JP4765899B2 - ガラス基板の移載装置 - Google Patents

Description

本発明は、製造ラインにおける基板の移載装置に関するものであり、特に、液晶表示装置用カラーフィルタの製造ラインにて、ガラス基板の種別毎にカセットを区別して収納する移載装置であっても、カセットポート個数を低減して移載装置の大型化を抑え、初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストの増大を抑制する移載装置に関する。

図７は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図８は、図７に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図７、及び図８に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ（４）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図７、及び図８はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。

液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。

ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。

このブラックマトリックスの形成は、クロム成膜の処理ラインを用いてガラス基板（４０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯ_X ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、ブラックマトリックスの処理ラインを用いて、例えば、ポジ型のフォトレジストのエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Ｃｒ、ＣｒＯ_X などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（４０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。

また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、着色画素の処理ラインを用いて、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜（４３）の形成は、透明導電膜の処理ラインを用いて、着色画素が形成
されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。

図７、及び図８に示すカラーフィルタ（４）は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーＴＶ、ノート型ＰＣなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。

図７に示すカラーフィルタに追加される機能としては、例えば、保護層、フォトスペーサー、配向制御用突起、光路調整層、光散乱層などがあげられる。これら諸機能の内、そのカラーフィルタの用途、仕様にもとづき１機能或いは複数の機能が図７に示すカラーフィルタに追加される。

図９は、前記各種の処理ラインの内、着色画素の処理ラインの一例を示す説明図である。図９に例示する着色画素の処理ライン（１０）は、洗浄装置（１２）、塗布装置（１３）、膜厚／ムラ検査装置（１４）、露光装置（１５）、現像装置（１６）、ポストベーク装置（１７）、検査装置（１８）などの加工装置（Ｋ）と、搬入装置（ＬＤ）及び搬出装置（移載装置）（ＵＬＤ）で構成されている。
尚、ガラス基板は図示していないが、ガラス基板の動線を実線矢印で表している。

図９に示すように、ガラス基板は、搬入装置（ＬＤ）から洗浄装置（１２）へ搬入され、洗浄装置（１２）にて洗浄処理が施される。次に、洗浄装置（１２）から塗布装置（１３）へ搬送され、塗布装置（１３）にてフォトレジストが塗布される。塗布後に膜厚／ムラ検査装置（１４）へ搬送され、フォトレジストの塗膜の検査が行われる。

続いて、露光装置（１５）での露光、現像装置（１６）での現像、ポストベーク装置（１７）でのポストベーク、検査装置（１８）での検査が施され、パターンが形成されたガラス基板は、検査装置（１８）から搬出装置（移載装置）（ＵＬＤ）へと搬出される。
フォトレジストの塗布後に行われる膜厚／ムラ検査装置（１４）は、例えば、光学式非接触の膜厚検査と、マクロ画像を撮像するムラ検査を行うものであり、着色画素の処理ライン内に組み込まれた、所謂、インラインの検査装置である。また、検査装置（１８）は、例えば、外観検査装置であり、形成されたパターンの検査を行う。

図１０は、図９に示すガラス基板の搬出装置（移載装置）（ＵＬＤ）を拡大して示す平面図である。図１０に示すように、ガラス基板の移載装置（ＵＬＤ）は、ガラス基板を収納するカセット（ＣＳ）を載置するカセットポート（ＣＳＰ）と、処理が施されたガラス基板をカセット（ＣＳ）に収納する搬送ロボット（Ｒ）で構成されている。カセットポート（ＣＳＰ）は３個の例であり、各々にはカセット（ＣＳ）が載置されている状態が示されている。

搬送ロボット（Ｒ）は、例えば、上下移動軸に旋回軸、及び水平アームを取り付けた構造であり、搬送ロボット（Ｒ）は、走行装置（図示せず）に搭載され図１０中、点線矢印で示すように、３個のカセットポート（ＣＳＰ）間を移動できるようになっている。

