JPH04209110A - バッファー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体等の製造行程におけ本　流れ工程でのウ
ェハの移動中のクツションの役割を果りすバッファ装置
に関するものである。

従来の技術 従来のバッファ装置として（訳　例えば東京エレクトロ
ンのコータ　（ＭＡＲＫ、２）に使われているウェハが
入れば順次上昇するバッファかある。

第２図はこの従来のバッファ装置の概略図を示すもので
あり、ウェハ２２（よ　たとえばＡ工程を終えた後、Ｂ
の位置のバッファキャリアに一旦移され　ここから再び
移動″してＣの工程に投入されも　バッファキャリア２
１はウェハ２２を入れる段がついる。２３はウェハ２２
を搬送する支持台で２４ａと２４ｂはウェハを感知する
センサーである。またそのバッファキャリア２１を支え
てぃるのがキャリア台２５で、キャリア台２５はモータ
ー２６により上下動する仕組みになっていも２４Ｃセン
サーはキャリア台が下に下がり過ぎ無いためのセンサー
である。また次工程にはウェハのあるなしを伝えるセン
サー２４ｄがついている。

以上のように構成された従来のバッファ装置において（
ｉ　バッファは常にウェハを待つ待機状態になっていも
　初期状態においては　バッファキャリア２１が最も下
げられ　バッファキャリア２１の最上段に最初に送られ
てきたウェハ２２か入るような待機状態になっている。

ここに先工程から送られてきたウェハが入れは支持台上
のセンサー２４ａ、　２４ｂが感知し２６のモーターに
働きかけバッファが１段上昇じ　再び次のウェハの待機
状態となる。この様にバッファキャリア２１の上から順
番にウェハ２１′が入っていく。−人　次工程のウェハ
センサー２４ｄかオフになれば２６のモーターに働きか
け、−投下がり最下位のウェハをＣ工程に搬送する仕組
みになっている。最後に最上段のウェハをＣ工程に搬送
するとまた一段下がりかける力（２４Ｃのリミットセン
サーが働き再び、初期の待機状態にもどム 発明が解決しようとする課題 しかしながら前記のような構成で１よ　バッファキャリ
ア２１の最下位からウニ／Ｘか搬送されるのでバッファ
の上部に貯えられたウエノ＼（よ　バッファに流れ込む
ウェハがなくならない限り、搬送されない。また流れて
きたウェハの順番も変わってしまう。もし前後の工程か
時間に依存するな収ウェハによってバッファでの待ち時
間が大幅に変わり工程に支障をきたすという問題点を有
していた 本発明はかかる点に鑑ヘ　ウェハかバッファに入ってき
た順番どうりにバッファから出ていくバッファ装置を提
供することを目的とする。

課題を解決するための°手段 本発明は　上記のウェハか入れば順次上昇するバッファ
を２台直列にならべた方式で、送られてきたウェハは先
ず初めのバッファの上から順に蓄えられ　第２のバッフ
ァか空になった時点て、初めのバッファに蓄えられたウ
ェハが順次下か叡第２のバッファに搬送され　第２のバ
ッファに上から順に蓄えられも　第１のバッファから第
２のバッファに搬送された後、第２のバッファの下から
順に次工程にウェハか搬送される。このようにして送ら
れてきた順番を変えずに次工程に搬送することを特徴と
するバッファ装置である。

作用 本発明は前記した構成により、第２のバッファが空にな
ったとき（第１のバッファにウェハかあるなしにかかわ
らず）、次のウェハを待つ待機状態になム　次に来たウ
ェハは第１のバッファに貯えられる力（その直後、第１
のバッファに貯えられていたウェハは全数第２のバッフ
ァに下のウェハから順に搬送される。この時その搬送時
間はウェハがバッファに流れて来る間隔よりも短い時間
で終了しなければならない。第１のバッファの最上段の
ウェハが第２のバッファに搬送された直後、第２のバッ
ファから最下段のウェハが次工程へ搬送される。

