JP5593651B2 - 部材変更タイミング管理システム - Google Patents
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Description
ガラス基板(以下、基板)を一時取置きするカセット14に接続されており、基板が処理される場合には、カセット14から処理対象である製造ラインへ搬入され、処理された後再びカセット14に搬出される。
ュータシステムで管理される。
一方仕掛り枚数が30枚以上の場合には((K−6)のYES)、ステップ(K−7)に進み、現在プロセス装置U(a)にて使用している部材の変更指示を製造ライン運用者あるいはプロセス装置U(a)に対して行う(K−7)。
イン運用者の経験、力量に依存するものであったが、本発明による部材変更管理システムによれば個人差が生ずることなく一定の生産効率内で運用することが出来、その結果、製造ラインの運用効率を高めることが可能となる。
2・・・ガラス基板
3・・・ブラックマトリックス(BM)
4−1・・・レッドRの着色画素(R画素)
4−2・・・グリーンGの着色画素(G画素)
4−3・・・ブルーBの着色画素(B画素)
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー(PS)
7・・・バーテイカルアライメント(VA)
11・・・カラーフィルタの全体の製造ライン
12・・・製造ライン
13・・・ストッカ
14・・・カセット
Claims (4)
- 複数のプロセス装置で基板を処理する製造ラインの、前記プロセス装置内で使用している部材の変更タイミングを管理するシステムであって、
基板の所在データを収集する基板所在データ収集手段と、
収集した所在データを管理する基板情報管理手段と、
部材変更のタイミングを判定する部材変更タイミング判断手段と、
を備え、
前記部材変更タイミング判断手段は、
前記基板情報管理手段によって得られたプロセス装置内の仕掛かり基板の枚数と、
部材変更時点からの累計基板処理枚数と、
部材変更の指示を行うための前記累計基板処理枚数の限界値である累計限界基板処理枚数と、
部材変更を行うことを決める値であり前記累計限界基板処理枚数よりも少ない枚数を設定した運用基準処理枚数と、
前記累計限界基板処理枚数と前記運用基準処理枚数の差より少ない枚数を設定したパラメータδにより、
部材変更の対象となるプロセス装置の基板品種の累計基板処理枚数が、前記運用基準処理枚数より多くなった場合、
1)前記プロセス装置内の仕掛り基板の枚数が前記パラメータδ以下の場合は、前記プロセス装置内の仕掛り基板の枚数が0となった時点で部材変更の指示を行い、
2)前記プロセス装置内の仕掛り基板の枚数が前記パラメータδより多い場合は、部材変更の指示を行うことを特徴とする部材変更タイミング管理システム。 - 前記基板所在データ収集手段は、前記プロセス装置に投入される基板のIDコードを読み込むことによって前記基板所在データを収集することを特徴とする請求項1記載の部材変更タイミング管理システム。
- 前記基板情報管理手段は、前記基板所在データから取得した前記プロセス装置毎に、これから搬入される基板のIDコード情報及び品種情報と、前記プロセス装置毎のこれから搬入される基板の各品種の枚数を管理することを特徴とする請求項1または2に記載の部材変更タイミング管理システム。
- 前記部材変更タイミング判断手段は、基板品種の切替え時においてプロセス装置毎に仕掛り基板の枚数が部材変更のために要する準備時間として換算した処理枚数以下になり、且つ、基板品種の最後尾が予め指定した処理装置を通過したかを判断して、部材準備指示すること特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の部材変更タイミング管理システム。
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