加工装置（Ｋ）により処理が施され、検査装置（１８）による外観検査が終了したガラス基板は、搬送ロボット（Ｒ）によって順次にカセット（ＣＳ）に収納される。
カセット（ＣＳ）へのガラス基板の収納は、例えば、図１０中、上方のカセットポート（ＣＳＰ）上に載置されたカセット（ＣＳ）から、下方のカセットポート（ＣＳＰ）上に載
置されたカセット（ＣＳ）への順序とし、上方のカセット（ＣＳ）がガラス基板で充填されると下方のカセット（ＣＳ）への収納が開始される。
ガラス基板で充填された上方のカセット（ＣＳ）は、移載装置（ＵＬＤ）外へ回収され、空のカセット（ＣＳ）が上方のカセットポート（ＣＳＰ）上に供給される。

さて、近年、前記検査装置（１８）によるガラス基板の外観検査の結果を、例えば、Ａ、Ｂ、Ｃの３水準に種別し、この種別（種別Ａ、種別Ｂ、種別Ｃ）毎に収納するカセットを区別してガラス基板を収納するといった移載方法が採用されるようになってきた。
図１１は、ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置（ＵＬＤ）の一例を示す平面図である。この移載装置（ＵＬＤ）は、ガラス基板の種別が３種別である場合に対応した移載装置の例である。

図１１に示すように、この移載装置（ＵＬＤ）は、ガラス基板を収納するカセット（ＣＳ）を載置する６個のカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ６）と、処理が施されたガラス基板をカセット（ＣＳ）に収納する搬送ロボット（Ｒ）で構成されている。搬送ロボット（Ｒ）は、図１１中、点線矢印で示すように、６個のカセットポート（ＣＳＰ）間を移動できるようになっている。

６個のカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ６）の内、２個のカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ２）は、予め、種別Ａに対応したカセットポートとして設定されている。他の２個のカセットポート（ＣＳＰ３〜ＣＳＰ４）は、種別Ｂに対応したカセットポートとして、また残る２個のカセットポート（ＣＳＰ５〜ＣＳＰ６）は、種別Ｃに対応したカセットポートとして設定されている。

加工装置（Ｋ）により処理が施され、検査装置（１８）による外観検査が終了したガラス基板は、搬送ロボット（Ｒ）によってカセット（ＣＳ）に収納されるのであるが、外観検査の結果がＡ水準である種別Ａのガラス基板は、種別Ａのカセットポートとして設定されたカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ２）上に載置されている、例えば、カセットポート（ＣＳＰ１）上のカセット（ＣＳ）に収納されるようになっている。

同様に、外観検査の結果が種別Ｂのガラス基板は、種別Ｂのカセットポートとして設定されたカセットポート（ＣＳＰ３〜ＣＳＰ４）上に載置されている、例えば、カセットポート（ＣＳＰ３）上のカセット（ＣＳ）に収納され、また、種別Ｃのガラス基板は、種別Ｃのカセットポートとして設定されたカセットポート（ＣＳＰ５〜ＣＳＰ６）上に載置されている、例えば、カセットポート（ＣＳＰ５）上のカセット（ＣＳ）に収納されるようになっている。

移載装置（ＵＬＤ）には、各種別毎に２個のカセットポート（ＣＳＰ）が設けられている。これは、加工装置（Ｋ）のガラス基板の処理能力に対し、カセット（ＣＳ）を回収・供給する処理能力が小さいために設けられている。

ガラス基板が充填されたカセットは、あるタイミングでカセットポート（ＣＳＰ）から回収され、空のカセットが当該カセットポート（ＣＳＰ）に供給されるのであるが、加工装置（Ｋ）が１枚のガラス基板を処理する時間よりも、カセット（ＣＳ）にガラス基板が充填されてから、カセット（ＣＳ）を回収し次のカセット（ＣＳ）を供給するまでの時間の方が長いために、カセットの供給が間に合わず、加工装置（Ｋ）が一時停止してしまうのを回避するためである。
尚、前記膜厚／ムラ検査装置（１４）による検査結果が不良のガラス基板は、露光装置（１５）に搬送されずに、膜厚／ムラ検査装置（１４）と露光装置（１５）の間で加工装置（Ｋ）から排出されることが多い。

