CN100370452C - 在制造执行与物料控制系统中自动解决问题的方法和系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了用于自动制造工厂的自动错误恢复系统和方法。这些工厂通常有多个自动控制系统(包括自动物料运送系统(AMHS))，所有这些系统通常都在计算机化的制造执行系统(MES)的控制之下自动运行。公开的解决问题(ISR)系统和方法涉及提供与操作自动工厂内的工具和其他站的MES、AMHS和/或生产控制系统相互作用的组件，如果希望的话，这些组件可由解决问题管理(ISRM)系统来管理和运行。这些组件(可被看作定制的逻辑单元)中的每个组件都可被编写成处理可能发生且适于自动解决或恢复的特定种类的输入错误状态、问题或其他事项。

Description

在制造执行与物料控制系统中自动解决问题的方法和系统
技术领域
本发明一般地涉及用于运行例如自动半导体制造工厂的工业设备的完全自动的系统和方法，具体涉及用于解决在利用自动制造执行系统、物料控制系统以及实时调度系统的制造工厂中出现的错误状态和其他问题的自动系统和方法。
背景技术
在例如处理200mm或300mm晶片的自动IC制造工厂(fab)中使用的计算机集成制造(CIM)系统可能包括以下项：
(1)自动制造执行系统(MES)，如IBM的SiView Standard MES(来自IBM日本工业解决方案有限公司(iiSC)(IBM Japan IndustrialSolution Co.，Ltd))；
(2)诸如来自Murata Machinery有限公司的Muratec物料控制系统(MCS)之类的自动物料运送系统(AMHS)和/或自动原版运送系统(ARHS)；以及
(3)诸如可从IBM SiView或Brooks Automation/AutoSimulation Inc购买的那些自动实时调度器(RTD)。
还有其他公司提供可以用于在IC制造工厂中代替上述项中任意一项的MES、AMHS和RTD系统。在所有此类自动工厂中，基本目标一般都是相同的：以高的效率、质量和灵活性来运行整个工厂，以便最大化生产率和投资回报。往往这又要求在尽量减少停机时间的同时最优化产品结构和产出。
当设计和建造复杂的自动工厂(例如完全自动的300mm半导体器件制造工厂)时，通过利用“最佳产品”(BOB)过程针对该工厂的计划要求来评估供应商和分销商的系统和部件以选择供应商和分销商是公知的。利用此过程，选择在制造工厂行业中被认为是最佳的每个系统、应用或部件(当然，受到可用性、兼容性和成本的限制)以帮助实现前一段中列出的目标。再者，往往以满足未来需求和/或工厂扩建的观点来选择自动工厂中的设备。自然地，负责使这样的自动工厂投产运行的设计师和工程师们必须处理与将许多完全不同的设备及其控制系统以及总体控制系统(如MES、MCS和RTD)集成为在功能上紧密结合的自动工厂所关联的固有问题，所有这些设备和系统可能共同来自许多不同的供应商。
在这些类型的自动IC制造工厂中，错误状态、问题和诸如设备和系统的连续性能(例如，正常运行百分比)之类的其他问题会在自动工厂运行(特别是以完全自动模式运行)时发生。在SiView Standard MES中，这种模式有时被称作“完全自动3模式(Full Auto 3 Mode)”。如在所有制造生产中那样，诸如工具、托架(carrier)或设备的其他部分在其需要维修或保养之前预期能运行多久之类的问题将会出现。不可避免地，没有排定的错误状态、问题和其他事项会发生，但是仍然必须作为运行此类工厂的一部分进行处理。在诸如制造工厂之类的现代化自动工厂中，这些可以包括各种状态或问题，它们通常由自动错误报告系统记录以供其后的人工分析和跟踪。希望和预期是：通过维护制造工厂的支持人员(如熟练的技术人员和工程师)的某种进一步研究，能够确定各种错误和其他问题的根本原因并对其进行纠正，从而改善工厂总体效率，缩短周期时间，增加产量和提高工具可用性和正常运行时间。
许多时候，在支持人员已进行研究后，确实能采取适当的纠正操作来清除错误和/或消除或补救当前的问题。有时能现场采取纠正操作。而在其他时候，通常当解决方案不明显或者将需要相当多的时间和/或资源以实现解决方案时，纠正可以推迟到以后的日期或时间。尽管纠正错误状态以结束此类错误或问题或至少降低此类错误或问题的发生频率是所希望的，但许多时候维护人员目前所能做的是使工具设备托架和/或套件(lot)离线或使其固定，以便特定实体或对象对实时调度器不可用。所需的纠正操作可以包括复位工具或站或者以所需的供给物或原材料补充该工具或站。其他纠正操作可以包括设备调整、修理、工序更改和/或保养。使制造工厂受影响的部分返回生产状态所采取的操作还可以包括移除受影响的正在制造的工件(WIP)以及移除或替换托架、工具或工具部件。工具或站可完全离线以供其后查找问题或修理，特别是当附近有其他同样的工具或站继续处理这些托架或其他正在制造的工件的时候。
在高度自动的制造工厂环境中遇到的问题至少与该制造工厂中不同类型的设备和要进行的工序一样多种多样，并且可能要多得多。大量问题可能与自动物料运送设备或者其控制系统或者控制系统间交互中的次要技术问题或错误有关。在此类自动制造工厂中可能与自动托架(如前开口统一容器(FOUP))的传输一起出现的问题或其他事项的示例性(但不是穷举的)列表可包括下列内容，其中每一项通常被指定一个数字代码以便于参考：
表1-问题代码
  代码   描述
  -201-202-203-204-205-206-207-208-209-210-211  拒绝，重复的TrJobBID(传输作业ID)。拒绝，未知的CarrierID。拒绝，该CarrierID已在另一位置中存在。拒绝，未知的源位置。拒绝，未知的目的地位置。拒绝，目的地满。拒绝，源不可用。拒绝，目的地不可用。拒绝，从源到目的地的路径不可用。拒绝，预期开始时间违规。拒绝，预期停止时间违规。
  -212-213-214-215   拒绝，托架属于另一个所有者。拒绝，批传送，至少一个请求已被拒绝。拒绝，先前作业的拾取过程在该设备端口尚未完成。拒绝，托架处于未知状态。
虽然这些自动化问题并不影响产品质量，但是它们会减慢生产。
作为问题如何会发生的一个例子，考虑如下情况。在全自动3模式中，即使MES和/或MCS检测到或遇到上述错误之一，RTD系统(它包括正被利用的每个设备ID的各种调度脚本和逻辑规则)也可能充分地尝试执行Start Lot Reservation(启动组件预留)。RTD和MES没有被编程为逻辑地检查或试图解决这些错误中的任何错误。已被集成和编程以便实现某些预期功能的现有系统通常没有被设置成处理可能以任何系统的方式发生的不可预计的错误、问题或其他事项，除了报告它们的发生。这对于制造工厂中多个系统、应用和/或设备之间可能出现的未预料到的互操作性问题尤其如此。当不同的零售商或供应商负责整个自动制造工厂的不同部分时，这些种类的自动化问题被混合在一起。进而，据我们所知，当前的制造工厂自动化系统并未提供在自动的基础上应对(即处理)和(最重要地)解决由大量零售商和半导体设备供应商提供的各种系统之间和/或设备之间出现的此类错误或从此类错误恢复。
处理此类偶然的错误或其他似乎随机的问题不是一个简单的任务。通常，受过训练的工程师、程序员和技术员在试图解决问题时通过诊断手头的问题，并且如果时间允许，确定底层的根本原因并分析和实施实际的纠正操作来同时执行实时的和计划的调查研究。即使对于已知的问题，也需要受过训练的操作员、技术员或工程师人工地干预设备和控制系统并与之进行交互来解决错误状态或其他问题。他们经常使工具或其他设备脱离自动模式并进行手动操作或使用工具的接口来复位工具，或有时甚至物理地移动对象(如FOUP原版操作阀或门等)以便使该自动设备返回生产。换言之，通常需要某种手动操作或手动复位机构以解决问题和使受影响的设备或WIP托架恢复到其准备好再次以完全自动模式操作的状态，或者使它们永久地离线直至被修复为止，以便将它们除去，使它们不阻碍生产。
使用在线人员和人工干预来解决自动制造工厂中的几乎每一个错误、问题和其他事项存在一些缺点。证明开发完全自动的制造工厂会增加成本的一个因素是在装载和卸载一个完全装载的300mmFOUP(其重量可达25磅(11.3千克))中以AMHS代替在线人员的可靠性。另一个因素是托架的重量可能证明难于由一些工人经常手动处理，从而导致广泛使用某种形式的机械助手、推车或自动装置来向工具的负载端口装载FOUP和从中卸载FOUP。再者，在大型制造工厂中，存在许多相同和不同类型的设备。在任一给定时刻，制造工厂人员可能专注于其他活动而不能立即为刚刚停机的设备或托架服务。在线人员可能从事其他重要任务或与其他操作员、技术员或工程师，或其他CIM系统或控制系统本身，或例如实施纠正操作或在其他地方采取预防步骤的其他问题交换信息。或者他们可能处于远离当前需要维护的设备的位置。他们甚至可能不在该区域，如由于培训班、个人休息或午餐。此外，要人工检查和解决的问题区域可能位于地面线之上或之下很远的位置或其他难于到达的位置。还有，被呼叫要维护机器或系统的问题的人员可能尚未具有处理刚发生的特定类型问题的训练或经验。再者，考虑到典型自动制造工厂或其他类似的复杂自动制造工厂中出现的复杂设备和集成CIM系统和应用的繁多种类，任何个人都很难成为所有可能发生的纠正过程和任务的专家。
典型的IC制造工厂包括非常昂贵的设备。再者，在硅晶片上制造的存储器、逻辑电路和ASIC芯片(它们有时被称作正在制造的工件(WIP))往往也是非常昂贵的。因此，关键过程(即代表达到最大生产量的典型瓶颈的那些过程)的任何停机时间或部分停止都会降低该制造工厂的总体生产率并因此造成相当高的成本。因此，通常要尽可能地避免未计划的停机时间。但是，引起此类停机时间的错误状态和其他问题的部分特性在于它们往往是不可预计的和相当多变的。经常以显著频率发生的一些特定问题通常受到集中的研究和分析，然后通过彻底消除根本原因来人工尝试修补此类问题。大多数自动设备供应商也努力确保其单个设备是健壮而可靠的。他们已经解决了许多与其设备有关的已知问题，往往遗留下不经常发生的、似乎是随机的或真正奇怪的问题作为突然在工厂现场出现的典型类型的错误或其他问题。在这种情况下，往往难于确定此类问题的原因。例如，某个报告的错误状态可能有几个不同的可能原因。因此，常规做法是将设备和WIP托架迅速恢复到操作状态，然后在稍后时间允许时再处理此类相对少见的或被隔离的错误状态，这往往是通过煞费苦心的人工研究和分析。这种后续工作往往由训练有素的人员完成，他们可能查阅关于这些错误状态所积累的历史数据以期理解这些数据，从中识别根本原因并确定采取何种纠正操作。
因此，为了减少停机时间和迅速地将工具、设备和托架恢复到完全自动的状态，我们认识到人们十分希望找到一种自动方式来处理与实际中一样多的、在自动制造工厂中时常发生的数不清的错误、问题或其他事项。在利用若干不同类型的CIM系统和应用以及许多不同种类复杂设备和工具的复杂制造工厂中尤其希望如此。在那种环境中，即使对于受过训练的工程师、程序员或在线人员，为工厂中已经停机的部件而采取的重新启动多个自动系统的操作很费时间并且此操作本身也是一个高度复杂的任务。
发明内容
鉴于前述与用于处理错误、问题和其他事项(它们降低了例如IC制造工厂的自动制造工厂中的生产率)并从其恢复的手动技术关联的缺点和困难，根据本发明提供了新的系统和方法，该系统和方法用于在可行时自动解决至少某些感知的或报告的问题、错误状态或其他事项并从其恢复。这些新的系统和方法由此帮助提高生产率和加快周转时间，减少停机时间和循环时间，有时甚至降低劳动力成本。用于解决此类错误或其他事项的本发明的系统和方法可以例如利用软件系统和技术，如下文要描述的那样。在自动制造系统中采用本发明的系统或方法时，对于已为其开发出特征性解决方案的许多问题，参加人工服务的人员(包括工程师、技术员和/或操作员)基本消除了检测和响应这些问题的负担。实际上，如将进一步解释的那样，由本发明的管理问题解决(ISR)系统或其部件自动处理解决和恢复。该ISR系统及其部件可作为与其他自动控制系统集成的单独系统或应用来实现，或者作为控制该制造工厂总体运行的一个或多个自动管理系统的一部分来提供。
如下文中将进一步描述的那样，我们已经注意到，存在通过采取某些步骤能够被自动纠正的情况，例如但不限于，将坏的WIP或不正常工作的WIP托架分路到一旁，或使发生故障的工具或其他设备离线并将该离线的工具周围的其他托架或其他WIP分路到仍在工作的其他工具和设备处。我们注意到，还有其他情况能通过部分地取消已经采取的某些步骤或部分地替换工具或设备的其他部分内的某些部件来自动地纠正。还有，我们注意到有时有可能电子地清除或复位一个或多个错误标志或其他过程标志并试图重复同样的步骤，从而有希望在第二或第三时间循环内得到可接受的结果。进而，如下文要描述的那样，可以采取根据本发明的方法的某些预防性步骤，以便在一个区域中检测到的问题不会由于总体制造系统的隔间(bay)之间或隔间内的传输拥塞或堵塞而造成其他工具、隔间、站、传输点或传输机构等使要关闭或变成空闲的站、隔间或其他设备的链条上下起伏。
