JP2009282100A - カラーフィルタ製造ラインシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】カセットポートの数を減少させ、製造ラインが占めるクリーンルーム内での空スペースの比率を低減させ、建設及び運用コストの増大を回避する、カセットの供給に起因する処理ラインの一時停止が発生しないカラーフィルタ製造ラインシステム。
【解決手段】基板判定装置RB−2は基板仮置き装置BFを備え、基板回収装置の時間当たりのガラス基板の処理能力をプロセス装置P−2の処理能力より大とし、基板回収装置に2個のカセットポートCSPを設け、カセットCSが満たされた際に、該カセットポートと収納判定されたガラス基板を待機・蓄積BFさせ、空のカセットが供給された際に、待機・蓄積させたガラス基板を優先してカセットポート上のカセットに収納させる、ガラス基板の管理システムが備えられている。
【選択図】図3
【解決手段】基板判定装置RB−2は基板仮置き装置BFを備え、基板回収装置の時間当たりのガラス基板の処理能力をプロセス装置P−2の処理能力より大とし、基板回収装置に2個のカセットポートCSPを設け、カセットCSが満たされた際に、該カセットポートと収納判定されたガラス基板を待機・蓄積BFさせ、空のカセットが供給された際に、待機・蓄積させたガラス基板を優先してカセットポート上のカセットに収納させる、ガラス基板の管理システムが備えられている。
【選択図】図3
Description
本発明は、カラーフィルタ製造ラインが占めるクリーンルーム内での空スペース比率の低減、並びにガラス基板を収納するカセットの供給に関するものであり、特に、カセットポートの数を1個減少させ、クリーンルームの初期建設コスト及び運用コストの増大を回避したカラーフィルタ製造ラインシステム、並びにカセットポートの数を1個減少させても、カセットの供給に起因するラインの一時停止を発生させないカラーフィルタ製造ラインシステムに関する。
液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜、フォトスペーサー、配向制御用突起、を順次に位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックスは遮光性を有し、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。このブラックマトリックスの形成は、例えば、ブラックマトリックスの処理ラインにより黒色感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。
また、着色画素は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、着色画素の処理ラインを用いて、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜の形成は、透明導電膜の処理ラインを用いて、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜の形成は、透明導電膜の処理ラインを用いて、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
また、フォトスペーサー、及び配向制御用突起の形成は、上記ブラックマトリックス、或いは着色画素の処理ラインと同様な処理ラインを用い、フォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。
図1は、前記各種の処理ラインの内、着色画素の処理ラインの一例を示す説明図である。図1に例示する着色画素の処理ラインは、塗布装置(11)、露光装置(12)、現像装置(13)、焼成装置(14)、検査装置(15)、基板判定装置(RB)などのプロセス装置(P)と、基板投入装置(LD)及び基板回収装置(ULD)で構成されている。
尚、ガラス基板は図示していないが、ガラス基板の動線を実線矢印で表している。
尚、ガラス基板は図示していないが、ガラス基板の動線を実線矢印で表している。
図1に示すように、ガラス基板は、基板投入装置(LD)から投入され搬送装置により塗布装置(11)へ搬送され、塗布装置にてフォトレジストが塗布される。続いて、露光装置(12)での露光、現像装置(13)での現像、焼成装置(14)での焼成、検査装置(15)での検査が施され、パターンが形成されたガラス基板は、基板判定装置(RB)から基板回収装置(ULD)へと回収される。