上述するように、ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置（ＵＬＤ）は、種別数の増加に伴い、カセットポート（ＣＳＰ）の個数が増加し、移載装置（ＵＬＤ）の大型化を招くことになる。
移載装置（ＵＬＤ）の大型化は、初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストが増大するといった問題を引き起こしている。

また、カセットポート（ＣＳＰ）の個数が増加により、搬送ロボット（Ｒ）の移動に要する所要時間が長くなり、搬送ロボット（Ｒ）の処理能力が低下することも懸念される。一方この所要時間を長くさせないために、例えば、搬送ロボット（Ｒ）の移動速度を高速にした際には、高速に伴う搬送ロボット（Ｒ）の安定性の低下が懸念されている。
特開平８−２２９５１８号公報

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置（ＵＬＤ）において、ガラス基板の種別数が増加しても、上記のように（種別数×２）個のカセットポート（ＣＳＰ）を設けることのない、すなわち、ガラス基板の種別数が増加してもカセットポート（ＣＳＰ）個数を（種別数×２）個よりも低減させ、移載装置の大型化を抑制したガラス基板の移載装置を提供することを課題とするものである。

これにより、ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置であっても、移載装置の大型化に伴う初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストの増大を抑制することが可能となる。
また、搬送ロボット（Ｒ）の処理能力の低下、或いは搬送ロボット（Ｒ）の安定性の低下を回避することが可能となる。

本発明は、ガラス基板を加工装置からカセットに収納する際に、ガラス基板の種別毎に、当該種別に設定されたカセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納するガラス基板の移載装置において、
Ｉ）前記移載装置には、（種別数＋１）個の複数個のカセットポートが設けられており、ＩＩ）前記移載装置は、Ａ）前記複数個のカセットポートを種別が設定されていない状態にし、
Ｂ）ガラス基板が搬送されてきた際に、１）ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが未だない場合には、
ａ）該ガラス基板の種別に準じて、複数個のカセットポート内で未だ種別が設定されていないカセットポートの１個を当該種別のカセットポートに設定し、以後、ガラス基板の種別毎に未だ種別が設定されていないカセットポートの１個を当該種別のカセットポートに設定する処理を繰り返し、
ｂ）搬送ロボットは、当該種別に設定された該カセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納し、
２）ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが既にある場合には、搬送ロボットは、該当する種別に設定されたカセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納し、
Ｃ）いずれかのカセットポート上に載置されたカセットがガラス基板で充填された際には、該カセットは回収され、該カセットポートの種別の設定を解除し、該カセットポート上に空のカセットが種別が設定されていない状態にて供給されるまでの間に、カセットポート上の未だ種別が設定されていないカセットを前記回収されたカセットの種別に設定する、
機能を具備することを特徴とするガラス基板の移載装置である。

本発明は、移載装置には、（種別数＋１）個の複数個のカセットポートが設けられており、１）複数個のカセットポートを種別が設定されていない状態にし、
２）ガラス基板が搬送されてきた際に、ａ）ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが未だない場合には、ガラス基板の種別に準じて、複数個のカセットポート内で未だ種別が設定されていないカセットポートの１個を当該種別のカセットポートに設定し、以後、ガラス基板の種別毎に未だ種別が設定されていないカセットポートの１個を当該種別のカセットポートに設定する処理を繰り返し、搬送ロボットは、当該種別に設定された該カセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納し、
ｂ）ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが既にある場合には、搬送ロボットは、該当する種別に設定されたカセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納し、３）いずれかのカセットポート上に載置されたカセットがガラス基板で充填された際には、該カセットは回収され、該カセットポートの種別の設定を解除し、該カセットポート上に空のカセットが種別が設定されていない状態にて供給されるまでの間に、カセットポート上の未だ種別が設定されていないカセットを前記回収されたカセットの種別に設定するガラス基板の移載装置であるので、ガラス基板の種別数が増加してもカセットポート個数を低減させ、移載装置の大型化を抑制したガラス基板の移載装置となる。