此处概要地说明本发明的自动解决问题系统和方法可包含的某些部件并概要说明使用本发明的系统和方法产生的某些优点是有益的。本发明的解决问题(ISR)系统的第一示例性实施例用于进行自动生产的自动制造工厂中。此类工厂通常具有多个自动设备，如站、工具和传输机构，这些设备被设计成执行特定的任务并具有交互控制系统以帮助协调位于或通过互连的站、工具和/或传输机构的、要完成的工作或任务。该ISR系统的示例性实施例用于自动地解决识别出的问题，这些问题正在或可能正在干扰此类工厂中的自动生产。优选地，该系统包括：自动解决问题管理(ISRM)系统，该系统用于指导自动解决问题的尝试，这些问题涉及引起该系统注意的自动制造工厂，优选地，这些问题包括错误状态。该ISRM系统包括多个组件，其运行由ISRM系统协调。这些组件包括：第一组件，该组件用于检查引起其注意的第一问题是否是自动解决方案看来可用的已识别的问题，以及第二组件，该组件用于命令由自动制造工厂的一部分采取纠正操作以响应由该第一组件识别的问题。再者，如果希望的话，还可添加其他组件。这些组件包括用于确定自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题的第三组件，以及用于记录该自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题或错误的第四组件。为了实现更多的功能，还可添加更多组件，即：用于提供消息指出哪个纠正操作命令看来已解决了识别出的问题的第五组件，以及在操作上安排成接收来自该第五组件的消息、用于记录此类消息中包含的至少部分信息以供将来参考的第六组件。
上述ISRM系统可能不是总是能够响应报告的错误状态或其他问题。再者，通过可用的状态信息，该ISRM系统可以识别出系统或部件存在阻碍产生纠正响应的某些状态，而对此影响生成消息可能是有用的。实现此功能的一种方法是使该ISRM系统的第二组件包括：用于确定当前是否能采取自动纠正操作的第一子组件，以及与该第一子组件通信、用于通告当前不能执行自动纠正操作的第二子组件。如果希望的话，该第二子组件可在操作上安排成经由第一消息通告由于在该第一消息中具体标识出的状态而不能采取自动纠正操作，例如，在该第二消息中标识出的至少一个设备或其他自动部分没有处于要求的自动模式。例如，该自动部分可以是工具、站、传输装置、控制系统、通信装置、连接部件或系统、或管理系统。例如，当支持人员将有问题的设备或其他自动部分脱离自动模式时会出现这种情况。因此，如果希望的话，该ISRM系统可以暂停该纠正操作，直至处于离线的设备或其他自动部分返回要求的自动模式。然后在该时刻ISRM系统可生成纠正命令以试图清除仍未解决的错误状态。
优选地，整个ISR系统被安排成自动处理多个(实际上，广泛多样的)不同的被报告的错误状态和其他问题，这些错误状态和其他问题被识别为具有可能的自动解决方案或恢复方案。实现此功能的一种方法是在该ISRM系统中提供多个类似的第二组件或第二组件实例。最低限度，该ISRM系统至少应具有多个第二组件，每个此类第二组件专用于解决不同的被识别出的错误状态或其他问题。如果希望的话，该ISRM系统的每个第二组件可进一步包括第一子组件，该第一子组件用于提供可能纠正操作的至少第一和第二过程，以及第二子组件，该第二子组件用于命令采取可能纠正操作的第一过程，然后如果需要的话则采取纠正操作的第二可能过程，然后如果需要的话则采取纠正操作的第三过程，以此类推。纠正操作的每个此类过程可能涉及一个或多个步骤或操作，可以根据需要执行特定操作过程中的这些步骤或操作，例如但不限于，在定时基础上、以特定序列或并行等。
在实践中，某些自动恢复错误的情况可能涉及执行(往往以特定序列)二个、三个、四个或更多个可能的纠正步骤或纠正过程。有时，在到达步骤序列结尾之前错误状态可能已被消除。在此情况下，上述第三组件可包括其自己的第一子组件，该第一子组件用于提供指出上述自动纠正操作是否看来已经消除了上述错误状态或其他问题的第一消息。其次，上述第二组件还可包括另一子组件，该子组件用于提供该可能纠正操作的多个过程，包括可能纠正操作的至少第一和第二过程，以及再一个子组件，该子组件用于接收来自该第三组件的第一消息并确定该第二组件是否需要命令采取纠正操作的另一个可能过程。
在前述ISR系统中，可以除去该ISRM子系统以利于实现更简单的系统，该系统只包括上述第一和第二组件并优选地包括多个类似的第二组件，每个此类第二组件专用于处理要解决的或要从中恢复的被识别出的不同的错误状态或其他问题。(可替代地，可以提供同一通用第二组件的多个实例，以特定的命令存储器和其他内部功能来改变其运行，使其针对给定的错误状态、问题或其他报告的事项。)随着每个输入错误状态被第一组件识别出，与其关联的特定第二组件便能被“启动”，即，被设置成运动或动作，而与其他第二组件无关。然后，该特定的第二组件将运行直至该错误状态被纠正或在其命令存储器中的所有可能纠正操作都已被尝试。如以前那样，可以提供用于确定该自动纠正操作是否看来已解决了所识别出的问题的第三组件以及用于记录该自动纠正操作是否看来已解决了所识别出的问题的第四组件。类似地，可以可选地提供如前所述的第五和第六组件。如下文中针对图6进一步描述的那样，这些第三、第四和第五组件可被构造成或安排成处理已被启动或设置成运动的全部第二组件。可替代地，可以提供第三、第四和第五组件的多个版本或实例并使其彼此关联，如下文中结合图7进一步讨论的那样。
本文描述的本发明的每个系统通常被安排成执行本发明的一个方法。例如，应该理解，本发明还构想了在自动工厂环境中管理从错误状态自动恢复的方法，该自动工厂环境具有多个自动计算机集成制造(CIM)或其他计算机化的系统，这些系统控制并管理该工厂以及其中大多数自动设备的运行。一个此类方法可描述为包括如下步骤：(a)安装管理程序，该程序用于管理从自动工厂中至少一个控制系统所报告的选定错误状态自动地恢复的尝试；(b)确定该管理程序接收的输入错误状态是否被识别为自动解决方案看来可用的问题。该方法还包括如下步骤：(c)对于在步骤(b)中这样识别出的第一输入错误状态，在该管理程序支持下，访问与识别出的输入错误状态关联的信息以便能够生成第一组自动纠正命令；以及(d)在该管理程序支持下，生成将由自动工厂的一部分采取的纠正操作的至少第一命令以试图自动地消除该识别出的输入错误状态。如果希望的话，该方法还可包括如下步骤：(e)确定所采取的自动纠正操作是否看来已消除了识别出的输入错误状态，以及(f)记录该自动纠正操作是否看来已消除了识别出的输入错误状态。与本发明的系统相似，这些自动方法可包括如下步骤：(g)确定当前能否采取自动纠正操作；以及(h)通告当前不能执行自动纠正操作。本文描述的本发明的系统的其他方面的功能还可构成与本发明的方法的各步骤关联的功能的一部分。
根据上述描述，应该理解，当设备及相关控制系统报告错误状态、问题或其他事项时，本发明的ISR系统和方法能很好地克服所遇到的各种问题。实际上，借助于本发明的ISR系统和方法，现在实际地能实现严格的、全系统的自动解决方案以帮助解决自动制造工厂中许多可以以自动恢复或者其他自动解决方案解决的错误状态和其他问题或事项，甚至跨越分隔各种自动系统的正常边界。通过参考详细描述、附图和所附权利要求，可以进一步理解本发明的这些和其他方面。
附图说明
附图构成了本发明示例性实施例的描述的完整部分并应与该描述结合阅读。同样的引用数字代表各图中相同或相似部件或特征，其中：
图1是示例性工厂自动系统的简化方块图，该自动系统有时被称作计算机集成制造(CIM)系统，图中示出了生产设备和物料运输设备以及它们关联的计算机化控制系统(包括MES和AMHS(即MCS))之间的相互连接，图中还示出了与它们相连的本发明的示例性解决问题系统；
图2是图1的工厂自动系统的一种实际实施方式的更详细方块图，其描绘了整个工厂自动系统的更多的各种子系统、控制器以及其他部件和通信路径，包括在工厂自动系统中使用的代表性计算机硬件；
图3是通信流程图，示出了图2的工厂自动系统内用于SiViewStandard MES完全自动3模式调度操作的代表性事务(TX)序列，以更充分地说明本发明的系统和方法的使用、运行以及益处；
图4是通信流程图，示出了图2的工厂自动系统内用于SiViewStandard MES完全自动3模式卸载操作的代表性TX序列，以更充分地说明本发明系统和方法的使用、运行以及益处；
图5是一个流程图，示出了实现本发明的错误恢复方法的一种示例性方法，该方法适于在图1和/或图2的实施例中使用，该方法包括周期性地检查错误消息，检查每个这样的消息是否被识别为为其提供了自动恢复，然后采取某种错误恢复操作的错误状态；
图6是一个更详细的方块图，示出了本发明的整个解决问题系统各组件的示例性布置，该布置适于在图1和/或图2的实施例中使用；以及
图7是图6中示出的ISR系统的一种变形，显示图6的实施例内的各种组件可被多次提供，相同组件的每个实例专用于一种被识别出的不同的输入错误状态。
具体实施方式
本文结合某些说明性实施例来说明和描述本发明，需要理解的是，本公开的教导被认为是对本发明的原理以及实现本发明及其若干方面所需的相关功能性说明的解释。但是，应该理解，基于本文的教导，本发明的系统和方法还可以以其他不同配置和形式实现，并且它们可以有其他变形。
部分I——系统概述
为更好地理解本发明的系统和方法，考虑图1所示简化方块图是有用的，该图示出了一个示例性的已知的工厂自动化(FA)系统(有时被称作计算机集成制造(CIM)系统)，该系统中嵌入了本发明的系统(在虚线块120中以概要形式示出)并且本发明的系统可用于提供帮助。如将更充分讨论的那样，系统120、其组件和方法是新的，而FA系统的其余部分(出于本公开的目的)可被看作传统的或已知的。其次，考虑如图2所示的一个此类已知的FA系统的更详细的方块图将是有用的，其可被看作在本发明之前已存在(除实现本发明的系统、组件和方法的那部分以外)，如本文要更充分描述的那样。
在图1和图2两者中，所述工厂自动化系统可以使用现有系统来实现，该现有系统包括例如来自IBM的SiView Standard、来自BrooksAutomation的实时调度器(RTD)以及来自Murata的物料控制系统(MCS)的制造执行系统(MES)。为了将这些完全不同的系统集成到一起，可以使用传统技术对这些产品进行定制以提供兼容的接口，从而使每个系统可以与其他系统进行正确的通信并因此一起工作。用于使能例如在这三个系统或应用之间发送消息的通信的接口是工业标准通信协议，因此只需提起它们的名字便能理解。这些接口包括：CORBA(公共对象请求代理体系结构)、HSMS(高速消息服务)以及MQSeries(广泛应用的IBM中间件)。所有这三种通信协议和接口都被IBM和半导体制造业以及其他产业中的制造商广泛应用于其设备和工厂。
图1是例如自动IC制造工厂的自动工厂的工厂自动化系统30的简化高级系统方块图。图1示出了该制造工厂的自动化系统中典型的主要子系统和设备组，它还示出了与其连接的本发明的解决问题(ISR)系统。图1还示出了这些子系统和设备组以及该ISR系统之间的一般通信数据流。现在将描述典型的子系统和设备组，然后描述该ISR系统。顶部块32代表主系统(或管理器)，其中包括MES子系统34。在典型的自动IC制造工厂中，还有生产设备控制(PEC)子系统36，该子系统36从MES子系统34接收与该制造工厂中使用的生产设备所要完成的预期总体操作有关的特定命令或指令。这些命令以及来自该PEC子系统的响应在由线37表示的适当通信路径上传递。在IC制造工厂中存在许多不同类型的生产设备，它们总的由块40表示，其运行必须由管理器32发出的各种PEC命令来控制和同步。单个生产设备(往往被称作工具)通常具有自己的计算机和/或基于微处理器的控制器，这些计算机和控制器控制它们自己的内部运行并控制大部分(如果不是全部的话)与该制造工厂其他部分的信息交换。这些工具通常可包括用于执行光刻操作的步进器41、离子注入站42、计量站43、清洁站44以及其他未示出但由省略号45表示的站，这些站可包括焊接站、晶片磨薄站、各种测试站，以及由块46表示的其他传统工具。在更大的装置中，可在各种隔间中提供相同工具组或者相似或相关工具组或站。所有这些工具通过适当的线路47接收PEC命令并通过线路48依次提供各种响应。可通过线路49提供错误或问题信号。为便于讨论，线路47-49被分开显示。实际上，图1和图2中的这些和其他通信线路都可以是一个或多个通信总线、令牌环或菊花链的一部分，或者可以以任何其他传统的或适合的形式实现。换言之，这些线路，与本文描述的其他线路类似，应被广义地看作可以利用相同或单独物理连线、同轴电缆、光缆、光链路和无线射频链路等的通信路径。