図2は、図1に示す、着色画素の処理ラインの一例における基板投入装置(LD)と基板回収装置(ULD)の配置を説明する平面図である。図2に示すように、処理ラインの基板投入装置(LD)は、カセット(CS)を載置するカセットポート(CSP)と、カセット(CS)からガラス基板をプロセス装置(P)へ投入するロボット(R1)で構成されている。
カセットポート(CSP)は、ガラス基板をプロセス装置(P)へ連続して投入できるように、2個設けられており、各々にカセット(CS)が載置された状態が示されている。
カセットポート(CSP)は、ガラス基板をプロセス装置(P)へ連続して投入できるように、2個設けられており、各々にカセット(CS)が載置された状態が示されている。
基板投入装置(LD)のカセットポート(CSP)には、着色画素の形成処理を行うガラス基板が収納されたカセット(CS)が供給され、また、カセットポート(CSP)からは、ガラス基板がプロセス装置(P)へ投入されて空となったカセット(CS)が回収される。
また、処理ラインの基板回収装置(ULD)は、カセット(CS)を載置するカセットポート(CSP)と、処理が施されたガラス基板をカセット(CS)に収納するロボット(R2)で構成されている。
カセットポート(CSP)は3個設けられている。第1カセットポート(CSP1)には、処理が施されたガラス基板の内、良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置され、第2カセットポート(CSP2)には、処理が施されたガラス基板の内、不良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置されている状態である。また、第3カセットポート(CSP3)には、予備のカセット(CS)が載置されている。
カセットポート(CSP)は3個設けられている。第1カセットポート(CSP1)には、処理が施されたガラス基板の内、良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置され、第2カセットポート(CSP2)には、処理が施されたガラス基板の内、不良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置されている状態である。また、第3カセットポート(CSP3)には、予備のカセット(CS)が載置されている。
処理が施されたガラス基板は、基板判定装置(RB)によって判定され、第1カセットポート(CSP1)上に載置された、良品のガラス基板を収納するカセット(CS)に収納するか、或いは、第2カセットポート(CSP2)上に載置された、不良品のガラス基板を収納するカセット(CS)に収納するかが振り分けられる。
基板判定装置(RB)は、ガラス基板を、その収納するカセット(CS)に振り分け、基板回収装置(ULD)へと引き渡す、基板判定機能を備えた装置(ロボット)である。
基板判定装置(RB)は、ガラス基板を、その収納するカセット(CS)に振り分け、基板回収装置(ULD)へと引き渡す、基板判定機能を備えた装置(ロボット)である。
第1カセットポート(CSP1)上のカセット(CS)が、良品のガラス基板の収納で満たされた際には、第3カセットポート(CSP3)上に載置されている予備のカセット(CS)が良品のガラス基板の収納するカセット(CS)と設定され、良品のガラス基板は連続して第3カセットポート(CSP3)上のカセット(CS)に収納されるようになっている。
或いは、第2カセットポート(CSP2)上のカセット(CS)が、不良品のガラス基板の収納で満たされた際には、第3カセットポート(CSP3)上に載置されている予備のカセット(CS)が不良品のガラス基板の収納するカセット(CS)と設定され、不良品のガラス基板は連続して第3カセットポート(CSP3)上のカセット(CS)に収納されるようになっている。
或いは、第2カセットポート(CSP2)上のカセット(CS)が、不良品のガラス基板の収納で満たされた際には、第3カセットポート(CSP3)上に載置されている予備のカセット(CS)が不良品のガラス基板の収納するカセット(CS)と設定され、不良品のガラス基板は連続して第3カセットポート(CSP3)上のカセット(CS)に収納されるようになっている。
基板回収装置(ULD)のカセットポート(CSP)には、処理が施されたガラス基板を収納する空のカセット(CS)が供給され、また、カセットポート(CSP)からは、処理が施されたガラス基板が収納されたカセット(CS)が回収される。
