JPH11340110A - ファイルサ―バを利用した自動化システムとその制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】装置に必要な作業結果データを各装置間で自動
的に利用可能にする。 【解決手段】作業物に対してそれぞれ作業を実行する複
数の装置３００；装置３００とネットワークで連結さ
れ、装置３００における作業結果データを保存するファ
イルサーバー４００；装置３００と一対一で連結され、
それぞれの装置を制御する装置サーバ２００；及び該当
装置に必要な作業情報を装置サーバ２００に提供するホ
スト１００；を含む。ここで、各装置はファイルサーバ
に保存されている複数の装置における作業結果データを
共有することができ、これによって各装置は前工程にお
ける装置の作業結果データを自動的に利用可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は自動化システム及び
その制御方法に関し、より詳しくは半導体や薄膜トラン
ジスタ液晶表示装置（thin film transistor liquid cr
ystal display；以下‘ＴＦＴ−ＬＣＤ’と称する）な
どの製造工程に使用される自動化システム及びその制御
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＴＦＴ−ＬＣＤ工程などに使用さ
れる自動化システムは、図１に示されているように、複
数の装置３０ａ〜３０ｎと、複数の装置に一対一で連結
される装置サーバ２０ａ〜２０ｎと、装置サーバを制御
するホスト１０とから構成される。

【０００３】装置３０ａ〜３０ｎは、装置サーバ２０ａ
〜２０ｎに制御され、作業集合物（例えば、カセット）
４０内に保管された複数の作業物（例えば、ガラス、ウ
ェーハなど）に対する作業を遂行する。その後、装置３
０ａ〜３０ｎは、作業物に対する作業結果データを、対
応する装置サーバ２０ａ〜２０ｎに伝送する。

【０００４】以下、ＴＦＴ−ＬＣＤ工程に使用される従
来の自動化システムを、図１に基づいて説明する。図１
において、第１装置３０ａは検査器（tester）であり、
第２装置３０ｂは補修器（repairer）であると仮定す
る。先ず、検査器３０ａは、図示しない自動搬送装置に
よって導かれるカセット（作業集合物）４０からガラス
を取り出した後、それぞれのガラスに対する検査作業を
遂行する。ガラスに対する検査結果は、検査器３０ａ内
のハードディスクに保存される。検査が完了したカセッ
ト４０は、自動搬送装置によって補修器３０ｂに移動す
る。

【０００５】補修器３０ｂは前工程で検査器３０ａによ
り遂行された作業結果を利用して、ガラスを補修する必
要がある。従来のシステムでは検査器３０ａのハードデ
ィスクに保存されたガラスに対する検査作業結果データ
を作業者が直接フロッピーディスクに複写した後、これ
を補修器３０ｂに入力している。その後、補修器３０ｂ
は、前記作業結果データに基づいてガラスに対する補修
作業を遂行する。

【０００６】このような従来のシステムでは、検査器３
０ａで行った検査作業の結果を検査器のハードディスク
に保存し、作業者はハードディスクに保存された検査作
業の内容をフロッピーディスク５０に複写して直接補修
器３０ｂに入力しなければならない煩雑さがある。ま
た、フロッピーディスク５０の誤謬によって不必要な時
間が所要されるという問題点があり、手作業でフロッピ
ーディスク５０を運搬するため作業結果データを取り間
違うことによって補修器３０ｂが誤作動するなどの問題
点が発生する。

【０００７】このような問題点を解決するために、フロ
ッピーディスク５０を使用する代わりにＲＳ−２３２Ｃ
ケーブルなどのシリアル（serial）通信ケーブルを検査
器３０ａと補修器３０ｂとの間に連結し、検査器３０ａ
の検査作業データを補修器３０ｂに送信する技術が提供
されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ＲＳ−２３２
Ｃケーブルは一対一伝送方法に使用されるものであるの
で、ＲＳ−２３２Ｃケーブルで連結された検査器３０ａ
と補修器３０ｂとの間のみでしかデータを送受信できな
い。従って、ＲＳ−２３２Ｃケーブルを利用した従来の
技術では、１つの装置で遂行した作業結果データを、多
数の装置で利用することができない。従って、このよう
な場合には、作業者が直接フロッピーディスクを移動さ
せなければならない。また、ＲＳ−２３２Ｃケーブルを
利用した通信方式においてはデータ伝送速度が遅いた
め、容量の大きい作業結果を送信させる場合には多くの
伝送時間がかかるという問題点がある。

【０００９】本発明は前記のような従来の問題点を解決
するためのものであって、その目的は全ての装置をネッ
トワークを介してファイルサーバに連結し、装置の作業
結果データを共有することによって、装置に必要な作業
結果データを自動的に利用することができるようにする
ことにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、本願発明は作業に必要な装置にネットワークで連結
されたファイルサーバを設け、装置で実行した作業の結
果をファイルサーバに保存して共有するようにすること
によって、前工程の装置で実行した作業の結果を後工程
の装置が自由に利用することができるようにする。本発
明の一態様による自動化システムは、作業物に対してそ
れぞれ作業を実行する複数の装置と；装置とネットワー
クで連結され、装置における作業結果データを保存する
１つ以上のファイルサーバと；装置と一対一で連結さ
れ、それぞれの装置を制御する装置サーバと；該当装置
に必要な作業情報を装置サーバに提供するホストと；を
含む。ここで、各装置はファイルサーバに保存された複
数の装置における作業結果データを共有することがで
き、これによって各装置は前工程の装置の作業結果デー
タを利用して自由に作業を遂行することができる。

【００１１】また、前記自動化システムは作業物をそれ
ぞれの装置に自動運送する自動運送装置をさらに含むこ
とができ、前記自動運送装置はホストから命令を受ける
自動運送コントローラによって制御される。

【００１２】また、前記自動化システムはファイルサー
バに接続してファイルサーバに保存されている作業結果
データをユーザが直接利用することができるユーザイン
ターフェース部をさらに含むことができる。

【００１３】一方、本発明の他の態様であるマイクロエ
レクトロニクスデバイスの自動化システムは、基板を検
査するための検査器を含む装置と；装置とネットワーク
で連結され、基板に対するそれぞれの装置における作業
結果データを保存し前記作業結果データを前記装置が共
有するようにするファイルサーバと；装置にそれぞれ一
対一で連結されそれぞれの装置を制御する装置サーバ
と；装置サーバとネットワークで連結され該当装置に必
要な作業情報を装置サーバに提供するホストと；を含
む。ここで、ホストはそれ自身がデータベースを有して
おり、基板の固有ＩＤである基板ＩＤに基づいて前記デ
ータベースを参照して装置に必要な作業情報を得る。

【００１４】また、前記装置は、検査器からの検査結果
に基づいて基板を補修するための補修器をさらに含むこ
とができ、この時、前記検査器は前記基板に対する検査
作業を実行した後に検査結果データをファイルサーバに
保存し、前記補修器は前記検査結果データをファイルサ
ーバから読み出して補修作業に利用し補修結果データを
ファイルサーバに保存する。

【００１５】また、前記自動化システムは、検査器によ
ってファイルサーバに保存された検査結果データを用
い、基板に対する検査内容をユーザが直接観察すること
ができるようにする肉眼検査装置をさらに含むことがで
きる。肉眼検査装置は不良座標データに自動的に移動し
てユーザが観察することができるようにする。

【００１６】また、前記マイクロエレクトロニクスデバ
イスの自動化システムは、ファイルサーバに接続してフ
ァイルサーバに保存されている作業結果データをユーザ
が直接利用し得るユーザインターフェース部と；ホスト
によって制御され、基板をそれぞれの装置に自動運送す
る自動運送装置とをさらに含むことができる。