実施例 第１図は本発明のｉｔの実施例におけるバッファ装置の
概略図を示すものである。第１図において、　ｌｌａは
前工程Ａから流れてきたウェハ１２を貯えるバッファキ
ャリア、　ｌｌｂは次工程Ｃへ送り出すバッファキャリ
ア、　１３ａ、１３ｂはウェハ１２を搬送する支持台、
　１４ａｌ、　ｌ　４　ｂ　ｌ。

１４ｄはウェハ１２を感知するセンサーであり１４ｃｌ
、　１４ｃ２はバッファキャリアｌｌａ及び１１ｂが最
も下に下かった時に待機状態に戻すリミットセンサー、
であり１４Ｃ３はバッファキャリアｌｌｂが最も下の待
機状態になっていることを認識するセンサーである。　
１５ａ、　１５ｂはバッファキャリアを支えるキャリア
台、　１６ａ、　１６ｂはキャリア台を上下させるモー
ターである。

以上のように構成されたこの実施例のバッファ装置にお
いて、以下その動作を説明する。先ず初期状態ではバッ
ファキャリアｌｌａ、とｌｌｂは最も下の待機状態にな
っている。この時センサー１４Ｃ３はオンの状態になっ
ている。ここに人工程からウェハ１２ａか流れてくると
、先ずバッファキャリアｌｌａにウェハか入る（矢印Ｘ
）。

この時センサー１４ａｌ、　１４ｂ１が感知しオンの状
態になる。　３つのセンサー１４ａ１、１４ｂ１、１４
Ｃ３がオンになるとバッファキャリア１１ａからｌｌｂ
への搬送か可能な状態に切り替わり、バッファキャリア
ｌｌａに貯ったウェハ１２ｂ（初期状態では１枚だけ）
がバッファキャリア１１ｂに流れる（矢印Ｙ）。またこ
のとき同時にバッファキャリアｌｌｂからＣ工程へのウ
ェハ搬送が不可能な状態に切り替わる。ウェハがバッフ
ァキャリア１１．　ｂにはいるとセンサー１４ａ２．１
４ｂ２が感知しバッファキャリアｌｌｂは一段上昇しセ
ンサー１４ｃ３はオフの状態になム　−方バッファキャ
リアＩｌａはウェハがなくなりセンサー１４ｃ１をオン
じて再び初期の待機状態に戻る。　１４ｃｌのセンサー
かオンした時点で、バッファキャリアｌｌａからｌｌｂ
への搬送か不可能な状態になり、同時にバッファキャリ
アｌｌｂからＣ工程へのウェハ搬送か可能な状態に切り
替わも　ここで次工程Ｃのセンサー１４ｄがオフしてい
ればバッファキャリアＩｌｂから次工程Ｃヘウエハを送
りだす（矢印Ｚ）。　　バッファキャリアｌｌｂにウェ
ハがなくなれは　一番下まで下がりセンサー１４ｃ２が
感知し再び初期の待機状態に戻り、センサー１４ｃ３か
オン状態となム　またセンサー１４ｃ３かオン状態にな
るので次にバッファキャリアＩｌａにウェハか流れてく
ると再びバッファキャリアｌｌａからｌｌｂヘウェハか
流れることになる。

次にどちらのバッファキャリアにも数枚ウェハが入って
いる場合について説明する。先ずＡ工程からウェハ１２
ａが流れてきてバッファキャリア１１ａに入る（矢印Ｘ
）。　　このときセンサー１′　４ａ１、１５ｂ１が感
知してオンになるがバッファキャリアｌｌｂにもつ□エ
バ１２ｃが入っているのでセンサー１４ｃ３はオフにな
っている。この時はバッファキャリアｌｌａは１段上昇
しセンサー１４ａｌ、　１４ｂｌはオフとなる。そして
再び待機状態になる。一方バッファキャリアｌｌｂはＣ
工程のセンサー１４ｄがオフになればウェハ１２ｃをた
だちに搬送する（矢印Ｚ）。そして最後のウェハ１２ｃ
を搬送すると最下部のセンサー１４ｃ２をオンして再び
１４ｃ３かオン状態になる。