上述したような、処理ラインの複数を配置したカラーフィルタ製造ラインにおいては、図2に示すように、プロセス装置(P)の幅(B)よりも、基板投入装置(LD)及び基板回収装置(ULD)の幅(A1、A2)の方が大きくなるために、基板投入装置(LD)及び基板回収装置(ULD)とプロセス装置(P)の間に空スペース(C1、C2)が生じる。
これにより、カラーフィルタ製造ラインが占めるクリーンルーム内での空スペースの比率
が増え、カラーフィルタ製造ラインの初期建設コスト及び運用コストが増大するといった問題を引き起こしている。
これにより、カラーフィルタ製造ラインが占めるクリーンルーム内での空スペースの比率
が増え、カラーフィルタ製造ラインの初期建設コスト及び運用コストが増大するといった問題を引き起こしている。
また、例えば、基板回収装置(ULD)のカセットポート(CSP)への予備のカセット(CS)の供給が間に合わず、処理ラインが一時停止することもあり得るといった状況にある。
特開2004−54014号公報
特開2004−103947号公報
特開2004−109968号公報
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、上述したカラーフィルタ製造ラインにおいて、基板回収装置(ULD)に3個設けられているカセットポート(CSP)の数を2個に減少させることにより、カラーフィルタ製造ラインが占めるクリーンルーム内での空スペースの比率を低減させ、カラーフィルタ製造ラインの初期建設コスト及び運用コストの増大を回避することのできるカラーフィルタ製造ラインシステムを提供することを課題とするものである。
また、本発明は、基板回収装置(ULD)に3個設けられているカセットポート(CSP)の数を2個に減少させても、良品のガラス基板の収納するカセット(CS)に、良品のガラス基板を連続して収納することができ、また、不良品のガラス基板の収納するカセット(CS)に、不良品のガラス基板を連続して収納することができる、すなわち、カセットポート(CSP)へのカセット(CS)の供給に起因する処理ラインの一時停止が発生することのないカラーフィルタ製造ラインシステムを提供することを課題とする。
本発明は、基板投入装置、プロセス装置、及び基板回収装置で構成される処理ラインの複数が配置されたカラーフィルタ製造ラインシステムにおいて、
A)1)前記プロセス装置内の基板判定装置は、ガラス基板を待機・蓄積させる基板仮置き装置を備え、
2)基板回収装置の時間当たりのガラス基板の処理能力を、基板判定装置より前段にあるプロセス装置の処理能力より大きなものとし、
3)基板回収装置に2個のカセットポートを設け、
B)基板判定装置には、1)カセットポート上のカセットがガラス基板で満たされる際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、
2)該カセットがカセットポート上から回収され、空のカセットが当該カセットポート上に供給されると、基板仮置き装置に待機・蓄積させていたガラス基板を優先して当該カセットポート上のカセットに収納させる、ガラス基板の管理システムが備えられていることを特徴とするカラーフィルタ製造ラインシステムである。
A)1)前記プロセス装置内の基板判定装置は、ガラス基板を待機・蓄積させる基板仮置き装置を備え、
2)基板回収装置の時間当たりのガラス基板の処理能力を、基板判定装置より前段にあるプロセス装置の処理能力より大きなものとし、
3)基板回収装置に2個のカセットポートを設け、
B)基板判定装置には、1)カセットポート上のカセットがガラス基板で満たされる際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、
2)該カセットがカセットポート上から回収され、空のカセットが当該カセットポート上に供給されると、基板仮置き装置に待機・蓄積させていたガラス基板を優先して当該カセットポート上のカセットに収納させる、ガラス基板の管理システムが備えられていることを特徴とするカラーフィルタ製造ラインシステムである。
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタ製造ラインシステムにおいて、前記基板判定装置に備えられているガラス基板の管理システムは、
1)基板回収装置のカセットポート上に供給されたカセットの収納可能な現在枚数を確認し、
2)搬送されてきたガラス基板を判定して収納するカセットポートを決定し、
3)当該カセットポートにガラス基板の収納予約を行い、該ガラス基板を基板判定装置から当該カセットポート上のカセットに収納させ、
4)上記1)〜3)を繰り返し行い、