【００１７】一方、本発明の一態様による工程制御方法
は、第１装置にローディングされた作業物を認識する段
階と；作業物に対する前記第１装置における作業の命令
を制御部から受ける段階と；前記作業物に対する装置の
作業結果データを保存しているファイルサーバから、第
１装置の作業に必要な前の装置における作業結果データ
を読み出す段階と；前工程の装置で実行された前記作業
結果データを利用して前記作業物に対する作業を第１装
置で実行する段階と；第１装置で実行された作業結果デ
ータを前記ファイルサーバに保存する段階とを含む。こ
こで、ファイルサーバは前記第１装置を含む複数の装置
にオンラインで連結される。

【００１８】一方、本発明の他の態様による自動化シス
テムの制御方法は、基板を第１装置にローディングする
第１段階と；第１装置で前記基板に対する作業を実行し
第１作業結果データをファイルサーバに保存する第２段
階と；第１装置から基板をアンローディングする第３段
階と；前記基板を第２装置に搬送し前記第２装置にロー
ディングする第４段階と；前記第２装置で作業を実行す
る前に前記第１作業結果データを前記ファイルサーバか
ら読み出し、作業実行時に前記第１作業結果データを利
用して前記基板に対する作業を実行し、作業実行後に第
２作業結果データを前記ファイルサーバに保存する第５
段階と；前記第２装置から前記基板をアンローディング
する第６段階とを含む。ここで、ファイルサーバは複数
の装置にネットワークで連結され複数の装置の作業結果
データを共有する。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態例によるシステムについて説明する。以下では、
説明の便宜上、ＴＦＴ−ＬＣＤ工程で使用される自動化
システムを具体的な例をあげて説明する。図２は本発明
の実施形態例に係る自動化システムの構成図である。図
２において、ホスト１００はＴＣＰ／ＩＰを使用したネ
ットワークを介して装置サーバ２００、ファイルサーバ
４００及び自動運送コントローラ（Automatic Guide Ve
hicle Controller，ＡＧＶ）５００と連結され、これら
と予め定められたメッセージを送受信することによって
情報交換を行ったり制御命令を下す。

【００２０】自動運送コントローラ５００はホスト１０
０から命令を受けると、無線通信で自動運送装置６００
と通信し、特定命令を送出する。自動運送装置６００
は、自動運送コントローラ５００の命令に従い、カセッ
トを載せて特定装置３００に移動するか、特定装置３０
０から作業完了したカセットを載せて次の装置に移動す
る。作業が終了すると、自動運送装置６００は無線通信
により自動運送コントローラ５００に完了メッセージを
伝送する。このとき、自動運送コントローラ５００はネ
ットワークを通じて再度ホスト１００にメッセージを伝
送する。これにより、ホスト１００が自動運送装置６０
０の状態を管理することができる。

【００２１】装置３００は、一対一通信方法であるＳＥ
ＣＳ（Semiconductor Equipment Communication Standa
rd）通信（半導体標準通信）で装置サーバ２００と連結
されてる。また、装置３００は、ファイルサーバ４００
とはＴＣＰ／ＩＰを通じてネットワークで連結される。
装置３００には複数の作業待機所３１０ａ〜３１０ｎが
ある。それぞれの作業待機所３１０ａ〜３１０ｎは装置
３００のポートを１つずつ占有して使用する。

【００２２】自動運送装置６００がカセットを載せて第
１作業待機所３１０ａに移動すると、第１作業待機所３
１０ａが使用する第１ポートはイベントを発生させる。
ここで、イベントとは、第１作業待機所にカセットが置
かれていることである。このとき、装置３００は前記イ
ベントを受信し、第１作業待機所３１０ａに移されたカ
セットに対する作業要請メッセージを装置サーバ２００
に送出する。このような方法によって装置３００内のそ
れぞれのポートは、作業待機所３１０ａ〜３１０ｎにカ
セットが移動すると、「ポートが使用中である」という
イベントを発生させ、カセットが除去されると「ポート
が空いている」というイベントを発生させる。

【００２３】図３は図２の装置３００を詳しく示した図
面である。図３に示されているように、装置３００には
実際に作業を進行する作業台３４０と、作業者が直接に
見ながら装置を操作し得る作業制御画面３６０とがあ
る。作業台３４０には、カセットに保管されたガラス
（作業対象物（Ｍｎ））のＩＤ（以下、‘ガラスＩＤ’
と称する）を判読するためのベリコードリーダ（ＶＣ
Ｒ）３５０が装着されている。また、装置３００の作業
待機所３１０ａ〜３１０ｎには、それぞれ自動運送装置
との無線通信のためのセンサ３２０ａ〜３２０ｎがあ
る。さらに、作業待機所３１０には、カセットが作業待
機所３１０ａ〜３１０ｎに移動されるときに、カセット
のＩＤを読み出すためのバーコードリーダ３３０ａ〜３
３０ｎがある。

【００２４】作業待機所に置かれたカセットに保管され
たガラスは、１つのガラス又は１つの作業単位を成すｎ
個のガラス集合（これを‘ロット’と称する）単位で作
業台３４０に移されて処理される。即ち、搬送ロボット
３７０は、作業待機所３１０に置かれたカセットから１
つのガラスまたは１ロットを作業台３４０上に移してお
く。その後、作業台３４０に装着されたベリコードリー
ダ３５０は、１つのガラスに対するＩＤ（ガラスＩＤ）
又はロットに対するＩＤ（ロットＩＤ）を判読し、前記
ガラス又はロットに関する情報を作業制御画面３６０に
表示する。

【００２５】次に、本発明の実施形態例に係る自動化シ
ステムの構成図を説明する。図４は、本発明の第１実施
形態例に係る自動化システムの構成図である。本発明の
第１実施形態例に係る自動化システムは、複数の装置３
００ａ、３００ｂ、３００ｃ、３００ｄと、複数の装置
に一対一で連結される複数の装置サーバ２００ａ、２０
０ｂ、２００ｃ、２００ｄと、装置の作業結果データを
保存するためのファイルサーバ４００と、複数の装置サ
ーバに連結されるホスト１００とから構成される。

【００２６】図４において、ホスト１００は、データベ
ース１１０を有している。ホスト１００は、カセットＩ
Ｄ及びガラスＩＤ（又はロットＩＤ）に基づいてデータ
ベース１１０を参照し、必要な作業を遂行した後、作業
遂行結果を所定のメッセージにより装置サーバ２００ａ
〜ｄに送出する。また、ホスト１００は自動運送装置６
００を制御し、カセット６５０を所定の順序に沿って自
動的に装置３００ａ〜ｄ間で移動させる。即ち、ホスト
１００が自動運送コントローラに特定装置（例えば、３
００ａ）への自動運送装置の移動を指示すると、自動運
送コントローラは前記自動運送装置６００と無線で通信
し、前記自動運送装置６００を装置３００ａに移動させ
る。

【００２７】装置サーバ２００ａ〜ｄは、装置３００ａ
〜ｄとホスト１００との間でカセット６５０とカセット
内に保管された多数のガラス又はロットに対するメッセ
ージを中継し、装置３００ａ〜ｄを制御する。

【００２８】以下、第１装置３００ａを検査器、第２装
置３００ｂを補修器と仮定し、検査器３００ａの検査作
業データ（第１作業データ）が補修器３００ｂでどのよ
うに利用されるかに関するシステム動作を説明する。先
ず、ホスト１００は、自動運送装置６００を制御し、カ
セット６５０を検査器３００ａに移動させる。複数のガ
ラスを保管するカセット６５０が検査器３００ａに移動
すると、検査器３００ａは検査器サーバ２００ａ及びホ
スト１００とメッセージを送受信し、作業制御を受け
る。