自动制造工厂30通常还利用大量晶片或其他正在制造的工件(WIP)的托架，当这些托架将晶片或其他WIP在各个工具、站、储存设备(stocker)以及各种传输机构之间传输时，这些托架的运动必须受到跟踪。这些托架可以是任何已知的或适合的类型，包括SMIF托架或前开口统一容器(FOUP)。可以使用包括前开口运输箱(FOSB)的任何适当的存储或运输容器。许多这样的单个工具优选地位于专用于某类工艺的集群(cluster)或隔间中，这些工艺例如光刻、离子注入、计量、清洁、焊接、晶片削薄、测试等。每个此类隔间通常具有多个相同或相关的工具或其他站。至少可以使用四种自动传输设备在工具或其他站、储存设备以及传输机构之间自动传输托架。这四种典型的自动传输设备由大虚线块50中的块表示。在这些单个隔间内将安排各种隔间内传输设备，它们总的由块52表示。在隔间外部(有时在内部)是各种储存设备，总的由块54表示。再者，典型的制造工厂在各种储存设备和/或隔间之间具有各种隔间间传输设备，它们总的由块56表示。制造工厂还可利用在各种工具或其他站、储存设备、传输设备或其他设备之间传输托架或其他物体的机器人或运输车辆，它们总的由块58表示。这些托架传输装置和机器人可以为任何适合的设计，包括但不限于基于轨道的高架传输车和往复式安装(shuttle-mounted)的枢轴机器人臂，它们能沿三个或更多个独立而且往往正交的轴运动。这些传输机器人或车辆(有时也称作高架传输装置(OHT)和/或传输机器人)常用于在制造工厂内的各隔间或相关工具的高效布置的集群(未示出)、站和其他设备之中和之间移动FOUP、FOSB、托架、盒、容器等以及其他物体。
在各个位置的生产设备40规则地与其关联的隔间间传输设备52通信，这可在通信线路62上发生。来自SEMI(半导体设备和材料国际组织)的标准E-84(增强型进位不干预(Enhanced Carrier Handoff)并行I/O接口或PIO)常用于此目的。类似地，隔间内传输设备52在需要时通过线路64规则地与储存设备54通信。类似地，储存设备54通过线路66与隔间间传输设备56通信。隔间间传输设备56通过线路68与传输车辆、机器人臂或任何其他类型的传输设备58通信。类似地，如果需要在设备块52和块56及58之间通信，可分别在线路71和73上提供这种通信。类似地，在设备块54和58之间需要的任何通信可在线路75上发生。换言之，如所有这些线路所示，在必要时或希望时，通信可在任何两个或更多个生产设备和传输设备或任何两个或更多个传输设备之间发生。SEMI(半导体设备和材料国际组织)的E84号通信标准(增强型进位不干预并行I/O接口或PIO)或任何其他已知的或适合的通信协议可自由地用于在线路47至78上实现这样的通信。这些通信线路以及图1(以及其他附图)中所引用的任何其他线路或通信路径可以以任意数量的方式物理地实现，这些方式包括电缆(例如，CAT5)、同轴电缆、光纤和/或红外系统，以及短程到中程无线通信系统等。
对自动传输设备50的控制可由虚线块80内所示的专用控制器组来处理。优选地，全部隔间内传输设备52的控制由专用系统控制器组82来处理。例如，用于所有隔间内传输设备的命令和控制信号可通过由块82表示的一个或多个隔间内传输系统控制器来传送。类似地，所有储存设备54的控制可通过一个或多个储存设备系统控制器84来传送或处理，隔间间传输设备56的控制可通过一个或多个隔间间传输系统控制器86来传送或处理。最后，所有机器人臂传输装置58的控制可通过一个或多个传输装置/机器人系统控制器88来传送。传输设备52、54、56和58与它们所关联的控制器82、84、86和88之间的通信可分别在通信线路92、94、96和98上发生，如图中所示。
自动物料运送系统(AMHS)(其优选地是例如可从Murata购买的物料控制系统(MCS)的集成传输控制系统100)位于传输控制器80上方并通过图中所示线路102、104、106和108与控制器组82、84、86、和88通信。AMHS 100通过通信线路117从主系统32接收其命令并通过线路118向该主系统返回状态和完成的命令信息。在到目前为止所描述的设备和子系统中，所述设备和子系统提供状态信息是很普通的，这些信息包括错误状态、问题报告、以及构成要注意的事项的其他项(包括产品数量和相关信息)。此数据可通过通信线路119在AMHS 100和主机32之间传递。通常，此类数据是在上述主系统32中采集的，并通过各种图形用户界面、监视器和/或通过报告使维护人员可以得到该数据。该数据经常被采集到一个或多个适合的日志、文件或数据库中，所述日志、文件或数据库可以是平面计算机文件、一系列表、电子制表软件或一个或多个适合的关系数据库。
采集所有这些信息的传统目的是其后可以对其进行检查，如当某人希望得到报告或正在试图研究某个错误，诊断机器状况、问题或状态，获得关于生产、部件质量、工具和/或托架性能以及停机时间的统计数字，和/或获得关于各种错误状态或问题的信息时，该错误状态或问题对于任何给定的工具或其他设备(如给定的托架、工具或工具隔间)来说可能已发生。还有，质量控制和产品产量信息经常采集到晶片级，以便可由维护支持人员研究生产和产量问题的原因，这些维护支持人员有时分析这些数据，试图了解对于该制造工厂中正在生产的IC产品的某些晶片和芯片的生产来说可能发生了什么以及何时发生的。
本发明向此传统自动工厂系统30添加了新的解决问题(ISR)系统120，以帮助自动处理和尝试自动解决在上述IC制造工厂的自动运行期间出现的至少某些种类的错误状态、问题和其他事项。具体地说，ISR系统120专注于先前已被识别为可能适于自动解决的那些问题，包括如果可能的话从这些问题中完全恢复，以便尽管发生了指出的错误状态、问题或其他事项，仍可以自动地继续生产。换言之，ISR系统120往往能够自动地解决或忽略上述错误状态或其他事项，而不是使自动运行被挂起或者以其他方式被中断。解决问题系统120可包括解决问题管理(ISRM)子系统122和问题数据库与采集(ISDAC)子系统124，它们通常可根据需要与上述工厂自动化系统30的其余部分互连。图1中示出了该ISR系统120及其子系统与制造工厂自动化系统30的其余部分的内部和它们之间的互连示例。ISRM系统122还可包括解决问题命令中心(ISRCC)126和可选的命令存储器组件128。ISRM子系统122和ISDAC子系统124优选地利用双向通信和数据传输，如它们之间的线路121和123所示。
ISDAC子系统124可通过通信线路129直接得到或通过由其他线路传递的信息间接得到来自AMHS100的关于错误状态、问题以及控制状态的信息。具体地说，线路48、49、118以及119向主系统32提供状况和错误状态信息，这些信息能经由线路134传递给ISDAC系统124，还有与来自生产设备控制系统36的错误状态信息关联的信息(如果有)。类似地，MES34可在线路134上向ISDAC子系统124提供状况和错误状态信息。使用这些技术和/或其他公知的技术，可以将关于设备和工件状况、错误状态、问题和其他事项的信息连同关联的命令信息采集到ISDAC子系统124的数据库中。
解决问题管理子系统122的目的是控制上述解决问题系统120的总体运行。这样做的一种途径是有效地利用ISDAC子系统124的问题数据库中采集的信息，以确定何时发生了可以或也许可以自动解决(包括可能完全恢复)的错误状态、问题或其他事项。当ISRM系统122识别出此类错误状态或其他问题发生时，它授权解决问题命令中心(ISRCC)126产生一组根据需要发给主系统32、生产设备40和/或AMHS系统100的适当命令，以尝试解决刚被报告(加标志)和/或以其他方式被授权解决的错误状态或其他问题。下文中将进一步描述示例性途径，其中可以实现和运行上述解决问题系统120和本发明的维护方法。
部分II——具体系统概述
图2是一个更详细的方块图，示出了一个用于将300mm硅晶片处理成IC半导体芯片或其他IC产品的自动IC制造工厂的代表性工厂自动化系统。图2的系统可以以五种不同方式中的一种或多种方式使用本发明的系统和方法，如将要说明的那样。本领域的技术人员将会认识或容易地领悟图2中所用缩写词的含义以及各种子系统、硬件和软件组件的目的及它们之间的互连。尽管如此，为了使图2(以及其他附图)能更普遍地得到理解，提供如下的缩写词翻译表。
表2-缩写词翻译表
缩写词        缩写词含义(或简要说明)
AIX           IBM的Unix操作系统
AMHS          自动物料运送系统
APC           高级过程控制
APF           AutoSimulations公司产品族(包括RTD、Reporter、
              AutoSched AP以及MES集成)
AsmView       IBM的Assembly View MES，用于例如焊接、组装和最终
              测试的后段制程(BEOL)半导体制造工艺
BOM           物料账单
CIM系统       计算机集成制造系统
CORBA         公共对象请求代理体系结构
DCS           数据采集服务器
EQP           设备
FAS           工厂自动化系统
FOUP          前开口统一容器
HSMS          高速消息服务
MACS          Murata自动控制系统
MCS           物料控制系统
MES           制造执行系统
MM            物料管理器(SiView MES的一部分)
MQ ReqHdlr    MQ请求处理器(将MQ消息转换成CORBA消息)
MQ(系列)      来自IBM的广泛使用的商业集成软件(中间件)
MQ TxHdlr     MQ事务处理器(将CORBA消息转换成MQ消息)
MSP           机器管理程序(a/k/a工具应用程序＝TAP、单元控制器、工
              具控制器等)
MSPSA         MSP SiView适配器(将CORBA消息转换成MQ消息)
OHT           架空传输
ReqHandr      请求处理器
RMACS         远程Murata自动化控制系统
RME           配方管理编辑器
RMS           配方管理系统
RTD          实时调度
RTD SvecMgr  RTD服务管理器
RXM          原版事务管理器(SiView标准组件)
SAP          来自SAP的用于许多目的的常用公司数据库
SDD          SECS数据分发器
SECS         SEMI设备通信标准
SiView DCS   数据采集服务器-SiView标准组件
SiView MM    物料管理器-SiView标准组件
SiView MQ    SiView的MQ系列组件(用于处理来自其他系统的传输/文
             本命令和请求)
SiView RXM   原版事务管理器-SiView标准组件
SiView SM    规格管理器-SiView标准组件
SiView SPC   统计过程控制-SiView标准组件
SiView Std.  IBM的可靠和可扩展的MES解决方案
SiView WBR   隔间内原版-SiView标准组件
SiView WBS   隔间内系统-SiView标准组件
SiView XM    事务管理器-SiView标准组件
SPC          统计过程控制
TCS          传输控制系统
TOM客户机    总订单管理客户机
Tx           事务
TxHandlr     事务处理器
WBR          隔间内原版
WBS          隔间内系统
Win2K        MS Windows 2000
WIP          制造中的工件
WTDG         看门狗(监视设备状态和可用性)
XM           事务管理器(SiView标准组件)
XMS          事务管理系统
Xsite        Brooks自动保养软件系统
此外，在图2的右下角，在虚线框中提供了图中所用不同类型通信路径的图例。借助于上述表和图例，自动IC制造工厂的控制设计领域的技术人员应容易地了解和理解图中几乎所有对象及其互连的功能和目的。
在图2中，在一些方框的右下角指定了操作系统，如AIX(它是IBM的基于Unix的操作系统)、Linux、Sun Solaris以及Win2K(MS Windows2000)。这些符号代表其下可分别运行同一方框内上部中央列出的特定应用的示例性操作系统。这些应用及其关联的操作系统运行在多个不同的计算机硬件系统上，从而以已知的方式提供功能、管理、模块化、冗余和/或安全性的分离。还有，取决于特定应用的客户、用户或提供商或要控制的关联的设备，对于图2中所示的某些应用或系统，某些操作系统比其他操作系统更常用。类似地，某些制造工厂业主或自动设备和/或物料运送系统和/或相关控制系统的零售商可能优选某些通信协议或通信路径类型(如无线对同轴电缆对双绞线对光纤)，而且这种选择往往取决于位置、速度要求和其他已知因素。