5)当該カセットポートへの収納予約の累計枚数が収納限界枚数になった段階で、当該カセットポートに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、
6)当該カセットポート上の、ガラス基板で満たされたカセットを当該カセットポートから回収させ、また、空のカセットを当該カセットポート上に供給させ、
7)当該カセットポート上に供給させたカセットの収納可能な現在枚数を確認し、
8)当該カセットポートにガラス基板の収納予約を行い、上記基板仮置き装置に待機・蓄積させたガラス基板を、待機・蓄積させた順に基板仮置き装置から当該カセットポート上のカセットに収納させ、
9)上記7)〜8)を繰り返し行い、基板仮置き装置内での当該ガラス基板の全てを当該カセットポート上のカセットに収納させた段階で、当該カセットポートに収納すると判定された以降のガラス基板を、基板判定装置から当該カセットポート上のカセットに収納させることを特徴とするカラーフィルタ製造ラインシステムである。
1)基板回収装置のカセットポート上に供給されたカセットの収納可能な現在枚数を確認し、
2)搬送されてきたガラス基板を判定して収納するカセットポートを決定し、
3)当該カセットポートにガラス基板の収納予約を行い、該ガラス基板を基板判定装置から当該カセットポート上のカセットに収納させ、
4)上記1)〜3)を繰り返し行い、
5)当該カセットポートへの収納予約の累計枚数が収納限界枚数になった段階で、当該カセットポートに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、
6)当該カセットポート上の、ガラス基板で満たされたカセットを当該カセットポートから回収させ、また、空のカセットを当該カセットポート上に供給させ、
7)当該カセットポート上に供給させたカセットの収納可能な現在枚数を確認し、
8)当該カセットポートにガラス基板の収納予約を行い、上記基板仮置き装置に待機・蓄積させたガラス基板を、待機・蓄積させた順に基板仮置き装置から当該カセットポート上のカセットに収納させ、
9)上記7)〜8)を繰り返し行い、基板仮置き装置内での当該ガラス基板の全てを当該カセットポート上のカセットに収納させた段階で、当該カセットポートに収納すると判定された以降のガラス基板を、基板判定装置から当該カセットポート上のカセットに収納させることを特徴とするカラーフィルタ製造ラインシステムである。
本発明は、プロセス装置内の基板判定装置は、ガラス基板を待機・蓄積させる基板仮置き装置を備え、基板回収装置の時間当たりのガラス基板の処理能力を基板判定装置より前段にあるプロセス装置の処理能力より大きなものとし、基板回収装置に2個のカセットポートを設けた処理ラインの複数が配置されたカラーフィルタ製造ラインシステムであるので、クリーンルーム内での空スペースの比率を低減させ、カラーフィルタ製造ラインの初期建設コスト及び運用コストの増大を回避することのできるカラーフィルタ製造ラインシステムとなる。
また、本発明は、基板判定装置には、カセットポート上のカセットがガラス基板で満たされる際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、該カセットがカセットポート上から回収され、空のカセットが当該カセットポート上に供給されると、基板仮置き装置に待機・蓄積させていたガラス基板を優先して当該カセットポート上のカセットに収納させる、ガラス基板の管理システムが備えられているので、良品のガラス基板の収納するカセットに、良品のガラス基板を、処理ラインの処理能力を低下させることなく、連続して収納することができ、また、不良品のガラス基板の収納するカセットに、不良品のガラス基板を連続して収納することができるものとなる。これにより、予備のカセットの個数を削減することが可能となり、また、ストッカーの容積を縮小することができる。
更には、カセットポートへのカセットの供給に起因する処理ラインの一時停止が発生することのないカラーフィルタ製造ラインシステムとなる。
更には、カセットポートへのカセットの供給に起因する処理ラインの一時停止が発生することのないカラーフィルタ製造ラインシステムとなる。
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図3は、本発明による処理ラインの一例における基板投入装置(LD)と基板回収装置(ULD−2)の配置を説明する平面図である。図3に示すように、処理ラインの基板投入装置(LD)は、カセット(CS)を載置するカセットポート(CSP)と、カセット(CS)からガラス基板をプロセス装置(P−2)へ投入するロボット(R1)で構成されている。