【００２９】その後、検査器３００ａは、カセット６５
０に保管された全てのガラス又は一部のガラスに対する
不良（例えば、データ線などに対する短絡及び断線な
ど）を検査した後、検査結果に関するデータをファイル
サーバ４００に送出する。このとき、ファイルサーバ４
００に送出される検査結果データは、加工しなかったデ
ータ（以下、‘未加工’データと称する）として保存さ
れる。未加工データの例としては、それぞれのガラスに
関する不良座標データ、不良イメージデータ、不良内容
（例えば、断線、短絡）などがあげられる。また、検査
器３００ａは、検査する過程で発生した検査結果データ
を加工したデータ（以下、サマリデータと称する）を、
検査器サーバ２００ａに一対一通信を通じて送信する。
サマリデータの例としては、不良が発生したガラスの個
数などがある。このとき、検査器３００ａからファイル
サーバ４００に送信される未加工データは一般に容量が
大きいので、本実施形態例ではファイルサーバ４００と
検査器３００ａとの間をＴＣＰ／ＩＰの通信ネットワー
クで連結する。また、検査器３００ａから検査器サーバ
２００ａに伝送されるサマリデータは容量が小さいの
で、ＳＥＣＳ通信を利用して検査器３００ａと検査器サ
ーバ２００ａとを連結する。

【００３０】検査器３００ａがカセット６５０内に保管
されたガラスに対する検査を終了すると、ホスト１００
は自動運送装置６００を制御してカセット６５０を補修
器３００ｂに移動させる。カセット６５０が補修器３０
０ｂに移動すると、補修器３００ｂは、前記カセット６
５０内に保管されたガラスに対して前工程で行われた検
査結果データ（未加工データ）を、ファイルサーバ４０
０から読み出す。このとき、補修器３００ｂはカセット
ＩＤに基づいて前記カセットに対する検査結果データ
を、ファイルサーバ４００から読み出す。

【００３１】補修器３００ｂは、カセットに対する検査
結果データを利用して、カセット内に保管されたガラス
の補修作業を行う。また、検査器３００ａと同様に、補
修器３００ｂも補修器サーバ２００ｂ及びホスト１００
との間でデータを送受信し、作業を遂行する。

【００３２】補修器３００ｂが補修作業を終了すると、
補修結果の中の容量の大きい未加工データ（例えば、補
修した座標データ、補修内容など）はファイルサーバに
保存され、サマリデータ（例えば、補修したガラスの数
など）は補修器サーバ２００ｂに送信される。

【００３３】本実施形態例によると、検査器３００ａで
遂行した検査結果（未加工データ）がファイルサーバ４
００に保存され、補修器３００ｂがこの作業結果を利用
して補修作業を行うので、装置間のデータの共有が可能
である。

【００３４】しかし、本実施形態例によると、検査器３
００ａと補修器３００ｂがそれぞれ作業終了後にサマリ
データを、ファイルサーバ４００に保存せずにすぐ検査
器サーバ２００ａ又は補修器サーバ２００ｂに送信する
ので、次のような問題点が発生する可能性がある。即
ち、検査器３００ａと補修器３００ｂからのサマリデー
タが通信エラーなどの問題によって検査器サーバ２００
ａ又は補修器サーバ２００ｂに送信されなかった場合に
は、前記サマリデータを復旧する方法がないという問題
点である。

【００３５】本発明の第２実施形態例はこのような問題
点を解決するために考案されたものである。図５は、本
発明の第２実施形態例による自動化システムの構成図で
ある。本実施形態例に係る自動化システムは、複数の装
置８００ａ、８００ｂ、８００ｃ、８００ｄと、複数の
装置に一対一で連結される複数の装置サーバ７００ａ、
７００ｂ、７００ｃ、７００ｄと、前記複数の装置の作
業結果データを保存するためのファイルサーバ９００
と、複数の装置サーバに連結されるホスト１０００と、
前記ホスト１０００に連結されユーザからの指示を受け
付けるユーザインターフェース部（Ｉ／Ｆ部）１１００
とから構成される。

【００３６】図５において、ファイルサーバ９００に保
存される作業結果データには未加工データと共にサマリ
データも含まれる。即ち、本実施形態例では、複数の装
置８００ａ〜ｄが作業を終了した場合に、第１実施形態
例とは異なり、サマリデータを未加工データと共にファ
イルサーバ９００に保存し、装置サーバ７００ａ〜ｄに
はファイルサーバに前記データを保存したというイベン
トのみを送出する。その後、装置サーバ７００ａ〜ｄ
は、ファイルサーバ９００に接続し、前記サマリデータ
を直接読み出す。

【００３７】従って、装置から装置サーバに送出される
イベントが通信エラーなどによって送信されなかった場
合にも、サマリデータは既にファイルサーバに保存され
ているので、次のように前記サマリデータをファイルサ
ーバに送信可能である。即ち、装置が作業終了イベント
を送出しない場合には、ユーザは、Ｉ／Ｆ部１１００を
介してホスト１０００に接続し、直接前記イベントを発
生させる。ユーザは、ホスト１０００に連結されたＩ／
Ｆ部１１００で仮想イベント（イベント２）を発生させ
る。その後、装置サーバはファイルサーバに接続して必
要なサマリデータを読み出す。

【００３８】図６は図５のファイルサーバの詳細構成図
である。それぞれの装置８００ａ〜ｎは、それぞれファ
イルサーバ内の１つのディスク９１０ａ〜ｎに連結され
ている。また、複数の装置８００ａ〜ｎは、１つのディ
スク９１０ｎ＋１に共通連結されている。

【００３９】各装置における作業結果データは、前述し
たように、作業結果を加工しなかった未加工データと作
業結果を加工して通計的な情報として利用するためのサ
マリデータとに区分される。

【００４０】本発明の実施形態例では、前記未加工デー
タは容量が大きいので各装置別に割当てられたディスク
に保存し、サマリデータは容量が余り大きくなく、管理
の効率性の面を考慮して全ての装置に共通連結された第
（ｎ＋１）ディスク９１０に保存する。一方、例えば補
修器の未加工データの一種である不良イメージデータの
ように保存容量が極めて大きいデータは、別途のディス
クを割当てて使用することができる。

【００４１】ファイルサーバ９００で使用されるディス
クは、データを容易に探すことができるように、装置の
名前を利用してディレクトリを構成すると好ましい。例
えば、第１装置７００ａがファイルサーバの第１ハード
ディスク９１０ａを使用する場合には“／ｄｉｓｋ１／
ｅｑｐｉｄ＿１”にしてディレクトリを構成し、第１装
置７００ａがファイルサーバの第ｎ＋１ハードディスク
９１０ｎ＋１を使用する場合には“／ｄｉｓｋｎ＋１／
ｅｑｐｉｄ＿１”にしてディレクトリを構成する。これ
によって、第１装置の未加工データは“／ｄｉｓｋ１／
ｅｑｐｉｄ＿１”に保存され、第１装置のサマリデータ
は“／ｄｉｓｋｎ＋１／ｅｑｐｉｄ＿１”に保存され
る。

【００４２】以下、本発明の実施形態例による自動化シ
ステムの制御方法を説明する。図７は本発明の実施形態
例に係る自動化システムの制御方法を示した概略流れ図
である。図７では説明の便宜上、図２ないし図５の装置
サーバとホストとを制御部と言及した。以下では、第１
装置を検査器と、第２装置を補修器と仮定し、検査及び
補修工程を説明する。ステップＳ３では、検査器は、検
査器の第１作業待機所に該当する第１ポートが使用でき
るかどうかを判断する。ポートが使用できれば、ステッ
プＳ６に移行する。ステップＳ６では、検査器はカセッ
トの供給を要請するカセット要請メッセージを制御部に
送信する（ステップＳ６）。