图2示出了此类自动化系统和应用以及它们之间的通信的一个示例性混合。例如，上述MSPSA是一个MSP SiView适配器，其将CORBA消息转换成MQ系列消息，上述SiView事务处理器将CORBA消息转换成MQ系列消息并且上述SiView MQ请求处理器将MQ消息转换成CORBA消息。对用于给定应用、计算机系统或设备或与其通信的操作统和/或通信协议的选择有时是工程师要实际考虑的问题。但对于本发明的系统和方法来说，无需考虑此类选择，本发明的系统和方法可在上述任一操作系统、应用、设备、控制系统以及通信协议和路径中实现并与其结合使用。进而，本发明的系统和方法能应用于自动制造工厂或其他自动生产工厂中使用的种类繁多的基于计算机或基于电子/微控制器的自动系统和自动设备中。
如图2中所示，当使用SiView Standard MES时，其MM(物料管理器)是(或可被看作)整个制造工厂的大脑或中央控制器。使MM功能作为中央控制器是IC制造业中大多数制造执行系统所使用的通用范型。SiView MES包括多个组件(其可被看作子系统)，如XM、RXM、WBS和WBR组件。在上表中指定“SiView标准部件”还显示和标识出其他组件。刚才列出名字的这四个组件允许并提供从MES到MCS的逻辑流。在图2的自动化工厂的一个实施例中，对于该制造工厂中的每个工具和设备，Brooks RTD服务管理器(RTD调度器)可以具有其自己的逻辑和定制的规则。利用定制的规则和逻辑来帮助创建应在通常被称作调度列表或“下一个是什么”列表中的工具上运行或处理的产品列表是已知的。RTD以已知的方式使用定制的可编程逻辑，根据时间表、优先级、提交日期等告知MES制造工厂中每个工具要处理的下一个是什么。是否使用例如BrooksRTD的现有的RTD系统并不重要，因为使用MES的任何自动制造工厂都将此常用种类的计划和/或调度逻辑驻留在MES或CIM系统中的某处。该RTD或调度器可被内置作为MES的一部分，可以是MES的一个单独组件，如SiView调度器(其未在图2的系统中使用或实现)，或者可以是第三方应用，如Brooks Automation RTD。无论实际上在产业中使用哪个MES，时序器、调度器或MES根据规则或逻辑选择哪个(些)产品要下一个通过自动工厂的思想或概念是通用的，因此这里无需进一步描述。
一旦选定下一次要处理的产品，MES将发出一个传送请求。在SiViewMES的情况中，这些请求是通过单独的程序或逻辑组件实现的，它们通常被称作“看门狗”(WTDG)，其通常负责设备组并监视设备状况和可用性。相关看门狗检查到设备加载端口可用，还检查到待决的加载请求，则根据RTD的“下一个是什么”列表，向MM发送一个传送请求。参考图3可更好地理解该事件序列，图3是一个通信流程图，示出了图2的工厂自动化系统中的全自动3调度操作的事务序列。
当WTDG逻辑向MM发送传送请求时，有可能出现一个或多个坏的返回代码，如以下详细描述的部分III中进一步描述的那样。当由于某种原因MES遇到该传送请求错误并且该传送请求无法按发送的那样来完成时便会出现这种情况。此时，由于尚未向MCS发送传输命令，有关此错误状态的信息传统上仍全部包含在MES内，所以RTD或时序器/调度器仍不知道出现了问题。在这种情况下，当收到坏的返回代码时，例如如果它们应有效地指示初始的传送请求命令已被中断，则本发明的解决问题系统120投入工作。如下文将进一步说明的那样，如图5的流程图中所示，在图2的MES中可以直接实现可定制全自动错误恢复逻辑(如下文的技术1中解释的那样)以处理并希望解决报告的错误状态。或者此错误恢复逻辑能被编码为附加组件，如下文的技术2中的说明的那样。
在实践中，针对给定的错误状态、问题或其他事项，或者针对一组或多组错误状态、问题或其他事项，不是有两种而是有多种实际技术或途径来实现本发明的ISR系统和方法。这里公开的途径是灵活的，意味着本发明的ISR系统和方法可根据需要和期望，通过使用如下五种技术(或方法)由的任何一种，在工厂自动化系统中逻辑地实现以处理一组或多组错误状态、问题或其他事项：
技术1：可以在MES中直接设计和实现上述ISR系统，如在该MES的MM组件中，从而它是MM逻辑的一部分。
技术2：上述ISR系统可作为MES的新的子系统、一组组件或子组件实现。这样，它可以作为可选的系统提供给客户以供购买或租用。
技术3：可以在例如WBS或WBR的MES的现有子系统或组件中逻辑地设计和编码上述ISR系统(至少部分地)。在下文“部分5”中进一步描述的一个此类方法是在SiView WBS中实现的上述ISR系统的一个实例。如果MES被模块化，如SiView通常那样并且如果传送请求命令是成功的但txXMTransportJobCreateReg请求(或者是调度/加载或者是卸载)在MCS和MES之间失败，则该方法特别有意义。该方法允许利用WBS和MACS之间的HSMS协议在这两个程序之间对某些逻辑编程。这还假定MCS具有某种能力从WBS或MES接收命令以解决下面的“部分4”中列出的某些错误或坏返回代码。
技术4：上述ISR系统可由每个用户完全定制以针对在该用户的工厂自动化系统中已被识别为具有可能的解决方案的具体状况。例如，在本文描述的示例性自动制造工厂中，由MM MES接收的“Lot Dilivery Errors”(批量传送错误)可根据错误状态和故障返回代码被设计和编程到自动错误恢复应用(本文中也称作ISRM子系统)中，如下文的“部分3”和“部分4”中进一步描述的那样。处理错误的通用方法还表示在图5的流程图中。
技术5：假如正确的数据被从MES和MCS传递到MES的RTD、调度器或时序器组件的话，上述ISR系统可在该RTD、调度器或时序器内实现。
在单个自动制造工厂中可以完整地或部分地使用为实现本发明的ISR系统和方法的这五种技术中的任何一种或多种技术。例如，可由整个工厂自动化系统内的若干单独的ISR系统处理不同类型的错误状态或不同的错误状态组。该方法允许ISR系统被模块化，从而可由专用于制造工厂30内特定区域和类型的站、工具、设备或控制系统的局部ISR系统来处理错误状态。
部分3-可能的(SiView)MES返回代码/错误代码和交叉引用表
由于上文解释的理由，每个MES(包括SiView Standard MES)都具有故障返回代码，这些代码是作为它们的总体逻辑的一部分而设计和实现的错误状态代码。下面在表3中列出的是一些可能由SiView Standard MES返回的可能的返回代码或错误代码的说明性举例或子集。该列表只是示例性的，不是要包括每个可能的返回代码，也不只是限于描述中提及的那些类型的问题。提供该列表是为了识别示例性的SiView Standard MES返回代码，这些代码可以在SiView MES环境中根据本发明的系统和方法来检查并可能进行处理和解决。在表3中，[＊]，[＊＊]至[＊＊＊＊]全部指的是在运行时期间由MES或某些其他的CIM系统来定义和填入的某些特定的值。在表3中使用的各种缩写或其他缩略语也在表2中被定义。其他缩略语在相当程度是自明的(例如“eqp”意思是设备；“ID”意思是标识；“Mgr”意思是管理器；“Req”意思是请求等)。
表3——返回代码/SiView错误代码交叉引用表
返回代码         SiView错误代码和简要描述
904     000164E  盒[＊＊＊＊]状态[不可用]无效。
905     000165E  盒[＊＊＊＊]传输状态[＊＊]无效，或托架有另一个传输预
                 定。
                 对于该请求，批03128Y27078.000 processStatus处理
933     000185E
                 无效。
958     000207E  对于该请求，原版[＊＊＊＊]传输状态[＊＊]无效。
1547    000244E  没有来自XMS的响应。
1425    000260E  未发现类别[DispatchFailCode]信息。
1437    000272E  B323_APCMgr_SendAPCRunTimeCapability
1468    000297E  未发现批[＊＊＊＊]的过程操作信息pdID，请检查基本记
                 录信息。
1488    000315E  未发现原版[＊＊＊＊]信息。
2037    000381E  已发生一个系统错误。
2104    000385E  没有来自TCS的响应。
946     000440E  已指定的PortIO1端口状态。
534     000485E  机器现在不可用。
117     000499E  指定的portIO2端口组被保留给另一个过程组B。
324     000500E  (＊)对象已锁定。
                 在当前机器状态中，指定的批03248GU3252.000不能
532     000558E
                 被处理。
979     000561E  该批不能被处理，禁止
329     000594E  盒控制作业ID。
2830    000714E  没有来自RTD的响应。RTD服务器管理器可能不可
                 用。
2831    000715E  RTD接口协议参数中不存在RTD参数Raw_eqp_id。
        000716E  未发现RTD信息
1912  000718E   RTD接口开关现在为“断开”
1913  000719E   RTD超时[1800]运行情况检查
1917  000731E   未发现RTD接口路由ID信息
2943  000739E   参数值脱离限制器范围
                RTD子系统返回某种错误。没有调度服务器已知的活
1920  000750E
                动时序器，或错误调用TxWhatNextLotListlnq
2848  000751E   没有来自APC的响应。APC服务管理器可能不可用
2948  000760E   设备DSO1已被IO1保留
623   000795E   发现逻辑上报废的晶片。需要晶片分类器动作
2109  000825E   绑定到外部服务器(TCS)已失败
2501  000826E   绑定到外部服务器(XMS)已失败
1923  000829E   绑定到外部服务器(RTD)已失败
                下一批操作要求的托架类别[FOUP-CU-PEI]与当前批
2949  000841E
                托架类别[FOUP-NonCu-PEI]不匹配
1243  000874E   在前一次报告之后托架-批组合已被更改
4001  0004001E  没有来自AMHSO1的响应
4134  0004134E  传输请求的托架计数和接受的托架传输计数不匹配
4051  0004051E  传输作业待决
4191  0004191E  发生了系统错误
10113 0010113E  APC运行时功能错误
10501 0010501E  MM不能绑定到MQ Wtapper
11906 0011906E：未发现设备[＊＊＊＊]原版容器端口[任何端口]
11925 0011925E：没有自动可用的机器[＊＊＊＊]的原版容器端口。
5408  SiView MSP适配器调度错误。
部分4-MACS ACK RC交叉引用表
每个MCS(物料控制系统)(包括MACS(Murata自动化控制系统)MCS)都具有故障返回代码或错误代码，这些代码作为它们总体逻辑的一部分被设计和实现。在一个完全自动的制造工厂中，如使用图2的工厂自动化系统的制造工厂中，由MES或MES的某个子组件(如SiView的WBS和WBR)向MACS MCS发送传输传送和拾取命令(加载、卸载、传输请求、重选路由等)。这些命令将由MCS或者以良好的或成功的返回代码，或者以故障返回代码(其指出错误状态或某种其他问题)来确认。下面在表4中列出可能由MACS向SiView MES返回的一些可能返回代码或错误代码的样例或子集。该列表不是要包括每种返回代码，也不是使本发明的解决问题系统被认为只限定于描述的这些类型。相反，表4只是要标识出某些已知的MACS返回代码，这些代码可以通过实现图2的SiView MES内的本发明的解决问题系统和相关方法来检查并可能进行处理和解决。
表4-MACS返回代码交叉引用表
返回代码  SiView错误代码和描述
-316      拒绝，正在取消托架作业。
-315      拒绝，正在重选路由托架作业。
-314      拒绝，托架作业的状态不允许属性改变。
-311      拒绝，托架作业与传输作业无关。
-310      拒绝，托架属于另一个所有者。
-309      拒绝，ExpStopTime违约。