カセットポート(CSP)は、ガラス基板をプロセス装置(P−2)へ連続して投入できるように、2個設けられており、各々にカセット(CS)が載置された状態が示されている。
図3は、本発明による処理ラインの一例における基板投入装置(LD)と基板回収装置(ULD−2)の配置を説明する平面図である。図3に示すように、処理ラインの基板投入装置(LD)は、カセット(CS)を載置するカセットポート(CSP)と、カセット(CS)からガラス基板をプロセス装置(P−2)へ投入するロボット(R1)で構成されている。
カセットポート(CSP)は、ガラス基板をプロセス装置(P−2)へ連続して投入できるように、2個設けられており、各々にカセット(CS)が載置された状態が示されている。
基板投入装置(LD)のカセットポート(CSP)には、当該処理を行うガラス基板が収納されたカセット(CS)が供給され、また、カセットポート(CSP)からは、ガラス基板がプロセス装置(P−2)へ投入されて空となったカセット(CS)が回収される。
処理ラインの基板回収装置(ULD−2)は、カセット(CS)を載置するカセットポート(CSP)と、処理が施されたガラス基板をカセット(CS)に収納するロボット(R2)で構成されている。
カセットポート(CSP)は2個設けられている。第1カセットポート(CSP1)には、処理が施されたガラス基板の内、良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置され、第2カセットポート(CSP2)には、処理が施されたガラス基板の内、不良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置されている状態である。本発明における基板回収装置(ULD−2)には、予備のカセット(CS)を載置するためのカセットポートは設けられていない。
カセットポート(CSP)は2個設けられている。第1カセットポート(CSP1)には、処理が施されたガラス基板の内、良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置され、第2カセットポート(CSP2)には、処理が施されたガラス基板の内、不良品のガラス基板を収納するカセット(CS)が載置されている状態である。本発明における基板回収装置(ULD−2)には、予備のカセット(CS)を載置するためのカセットポートは設けられていない。
本発明における基板判定装置(RB−2)は、ガラス基板を待機・蓄積させる基板仮置き装置(BF)を備えている。本発明においては、基板回収装置(ULD−2)には予備のカセット(CS)を載置するカセットポートは設けずに、ガラス基板で満たされたカセット(CS)をカセットポートから回収し、空のカセットをカセットポート上に供給するまでの間に、収納が予定されるガラス基板の待機・蓄積のための基板仮置き装置(BF)を基板判定装置(RB−2)に設けたものである。
図3に示すように、本発明における処理ラインの基板回収装置(ULD−2)は、カセットポートの個数を2個としたために、基板回収装置(ULD−2)の幅(A2’)は、図2に示す基板回収装置(ULD)の幅(A2)よりも小さくなり、カラーフィルタ製造ラインが占めるクリーンルーム内での空スペースの比率が減少し、カラーフィルタ製造ラインの初期建設コスト及び運用コストを低減させることができる。
また、本発明においては、基板仮置き装置(BF)にガラス基板を待機・蓄積させるといった手法を採用しても、処理ラインの処理能力を低下させず、維持させるために、基板回収装置(ULD−2)の時間当たりのガラス基板の処理能力を、基板判定装置(RB−2)より前段にあるプロセス装置(P−2)の処理能力より大きなものとしている。
これにより、空のカセットをカセットポート上に供給するまでの間、基板仮置き装置(BF)内に待機・蓄積させたガラス基板は、空のカセットが供給された際に、基板判定装置(RB−2)に搬送されてくるガラス基板よりも、短い時間でカセット(CS)に収納され、基板仮置き装置(BF)内の全てのガラス基板がカセット(CS)に収納される、相応の所要時間後には、継続して基板判定装置(RB−2)に搬送されてくるガラス基板が直接にカセット(CS)に収納されるようにしている。
処理が施されたガラス基板は、基板判定装置(RB−2)によって判定され、第1カセットポート(CSP1)上に載置された、良品のガラス基板を収納するカセット(CS)に収納するか、或いは、第2カセットポート(CSP2)上に載置された、不良品のガラス基板を収納するカセット(CS)に収納するかが振り分けられる。