【００４３】ステップＳ９では、カセット要請メッセー
ジを受信した制御部は、自己のデータベースを検索して
前記検査器で遂行されなければならないガラスが保管さ
れたカセットのＩＤを探し出し、自動運送装置を制御し
て前記検査器に前記カセットをローディングするように
指示する。

【００４４】これによって、自動運送装置はストッカー
から該当カセットを取り出し、そのカセットを前記検査
器の作業待機所に移動させる。ステップＳ１２では、検
査器の第１作業待機所に装着されているバーコードリー
ダはカセットＩＤを読み出した後、制御部にカセットの
ローディングが完了したことを報告する。ここで、制御
部に報告するメッセージには、カセットのＩＤも含まれ
る。

【００４５】ステップＳ１５では、制御部は、カセット
ＩＤに基づいた情報によって検査器が作業可能な状態で
あるか否かを判断し、作業可能な状態であれば検査器に
作業開始を指示する。このとき、作業開始命令と共に検
査器が作業を遂行するために必要な情報も送る。

【００４６】ステップＳ１８では、作業開始を指示され
た検査器が、現在遂行している作業がなければすぐに作
業を開始し、現在遂行している作業があれば作業が終わ
った後に作業を開始する。その後、検査器は、カセット
内に位置するそれぞれのガラスに対する検査作業を遂行
し、未加工データ（又はサマリデータ）をファイルサー
バに保存する。このとき、検査器はガラスを１つずつ検
査した後にそれぞれの結果をファイルサーバに保存して
もよいし、カセット内の全てのガラスを検査した後に検
査結果を一回でファイルサーバに保存してもよい。ステ
ップＳ２１では、検査結果がファイルサーバに全て保存
されると、検査器は制御部に作業完了報告を行う。

【００４７】その後、制御部は検査器によってファイル
サーバに保存された未加工データを読み出した後、これ
を画像データ又は通計資料のために多様な方法で加工す
る。ステップＳ２４では、制御部は、自動運送装置にカ
セットをアンロードするよう指示する。

【００４８】アンロードを指示された自動運送装置は、
検査が完了したカセットを検査器からはずす。ステップ
Ｓ２７では、検査器からのカセットのアンロードを待機
する。ステップＳ３０では、検査器は制御部にアンロー
ド完了を通知する。

【００４９】その後、制御部は、自己のデータベースに
前記カセットの検査器における作業が完了したことを記
録する。検査器における作業が完了したカセットは、次
の作業工程である補修工程が遂行されなければならない
ので、制御部はデータベースを参照し、補修器内の複数
のポート情報を読み出す。このとき、補修器内に現在使
用可能な状態である空きポート（即ち、作業待機所）が
あれば、制御部はカセットを前記補修器の作業待機所に
移動させるよう自動運送装置に指示する。

【００５０】その後、自動運送装置はカセットを前記作
業待機所に移動させ、補修器は検査器と同様な流れで制
御部の命令を受け動作する。補修器は、補修作業遂行前
にファイルサーバから前記カセットに対して検査器で遂
行した未加工データ（例えば、不良座標データ、不良内
容）を読み出した後、カセット内の不良ガラスに対する
補修を遂行する。補修器における補修作業が完了する
と、補修器は未加工データ（例えば、補修した座標デー
タ、補修内容）又はサマリデータを、ファイルサーバに
保存する。

【００５１】以下、前述した制御部を、再度装置サーバ
とホストとに区分しそれぞれの役割とメッセージ交換に
ついて具体的に説明する。装置サーバは、装置を直接制
御するためのプログラムにより、装置で特定のイベント
が発生するたびにこれに相応して動作するイベントドリ
ブン方式で動作する。また、装置サーバは、装置から受
けたカセットＩＤを含むメッセージを、予めホストと取
り決めたメッセージ形式でホストに送信する。ホスト
は、データベースに基づいて、該当カセットに関する基
本情報を特定メッセージ形式で装置サーバに送信する。
装置サーバは、このメッセージ内の情報を組合せて再度
装置に命令を送信する。装置サーバは、ファイルサーバ
と連結されているので、必要な時にはファイルサーバの
データを読み出したりファイルサーバにデータを保存す
ることができる。

【００５２】装置サーバは、装置から作業終了メッセー
ジを受信するとファイルサーバに接続し、作業データを
読み出して加工した後にホストに送信し、ホストから特
定情報を受けるとこれを利用して装置を遠隔制御する。

【００５３】ホストは、第１に、ガラス（ロットを含
む）とカセットの状態を維持管理し、ガラス又はロット
に対する作業工程プロセスを管理する。第２に、自動運
送装置の状態を管理し、ガラスが保管されたカセット
を、装置から装置に、装置からストッカに、臨時保管場
所から装置に、ストッカからストッカに移動させる。第
３に、装置内の複数のポートの状態を含む装置の状態を
管理し、作業結果データを管理するなどの工程全体管理
のために必要な機能を果す。従って、ホスト内には前述
した事項を管理するためのデータベースが存在する。

【００５４】図８〜図１２は本発明の実施形態例に係る
自動化システムの制御方法を示した細部流れ図である。
図１３は、本発明の実施形態例に係る自動化システムの
制御方法に使用されるメッセージ流れ図である。以下、
検査器と補修器の作業工程を例にとり説明する。ステッ
プＳ１００では、検査器はポート（作業待機所）が使用
可能な状態であるかどうかを判断する。作業待機所から
カセットが除去されポートが使用可能な状態になると、
ステップＳ１１０に移行する。使用可能でなければ、処
理を保留する。ステップＳ１１０では、検査器は、検査
器サーバにカセットのロードを要請するロード要請メッ
セージ（ＣＳＴ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）を送信す
る。

【００５５】ステップＳ１１５では、検査器サーバは、
カセットロード要請メッセージ（ＣＳＴ＿Ｒｅｑ＿ｔｏ
ＥＱｓｒｖ）を受信する。ステップＳ１２０では、検査
器サーバは、ホストにカセットロード要請メッセージ
（ＣＳＴ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）を送信する。ステッ
プＳ１２５では、ホストはカセットロード要請メッセー
ジ（ＣＳＴ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）を受信する。次い
で、ステップＳ１３０では、ホストは、自己のデータベ
ースを検索して検査器で進行するガラスが入っているカ
セットを探す。ステップＳ１３５では、ホストは自動運
送コントローラを呼び出し、カセットの装置への移動を
指示する運送命令（Ｌｏａｄ＿Ｃｍｄ）を送信する。

【００５６】ステップＳ１４０では、運送命令を受信し
た自動運送コントローラは、自動運送装置によって該当
カセットをストッカ（又は他の装置）から検査器に移動
させる。ステップＳ１４５及びステップＳ１５０では、
自動運送装置及び検査器は、互いにと無線通信を行う。
ステップＳ１５５では、自動運送装置は、カセットを検
査器の作業待機所にローディングする。

【００５７】カセットが作業待機所にロードされると、
ステップＳ１６０では、作業待機所内の自動センサがこ
れを検知してカセットを自動的に固定する。ステップＳ
１６５では、バーコードリーダがローディングされたカ
セットＩＤを読み出す。ステップＳ１７０では、検査器
はカセットのローディングが終わると、カセットＩＤを
含むロード完了メッセージ（Ｌｏａｄ＿Ｅｎｄ＿Ｅｖｅ
ｎｔ）を検査器サーバに送信する。

