JP2009099013A - ライン稼働率監視方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ローダー18、複数の装置と、アンローダー19と、ライン連結した搬送ライン15と、ラインを管理するライン処理制御部17を装備した処理ラインを用いた製造方法であり、処理ライン内へローダー18より基板31を投入し、装置による処理手段14を実行し、アンローダー19から基板31を搬出する処理ラインの、搬送中の基板31の通過の時刻を読み取る、コードリーダ設置のシステムによる、ライン稼働率監視方法であって、処理ライン内に設置したコードリーダ61a、61bであるコード読み取りカメラによって、基板31に添付したID番号からなるコードと、その通過時刻を読み取り、その時間差より、ラインタクトを算出する。
【選択図】図1
Description
に連結ラインの搬送速度は、処理手段での処理速度より複数倍早くしており、ラインタクトの長短に影響しないように設定されている。
n枚を生産する場合、第一の装置21への1枚目のガラス基板の投入から生産開始となり、第五の装置25からの最終n枚目のガラス基板の搬出で生産終了となる。ガラス基板のライン投入は、一定時間間隔に一枚のペースで投入される。この場合、生産ラインのラインタクトは、例えば、第一の装置21での1枚目のガラス基板の投入時刻と、第五の装置25での1枚目のガラス基板の搬出時刻との時間差、すなわち経過時刻の時間差となる。生産ラインでは、n枚のガラス基板の各々ラインタクトは、その平均値の近傍に正規分布することとなる。
は製品ロス等が増加する問題がある。すなわち、この場合では、一連の長パスラインである生産ラインは不利益となる。
平均ラインタクト = 稼働時間/稼働時間中に処理された製品の基板数
――――(式1)
稼働時間:単位分
基板数:枚数
式1より、或る期間の平均ラインタクトを算出し、代用している。
基板投入部及び基板搬出部に設置したコードリーダーにより、基板に設けたIDを読み取った時間よりラインタクトを算出する、ライン稼働率監視方法。
ライン連結する搬送装置3と、各パターン形成する装置2がフォトリソグラフィプロセス処理の、レジストコート装置、露光装置、現像装置、ローダーとアンローダーをライン連結した、プロセス処理制御部を備えた処理ラインからなり、パターン形成する装置2と搬送装置3、クリーン倉庫5を管理するライン製造制御部4を装備したカラーフィルタの生産ライン1を用いて、第一の装置21による遮光部パターンを形成する工程と、第二の装置22によるその開口部に画素部パターンを形成する工程と、第三の装置23によるその上に透明電極を形成する工程と、さらに第四の装置24によるMVAパターンを形成する工程と、第五の装置25によるPSを形成する工程と、順番にパターンを積層形成するカラーフィルタの製造方法である。パターンを形成する装置は、レジストコート処理手段と、露光装置の露光処理手段と、レジスト現像処理手段とを連結した処理ライン10を備えている。
2…パターン形成する装置
3…搬送装置
4…ライン製造制御部
5…クリーン倉庫
6…コードリーダ
6a…コードリーダ
6b…コードリーダ
10…処理ライン
11…レジストコート装置
11a…レジストコート処理手段
11b…レジストコート付加処理手段
12…露光装置
12a…露光処理手段
12b…露光付加処理手段
13…現像装置
13a…現像処理手段
14…(装置による)処理手段
15…搬送ライン
17…プロセス処理制御部
18…ローダー
19…アンローダー
21…第一の装置
22…第二の装置
23…第三の装置
24…第四の装置
25…第五の装置
30…カラーフィルタ
31a…ガラス基板
31…基板
32…BM
32b…BMパターン開口部
33…画素
33a…R画素
33b…G画素
33c…B画素
34…透明電極
61a…コードリーダ
61b…コードリーダ
Claims (1)
- ローダー(供給口)と、複数の処理手段と、アンローダー(受取口)とをその順に配置し、その間をライン連結した搬送ラインと、ラインを管理するライン処理制御部を装備した処理ライン上で、
基板投入部及び基板搬出部に設置したコードリーダーにより、基板に設けたIDを読み取った時間よりラインタクトを算出する、ライン稼働率監視方法。
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