JP5135988B2 - ライン稼働率監視方法 - Google Patents
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Description
ラインタクトは、一枚の基板の投入時刻から搬出時刻までの時間差である。ラインでは、タクトが全て同一となるように装置が配置されている。ラインの搬送速度は、ラインタク
トに影響しないように設定されている。
は製品ロス等が増加する問題がある。すなわち、この場合では、一連の長パスラインである生産ラインは不利益となる。
平均ラインタクト = 稼働時間/稼働時間中に処理された製品の基板数
――――(式1)
稼働時間:単位分
基板数:枚数
式1より、或る期間の平均ラインタクトを算出し、代用している。
クリーン倉庫の入口と出口に設置したコードリーダから基板の通過数量を読み取り、その基板の通過数量差からクリーン倉庫内の滞留枚数を算出し、前記枚数が増減した場合、ライン異常傾向にあると判断することを特徴とするライン稼働率監視方法。
ライン連結する搬送装置3と、各パターン形成する装置2がフォトリソグラフィプロセス処理の、レジストコート装置、露光装置、現像装置、ローダーとアンローダーをライン連結した、プロセス処理制御部を備えた処理ラインからなり、パターン形成する装置2と搬送装置3、クリーン倉庫5を管理するライン製造制御部4を装備したカラーフィルタの生産ライン1を用いて、第一の装置21による遮光部パターンを形成する工程と、第二の装置22によるその開口部に画素部パターンを形成する工程と、第三の装置23によるその上に透明電極を形成する工程と、さらに第四の装置24によるMVAパターンを形成する工程と、第五の装置25によるPSを形成する工程と、順番にパターンを積層形成するカラーフィルタの製造方法である。パターンを形成する装置は、レジストコート処理手段と、露光装置の露光処理手段と、レジスト現像処理手段とを連結した処理ライン10を備えている。
2…パターン形成する装置
3…搬送装置
4…ライン製造制御部
5…クリーン倉庫
6…コードリーダ
6a…コードリーダ
6b…コードリーダ
10…処理ライン
11…レジストコート装置
11a…レジストコート処理手段
11b…レジストコート付加処理手段
12…露光装置
12a…露光処理手段
12b…露光付加処理手段
13…現像装置
13a…現像処理手段
14…(装置による)処理手段
15…搬送ライン
17…プロセス処理制御部
18…ローダー
19…アンローダー
21…第一の装置
22…第二の装置
23…第三の装置
24…第四の装置
25…第五の装置
30…カラーフィルタ
31a…ガラス基板
31…基板
32…BM
32b…BMパターン開口部
33…画素
33a…R画素
33b…G画素
33c…B画素
34…透明電極
61a…コードリーダ
61b…コードリーダ
Claims (1)
- 基板を投入するローダー(供給口)と、複数の処理手段と、アンローダー(受取口)とをその順に配置し、その間を搬送ラインで連結した処理ラインと、工程途中の基板を一時的に収納するクリーン倉庫と、各処理ラインのローダー、アンローダーとクリーン倉庫間の基板の受け渡しを行う搬送装置と、これらを管理するライン処理制御部を装備した生産ラインのライン稼働率監視方法において、
クリーン倉庫の入口と出口に設置したコードリーダから基板の通過数量を読み取り、その基板の通過数量差からクリーン倉庫内の滞留枚数を算出し、前記枚数が増減した場合、ライン異常傾向にあると判断することを特徴とするライン稼働率監視方法。
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