【００５８】ステップＳ１７５では、検査器サーバがロ
ード完了メッセージ（Ｌｏａｄ＿Ｅｎｄ＿Ｅｖｅｎｔ）
を受信する。ステップＳ１８０では、検査器サーバは、
カセットに関する情報を要求するカセット情報要求メッ
セージ（ＣＳＴＩｎｆｏ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）をホ
ストに送信し、ホストのデータベース中で装置状態及び
ポート情報が更新される。

【００５９】実際にこのような装置状態及びポート情報
更新作業は、検査器サーバが直接ネットワークを通じて
行うことができ、ホストが装置サーバから更新要求メッ
セージを受信して遂行することができる。即ち、装置サ
ーバとホストとはネットワークで連結されているので、
実際にホストのデータベースを装置サーバとホストの両
方が更新することができる。ホスト内のデータベースへ
のアクセス権を、装置サーバのみに与えるか、ホストの
みに与えるかは、適宜設計変更可能である。

【００６０】ステップＳ１８５では、ホストがカセット
情報要求メッセージ（ＣＳＴＩｎｆｏ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨ
ｏｓｔ）を受信する。ステップＳ１９０では、ホストは
カセットＩＤをキーにしてデータベースを検索し、前記
メッセージ内で要求されるカセットに関する情報を読み
出す。ステップＳ１９５では、ホストは該当情報をカセ
ット情報応答メッセージ（ＣＳＴＩｎｆｏ＿Ａｎｓ＿ｔ
ｏＥＱｓｒｖ）の形態で検査器サーバに送信する（図１
３）。このカセット情報応答メッセージ（ＣＳＴＩｎ
ｆｏ＿Ａｎｓ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）には、現在のカセット
情報、カセット内に保管されたガラス又はロットに関す
る情報、作業内容情報と進行工程、ガラス又はロットが
カセットに保管されている位置、作業レシピ、数量など
の情報が含まれる。

【００６１】ステップＳ２００では、検査器サーバが、
カセット情報応答メッセージ（ＣＳＴＩｎｆｏ＿Ａｎｓ
＿ｔｏＥＱｓｒｖ）を受信する。ステップＳ２０５で
は、検査器サーバは、検査器が検査作業を進行し得る状
態であるかどうかを確認する。即ち、検査器サーバは、
カセット情報応答メッセージ（ＣＳＴＩｎｆｏ＿Ａｎｓ
＿ｔｏＥＱｓｒｖ）からカセットに関する情報を得て、
このカセットが検査器で検査を遂行することができる正
常なカセットであるかどうかを検査する。カセットの情
報が正常であれば、ステップＳ２０５に移行する。ステ
ップＳ２１０では、検査器サーバは、前記メッセージ
（ＣＳＴＩｎｆｏ＿Ａｎｓ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）からガラ
ス（又はロット）に関する情報を得て、このガラス又は
ロットに関する情報が正常な情報であるかどうかを検査
する。検査器サーバが受信したカセット情報には、前述
したように、カセット自体に関する情報、カセット内に
保管されたガラス又はロットに関する情報と作業内容情
報があるので、検査器サーバはこれら情報を綜合して検
査器の状態を判断する。前記情報が正常でなければ、非
常状態になる（ステップＳ２４５）。正常であれば、ス
テップＳ２１５に移行する。ステップＳ２１５では、検
査器サーバは、正常作業開始要請メッセージ（ＴＫＩＮ
＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）をホストに送信する（図１３
）。

【００６２】ステップＳ２２０では、ホストが、正常な
作業開始要請メッセージ（ＴＫＩＮ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏ
ｓｔ）を受信し、装置サーバで実行された検証過程を繰
返して実行する。検証作業を装置サーバとホストとで重
複して行うのは、より安定した制御のためであり、ニー
ズに応じて前記検証作業を装置サーバのみで又はホスト
のみで実施するように設計可能である。ホストで遂行し
た前記検証作業が正常であると判断されると、ステップ
Ｓ２２５に移行する。

【００６３】ステップＳ２２５では、ホストは、データ
ベースに作業開始を記録する。ステップＳ２３０では、
ホストは、正常な作業開始応答メッセージ（ＴＫＩＮ＿
Ａｎｓ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）を検査器サーバに送信する
（図１３）。

【００６４】ステップＳ２３５では、検査器サーバが正
常な作業開始応答メッセージ（ＴＫＩＮ＿Ａｎｓ＿ｔｏ
ＥＱｓｒｖ）を受信する。ステップＳ２４０では、検査
器サーバは、ホストで遂行した検証結果が正常であるか
どうかを判断し、正常でなければ非常状態にする（ステ
ップＳ２４５）。検証結果が正常であれば、図１０のス
テップＳ２５０に移行する。図１０のステップＳ２５０
では、装置サーバは、その時点までにホストから受信し
たメッセージ情報を綜合し、検査器への命令を構成す
る。ステップＳ２５５では、検査器サーバは、作業開始
命令（Ｓｔａｒｔ＿Ｃｍｄ＿ｔｏＥＱ）を検査器に送信
する（図１３）。作業開始命令（Ｓｔａｒｔ＿Ｃｍｄ
＿ｔｏＥＱ）には、検査器がどのように作業を実行しな
ければならないかに関する詳細な情報が含まれている。
具体的には、ホストが検査器サーバに送信した作業レシ
ピが作業開始命令（Ｓｔａｒｔ＿Ｃｍｄ＿ｔｏＥＱ）に
含まれて検査器に送信される。作業レシピには、以前作
業工程の結果データが保存されたファイルサーバの位置
に関する情報、作業終了後に結果データをファイルサー
バに保存するための情報、作業工程別の作業しなければ
ならないガラス情報又は基本的に検査器で作業しなけれ
ばならない条件、パラメータセットなどが含まれる。

【００６５】ステップＳ２６０では、検査器が作業開始
命令（Ｓｔａｒｔ＿Ｃｍｄ＿ｔｏＥＱ）を受信する。ス
テップＳ２６５では、検査器は、作業開始命令（Ｓｔａ
ｔｒ＿Ｃｍｄ＿ｔｏＥＱ）から作業実行に必要な全ての
情報があるかどうかを検査する。漏れた情報があったり
又は実際に検査器が作動不可能な状態である場合には非
常状態にする（ステップＳ２７０）。検査結果が正常な
場合には、ステップＳ２７５に移行する。ステップＳ２
７５では、検査器は、現在実行中である作業がなければ
ただちに作業を開始し、現在実行中の作業があれば作業
完了を待機して作業を開始する。

【００６６】ステップＳ２８０では、検査器は、作業が
開始されると、作業レシピとガラスＩＤ又はロットＩＤ
を組合せてファイルサーバに接続する。ステップＳ２８
５では、検査器は、カセットＩＤ（実際にはカセットＩ
Ｄ、ロットＩＤ、ガラスＩＤはすべてリンクされてい
る）に保存された以前の作業データを読み出した後にカ
セット内のガラスに対する作業を進行する。ステップＳ
２９０では、検査器は、カセット内のガラスに対する検
査作業が実行されたか否かを判断する。実行されたと判
断すると、ステップＳ２９５に移行する。ステップＳ２
９５では、検査器は、現在の作業レシピとガラス又はロ
ットＩＤとを組合せて再度ファイルサーバに接続する。
ステップＳ３００では、検査器は、それぞれのガラスに
対する未加工データ（不良座標データ、不良内容）又は
サマリデータ（特定不良が発生したガラスの数など）を
ファイルサーバの指定された位置に保存する。