基板判定装置(RB−2)は、ガラス基板を、その収納するカセット(CS)に振り分け、基板回収装置(ULD)へと引き渡す、基板判定機能を備えた装置(ロボット)であるが、基板判定装置(RB−2)には基板仮置き装置(BF)が備えられ、更に、基板判定装置(RB−2)にはガラス基板の管理システムが備えられている。
基板判定装置(RB−2)は、ガラス基板を、その収納するカセット(CS)に振り分け、基板回収装置(ULD)へと引き渡す、基板判定機能を備えた装置(ロボット)であるが、基板判定装置(RB−2)には基板仮置き装置(BF)が備えられ、更に、基板判定装置(RB−2)にはガラス基板の管理システムが備えられている。
ガラス基板の管理システムは、カセットポート上のカセットがガラス基板で満たされた
際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、また、該カセットがカセットポート上から回収され、空のカセットが当該カセットポート上に供給されると、基板仮置き装置に待機・蓄積させていたガラス基板を優先して当該カセットポート上のカセットに収納させるシステムである。
際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、また、該カセットがカセットポート上から回収され、空のカセットが当該カセットポート上に供給されると、基板仮置き装置に待機・蓄積させていたガラス基板を優先して当該カセットポート上のカセットに収納させるシステムである。
図4は、図3に例示する基板判定装置(RB−2)の側面図である。図4中、符号(CV1)は、基板判定装置(RB−2)より前段にあるプロセス装置と基板判定装置(RB−2)との間の基板搬送装置を表し、また、符号(CV2)は、基板判定装置(RB−2)と基板回収装置(ULD−2)との間の基板搬送装置を表している。
図4(a)は、搬送されてきたガラス基板(G(i))を基板判定装置(RB−2)で判定して収納するカセットポートが決定され、ガラス基板(G(i))は当該カセットポートへと搬送されている状態を示したものである。
また、図4(b)は、カセットポート上のカセットがガラス基板で満たされた際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された、以降のガラス基板(G(i+1)〜)を基板仮置き装置(BF)内に待機・蓄積させている状態を示したものである。
また、図4(b)は、カセットポート上のカセットがガラス基板で満たされた際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された、以降のガラス基板(G(i+1)〜)を基板仮置き装置(BF)内に待機・蓄積させている状態を示したものである。
空のカセットが当該カセットポート上に供給されると、この基板仮置き装置(BF)内に待機・蓄積させたガラス基板(G(i+1)〜)は、待機・蓄積させた順に基板仮置き装置(BF)から当該カセットポート上のカセットに収納される。
基板回収装置(ULD−2)の第1カセットポート(CSP1)には、処理が施されたガラス基板を収納する空のカセット(CS)が供給され、また、このカセット(CS)が良品のガラス基板の収納で満たされた際には、第1カセットポート(CSP1)から、処理が施されたガラス基板が収納されたカセット(CS)が回収される。
第2カセットポート(CSP2)には、処理が施されたガラス基板を収納する空のカセット(CS)が供給され、また、このカセット(CS)が不良品のガラス基板の収納で満たされた際には、第2カセットポート(CSP2)から、処理が施されたガラス基板が収納されたカセット(CS)が回収される。
第2カセットポート(CSP2)には、処理が施されたガラス基板を収納する空のカセット(CS)が供給され、また、このカセット(CS)が不良品のガラス基板の収納で満たされた際には、第2カセットポート(CSP2)から、処理が施されたガラス基板が収納されたカセット(CS)が回収される。
本発明における基板判定装置(RB−2)に備えられているガラス基板の管理システムは、基板回収装置(ULD−2)のカセットポート上に供給されたカセットの収納可能な現在枚数を確認する。カセットポートが第1カセットポート(CSP1)の場合、搬送されてきたガラス基板を良品と判定した際に、収納するカセットポートを第1カセットポート(CSP1)と決定し、第1カセットポート(CSP1)にガラス基板の収納予約を行い、このガラス基板を基板判定装置から第1カセットポート(CSP1)上のカセット(CS)に収納させる。