-308      拒绝，ExpStartTime违约。
-307      拒绝，从当前位置到新目的地的路由不可用。
-306      拒绝，新目的地不可用。
-305      拒绝，新目的地已满。
-304      拒绝，未知的目的地位置。
-303      拒绝，未知的托架ID。
-302      拒绝，未知的TransferJobID。
-301      拒绝，未知的CarrierJobID。
-215      拒绝，托架处于未知状态。
-214      拒绝，在设备端口先前作业的拾取程序尚未完成。
-213    拒绝，批传送，至少一个请求已被拒绝。
-212    拒绝，托架属于另一个所有者。
-211    拒绝，ExpStopTime违约。
-210    拒绝，ExpStartTime违约。
-209    拒绝，从源到目的地的路由不可用。
-208    拒绝，目的地不可用。
-207    拒绝，源不可用。
-206    拒绝，目的地已满。
-205    拒绝，未知的目的地位置。
-204    拒绝，未知的源位置。
-203    拒绝，CarrierID已存在于其他位置。
-202    拒绝，未知的CarrierID。
-201    拒绝，重复的TRJOBID。
-302    来自S64F3的MACS重选路由请求，这是一个发送给MACS
        的重复请求。
部分5-使用WBS的自动错误恢复实例
下面是用于实现解决问题系统的一种可能的外部设计方法的例子，该方法使SiView Standard WBS组件自动检查、处理未知托架状态响应并从该未知托架状态响应恢复。首先概括其功能和目的，然后将更详细地说明其详情。
XM(SiView标准事务管理器)将传输作业请求TxTransportJobCreateReq发送给WBS(隔间内系统)，然后WBS将该消息作为HSMS/SECS S64F1发送给MACS。在某些错误状态期间(下文将进一步说明)，MACS将向WBS返回一个TJRACK(传输作业请求应答)，而不是零。该请求的目的是使WBS对TJRACK-215做出具体反应(其对应于“拒绝，托架处于未知状态”，如上表4中所示)并以S64F21，托架ID有效性报告响应。
详细功能描述。TJRACK-215是一个MACS错误代码，该代码声称传输作业请求所指向的托架处于未知状态，这阻止了MACS执行传输作业创建请求。当满足下列条件中的任何一个时，托架进入未知状态：
1)当读出的托架ID与MACS预期的托架ID不匹配时。
2)当SiView以非零CVALIDFLAG响应托架ID有效性请求(S64F20)时，或当WBS向MACS发送S64F20失败时。
可能造成上述错误状态进而又使托架进入未知状态的示例性场合是：
a)MACS架空传输装置(OHT)预期以给定的顺序从工具中拾取托架。但是，该工具以不同的顺序卸载托架。于是，当从储存设备输入端口读出托架ID时，MACS发现它预期的该托架的托架ID不同于从该托架读出的实际托架ID。
b)在工具向SiView报告作业完成之前，用户(如服务技术员)从该工具卸下了一个托架。然后该用户将该托架放到人工储存设备输入端口上。当MACS请求为一个托架ID有效性请求(S64F19)时，SiView将以一个非零CVALIDFLAG响应MACS，因为SiView预期该托架在工具上而不是在人工储存设备输入端口上。或者，WBS不接收或不响应MACS托架ID有效性请求S64F19。
当满足上述条件时，传统的恢复要求用户使用MACS图形用户界面(GUI)人工输入一组适当的命令使托架从该未知状态“释放”出来。利用本发明的系统，上述解决方案使用MACS S64F21在WBS接收TJRACK-215之后自动产生该“释放”命令。
详细功能逻辑。XM将向WBS的FOManager(工厂运行管理器)发送传输作业创建请求。在FOManager的TxTransportJobCreateReq功能的标准规格之外，根据本发明的该功能被“超载”了一个附加的逻辑。TxTransportJobCreateReq的逻辑被重新设计以侦听和响应TJRACK-215错误。一旦收到TJRACK-215，FOManagerTxTransportJobCreateReq就向MACSSiView主端口发送S64F21。然后TxTransportJobCreateReq等待S64F22响应。在从MACS收到响应之后，TxTransportJobCreateReq将完成其功能并将原始TJRACK-215以及S64F22应答的返回代码CVRACK返回SiView。(参见下表6，操作流程部分，它显示了该错误恢复操作的逻辑序列。)
表5-功能条件表
  检查项   值(应为值)
  SiView托架状态   在SiView上的托架状态是可用的和已知的。
  SiView传输托架作业   该传输作业没有已存在的传输作业，即该传输作业不是一个重选路由请求。
  MACS托架状态   在MACS上的托架状态是未知的状态。
  MACS托架ID   托架ID对MACS已知，即这不是未知的托架ID错误。
  MACS托架位置   托架在MACS的控制之下，即该托架在物理上没有脱离MACS系统。
自动化支持。对TJRACK-215的反应因此是完全自动的。不需要来自XM或MACS的新的接口。
表6-操作流程表
  SiView XM   ORB   WBS   HSMS   MACS
  TxTransportJobCreateReq
≡   调用TxTransportJobCreateReq
  发送S64F1 ≡   MACS处理该传输作业创建请求
  接收S64F2 ≈   如果MACS能够处理作业，则MACS返回TJRACK＝0。如果该托架处于未知的状态，MACS返回TJRACK＝-215。否则，MACS返回TJRACK错误代码。
  如果(TJRACK＝-215){
  发送S64F21 ≡   MACS将“释放”该托架
  接收S64F22 ≥   然后以CVRACK＝x返回响应
  WBS返回消息：TJRACK＝-215和CVRACK＝x
  }
  返回响应
  }
如前述序列中指出的那样，如果收到-215错误，则上述逻辑通过产生一个自动释放命令来对其作出响应。
图5的流程图示出了作为更大的控制系统一部分来实现本发明的错误恢复方法的一个途径。该途径在椭园500开始，此时解决问题(ISR)软件被启动或激活。这可安排成当MES或MAC的其余部分已投入全自动3模式时发生。如框510指出的那样，当上述ISR软件系统被启动时，一个重复计时器开始工作。该计时器能被设置为任何适当的周期，如5、10、15、20、30、45、60或90秒，或者2分钟或更多分钟。为了便于讨论，假定该重复计时器被设在1分钟并且上述ISR软件的特定部分被设置为处理批传送错误(LDE)消息。在一分钟(或在计时器中指定的其他适当时间周期)的末尾，ISR软件检查在队列中是否存在新的LDE错误状态消息。该队列可以以例如先进先出(FIFO)堆栈的任何适当的方式实现，其可以是与ISR系统关联的输入缓冲器的一部分，或者被存储在ISR系统中单独的存储单元内。
如决策菱形520所示，如果没有新的LDE消息，则控制通过“否”路径525循环回到连接器505，在连接器505重复计时器在再次检查新的LDE消息之前使软件等待另一个一分钟。如果存在这样的错误状态消息，例如从MES MM服务器收到的错误状态消息，则可对它进行分析以确定它来自何处，如果希望这样做的话。还可对该消息进行语法分析，从而使它所包含或代表的错误状态数据能被上述ISR软件使用和/或存储在例如DB2数据库的适当的数据库中，用于保存记录和/或与其他类似数据一起在将来进行可能的分析。为便于讨论，假定此新的批传送错误消息是作为TxDeliveryCassetteRequest的结果而被接收的并且存在与该消息关联的特定故障返回代码(RC)。
决策菱形540指出下一步是确定该特定故障返回代码是否是由解决问题软件识别的代码之一。如果不是，则上述ISR软件将控制传递给路径545，路径545然后循环回到连接器圆505，在连接器圆505软件在块510再等待另一个一分钟。如果识别出该故障返回代码，则控制传递给块550，在块550ISR系统采取某些定制的错误恢复操作或继续并完成与该特定故障返回代码关联的逻辑序列。该操作或序列可以是一个或多个系列的操作或纠正命令。它还可以是纠正命令或操作的几个过程，可以采取这些命令或操作以试图从该错误状态自动地恢复或至少自动地清除该错误状态，以便最小化或消除工具或制造工厂的停机时间。在这些操作或纠正命令完成之后，上述ISR系统程序流程沿着路径555返回圆505，在圆505处块510的计时器被启动运行另一个一分钟。
在批传送错误消息的情况下，常用恢复或解决操作可包括但不限于：
1)  自动使故障批暂停，或
2)  自动使故障FOUP不可用，和/或
3)  传呼和/或发送电子邮件给适当的制造工厂操作员或其他支持人员以进行人工干预。
通过自动地使该批暂停或通过自动地使FOUP/托架不可用，以及优选地通过将该操作或步骤或其他结果通知受影响的或需要了解此状况更改的制造工厂的那些部分，如RTD或调度逻辑，该制造工厂中的其他控制软件将知道(并且能被编码成)旁路引起上述故障返回代码(或与上述故障返回代码关联)的那些对象。以这种方式，MES能够转到自动调度的“下一个列表是什么”中的下一批并继续完全自动的操作。图5表示ISR系统运行的一个实例，但是，该ISR系统可被设计成使图5的程序控制的许多实例能立即运行，如下文中将进一步描述的那样。以这种方式，本领域技术人员应该理解，本发明的ISR系统能基本上同时处理大量不同的报告的错误状态、问题或其他事项。
图6表示可用于实现图1所示的本发明的解决问题(ISR)系统120的各种不同的可能技术之一。图6的硬件和软件组件结构安排与图5的流程图中展现的解决问题方案的通用方法一致并可用于实现该通用方法。如先前结合图1所述，ISR系统120可包括解决问题管理(ISRM)子系统122和问题数据库与采集(ISDAC)子系统124，这两个子系统通常可根据需要与工厂自动化系统30的其余部分互连。图1示出了在上述ISR系统120及其子系统以及制造工厂自动化系统30其余部分的内部以及它们之间的示例性互连。图6的目的是解释ISRM系统122的示例性详细实施例，包括其中各组件的安排以及它们如何运行和彼此交互。
如图1和图6中所示，上述ISRM系统122可包括解决问题命令中心(ISRCC)126和可选的命令存储器组件128。如图6中所示，如果希望的话，组件128可以是ISRC C126的一部分，如结合图1描述的那样，解决问题系统120可包括ISDAC子系统124，该子系统124直接在通信路径129上从AMHS100接收和采集或通过在其他路径(如图1中描述的路径)上传递的信息间接地接收和采集关于错误状态、问题和控制状态的信息，所述其他路径向主系统32、生产设备控制(PEC)子系统34以及制造执行系统(MES)36提供状况和错误状态信息并从这些系统接收状况和错误状态信息。在图6的顶部，该信息显示为从块606、607和608提供给ISRM子系统122。块606表示进入的关于错误状态、问题报告或其他需注意事项的消息，这些消息是在通信路径616上进入的。块607表示沿路径617传递的错误状态应答或其他与错误状态有关的消息，这些消息可在ISR系统120正在尝试解决一个或多个报告的错误状态、问题或其他事项时发生。块608表示从IC制造工厂30中包括主系统32、MES子系统34以及PEC子系统36的其他控制系统接收的系统和设备状态消息。这些状态消息显示为沿着适合的通信路径618进入上述ISR系统120。
图6将解决问题管理(ISRM)系统122显示在大虚线框中以便表示系统122可被设置为独立的子系统，该子系统能作为单独的应用运行在自动制造工厂内任何适合的计算机系统上。必要的计算机硬件由计算机控制系统(CCS)600表示，该系统具有一个或多个带有其自己的内部ROM和RAM存储器的中央处理单元(CPU)，一个或多个适合的海量存储装置(MSD)以及适合的用于与制造工厂30的其他部分通信的输入/输出(I/O)装置。如图6的右上角所示，ISRM子系统122可选地包括解决问题(ISR)管理器程序(SP)605，它优选地协调整个系统122的运行。系统600还包括一个或多个适合的用于接收和临时保存在路径616、617及618上进入的信号或消息的输入缓冲区615，以及图6右下角中示出的一个或多个输出缓冲区691和692。日志缓冲区691接收要发送到问题存储器698的输出日志消息(OB日志消息)669，问题存储器698可以是ISDAC子系统124的一部分。可向存储器698提供计算机系统600上的一个或多个本地文件或数据库或者存储器698可以是位于另一个计算机系统的远程存储设备上的文件或数据库。