【００６７】ステップＳ３０５では、検査器は、検査器
サーバに保存完了報告メッセージ（Ｓａｖｅ＿Ｅｎｄ＿
ｔｏＥＱｓｒｖ）を送信する。ステップＳ３１０では、
検査器サーバが前記メッセージを受信する。ステップＳ
３１５では、検査器サーバはファイルサーバに接続す
る。ステップＳ３２０では、検査器サーバは、作業結果
データ（主にサマリデータ）を読み出す。作業結果デー
タには、ガラスＩＤ、装置ＩＤ、工程ＩＤ、作業開始時
間又は作業終了時間、ガラスに関する不良情報又は工程
データが含まれる。ステップＳ３２５では、検査器サー
バは、作業結果データを利用し、特定ガラスのリジェク
ト、又はカセットに入れてあるガラス（またはロット）
の位置の再調整あるいは特定のガラスに対する再作業処
理を指示したり、データ分析のためのデータなどを収集
する。

【００６８】ステップＳ３３０では、検査器サーバは、
ホストにこれらデータの加工を要請するデータ加工要請
メッセージ（Ｄｃｏｌｌ＿ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）を送
信する。ステップＳ３３５では、ホストが前記メッセー
ジを受信する。ステップＳ３４０では、ホストは、前記
データを加工処理する。ステップＳ３４５では、ホスト
は、データ加工応答メッセージ（Ｄｃｏｌｌ＿Ａｎｓ＿
ｔｏＥＱｓｒｖ）を検査器サーバに送信する。

【００６９】ステップＳ３５０では、検査器サーバは前
記メッセージを受信する。ステップＳ３５５では、検査
器サーバは、受信したメッセージに基づいて、データ加
工処理が正常に行われたかどうかを判断する。正常でな
いと判断すると、ステップＳ３６０に移行する。正常で
あると判断すると、後述するステップＳ３６５に移行す
る。ステップＳ３６０では、検査器サーバは、ホストに
連結されるユーザインターフェースを通じてユーザから
の必要なデータの入力を待機する。ステップＳ３６５で
は、検査器サーバは、後述する作業完了報告メッセージ
が検査器から送信されるのを待機する。

【００７０】ステップＳ３７０では、全ての作業を完了
した検査器が、検査器サーバへ作業完了報告メッセージ
（Ｗｏｒｋ＿Ｅｎｄ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）を送信する。こ
のメッセージ（Ｗｏｒｋ＿Ｅｎｄ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）は
前述した保存完了メッセージ（Ｓａｖｅ＿Ｅｎｄ＿ｔｏ
ＥＱｓｒｖ）より前に送信してもよい。

【００７１】ステップＳ３７５は、検査器サーバが作業
完了報告メッセージ（Ｗｏｒｋ＿Ｅｎｄ＿ｔｏＥＱｓｒ
ｖ）を受信する。ステップＳ３８０では、検査器サーバ
は、再度ホストに正常な作業終了要請メッセージ（ＴＫ
ＯＵＴ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）を送信する。

【００７２】ステップＳ３８５では、ホストが、前記メ
ッセージ（ＴＫＯＵＴ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）を受信
する。ステップＳ３９０では、ホストが、自己のデータ
ベースに作業終了に対する処理を実施する。ステップＳ
３９５では、ホストは、再度正常な作業終了応答メッセ
ージ（ＴＫＯＵＴ＿Ａｎｓ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）を検査器
サーバに送信する。

【００７３】ステップＳ４００では、検査器サーバは、
前記メッセージ（ＴＫＯＵＴ＿Ａｎｓ＿ｔｏＥＱｓｒ
ｖ）を受信する。図１２のステップＳ４０５では、検査
器サーバは、受信したメッセージに基づいて、ホストが
作業終了処理を正常に遂行したかどうかを判断する。正
常でないと判断すると、ステップＳ４１５に移行して作
業者呼び出しを行う。正常と判断すると、ステップＳ４
１０に移行する。

【００７４】ステップＳ４１０では、検査器サーバは、
アンロードフラグがＯＮか否かを判断する。アンロード
フラグを検査する理由は、検査器が処理を実行完了後に
検査器サーバが作業終了要請メッセージ（ＴＫＯＵＴ＿
Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）をホストに送信する時点と、検
査器がアンロード要請メッセージ（Ｕｎｌｏａｄ＿Ｒｅ
ｑ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）を検査器サーバに送信する時点が
置換えられる可能性があるためである。アンロードフラ
グがＯＮと判断すると、ステップＳ４２０に移行する。

【００７５】ステップＳ４２０では、検査器サーバは、
ホストに再度アンロード要請メッセージ（Ｕｎｌｏａｄ
＿Ｒｅｑ＿ｔｏＨｏｓｔ）を送信する。ステップＳ４２
５では、ホストは前記メッセージを受信する。ステップ
Ｓ４３０及びＳ４３５では、検査器はアンロード要請メ
ッセージ（Ｕｎｌｏａｄ＿Ｒｅｑ＿ｔｏＥＱｓｒｖ）を
検査器サーバに送信し（Ｓ４３０）、カセットの固定を
解除させる（Ｓ４３５）。

【００７６】ステップＳ４４０では、検査器サーバはア
ンロード要請メッセージ（Ｕｎｌｏａｄ＿Ｒｅｑ＿ｔｏ
ＥＱｓｒｖ）を受信する。ステップＳ４４５では、検査
器サーバは、アンロードフラグをＯＮにする。これによ
り、検査器サーバは自己のプログラムを実行した後にア
ンロードフラグを検査し、このフラグがＯＮされるとア
ンロード要請メッセージ（Ｕｎｌｏａｄ＿Ｒｅｑ＿ｔｏ
Ｈｏｓｔ）をホストに送信する。

【００７７】ステップＳ４５０では、ホストは、自動運
送装置を呼出して運送命令を送信する。具体的には、ア
ンロード要請メッセージ（Ｕｎｌｏａｄ＿Ｒｅｑ＿ｔｏ
Ｈｏｓｔ）を受信したホストが、自己のデータベースに
検査器における作業終了を記録し自動運送装置にアンロ
ード命令（Ｕｎｌｏａｄ＿Ｃｍｄ）を送信する。

【００７８】ステップＳ４５５、Ｓ４６０，Ｓ４６５，
Ｓ４７０では、自動運送装置は再度検査器に移動し（Ｓ
４５５）、検査器の自動センサと無線通信を通じて（Ｓ
４６０、Ｓ４６５）検査が終わったカセットをアンロー
ドする（Ｓ４７０）。ステップＳ４７５では、検査器は
自動センサによってカセットがアンロードされたかどう
かを検知し、アンロード完了イベント（Ｕｎｌｏａｄ＿
Ｅｎｄ＿Ｅｖｅｎｔ）を検査器サーバに送信する。

【００７９】ステップＳ４８０では、検査器サーバはア
ンロード完了イベントを受信する。ステップＳ４８５で
は、検査器サーバは、ホスト内のデータベースにポート
情報を空き状態で記録するなど装置状態を更新する。こ
の処理は、検査器サーバがホストに更新要請メッセージ
を送ってホストが直接行うことができる。以上、ホス
ト、装置、装置サーバ及び自動運送装置の間で送受信さ
れるメッセージの流れを、図１３に示す。図１３は、本
実施形態例における自動化システムの制御方法に使用さ
れるメッセージの流れを示す説明図である。

【００８０】ホスト内に保存されているデータベースに
は、該当カセットとガラス作業物ＩＤを基準としてそれ
ぞれの作業工程が連続的に記録されているので、前記カ
セットは検査器の処理が完了した後にデータベースに沿
って補修器で再度全過程を前述のような流れの通り実行
する。