これにより、移載装置の大型化に伴う初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストの増大を抑制することが可能となる。また、搬送ロボットの処理能力の低下、或いは搬送ロボットの安定性の低下を回避することが可能となる。

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明によるガラス基板の移載装置の一実施例を示す平面図である。
図１に示すように、本発明によるガラス基板の移載装置（ＵＬＤ−２）は、ガラス基板を収納するカセット（ＣＳ）を載置するカセットポート（ＣＳＰ）と、処理が施されたガラス基板をカセット（ＣＳ）に収納する搬送ロボット（Ｒ）で構成されている。カセットポートは４個（ＣＳＰ１１〜ＣＳＰ１４）の例である。すなわち、この実施例は、ガラス基板の種別が３種別に対応した移載装置である。各々にはカセット（ＣＳ）が載置されている状態が示されている。

搬送ロボット（Ｒ）は、例えば、上下移動軸に旋回軸、及び水平アームを取り付けた構造であり、搬送ロボット（Ｒ）は、走行装置（図示せず）に搭載され図１０中、点線矢印で示すように、４個のカセットポート（ＣＳＰ１１〜ＣＳＰ１４）間を移動できるようになっている。

また、本発明によるガラス基板の移載装置（ＵＬＤ−２）は、４個のカセットポートを種別が設定されていない状態にする機能を有している。また、ガラス基板が搬送されてきた際に、ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが未だない場合には、ガラス基板の種別に準じて、４個のカセットポート内で未だ種別が設定されていないカセットポートの１個を当該種別のカセットポートに設定し、搬送ロボットは、当該種別に設定されたカセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納する機能を有している。

また、ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが既にある場合には、搬送ロボットは、該当する種別に設定されたカセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納する機能、及び、いずれかのカセットポート上に載置されたカセットがガラス基板で充填された際には、そのカセットはカセットポートから回収され、そのカセットポートの種別の設定を解除し、そのカセットポート上に空のカセットが供給される機能を有している。

本発明によるガラス基板の移載装置（ＵＬＤ−２）の動作について、以下に、ガラス基板の種別が種別Ａ、種別Ｂ、種別Ｃの３種別であり、加工装置から搬送されてくる１枚目のガラス基板が種別Ａ、２枚目が種別Ｂ、３枚目が種別Ｃであり、４枚目以降のガラス基板の種別の順序は不規則であり、このロットの前段においては種別Ａの占める割合が高い場合、をモデルにして説明をする。

図１に示すガラス基板の移載装置（ＵＬＤ−２）は、４個のカセットポートの全てのカセットポートにおいて、その種別の設定は既に解除され、いずれのカセットポートも種別の設定がされていない状態を表している（符号ＣＳＰ１１〜ＣＳＰ１４）。

先ず、図２に示すように、１枚目のガラス基板（種別Ａ）が、加工装置から搬送されてきた際に、１枚目のガラス基板の種別Ａに該当する種別（種別Ａ）に設定されたカセットポートはないので、移載装置は、４個のカセットポート内、例えば、カセットポート（ＣＳＰ１１）を種別Ａに設定する。
搬送ロボット（Ｒ）は、１枚目のガラス基板（種別Ａ）を種別Ａに設定されたカセットポート（ＣＳＰ１１）上に載置されたカセット（ＣＳ１１）に収納する。符号ＣＳＰ１１（Ａ）は、種別Ａに設定されたカセットポートを表し、符号ＣＳ１１（Ａ）は、種別Ａのガラス基板が収納されたカセットを表している。