图6的右下角中表明一个或多个输出(OB)自动纠正命令(CC )消息690被从解决问题命令中心(ISRCC)126(示于图6中部的中等大小虚线框中)发出，穿过适当的通信路径689到达输出缓冲区692。然后，在适当地转换成遵循适合的通信协议(如CORBA或MQSeries)的消息之后，在适当的时候，这些纠正命令消息穿过适当的通信路径(以路径132和142为例)到达自动制造工厂的那些要向其提供这些消息的部分，如主管理器32或自动物料运送系统(AMHS)100。
ISRM子系统122还可包括最多六个的主要软件组件，这些组件还可以有一个或多个子组件以及其他列表、部分或子组件，如将要简要描述的识别出的问题列表675和其他部分。这六个主要组件是第一组件610、第二组件620、第三组件630、第四组件640、第五组件650以及第六组件660，如图所示，从信号流的角度，这些组件通常可以互连。输入错误状态(EC)消息606被接收并临时存储在输入缓冲区615中，在缓冲区615中，如果需要的话，管理程序605使这些消息被分析和/或转换，然后，此类EC消息(它们通常可能是故障返回代码)被发送到第一组件610，第一组件610检查该EC或故障返回代码是否被识别出。如路径674提示的那样，这是通过对照可在单独的文件或模块675中维护的识别出的问题列表来检查接收到的EC或故障返回代码或其他问题代码来完成的。“识别出的问题”在当前是指故障返回代码或其他被编码的消息，对于它们，上述ISRM系统已被预先编程以提供一个或多个纠正命令和/或其他“解决问题”操作，这些命令或操作可以自动地解决问题和/或至少自动地处理该问题，以便自动制造工厂的其余部分可继续其生产，最好是不必立即涉及人的介入。沿信号路径676发送适合的应答以指出上述输入故障返回代码是否已被识别为出现在列表675上。此后，第一组件610根据需要沿路径637通知ISR-SP605和/或其他模块620、630、640、650和/或660上述输入错误状态是否已被识别出。
如果该错误状态被识别出，则在路径636上发送一个信号给是解决问题命令中心126的一部分的第二组件620。取决于第二组件620的外延范围如何，它可以有其自己的主控(MC)程序624，并且它可以有二个或更多个子组件，如第一子组件621、第二子组件622、省略号623以及第N个子组件629所示。在实践中，N可以如需要的那样大，以处理不同的EC(如上述ISR系统已被编程对其进行处理的故障返回代码)。可以预期，随着时间的推移，负责运行制造工厂的技术员和工程师们将在实际需要的地方设计出对所报告的错误状态(EC)、问题或其他事项的自动响应，特别是当他们对发生任何给定的EC、问题或其他事项时应谨慎地调用哪些种类的自动响应增加了理解的时候。因此，虽然简单的ISR系统可以使用编写成只是处理几个报告的错误状态代码或甚至几十个报告的错误状态代码的数行专用代码来设计和实现，但是在第二组件中，甚至在构成上述ISR系统的其他组件中(特别是在本发明的ISR系统的大小预期将会增长的地方)，包括更加精练的软件结构将是有益的。这种精练结合图6和图7示出和描述。随着时间的推移，可以预期，几十个到几百个甚至可能几千个或更多个返回代码最终会被添加到一个或多个识别出的问题列表675中，并在其后由大型自动制造工厂的一个或多个解决问题系统120进行处理。
在这方面，如果希望的话，第二组件620可以有单独的命令存储器128和解决问题命令中心(ISRCC)定序器685。经由路径682访问存储器128以引用自动命令或自动命令操作的一个或多个存储的过程。在识别出特定的报告错误状态(EC)、问题或其他事项是可能的自动解决方案的良好候选者时，这些过程通常已由制造工厂支持人员先期编写和测试。存储的用于每个此类过程的命令和/或期望操作的列表可以根据需要顺序地在通信路径687和688上从存储器128提供给定序器685。有时一个过程可能包含要尝试的单个命令或单个操作，但往往是在命令或操作的给定过程内要尝试两个或更多个步骤。如果第一过程未能产生期望的结果(例如，知正、消除、校正或以其他方式消除了报告的错误状态)，则如果可用的话通常将尝试自动纠正命令或所命令的操作的第二过程(也存储在存储器128中)。如果上述过程也未能产生期望的结果，则如果可用的话可以尝试命令或纠正操作的第三过程(也存储在存储器128中)，以此类推，直至产生期望的结果(即，解决)或直至已经用尽存储器128中的要尝试在自动基础上解决该特定报告的EC或问题的命令或操作的所有可用过程。
对于某些错误状态、问题或其他事项，一种可能的自动纠正操作是发出一个命令，使得即时消息被以任何适合的方式自动地发送给适当的维护人员(通常是值班的操作员或服务技术员或随时待命的工程师)。此类方式可包括寻呼机、蜂窝电话或其他适合的便携无线通信设备，如具备无线功能的个人数字助理(如PalmPilot或Blackberry)。该消息可作为短文本消息、编码文本消息，合成产生的语音消息、电子邮件消息或任何其他适合的通信方式来发送。如果希望的话，这类消息可以是要采取的纠正步骤序列中指定的最后一个自动命令或操作或者最后一些自动命令或操作之一。最经常的，当所有其他指定的自动命令或操作都已尝试过但没有成功时将使用这样的消息。可替代地，即使自动ISR系统自动地将FOUP、工具或站成功地从线上取走或以其他方式成功处理，在某些情况下仍然希望向维护人员通告该问题和采取的纠正操作。以这种方式，能安排适当的后续操作或其他补救操作。
如在上文的概要中指出的那样，ISRM系统122可能不总是能够响应所报告的错误状态或其他问题。系统122通过可用状态信息可以识别出存在某些系统或设备状态，它们阻碍产生纠正响应，对这种作用产生消息是有用的。实现此功能的一种方法是使ISRM系统122的第二组件620包括：用于确定当前是否能采取自动纠正操作的第一子组件621，以及与该第一子组件通信用于通告另一个控制系统当前不能执行自动纠正操作的第二子部件622。如果希望，第二子组件622可在操作上安排成经由第一消息通告由于在该第一消息中具体标识出的状态而不能采取自动纠正操作，例如，在该第二消息中标识出的至少一个设备或其他自动部分没有处于要求的自动模式。例如，该自动部分可以是工具、站、传输装置、控制系统、通信装置、连接部件或系统、或管理系统。例如，当支持人员或其他人将有问题的设备或其他自动部分脱离自动模式时会出现这种情况。因此，如果希望的话，该ISRM系统122可以暂停该纠正操作，直至处于离线的设备或其他自动部分返回要求的自动模式。该功能可被写入第二子组件622的主控制器(MC)624的控制逻辑中。当MC 624通过在路径628上提供的状态信息消息看到使纠正操作暂停的状态已被清除时，如果希望的话(即这样编程)，MC624可以恢复产生适合的纠正命令以尝试清除仍未消除的错误状态。
进而，本发明的ISR系统还可以在适当的时候自动地向该ISR系统外部的一个或多个控制系统发送其自己的报告消息，作为其对各种报告的错误状态或其他问题的预先计划好的响应的一部分。一种此类报告消息是该错误状态是否已被成功地消除。其他报告消息可以说明解决问题的努力所处的状态。例如，针对一个给定的报告的错误状态，这类状态消息可包括：
(1)“EC未被识别-自动ISR响应不可用”(意思是，对于该报告的EC，尚未在SR系统中进行任何编程)；
(2)“问题被识别出；等待清除”(意思是ISR系统识别出了所报告的EC或故障RC，但某种其他状态正在阻止该自动ISR响应被执行，例如某个系统或设备没有处于全自动模式)；
(3)“自动ISR响应进行中”(意思是ISR系统正在对识别出的RC做出解决方案)；
(4)“自动ISR成功完成”(意思是EC被ISR系统清除或被ISR系统以其他方式解决)；
(5)“自动ISR完成但未成功”(意思是EC未被解决，尽管ISR系统针对该特定RC经历了其预先编程的自动纠正命令和/或操作序列)。
这些报告消息中的每个消息都可以根据需要或期望向外发送。在这方面，报告消息可由上述ISR系统自动地发送给制造工厂内的MES、PEC或其他控制系统或计算机，指出一个特定项目(如控制系统、FOUP、工具、站或其他设备)发生停机和/或已被ISR系统从线上取下。如果希望的话，该消息可以可选地指出需要维护人员的服务或其他后续操作，和/或受影响的项目应被安排到计划的维护活动日程上。此自动产生的消息可在其中包括预先编程的信息以指出感知的该特定情况的优先级。来自ISR系统的这些消息还可根据希望经无线通信系统发送给适当的支持人员。关于如何在自动工厂环境中实现无线消息系统的各种细节在Fukazawa等(包括这里提到名字的两位发明人)的共同转让的待决申请中描述，该申请专利申请公布号为US 2002/019864，公布于2002年12月26日，标题为“Methodand System for Wireless Remote Monitoring and Control of aManufacturing Execution System”(对制造执行系统进行无线远程监控的方法和系统)，其公开在此引入作为参考。图6中所示各种组件(或这些组件的子组件)可被分配一个或多个这里描述的这些消息传送任务。
如果希望的话，在ISRM系统122中可提供多个第二组件(或者它的多个实例)，为每个唯一的报告EC(如唯一的故障返回代码)或其他报告的事项提供一个，如在图7中将进一步描述的那样。如图6中所示，包括第二组件122的ISRCC 126可包括各种子组件。一个此类子组件(由省略号623表示，)可用于提供可能的纠正操作的至少第一和第二过程，而另一个这样的子组件(其可以是子组件629)可被安排成命令采取可能纠正操作的第一过程，然后如果需要的话则采取纠正操作的第二可能过程，然后如果需要的话则采取纠正操作的第三过程，如此等等。每个这样的纠正操作过程可能涉及一个或多个步骤或操作，可以根据需要以任何时间格式执行特定操作过程中的这些步骤或操作，例如但不限于，在定时基础上，或以特定序列或以基本上并行的方式等。这些子组件623和629可被安排成访问命令存储器128中存储的信息并利用定序器685的服务来发布输出纠正命令690。定序器685的工作是以其指定的时间格式执行每个预先计划的序列，优选地，这些序列以适当的编码方式存储在命令存储器128中每个识别出的EC的条目中。如果发布的第一命令或操作没有产生所希望的解决问题结果，则第二组件620经过信号路径631向定序器685发出一个内部命令以便定序器将在适当的时候继续发布下一个自动命令或操作。
在实践中，如前文指出的那样，某些错误恢复场合可能涉及执行两个、三个、四个或更多个可能的纠正步骤或操作过程，而且往往以某种顺序进行。有时，错误状态可能在达到步骤序列结尾之前便已解决。在这种情况中，第三组件630可被安排成确定最后发布的自动纠正命令或最后发布的自动纠正命令或操作的过程是否解决了所报告的错误状态或问题。第二组件620经由路径656将它自己的状态告知第三组件630并经由路径632告知组件630它已经发布另一个纠正命令。第三至第六组件630、640、650和660都可以通过在路径617和618上提供给输入缓冲区615的消息得到关于发布的自动纠正命令或操作的效果的信息。这种信息可包括，例如：控制系统状态；工具、站和/或设备状态；响应纠正命令或操作从主管理器32、MES 34、PEC 36和/或AMHS 100返回的消息等。在这些消息中的信息可通过通信路径627分发到第一组件610，然后第一组件610根据需要通过路径637将该信息接着传递给第二至第六组件。以这种方式，第二至第六组件得到它们可能需要的信息以提供这里针对每个这样的组件陈述的功能。
第三组件630可包括它自己的第一子组件，该组件用于经由路径657提供第一消息，指出上述自动纠正操作看来是否已解决了上述错误状态或其他问题。通过从第三组件630接收此消息，第二组件620确定它是否还需要发布另一个纠正命令或操作或者是否要采取自动纠正命令或操作的下一个预先计划的过程。如果希望的话，在第三组件630内可提供一个时间延迟，以给予已收到自动纠正命令的外部控制系统、工具、站或其他设备足够的时间来工作以清除该错误状态或其他问题，并经由一个或多个应答消息607和状态消息608向ISRM系统返回报告，从而能确定是否已达到了所希望的结果。如果希望的话，可在ISRCC 126的定序器685与第三、第五组件630和650之间提供路径632，以指出何时已发布另一个自动纠正命令并指定第三和第五组件在采取其下一个步骤之前应等待的最大时间量。定序器685将知道与要处理的特定EC关联的全部自动纠正命令何时已被尝试和/或何时再没有要尝试的命令。当发生此情况时，定序器685产生一个消息以指出此情况，该消息沿路径668被发送到组件630至660。以这种方式，组件630至660将知道(无任何显著延迟)就当前由第二组件620处理的识别出的EC而言，已没有要进一步采取的纠正命令或操作。