【００８１】なお、本発明の実施形態例で使用されるフ
ァイルサーバは、種種のＯＳを用いて具現することがで
きる。

【００８２】また、それぞれの装置とファイルサーバと
の間の通信、ファイルサーバと装置サーバとの間の通
信、装置サーバとホストとの間の通信は、ネットワーク
で接続されている。ネットワークを具現するための物理
的階層としては、トークンリング、スター、ＡＴＭ方式
などを使用できる。プロトコル階層としては、ＴＣＰ／
ＩＰ、ＩＰＸ、ネットビュー方式などを使用することが
できる。応用階層としては、ネットワークファイルシス
テム、ネットウェア、ＷＦＷＧ（Window For Work Grou
p）などを使用することができる。本発明に言及した全
ての駆動方式は上記方式のみに限定されるのではない。

【００８３】また、作業者は、ファイルサーバに直接接
続して作業結果データ（例えば、不良内容、不良イメー
ジデータ）を確認することができる。これによって、作
業者は遠隔地で（例えば、事務室内）前記作業内容を直
接確認し、必要な作業指示をホストを通じて特定装置に
指示することができ、前記作業結果データに基づいた多
様な通計資料を生成することができる。

【００８４】以上では検査器と補修器を例としてあげて
自動化システムを説明したが、本発明は前記装置に限定
されない。例えば、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造において必要な
他の装置（露光装置、蝕刻装置、蒸着装置など）にも使
用することができる。例えば、検査器によってファイル
サーバに保存される検査結果データ（特に、未加工デー
タ）を、補修器以外にも次のような肉眼検査装置に利用
することができる。

【００８５】電子顕微鏡のような肉眼検査装置は、ファ
イルサーバに直接又はホストを通じて接続して、ガラス
に対する検査結果データ、特に不良座標データを読み出
すことができる。肉眼検査装置に前記不良座標データが
入力されると、肉眼検査装置は前記座標に該当するガラ
スの位置に自動的に移動し、これによって使用者は前記
肉眼検査装置を用いてガラスの不良内容を直接確認する
ことができる。

【００８６】また、本発明の実施形態例では、ＴＦＴ−
ＬＣＤの製造を例としてあげて説明したが、本発明は前
記ＴＦＴ−ＬＣＤの製造に限定されずに、半導体、プラ
ズマディスプレイパネル、印刷回路基板などのようなマ
イクロエレクトロニクスデバイスの製造にも適用可能な
ものである。その他にも、１つの装置で実行した作業結
果を他の装置で利用しようとする全ての産業分野（例え
ば、自動車、鉄鋼、石油化学など）に適用することがで
きる。

【００８７】

【発明の効果】以上のような本発明によると、作業工程
の全ての装置がファイルサーバに接続されることによっ
て装置間に作業データが共有され得る。従って、前の装
置で遂行した作業データを利用して他の装置における作
業を進行することができ、多様な通計資料としても利用
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のシステムの構成図である。

【図２】本発明の実施形態例による自動化システムの通
信構造である。

【図３】本発明の実施形態例に使用される装置の例示図
である。

【図４】本発明の第１実施形態例による自動化システム
の構成図である。

【図５】本発明の第２実施形態例による自動化システム
の構成図である。

【図６】図５のファイルサーバの詳細構成図である。

【図７】本発明の実施形態例による自動化システムの制
御方法を示した概略流れ図である。

【図８】本発明の実施形態例による自動化システムの制
御方法を示した細部流れ図（１）である。

【図９】本発明の実施形態例による自動化システムの制
御方法を示した細部流れ図（２）である。

【図１０】本発明の実施形態例による自動化システムの
制御方法を示した細部流れ図（３）である。

【図１１】本発明の実施形態例による自動化システムの
制御方法を示した細部流れ図（４）である。

【図１２】本発明の実施形態例による自動化システムの
制御方法を示した細部流れ図（５）である。

【図１３】本発明の実施形態例による自動化システムの
制御方法に使用されるメッセージ流れ図である。

【符号の説明】

１００ ホスト １１０ データベース ２００ 装置サーバ ３００ 装置 ３１０ 作業待機所 ３４０ 作業台 ３５０ ベリコードリーダー ３６０ 作業制御画面 ３７０ 搬送ロボット ４００ ファイルサーバ ５００ 自動運送コントローラ ６００ 自動運送装置 ６５０ カセット