次に、図３に示すように、２枚目のガラス基板（種別Ｂ）が、加工装置から搬送されてきた際に、２枚目のガラス基板の種別Ｂに該当する種別（種別Ｂ）に設定されたカセットポートはないので、移載装置は、未だ種別が設定されていない３個のカセットポート内、例えば、カセットポート（ＣＳＰ１２）を種別Ｂに設定する。
搬送ロボット（Ｒ）は、２枚目のガラス基板（種別Ｂ）を種別Ｂに設定されたカセットポート（ＣＳＰ１２）上に載置されたカセット（ＣＳ１２）に収納する。
符号ＣＳＰ１２（Ｂ）は、種別Ｂに設定されたカセットポートを表し、符号ＣＳ１２（Ｂ）は、種別Ｂのガラス基板が収納されたカセットを表している。

次に、図４に示すように、３枚目のガラス基板（種別Ｃ）が、加工装置から搬送されてきた際に、３枚目のガラス基板の種別Ｃに該当する種別（種別Ｃ）に設定されたカセットポートはないので、移載装置は、未だ種別が設定されていない２個のカセットポート内、例えば、カセットポート（ＣＳＰ１３）を種別Ｃに設定する。
搬送ロボット（Ｒ）は、３枚目のガラス基板（種別Ｃ）を種別Ｃに設定されたカセットポート（ＣＳＰ１３）上に載置されたカセット（ＣＳ１３）に収納する。
符号ＣＳＰ１３（Ｃ）は、種別Ｃに設定されたカセットポートを表し、符号ＣＳ１３（Ｃ）は、種別Ｃのガラス基板が収納されたカセットを表している。

この段階で、ガラス基板の種別Ａ、種別Ｂ、種別Ｃに対応した種別が設定されたカセットポート（ＣＳＰ１１（Ａ）、ＣＳＰ１２（Ｂ）、ＣＳＰ１３（Ｃ））が揃い、各カセットポート上に載置された各カセットには該当するガラス基板が１枚づつ収納されている。尚、カセットポート（ＣＳＰ１４）は、未だ種別が設定されていない状態にある。

次に、図５に示すように、ある時間が経過すると、このロットの前段においては種別Ａの占める割合が高いので、カセットポート（ＣＳＰ１１（Ａ））上に載置されているカセット（ＣＳ１１（Ａ））は、ガラス基板が充填された状態になる。ガラス基板が充填されたカセット（ＣＳ１１（Ａ））は、カセットポート（ＣＳＰ１１（Ａ））から移載装置（ＵＬＤ）外へ回収される。
また、種別Ａに設定されていたカセットポート（ＣＳＰ１１（Ａ））の設定は解除され、種別が設定されていない状態のカセットポート（ＣＳＰ１１）に戻る。

次に、図６に示すように、このカセットポート（ＣＳＰ１１）には、空のカセット（ＣＳ２１）が供給される。カセット（ＣＳ１１（Ａ））がガラス基板で充填された状態になってから、移載装置外へ回収され空のカセット（ＣＳ２１）が供給されるまでの間に、このロットの前段においては種別Ａの占める割合が高いために、加工装置から搬送されてくるガラス基板の種別は、種別Ａである可能性が高く、カセットポート（ＣＳＰ１４）は種別Ａに設定され（ＣＳＰ１４（Ａ））、カセット（ＣＳ１４）には種別Ａのガラス基板が収納される（カセット（ＣＳ１４（Ａ））。

この段階で、カセットポート（ＣＳＰ１１）は、未だ種別が設定されていない状態であり、カセット（ＣＳ２１）にはガラス基板は収納されていない。つまり、カセットポート（ＣＳＰ１１）は、次に回収されるカセットを載置しているカセットポートの種別に設定されることになる。