第1カセットポート(CSP1)への収納予約の累計枚数が収納限界枚数になった段階で、第1カセットポート(CSP1)に収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置(BF)に待機・蓄積させる。
第1カセットポート(CSP1)上の、ガラス基板で満たされたカセットを第1カセットポート(CSP1)から回収させ、また、空のカセットを第1カセットポート(CSP1)上に供給させる。
第1カセットポート(CSP1)上の、ガラス基板で満たされたカセットを第1カセットポート(CSP1)から回収させ、また、空のカセットを第1カセットポート(CSP1)上に供給させる。
第1カセットポート(CSP1)上に供給させたカセットの収納可能な現在枚数を確認し、第1カセットポート(CSP1)にガラス基板の収納予約を行い、上記基板仮置き装置に待機・蓄積させたガラス基板を、待機・蓄積させた順に基板仮置き装置から当該カセットポート上のカセットに収納させる。
基板仮置き装置(BF)内での当該ガラス基板の全てを第1カセットポート(CSP1)上のカセットに収納させた段階で、継続して、第1カセットポート(CSP1)に収納すると判定された以降のガラス基板を、基板判定装置(RB−2)から第1カセットポート(CSP1)上のカセットに収納させる管理システムである。
また、カセットポートが第2カセットポート(CSP2)の場合、搬送されてきたガラス基板を不良品と判定した際に、収納するカセットポートを第2カセットポート(CSP2)と決定し、第2カセットポート(CSP2)にガラス基板の収納予約を行い、このガラス基板を基板判定装置から第2カセットポート(CSP2)上のカセット(CS)に収納させる。
第2カセットポート(CSP2)への収納予約の累計枚数が収納限界枚数になった段階で、第2カセットポート(CSP2)に収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置(BF)に待機・蓄積させる。
第2カセットポート(CSP2)上の、ガラス基板で満たされたカセットを第2カセットポート(CSP2)から回収させ、また、空のカセットを第2カセットポート(CSP2)上に供給させる。
以降、カセットポートが第1カセットポート(CSP1)の場合と同様にして、ガラス基板の不良品の管理が行われる。
第2カセットポート(CSP2)上の、ガラス基板で満たされたカセットを第2カセットポート(CSP2)から回収させ、また、空のカセットを第2カセットポート(CSP2)上に供給させる。
以降、カセットポートが第1カセットポート(CSP1)の場合と同様にして、ガラス基板の不良品の管理が行われる。
上述のように、本発明における基板回収装置に3個設けられているカセットポート(CSP)の数を2個に減少させても、良品のガラス基板の収納するカセット(CS)に、良品のガラス基板を、処理ラインの処理能力を低下させることなく、連続して収納することができ、また、不良品のガラス基板を収納するカセット(CS)に、不良品のガラス基板を連続して収納することができるものとなる。これにより、予備のカセットの個数を削減することが可能となり、また、ストッカーの容積を縮小することができる。
更には、カセットポートへのカセットの供給に起因する処理ラインの一時停止が発生することのないカラーフィルタ製造ラインシステムとなる。
更には、カセットポートへのカセットの供給に起因する処理ラインの一時停止が発生することのないカラーフィルタ製造ラインシステムとなる。
11・・・塗布装置
12・・・露光装置
13・・・現像装置
14・・・焼成装置
15・・・検査装置
BF・・・基板仮置き装置
CS・・・カセット
CSP・・・カセットポート
CSP1、CSP2、CSP3・・・第1、第2、第3カセットポート
CV1、CV2・・・基板搬送装置
LD・・・基板投入装置
P・・・プロセス装置
P−2・・・本発明におけるプロセス装置
R1、R2・・・ロボット
RB・・・基板判定装置
RB−2・・・本発明における基板判定装置
ULD・・・基板回収装置
ULD−2・・・本発明における基板回収装置
12・・・露光装置
13・・・現像装置
14・・・焼成装置
15・・・検査装置
BF・・・基板仮置き装置
CS・・・カセット
CSP・・・カセットポート
CSP1、CSP2、CSP3・・・第1、第2、第3カセットポート
CV1、CV2・・・基板搬送装置
LD・・・基板投入装置