そこで次にバッファキャリアｌｌａにウェハか入ってく
ると３つのセンサー１４ａ１、　ｌ　４　ｂ　Ｌ１４ｃ
３かオン状態になり前述したようにバッファキャリアｌ
ｌａから１１．　ｂへの搬送が可能な状態に切り替わり
、バッファキャリアｌｌａに貯っていたウェハ１２ｂが
バッファキャリアｌｌｂに流れ出す（矢印Ｙ）。　　こ
の時バッファキャリア１１ａに貯っていたウェハ１２ｂ
ｉ：Ｌ　　全てバッファキャリアｌｌｂに流れる。同時
に前述したように　バッファキャリアｌｌｂからＣ工程
へのウェハ搬送が不可能な状態となる。バッファキャリ
ア１１ａに貯っていたウニ゛ハ１２ｂが全て流れると最
下部のセンサー１４ｃｌかオンして、バッファキャリア
ｌｌａからＩｌｂへの搬送が不可能な状態になり、同時
にバッファキャリアｌｌｂからＣ工程へのウェハ搬送か
可能な状態に切り替わる。

再びＡ工程から流れてきたウェハ１２ａはバッファキャ
リアｌｌａに入り、バッファギヤリア１１ｂからはＣ工
程にウェハか流れる。

ここで問題となるのはバッファキャリアｌｌａから１１
ｂにウェハか移動する時間て、この時間がＡ工程から送
られてくる間隔よりも長けれ（戯バッファの働きがうま
くてきなくなる。よってバッファキャリアｌｌａからｌ
ｌｂにウェハが移動する時間をできるたけ短くすること
か重要である。

以上のようにこの実施例によれ（ｉ　バッファキャリア
を二つ並へ第１のバッファキャリアが空になれば第２の
バッファキャリアからの搬送が可能になり第２のバッフ
ァキャリアが空になれば搬送ができなくなる機構を設け
ることにより、ウェハがバッファに入ってきた順番に出
ていくことになる。

な耘　駆動に関するセンサーは場所を変えても数を増や
してもよい。

発明の詳細 な説明したように　本発明によれは　ウェハが順番どう
りに搬送され　またバッファでの待ち時間の格差も最小
にすることができ、その実用的効果は大きし℃

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例におけるバッファ装置の
概略側面医　第２図（ａ）、（ｂ）は従来る。 １１ａ、　ｌｌｂ、　２１はバッファキャリア、　１２
はウェノ＼　１３ａ、１３ｂ、ウェハを搬送する支持台
、　１４−−はウェハや位置を感知するセンサー、　１
５ａ、　１５ｂ、はキャリア台　１６ａ、１６ｂ１　は
キャリア台を上下させるモーター。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウエハが入れば順次、上昇して貯える第１、第２
   のバッファを直列に配置し前記第２のバッファに貯えら
   れているウエハがなくなった後、前記第１のバッファに
   貯えられているウエハが全数、下のウエハから順に前記
   第２のバッファに流れ、前記第１のバッファが空になっ
   た後、前記第２のバッファから次工程にウエハが搬送さ
   れる機構を持ち、前記ウエハが前記第１のバッファに入
   った順番どおりに前記第２のバッファから出ることを特
   徴とするバッファ装置。
2. （２）第２のバッファは貯えられていたウエハがなくな
   った後、第１のバッファに次のウエハが搬送された直後
   に、第１のバッファから第２のバッファにウエハが搬送
   される機構を持った請求項１記載のバッファ装置。
3. （３）第１のバッファに貯えれていたウエハが全数、第
   ２のバッファに送られる間隔が、ウエハが流れて来る間
   隔よりも、短いことを特徴とする請求項１記載のバッフ
   ァ装置。