装置(ULD)で回収された時刻との間の時間を指している。
図2中、符号(30)は、基板情報の伝達路を表している。各ゾーンは、ガラス基板がゾーンへ搬入されたという信号を伝達路(30)を経てライン制御装置(S)に伝達し、ライン制御装置(S)は、各ゾーンから伝達された信号より、ガラス基板がゾーンへ搬入された時刻(搬入完了時刻)を照合し、ゾーンでのガラス基板の所要時間を算出する。
K5〜K7)に対して全数検査への切替えを指示する。
全数検査へ切替えた第五検査装置〜第七検査装置(K5〜K7)は、当該ゾーンに滞留したガラス基板を全数検査し、当該ガラス基板の良否判定を行う。全数検査で不良と判定されたガラス基板は、当該検査装置以降の各装置を空通しされ、搬出装置(ULD)において不良品として回収される。
尚、検査装置が抜取検査から全数検査に切替わる際には、関連する搬送装置及び移載装置は、同時に全数検査に対応した動作に切替わる。
本発明におけるライン制御装置(S)は、この滞留する時間が長引いて所要時間が許容時間を越えた際に、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をするので、第二ゾーン(Z2)内に滞留していたガラス基板には全数検査が施される。
尚、本発明においては、製造ラインは、複数のゾーンに区分されているので、ゾーンを構成する、プロセス処理、検査、搬送、移載、搬入、搬出のいずれの装置に起因した滞留であっても、ゾーン内でのガラス基板の所要時間を監視することによって滞留していたガラス基板の良否判定を行うことができる。
この一例では、第一検査装置〜第四検査装置(K1〜K4)を全数検査とし、第五検査装置〜第七検査装置(K5〜K7)を抜取検査としたが、検査方法は適宜に設定するものである。
20・・・本発明における着色画素の製造ライン
30・・・基板情報の伝達路
40・・・ガラス基板
41・・・ブラックマトリックス
42・・・着色画素
43・・・透明導電膜
CV1〜CV3・・・第一コンベア〜第三コンベア
K1〜K7・・・第一検査装置〜第七検査装置
LD・・・搬入装置
P1・・・洗浄装置
P2・・・塗布装置
P3・・・露光装置
P4・・・現像装置
P5・・・ポストベーク装置
RB1〜RB6・・・第一ロボット〜第六ロボット
S・・・ライン制御装置
ULD・・・搬出装置
Z1〜Z6・・・第一ゾーン〜第六ゾーン
Claims (3)
- 少なくとも、複数種のプロセス処理装置及び検査装置、搬入装置及び搬出装置が設けられ、上記各装置間を連結する搬送装置又は移載装置、及びライン制御装置を備え、複数のガラス基板を順次に上記搬入装置から搬入し、上記複数種のプロセス処理装置及び検査装置にて順次に搬送されるガラス基板に各プロセス処理及び各検査を連続して行う液晶表示装置用カラーフィルタの製造ラインを用い、ガラス基板上にカラーフィルタを構成するパターンを形成する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
1)前記製造ライン内でのガラス基板の所要時間を監視するため、製造ラインを複数のゾーンに区分し、
2)該ゾーン内でガラス基板が滞留しても不良とならない時間を許容時間として予めゾーン毎に設定しておき、
3)前記ライン制御装置は、ゾーン毎のガラス基板の所要時間を監視し、ガラス基板の所要時間が、上記許容時間を越えた際には、前記複数種の検査装置の内、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をし、
4)全数検査に切替えた検査装置は、当該ゾーンに滞留するガラス基板を全数検査して当該ガラス基板の良否判定を行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を前記搬出装置にて回収することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。 - 前記複数種のプロセス処理装置が、洗浄装置、塗布装置、露光装置、現像装置、及びポストベーク装置で構成され、この順序に設けられている製造ラインを用いたことを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
- 前記複数種の検査装置が、塗布膜の検査を行う複数の検査装置と、着色画素の検査を行う複数の検査装置で構成され、該両複数の検査装置は全数検査又は抜取検査を行うことを特徴とする請求項2記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
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