P・・・プロセス装置
P−2・・・本発明におけるプロセス装置
R1、R2・・・ロボット
RB・・・基板判定装置
RB−2・・・本発明における基板判定装置
ULD・・・基板回収装置
ULD−2・・・本発明における基板回収装置
Claims (2)
- 基板投入装置、プロセス装置、及び基板回収装置で構成される処理ラインの複数が配置されたカラーフィルタ製造ラインシステムにおいて、
A)1)前記プロセス装置内の基板判定装置は、ガラス基板を待機・蓄積させる基板仮置き装置を備え、
2)基板回収装置の時間当たりのガラス基板の処理能力を、基板判定装置より前段にあるプロセス装置の処理能力より大きなものとし、
3)基板回収装置に2個のカセットポートを設け、
B)基板判定装置には、1)カセットポート上のカセットがガラス基板で満たされる際に、当該カセットポート上のカセットに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、
2)該カセットがカセットポート上から回収され、空のカセットが当該カセットポート上に供給されると、基板仮置き装置に待機・蓄積させていたガラス基板を優先して当該カセットポート上のカセットに収納させる、ガラス基板の管理システムが備えられていることを特徴とするカラーフィルタ製造ラインシステム。 - 前記基板判定装置に備えられているガラス基板の管理システムは、
1)基板回収装置のカセットポート上に供給されたカセットの収納可能な現在枚数を確認し、
2)搬送されてきたガラス基板を判定して収納するカセットポートを決定し、
3)当該カセットポートにガラス基板の収納予約を行い、該ガラス基板を基板判定装置から当該カセットポート上のカセットに収納させ、
4)上記1)〜3)を繰り返し行い、
5)当該カセットポートへの収納予約の累計枚数が収納限界枚数になった段階で、当該カセットポートに収納すると判定された以降のガラス基板を基板仮置き装置に待機・蓄積させ、
6)当該カセットポート上の、ガラス基板で満たされたカセットを当該カセットポートから回収させ、また、空のカセットを当該カセットポート上に供給させ、
7)当該カセットポート上に供給させたカセットの収納可能な現在枚数を確認し、
8)当該カセットポートにガラス基板の収納予約を行い、上記基板仮置き装置に待機・蓄積させたガラス基板を、待機・蓄積させた順に基板仮置き装置から当該カセットポート上のカセットに収納させ、
9)上記7)〜8)を繰り返し行い、基板仮置き装置内での当該ガラス基板の全てを当該カセットポート上のカセットに収納させた段階で、当該カセットポートに収納すると判定された以降のガラス基板を、基板判定装置から当該カセットポート上のカセットに収納させることを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ製造ラインシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008131673A JP2009282100A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | カラーフィルタ製造ラインシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008131673A JP2009282100A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | カラーフィルタ製造ラインシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009282100A true JP2009282100A (ja) | 2009-12-03 |
Family
ID=41452644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008131673A Pending JP2009282100A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | カラーフィルタ製造ラインシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009282100A (ja) |
-
2008
- 2008-05-20 JP JP2008131673A patent/JP2009282100A/ja active Pending
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