Claims (38)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】作業物に対してそれぞれ作業を行う複数の
   装置と、 前記装置とネットワークを介して接続され、前記装置に
   おける作業結果データを保存することで前記作業結果デ
   ータを前記装置が共有可能にするファイルサーバと、 前記装置と接続され、それぞれの装置を制御する装置サ
   ーバと、 前記装置サーバとネットワークを介して接続され、前記
   装置に必要な作業情報を有しており、該当装置に必要な
   作業情報を前記装置サーバに提供するホストと、 を備える自動化システム。
2. 【請求項２】前記ファイルサーバに接続して前記ファイ
   ルサーバに保存されている作業結果データを出力可能で
   あり、かつ前記作業結果データに基づく指示を受け付け
   可能なユーザインターフェース部をさらに備える、請求
   項１に記載の自動化システム。
3. 【請求項３】前記ホストによって制御され、前記作業物
   をそれぞれの装置に自動運送する自動運送装置をさらに
   備える、請求項１に記載の自動化システム。
4. 【請求項４】前記ホストと有線で連結され、前記ホスト
   から命令を受け前記自動運送装置の動作を制御する自動
   運送コントローラをさらに備える、請求項３に記載の自
   動化システム。
5. 【請求項５】前記自動運送装置は複数の作業物を１つの
   搬送容器内に入れて搬送し、前記搬送容器は識別のため
   の固有ＩＤである搬送容器ＩＤを有している、請求項３
   に記載の自動化システム。
6. 【請求項６】前記装置は、前記作業物に対する作業を進
   行するための作業台と、 前記作業物に対する作業の進行前又は進行後に前記作業
   物を置くための複数の作業待機所と、 前記作業物を前記作業待機所から前記作業台に移動させ
   たり前記作業台から前記作業待機所に移動させるための
   搬送ロボットと、 を備える、請求項５に記載の自動化システム。
7. 【請求項７】前記作業台は前記作業物のＩＤを判読する
   ための第１判読器を有し、 前記作業待機所は、前記搬送容器ＩＤを判読するための
   第２判読器と、前記自動運送装置と通信するための通信
   手段とを有する、請求項６に記載の自動化システム。
8. 【請求項８】前記装置は、作業経過を視覚的に表示可能
   な作業制御画面をさらに備える、請求項７に記載の自動
   化システム。
9. 【請求項９】前記作業物はウェーハであり、前記搬送容
   器はカセットである、請求項８に記載の自動化システ
   ム。
10. 【請求項１０】前記作業物はガラスであり、前記搬送容
    器はカセットである、請求項８に記載の自動化システ
    ム。
11. 【請求項１１】前記装置は、検査器と補修器とを含む、
    請求項９又は請求項１０に記載の自動化システム。
12. 【請求項１２】所定のパターンが形成されている基板を
    検査するための検査器を含む複数の装置と、 前記装置とネットワークを介して接続され、前記基板に
    対するそれぞれの装置における作業結果データを保存す
    ることで前記作業結果データを前記装置が共有可能にす
    るファイルサーバと、 前記装置に接続され、それぞれの装置を制御する検査器
    サーバを含む複数の装置サーバと、 前記装置サーバとネットワークを介して接続され、デー
    タベースを有しており、前記基板の固有ＩＤである基板
    ＩＤに基づいて前記データベースを参照して該当装置に
    必要な作業情報を前記装置サーバに提供するホストと、 を備える、マイクロエレクトロニクスデバイスの自動化
    システム。
13. 【請求項１３】前記ファイルサーバに接続して前記ファ
    イルサーバに保存されている作業結果データを出力可能
    であり、かつ前記作業結果データに基づく指示を受け付
    け可能なユーザインターフェース部をさらに備える、請
    求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの
    自動化システム。
14. 【請求項１４】前記ホストによって制御され、前記基板
    をそれぞれの装置に自動運送する自動運送装置をさらに
    備える、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクス
    デバイスの自動化システム。
15. 【請求項１５】前記ホストと有線で連結され、前記ホス
    トから命令を受け前記自動運送装置の運送を制御する自
    動運送コントローラをさらに備える、請求項１４に記載
    のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システ
    ム。
16. 【請求項１６】前記装置には、前記検査器からの検査結
    果に基づいて前記基板を補修するための補修器がさらに
    含まれる、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニク
    スデバイスの自動化システム。
17. 【請求項１７】前記検査器は、前記基板に対する検査作
    業を遂行した後、検査結果データを前記ファイルサーバ
    に保存し、 前記補修器は、前記検査結果データを前記ファイルサー
    バから読み出して補修作業に利用し、補修結果データを
    前記ファイルサーバに保存する、請求項１６に記載のマ
    イクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
18. 【請求項１８】前記検査器は、前記基板を検査した後、
    検査結果を加工しなかった未加工データを前記検査結果
    データとして前記ファイルサーバに保存し、前記検査結
    果を加工したサマリデータを前記検査器サーバに送信す
    る、請求項１７に記載のマイクロエレクトロニクスデバ
    イスの自動化システム。
19. 【請求項１９】前記検査器は、前記基板を検査した後、
    検査結果を加工しなかった未加工データと前記検査結果
    を加工したサマリデータとを前記検査結果データとして
    前記ファイルサーバに保存し、前記検査結果データ保存
    のイベントを前記検査器サーバに送信する、請求項１７
    に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの自動化シ
    ステム。
20. 【請求項２０】前記未加工データは、不良座標データ及
    び／または不良内容データである、請求項１９に記載の
    マイクロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
21. 【請求項２１】前記検査器により前記ファイルサーバに
    保存された検査結果データを利用し、前記基板に対する
    検査内容を視覚的に出力可能な肉眼検査装置をさらに備
    える、請求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデ
    バイスの自動化システム。
22. 【請求項２２】前記検査結果データは不良座標データを
    含み、 前記肉眼検査装置は前記不良座標データに自動的に移動
    して前記検査結果データの視覚的出力を行う、請求項２
    １に記載のエレクトロニクスデバイスの自動化システ
    ム。
23. 【請求項２３】前記装置と前記ファイルサーバ、前記フ
    ァイルサーバと前記装置サーバ及び前記装置サーバと前
    記ホストは、それぞれＴＣＰ／ＩＰ方式で連結される請
    求項１２に記載のマイクロエレクトロニクスデバイスの
    自動化システム。
24. 【請求項２４】前記装置と前記装置サーバとは、ＳＥＣ
    Ｓ（Semiconductor Equipment Communication Standar
    d）通信方式で接続される、請求項１２に記載のマイク
    ロエレクトロニクスデバイスの自動化システム。
25. 【請求項２５】前記基板はウェーハである、請求項１２
    〜２４のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニク
    スデバイスの自動化システム。
26. 【請求項２６】前記基板はガラスである、請求項１２〜
    ２４のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス
    デバイスの自動化システム。
27. 【請求項２７】第１装置にローディングされた作業物を
    認識する段階と、 前記作業物に対する前記第１装置における作業の命令を
    制御部から受信する段階と、 前記第１装置を含む複数の装置にオンラインで連結され
    前記作業物に対する装置の作業結果データを保存してい
    るファイルサーバから、前記第１装置の作業に必要な前
    工程の作業結果データを読み出す段階と、 前記前工程の作業結果データを利用して前記作業物に対
    する作業を前記第１装置で遂行する段階と、 前記第１装置で遂行された作業結果データを前記ファイ
    ルサーバに保存する段階と、 を含む工程制御方法。
28. 【請求項２８】前記前工程の装置は検査器であり、前記
    第１装置は補修器である、請求項２７に記載の工程制御
    方法。
29. 【請求項２９】前記作業物はウェーハである、請求項２
    ８に記載の工程制御方法。
30. 【請求項３０】前記作業物はガラスである、請求項２８
    に記載の工程制御方法。
31. 【請求項３１】基板に対してそれぞれの作業を行う装置
    と、前記装置を制御する制御部と、前記基板をそれぞれ
    の装置に自動運送する自動運送装置とを含む自動化シス
    テムの制御方法において、 前記基板を第１装置にローディングする第１段階と、 前記第１装置で前記基板に対する作業を行い、前記装置
    にネットワークを介して接続され、前記装置の作業結果
    データを共有するためのファイルサーバに前記第１装置
    の第１作業結果データを保存する第２段階と、 前記第１装置から前記基板をアンローディングする第３
    段階と、 前記基板を第２装置に搬送し前記第２装置にローディン
    グする第４段階と、 前記第２装置における作業実行前に前記第１作業結果デ
    ータを前記ファイルサーバから読み出し、作業実行時に
    前記第１作業結果データを利用して前記基板に対する作
    業を実行し、作業実行後に第２作業結果データを前記フ
    ァイルサーバに保存する第５段階と、 前記第２装置から前記基板をアンローディングする第６
    段階と、 を含む自動化システムの制御方法。
32. 【請求項３２】前記第１段階は、前記第１装置が制御部
    に前記基板を要請するメッセージを送信する段階と、 前記制御部が自己のデータベースを検索して前記第１装
    置で実行されなければならない基板を探し出し、探し出
    した基板を第１装置にローディングするように前記自動
    運送装置に命令する段階と、 第１装置にローディングされると、前記第１装置が基板
    のＩＤを読み出した後にローディング完了を制御部に報
    告する段階と、 を含む請求項３１に記載の自動化システムの制御方法。
33. 【請求項３３】前記第２段階は、制御部が前記基板ＩＤ
    に基づいた情報によって前記第１装置が作業可能な状態
    であるか否かを判断し、作業可能な状態であれば前記第
    １装置の作業実行に必要な作業情報と共に作業開始命令
    を前記第１装置に送信する段階と、 前記第１装置が前記基板に対する作業を実行し、前記第
    １作業結果データをファイルサーバに保存した後に制御
    部に作業完了を報告する段階と、 を含む請求項３２に記載の自動化システムの制御方法。
34. 【請求項３４】前記第３段階は、前記制御部が前記ファ
    イルサーバから前記第１作業結果データを読み出して前
    記第１作業結果データを加工し、前記自動運送装置に前
    記基板のアンローディングを命令する段階と、 前記自動運送装置が、作業が完了した基板を前記第１装
    置からアンローディングする段階と、 アンローディングが完了すると、前記第１装置が前記制
    御部にアンロード完了を報告する段階と、 を含む請求項３３に記載の自動化システムの制御方法。
35. 【請求項３５】前記第４段階は、制御部が前記ファイル
    サーバに保存された前記第１作業結果データの保存位置
    と、前記第２装置で遂行する第２作業結果データを保存
    する位置とを前記第２装置に知らせる段階と、 前記第２装置が前記第１作業結果データを前記ファイル
    サーバから読み出して作業を実行し、第２作業結果デー
    タを前記ファイルサーバに保存する段階と、 を含む請求項３４に記載の自動化システムの制御方法。
36. 【請求項３６】前記第１装置は検査器であり、前記第２
    装置は補修器である、請求項３５に記載の自動化システ
    ムの制御方法。
37. 【請求項３７】前記基板はウェーハである、請求項３６
    に記載の自動化システムの制御方法。
38. 【請求項３８】前記基板はガラスである、請求項３６に
    記載の自動化システムの制御方法。