如果希望的话，可提供第五组件650以确定哪一个特定的自动纠正操作或命令看来已解决了当前由第二组件620处理的报告的EC或故障RC。第五组件650可通过记录哪一个自动纠正命令或操作是最后发布的并结合由组件620处理的报告的ER或其他问题，然后假定这最后的命令或操作解决了该识别出的EC来简单地完成此确定过程。可替代地，第五组件650可被设置成分析经由路径637提供的应答和状态数据并使用这些数据以及该最后发布的命令或操作来做出其判定。在任一情况中，组件650还可包括一个子组件，该子组件发出消息报告第五组件的发现或判定结果，该消息可经由路径666传送到第四和第六组件640和660。
与第三组件630类似，第五组件650可在适当的时间延迟之后或在第二组件620对同一操作过程进行多次尝试或重复之后执行前述功能。或者第五组件650可以简单地等待直至第三组件630已做出其判定，第五组件650才开始执行其判定功能，判定哪个纠正命令或操作或者纠正命令或操作的哪个过程看来已解决了正被处理的报告的错误状态或其他问题。假定第三和第五组件的功能是高度相关的，如果希望的话，这些组件可被安排成单个组合组件。
第四组件640是上述ISRM子系统122的一部分，该组件记录上述纠正命令序列是否解决了所报告的错误状态或其他问题。如果希望的话，可提供第六组件660以记录哪个特定的自动纠正命令或操作看来已解决了所报告的错误状态或其他问题。组件640和660经由路径669向日志缓冲区691提供输出日志消息(O.B.Log Msgs)，在日志缓冲区691这些消息可被不时地发送给记录问题存储器698，如先前描述的那样。尽管没有示出，但本领域技术人员应该理解，如果需要或希望的话，来自第四和第六组件的此类输出消息还可由缓冲区691发送给主管理器32、自动物料运送系统100或甚至其他系统。在实践中，可以可选地对命令存储器128加载每个列出的条目的数据，该数据指定了上述制造工厂30内要从第一、第二、第四和/或第六组件接收上述输出消息的其他控制系统。
本领域技术人员应该理解，如果希望的话，ISRM子系统122的任何给定组件内的任何给定功能都可以作为子组件来实现。在组件610至660的任何组件内的子组件都可由子组件框表示，如第二组件620中示出的那样。但是，由于图6中空间所限并为避免图案杂乱，这些子组件框未被示出，但应理解为在图6中存在。
本领域技术人员还应理解，如果希望的话，第三、第四、第五和第六组件可被集成为一个组合的组件。可替代地，如果希望的话，第三和第四组件可被集成为一个组合的组件，而第五和第六组件可被集成为另一个组合的组件。还有，如果希望的话，第一和第二组件610和620可被集成为一个组合的组件。最后，对于正在被处理的每个特定的或唯一的错误代码、故障返回代码、问题或其他事项，可以将ISRM系统的第一至第六组件610至660的功能集成为单个组合组件。使用此方法，例如，特定的错误状态或故障返回代码的到达将使ISRCC管理器605调用或呼叫和启动集成的编写成处理该特定EC、故障RC或问题的组合组件。此方法的一个好处是任何给定的报告的错误状态或其他问题的到达将不会干扰其他报告的错误状态、问题或其他事项的到达、处理和解决，所述其他报告的错误状态、问题或其他事项也可能需要与首先到达的错误状态或问题基本上同时处理。
图7示出了替代ISRM子系统122’，除了图7中所示部分之外，它与图6中的ISRM子系统122相似。图7的实施例被安排成实现和说明一个ISRM子系统，其中提供或可以提供图6中示出的组件610至660的每个组件的多个实例。优选地使用此结构安排以便每个组件的一个实例专用于一个特定的新到达的报告的错误状态，如下文进一步简要解释的那样。在图7的实施例中，第一组件610的所有实例由大括号610’指定，而该第一组件的各个实例(可能有N个)被指定为块711、块712和块713至719。术语N表示任何需要的个数。N可多达几十或几百，而在大型的和复杂的IC制造工厂或自动生产工厂中甚至可达数千或更多。如在涉及给定组件多个实例的面向对象的计算机系统中通常的那样，在任何一个时刻，通常将启动只是需要运行(或由于计算机系统的限制所能够运行)的那么多实例。换言之，在任何给定的时刻，任何给定组件的实际运行的实例数量取决于上述ISRM子系统122’的繁忙程度。
第二组件721-729的集合620’显示为与相应数量的有效命令存储器实例关联，这些实例分别标记为Mem EC-1至Mem EC-N(共同由大括号128’标识)。类似地，定序器685以多个实例显示，这些实例分别标记为Seq EC-1至Seq EC-N(共同由大括号685’标识)。在图7中线631和682后面的多组虚线代表第二组件的这些单个实例与它们各自的命令存储器128’及定序器685’的单个实例通信。
类似地，第三组件731-739的集合630’和第五组件751-759的集合650’都包括相应数量的第三和第五组件的有效实例，这些实例也被分别标记，用于并关联于所报告的识别出的错误状态EC-1至EC-N。为减少图案杂乱，重复的各个通信路径已在图7中省略(否则它们将显示在实线632和668的后面)。最后，第四组件741-749的集合640’和第六组件761-769的集合660’都包括相应数量的第四和第六组件的有效实例，这些实例也被分别标记，用于与所报告的和识别出的错误状态EC-1至EC-N关联的实例。
部件6-附加的应用
不同类型的解决方案或恢复程序、过程或代理：大型制造系统中的不同种类的设备或不同种类的事务可能要求执行不同的步骤以便实现解决方案或从错误、问题或其他事项中恢复。因此，具备多种类型的解决方案或恢复程序、过程或代理可能是有用的，其每一个都被构造成以自动方式执行与特定类型或类别的设备(如工具、传输装置或储存设备)或托架关联的解决方案或恢复操作，因为每种方案、程序、过程或代理都可能需要特殊的处理、消息传送或定制的操作或指令序列以便实现解决方案或恢复。使用两个或更多个不同的解决方案或恢复程序、过程和/或代理来处理一个或多个报告的状态处于本发明的范围之内。
同步和异步使用：所利用的本发明的解决问题(ISR)系统和方法以及任何解决方案或恢复组件可被同步地使用。“同步使用”是指这样的使用，其中ISR系统执行或尝试执行某个解决方案或恢复过程时，直到从解决方案或恢复过程中的先前步骤返回肯定的确认后，才会发出一个或多个纠正命令来执行该解决方案或恢复过程中的步骤序列中的下一个步骤。可替代地，上述多个恢复步骤或指令可由ISR系统同时发出，或者以定时间隔发出，无需等待向其直接或间接发送指令的相同或不同控制系统、工具、设备或托架先前执行的恢复步骤的响应或这些步骤的完成。这些就是我们表征为本发明的解决方案或恢复代理或组件的“异步使用”的例子。
报告和异常活动：在图6和图7中，公开了用于记录解决问题命令的结果(或没有结果)的组件和存储器的结构安排。该解决问题管理(ISR)系统具有一个或多个子程序、函数、类、对象、代理程序、组件或更多的其他功能，它们提供数据收集和/或某种形式的统计数字，以便在适当的容器中或以适当形式(例如但不限于关系数据库)存储这些数据或数字，以采集关于所报告的故障或问题及其活动的信息来响应这些错误、问题或其他事项，这也在本发明的范围内。这些子程序、函数、类、对象、代理或组件可以从事务管理器、设备管理器、RTD系统和其他系统和/或监视器收集有关它们的运行的数据。这些数据可包括获得的解决方案和/或恢复结果，进行的解决方案或恢复操作的多少和类型，试图纠正所报告的问题时采用的嵌套层次以及识别并采取的解决方案和恢复尝试的次数等。报告这些数据无疑又会帮助其他系统向维护人员提供有用的报告。这些报告(可以响应查询而被提供)还可用于由维护人员确定发生了什么和确定对设备或某些已知问题给予特殊关注的顺序。它们还能用于帮助确定相对于ISR系统所响应的问题是否需要在报告结尾采取纠正或预防操作。
软件编码实施方式：应该理解，在主要由使用面向对象编程(OOP)技术的程序构成的运行时环境中，上述ISRM子系统可作为组件实现，而所关联的代理程序，例如采集数据或维护所报告的错误、问题或其他事项的故障数据库的那些代理程序也可作为组件实现。进而，当这些代理正在执行时，它们实际上变成了这种环境中的对象。还应该理解，如结合图7讨论过的那样，如果希望的话，可以提供任何这样的组件或代理的多个实例。例如，如果不同的系统、应用、设备或不同工具具有特定的属性或功能，这些属性或功能需要不同的步骤来实现尝试的解决方案或恢复方案，那么提供不同的组件或解决方案代理是有用的，这些组件或代理特定地编写成处理与特定的系统、应用、设备、工具或托架，或特定类别的多个相似设备或相似工具或相似托架关联的所需问题解决方案和/或恢复任务。
已经针对一种实施方式描述了本发明，该实施方式基于在某些示例性操作系统和/或计算机硬件平台上运行的IBM Standard SiView制造执行系统、Brooks Automation RTD以及Muratec MCS。然而，本领域技术人员应该理解，本发明的系统和方法可以根据计算机操作系统和硬件平台与任何其他已知的或适当的MES、RTD/调度器和/或MCS以及其他选择一起使用。所需要的只是上述ISR系统和本发明的方法被安排成与各种基于软件的控制系统(特别是MES、MCS/AMHS和PCS)集成，从而能够根据需要以一种集成的方式一起运行，以便根据需要产生、接收和/或接受命令和数据来执行上述尝试的问题解决和恢复功能。
这里不需进一步描述本发明的系统和方法，因为本领域技术人员根据本发明的教导将能容易地理解如何实现这些系统和方法。这部分地是由于在现代自动制造环境中传统的MES、RTD、PCS和MCS/AMHS以及类似的软件系统还有其他管理和诊断/错误记录软件系统的广泛使用。还有，关于在IC制造工厂和其他大型计算机化制造系统和工厂中交换数据和控制信息的各种通信协议和消息传送系统的广泛知识和对它们的广泛使用使得没有必要进一步说明这些通信过程的细节。此外，编写工业控制系统软件程序、工厂数据获取程序，和/或管理和/或自动化系统程序和/或组件的人们所熟悉任何适当的编程方法和/或其他公知的通信和数据库协议以及软件工具都可用于实现本发明的ISR系统和方法。这些编程方法包括使用关系数据库和面向对象的编程组件以及分布式客户机/服务器计算和通信技术。例如，可在应用服务器上提供服务工具程序，从而能在与受控设备和工具关联的本地计算系统或微控制器上使用瘦客户机。这只是帮助有效地对实现本发明的ISR系统和方法所需的软件进行编码的一种途径。作为第二个例子，本发明的系统和过程可以以任何适当的编程语言或语言集合(例如但不限于面向对象的语言)被编写成程序或一组互相关联的例程。再有，如果希望的话，这些客户机和服务器程序和/或例程可部署成在任何适当的管理软件包(包括但不限于操作系统、MES、RTD、MCS/AMHS或自动程序机/调度器)的控制之下运行。
已经部分地通过参考方块图、流程图、系统的组件或元件以及方法的步骤和子步骤描述了本发明。众所周知，在软件中提供的适当的程序指令用于将通用计算机和/或处理器转变成编程的计算机和/或处理器以形成能够实现本发明的教导的系统。
固件与其他实施方式：本领域技术人员应该理解，如果希望的话，这里描述的系统、方法和软件可以部分地以固件(包括微代码)或硬件实现。因此，本发明可采取包括硬件和/或固件的实施例的形式，或采取是软件、硬件和/或固件组合的实施例的形式。再有，本发明的方法可以完全由软件实现，或由软件、硬件和/或固件的组合实现。
以有形介质作为实施方式：还有，用于实现本发明的软件或其他编码可以以嵌入有形介质中的任何适当形式的计算机程序代码来提供，这些有形介质例如但不限于软盘、CD-ROM、硬盘驱动器、静态存储器或闪存、门阵列或任何其他计算机可读存储介质。当这样的计算机程序代码或其他代码(这些代码包含所需的指令)被加载到适当的计算机/处理器并准备好由这些计算机/处理器执行时，这些被编程的计算机/处理器变成实施本发明的装置。因此，应该理解，本发明的另一个实施例是在有形介质中体现的为实现本发明的过程所需的计算机程序代码。
IC制造工厂之外的应用：尽管前文的描述集中于自动IC制造工厂，但本领域技术人员将会理解，在更广的意义上，本发明的系统和方法可应用于其他自动工厂，这些工厂采用由一个或多个管理程序集成的广泛自动化，所述管理程序例如处理任何种类的单个物品的制造执行系统和/或自动物料运送系统。这类工厂可包括但不限于具有多个加工中心的工厂、组装工厂、自动检验工厂以及自动填装、打包、分类和/或运输工厂。因此，如此处和下文权利要求书使用的那样，下列术语应被理解为下述含义。术语“自动工厂”和“自动制造工厂”应被广义地理解为包含任何工厂或设施，这些工厂或设施包括测试工厂、仓库和物流中心，在这些测试工厂、仓库和物流中心中采用自动设备(由自动控制系统管理，只有很少或完全没有人为干预)来整个地或部分地在重复的基础上接收、制造、组装、处理、加工、确定路线、分类、测试和/或包装相似的物品或物料。术语“物品和物料”应被广义地理解为包括任何类别的单个物品或物料，它们具有物理的表现形式而且由人或自动机器制造、组装、处理、加工或处理，作为其到达最终目的地的旅程的一部分。术语“组件”，如结合本发明的系统和方法所使用的那样，包括但不限于模块、例程、子例程、类、对象、全部或部分客户机/服务器程序以及代理程序和/或代理/根软件。因为任何组件的全部或部分可以整个地或部分地作为专用集成电路(ASIC)实现(包括但不限于现场可编程门阵列(FPGA)或其他形式的硬件和/或作为固件)，所以术语“部件”在其更广的意义上应理解为也包括它们。