上記のように、本発明によるガラス基板の移載装置は、カセットポートが（種別数＋１）の複数個であっても、ガラス基板の種別を区別したカセットへの収納を連続して行うことが可能となる。

本発明によるガラス基板の移載装置の一実施例を示す平面図である。 カセットポート（ＣＳＰ１１）が種別Ａに設定され、カセット（ＣＳ１１）に種別Ａのガラス基板が収納された説明図である。 カセットポート（ＣＳＰ１２）が種別Ｂに設定され、カセット（ＣＳ１２）に種別Ｂのガラス基板が収納された説明図である。 カセットポート（ＣＳＰ１３）が種別Ｃに設定され、カセット（ＣＳ１３）に種別Ｃのガラス基板が収納された説明図である。 ガラス基板が充填されたカセット（ＣＳ１１（Ａ））が移載装置外へ回収される説明図である。 カセットポート（ＣＳＰ１１）に空のカセットが供給される説明図である。 液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。 図７に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。 着色画素の処理ラインの一例を示す説明図である。 図９に示すガラス基板の搬出装置（移載装置）を拡大して示す平面図である。 ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置の一例を示す平面図である。

符号の説明

４・・・カラーフィルタ
１０・・・着色画素の処理ライン
１２・・・洗浄装置
１３・・・塗布装置
１４・・・膜厚／ムラ検査装置
１５・・・露光装置
１６・・・現像装置
１７・・・ポストベーク装置
１８・・・検査装置
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４２・・・着色画素
４３・・・透明導電膜
ＣＳ・・・カセット
ＣＳ１１（Ａ）・・・種別Ａのガラス基板が収納されたカセット
ＣＳ１２（Ｂ）・・・種別Ｂのガラス基板が収納されたカセット
ＣＳ１３（Ｃ）・・・種別Ｃのガラス基板が収納されたカセット
ＣＳＰ・・・カセットポート
ＣＳＰ１１（Ａ）・・・種別Ａに設定されたカセットポート
ＣＳＰ１２（Ｂ）・・・種別Ｂに設定されたカセットポート
ＣＳＰ１３（Ｃ）・・・種別Ｃに設定されたカセットポート
Ｋ・・・加工装置
ＬＤ・・・搬入装置
Ｒ・・・搬送ロボット
ＵＬＤ・・・搬出装置（移載装置）
ＵＬＤ−２・・・本発明による移載装置

Claims (1)

1. ガラス基板を加工装置からカセットに収納する際に、ガラス基板の種別毎に、当該種別に設定されたカセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納するガラス基板の移載装置において、
   Ｉ）前記移載装置には、（種別数＋１）個の複数個のカセットポートが設けられており、ＩＩ）前記移載装置は、Ａ）前記複数個のカセットポートを種別が設定されていない状態にし、
   Ｂ）ガラス基板が搬送されてきた際に、１）ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが未だない場合には、
   ａ）該ガラス基板の種別に準じて、複数個のカセットポート内で未だ種別が設定されていないカセットポートの１個を当該種別のカセットポートに設定し、以後、ガラス基板の種別毎に未だ種別が設定されていないカセットポートの１個を当該種別のカセットポートに設定する処理を繰り返し、
   ｂ）搬送ロボットは、当該種別に設定された該カセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納し、
   ２）ガラス基板の種別に該当する種別に設定されたカセットポートが既にある場合には、搬送ロボットは、該当する種別に設定されたカセットポート上に載置されたカセットにガラス基板を収納し、
   Ｃ）いずれかのカセットポート上に載置されたカセットがガラス基板で充填された際には、該カセットは回収され、該カセットポートの種別の設定を解除し、該カセットポート上に空のカセットが種別が設定されていない状態にて供給されるまでの間に、カセットポート上の未だ種別が設定されていないカセットを前記回収されたカセットの種別に設定する、
   機能を具備することを特徴とするガラス基板の移載装置。

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