进一步的改变/添加：上文的详细描述表明，本发明的示例性实施例非常适于完成上文说明的目的。应该理解，本领域的技术人员可以对为了说明本发明而选择的实施例作出各种修改和添加而不脱离本发明的精神和适当范围。因此，应该理解，所寻求的和要由此提供的保护应被认为延伸到由所附权利要求书定义的主题，包括其全部的合理等效物。

Claims (26)

1.一种在进行自动生产并具有多个设计成实现特定任务的自动设备和交互控制系统的自动制造工厂中自动地尝试解决识别出的干扰自动生产的问题的自动解决问题系统，该自动解决问题系统包括：
用于管理自动解决问题的尝试的自动解决问题管理系统，该问题包括与自动制造工厂有关的错误状态，该自动解决问题管理系统包括多个自动组件，该自动解决问题管理系统用于协调该多个自动组件的运行，该多个组件包括：
第一组件，该组件用于自动地检查引起其注意的第一报告的问题是否是识别出的自动解决方案看来可用的问题；以及
第二组件，该组件用于命令由所述自动制造工厂的一部分采取自动纠正操作以响应所报告的由所述第一组件识别出的问题，所述第二组件还包括：
用于确定当前看来是否能采取自动纠正操作的第一子组件；以及
与该第一子组件通信，用于通告当前不能执行自动纠正操作的第二子组件。
2.如权利要求1所述的自动解决问题系统，其中，所述自动解决问题管理系统还包括：
用于确定该自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题的第三组件；以及
用于记录该自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题的第四组件。
3.如权利要求1所述的自动解决问题系统，其中，所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第一消息通告由于在该第一消息中被具体标识的条件而不能采取自动纠正操作。
4.如权利要求3所述的自动解决问题系统，其中，所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第二消息通告由于在该第二消息中被标识的至少一个自动设备没有处于自动模式而不能采取自动纠正操作。
5.如权利要求1所述的自动解决问题系统，其中，所述自动解决问题管理系统还至少包括多个第二组件，该多个第二组件中的每个组件分别专用于尝试解决一个不同的被识别出的问题。
6.如权利要求1所述的自动解决问题系统，其中，所述自动解决问题管理系统的第二组件包括用于提供可能的自动纠正操作的至少第一和第二过程的所述第一子组件，以及用于命令采取可能的自动纠正操作的第一过程，然后如果需要采取可能的自动纠正操作的第二过程的所述第二子组件。
7.如权利要求1所述的自动解决问题系统，还包括：
用于确定被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所述被识别出的问题的第三组件；并且其中
该第三组件包括用于提供第一消息以指出该被命令的自动纠正操作看来是否已解决了该问题的第一子组件，并且
该第二组件包括
用于提供至少第一和第二可能的自动纠正操作的所述第一子组件，以及
用于命令采取该第一可能的自动纠正操作，然后如果需要则命令采取该第二可能的自动纠正操作的所述第二子组件，以及
用于接收由第三组件提供的所述第一消息并决定该第二子组件是否需要命令采取该第二可能的自动纠正操作的第三子组件。
8.如权利要求7所述的自动解决问题系统，其中，所述自动解决问题管理系统还包括：
至少多个如上所述的第二组件，但每个该第二组件专用于尝试解决一个不同的被识别出的问题；以及
用于根据至少多个不同的被识别出的问题提供与可能的纠正操作有关的信息的命令存储器；以及
用于根据需要帮助产生至少第一和第二命令以启动序列中的自动纠正操作的命令定序器。
9.如权利要求7所述的自动解决问题系统，其中，所述自动解决问题管理系统还包括：
用于记录被命令的自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题以供将来参考的第四组件；
用于提供消息指出被命令的哪个自动纠正操作看来已解决了被识别出的问题的第五组件，以及
在操作上被安排成接收来自该第五组件的消息，用于记录在这样接收的消息中包含的信息的至少一部分以供将来参考的第六组件。
10.一种在具有交互控制系统的自动制造工厂中用于自动地尝试解决识别出的干扰自动生产的问题的自动解决问题系统，该交互控制系统与实现某些指定任务的自动设备交互，该自动解决问题系统包括：
第一组件，该组件用于自动地检查报告的引起其注意的第一问题是否是识别出的自动解决方案看来可用的问题；以及
第二组件，该组件用于自动命令由该自动制造工厂的一部分采取自动纠正操作以响应所报告的由该第一组件识别出的问题，所述第二组件还包括：
用于确定当前能否采取自动纠正操作的第一子组件；以及
与该第一子组件通信，用于通告当前不能执行自动纠正操作的第二子组件。
11.如权利要求10所述的自动解决问题系统，还包括：
用于确定所述被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所报告的被识别出的问题的第三组件；以及
用于记录所述被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所报告的被识别出的问题的第四组件。
12.如权利要求11所述的自动解决问题系统，其中，所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第一消息通告由于在该第一消息中被具体标识的条件而不能采取所述被命令的自动纠正操作。
13.如权利要求12所述的自动解决问题系统，其中，所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第二消息通告由于至少一个自动设备没有处于完全自动模式而不能采取所述被命令的自动纠正操作。
14.如权利要求10所述的自动解决问题系统，其中，所述自动解决问题系统还至少包括多个相似的第二组件，但是该多个相似的第二组件中的每个组件专用于解决一个不同的被识别出的问题。
15.如权利要求10所述的自动解决问题系统，其中，所述自动解决问题系统的第二组件包括用于提供可能的自动纠正操作的至少第一和第二过程的所述第一子组件，以及用于命令采取可能的自动纠正操作的第一过程，然后如果需要采取该第二可能的纠正操作过程的所述第二子组件。
16.如权利要求10所述的自动解决问题系统，还包括：
用于确定被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所述被识别出的问题的第三组件；并且其中
该第三组件包括用于提供第一消息以指出所述被识别出的报告的问题看来不再成为问题的第一子组件，并且
该第二组件包括
用于提供自动纠正操作的至少第一和第二可能过程的所述第一子组件，以及
用于自动地命令采取该可能纠正操作的第一过程，然后如果需要则自动地命令采取该纠正操作的第二过程的所述第二子组件，以及
用于接收来自所述第三组件的所述第一消息并确定所述第二子组件是否需要命令采取所述自动纠正操作的第二过程的第三子组件。
17.如权利要求16所述的自动解决问题系统，还包括：
至少多个第二组件，该多个第二组件分别专用于尝试解决一个不同的被识别出的问题，同时至少两个该第二组件中的每个第二组件包括：
用于为其不同的被识别出的问题提供可能纠正操作的至少第一和第二过程的第一子组件，以及
用于根据其不同的被识别出的问题命令采取该可能纠正操作的第一过程，然后如果需要则命令采取该纠正操作的第二过程的第二子组件，以及
用于根据不同的被识别出的问题提供与可能纠正操作的多个过程有关的信息的命令存储器，以及
用于根据需要帮助产生至少第一和第二命令以启动序列中的自动纠正操作的命令定序器。
18.如权利要求16所述的自动解决问题系统，还包括：
用于记录被命令的所述自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题以供将来参考的第四组件；
用于提供消息指出被命令的那个自动纠正操作看来已解决了被识别出的问题的第五组件，以及
在操作上被安排成接收来自该第五组件的消息，用于记录在这样接收的消息中包含的信息的至少一部分以供将来参考的第六组件。
19.一种在自动工厂环境中管理从错误状态自动恢复的自动方法，该自动工厂环境具有自动的计算机化控制系统控制和管理其中的自动设备的运行，该方法包括如下步骤：
(a)安装管理程序，该管理程序用于管理从选定的错误状态自动地恢复的尝试，该错误状态由所述自动工厂中的至少一个所述控制系统报告；
(b)确定由所述管理程序接收的输入错误状态是否被识别为自动解决方案看来对其可用的问题；
(c)对于在步骤(b)中如此识别出的第一输入错误状态，在所述管理程序的帮助下，访问与被识别出的输入错误状态关联的信息以使能产生第一组自动纠正命令；以及
(d)在所述管理程序的帮助下，为要由所述自动工厂的一部分采取的自动纠正操作产生至少第一命令以试图自动地解决所述被识别出的第一输入错误状态；
(e)确定当前是否能采取自动纠正操作；以及
(f)通告当前不能执行自动纠正操作。
20.如权利要求19所述的从错误状态恢复的自动方法，还包括如下步骤：
(g)确定采取的所述自动纠正操作看来是否已解决了所述被识别出的输入错误状态；以及
(h)记录采取的所述自动纠正操作看来是否已解决了所述被识别出的输入错误状态。
21.如权利要求19所述的从错误状态恢复的自动方法，其中步骤(f)包括：
在特定时刻通过第一消息通告由于在该第一消息中至少部分地被标识的条件而不能采取自动纠正操作，以及
在其他特定时刻通过第二消息通告由于至少一个自动设备没有处于所要求的自动模式而不能采取自动纠正操作。
22.如权利要求19所述的从错误状态恢复的自动方法，其中所述管理程序与多个不同的被识别出的错误状态关联，对于该错误状态可使用与各种自动纠正操作关联的不同纠正命令组以尝试从该错误状态恢复，该方法还包括如下子步骤作为步骤(d)的一部分：
(1)选择可能的自动纠正操作的至少第一过程，并至少是部分地根据该过程产生第一组命令以启动该自动纠正操作的该第一过程；以及
(2)在所述被识别出的输入错误状态看来并未响应所述第一组命令而被纠正的情况下，选择可能的自动纠正操作的第二过程，然后至少部分地根据该过程产生第二组命令以启动自动纠正操作的该第二过程。
23.如权利要求22所述的从错误状态恢复的自动方法，还包括如下步骤：
(g)对于在步骤(b)中如此被识别出的第二输入错误状态，在所述管理程序的帮助下，访问与该被识别出的输入错误状态关联的信息，使能经由所述管理程序产生至少第一组自动纠正命令，该第一组自动纠正命令不同于响应在步骤(b)中识别出的所述第一输入错误状态而产生的第一组自动纠正命令；以及
(h)在所述管理程序的帮助下，产生至少第一组命令，以便启动将由所述自动工厂的一部分采取的自动纠正操作，以试图自动地解决被识别出的所述第二输入错误状态。
24.如权利要求23所述的从错误状态恢复的自动方法，还包括如下步骤：
(i)在第一输入错误状态看来并未响应所述自动产生的第一组命令而被纠正以便从该第一输入错误状态恢复的情况下，其后顺序地自动命令产生与针对该第一输入错误状态的可能自动纠正操作的第二过程关联的第二组命令，以及
(j)在第二输入错误状态看来并未响应所述自动产生的第一组命令而被纠正以便从该第二输入错误状态恢复的情况下，其后顺序地自动命令产生与针对该第二输入错误状态的可能自动纠正操作的第二过程关联的第二组命令。
25.如权利要求19所述的从错误状态恢复的自动方法，其中所述管理程序包括：
至少多组逻辑，该多组逻辑中的每组逻辑专用于解决一个不同的被识别出的输入错误状态，该每组逻辑根据其不同的被识别出的错误状态来提供可能纠正操作的至少第一和第二过程，并且
所述方法还包括如下步骤：
(g)对于每个不同的被识别出的输入错误状态，顺序地命令采取针对该错误状态的可能纠正操作的所述第一过程，然后如果该第一过程看来没有解决该错误状态，则命令采取纠正操作的第二过程。
26.如权利要求25所述的从错误状态恢复的自动方法，其中所述管理程序包括：
用于根据不同的被识别出的输入错误状态提供与可能纠正操作的多个过程有关的信息的命令存储器，并且
所述方法还包括如下步骤：
(h)对于至少多个被识别出的输入错误状态，记录该输入错误状态看来是否已被自动纠正；以及
(i)对于至少多个被识别出的输入错误状态，记录多个可能纠正命令中的哪些纠正命令看来对自动实现纠正错误状态负责。
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