TWI826173B - 晶圓堆的搬運管理方法 - Google Patents

Abstract

一種晶圓堆的搬運管理方法，包括以下步驟。取得具有內部緩衝區的機台清單。取得清單中的其中一機台內的晶圓堆集合數量。確認該其中一機台內被預約進行製造處理的晶圓堆集合的數量是否小於3組集合，並確認系統內未在機台內且未建立傳送命令的晶圓堆的位置。確認該其中一機台的優先傳送權是否傳送至自動化原料搬運系統。判斷在晶圓堆轉移作業中是否有正在轉移至該其中一機台中的晶圓堆。

Description

晶圓堆的搬運管理方法

本發明是有關於一種搬運管理方法，且特別是有關於一種晶圓堆的搬運管理方法。

在半導體製造過程中，製造機台用以處理晶圓，例如微影製程（Photolithography Process）、化學機械研磨（Chemical-Mechanical Polishing, CMP）、化學氣相沈積（Thermal Chemical Vapor Deposition, CVD）等。當製造機台內具有內部緩衝區（internal buffer）時，可先將晶圓堆預備在內部緩衝區。在工作區內的晶圓堆被處理完成後，立即將預備在內部緩衝區的晶圓堆傳送至工作區。

然而，當系統對晶圓堆的傳送資源不足時，即便製造機台，容易導致製造機台內的晶圓堆都已經處理完成但晶圓堆仍未傳送至製造機台的情況，使機台閒置。

本發明提供一種晶圓堆的搬運管理方法，其能有效減少機台閒置的問題。

本發明的一實施例提供一種晶圓堆的搬運管理方法，其包括以下步驟。取得具有內部緩衝區的機台清單。取得清單中的其中一機台內的晶圓堆集合的數量。確認該其中一機台內被預約進行製造處理的晶圓堆集合的數量是否小於3組集合，並確認系統內未在機台內且未建立傳送命令的晶圓堆的位置。確認該其中一機台的優先傳送權是否傳送至自動化原料搬運系統。判斷在晶圓堆轉移作業中是否有正在轉移至該其中一機台中的晶圓堆。

基於上述，在本發明的一實施例中，由於晶圓堆的搬運管理方法藉由判斷具有內部緩衝區的機台內被預約進行製造處理的晶圓堆集合的數量是否小於3組集合，以判斷是否要對機台設定優先權送權，進而使機台系統閒置時間下降。

圖1是根據本發明的一實施例的晶圓堆的搬運管理方法的流程圖。圖2是根據本發明的一實施例的晶圓堆的搬運管理系統的示意圖。圖3是晶圓堆被傳送至機台的一示例。請參考圖1至圖3，本發明的一實施例提供一種晶圓堆W、W’、W’’、W’’’的搬運管理方法，其包括以下步驟。步驟S100：取得具有內部緩衝區IB的機台100清單。步驟S300：取得清單中的其中一機台100內的晶圓堆集合1000、1000’、1000’’數量。步驟S400：確認該其中一機台100內被預約進行製造處理的晶圓堆集合1000、1000’、1000’’的數量是否小於3組集合，並確認系統內未在機台100內且未建立傳送命令的晶圓堆W’’’的位置。步驟S500：確認該其中一機台100的優先傳送權是否傳送至自動化原料搬運系統AMHS。步驟S600：判斷在晶圓堆轉移作業中是否有正在轉移至該其中一機台100中的晶圓堆W’’。

詳細來說，本發明實施例的搬運管理系統10可包括製造執行系統（Manufacturing Execution System）MES、平行傳送（Parallel Transfer）系統200以及多個機台100（如圖3所示的機台100）。製造執行系統MES可包括實時調度（Real Time Dispatch）系統RTD、原料控制系統（Material Control System）MCS、工具控制系統（Tool Control System）TCS以及機台應用程序（Equipment Application Program）EAP。其中，製造執行系統MES透過工具控制系統TCS或機台應用程序EAP控制機台100。工具控制系統TCS或機台應用程序EAP用以確認機台100（的內部緩衝區IB）內的晶圓堆W、W’在被處理前、後的動作，並將其參數傳送至製造執行系統MES，以提供製造執行系統MES作為資料分析的依據。原料控制系統（Material Control System）MCS可包括自動化原料搬運系統（Automated Material Handling System）AMHS。自動化原料搬運系統AMHS用以搬運/傳送晶圓堆W、W’、W’’、W’’’至機台100。實時調度系統RTD用以確認機台100內晶圓堆集合1000的數量、待傳送至機台100的晶圓堆W’’’以及正在傳送中的晶圓堆W’’的位置。

在本實施例中，平行傳送系統200與製造執行系統MES電性連接，用以最佳化搬運管理系統10內的晶圓堆W’’’的傳送方式。

在本實施例中，上述的製造執行系統MES、平行傳送系統200、實時調度系統RTD、原料控制系統MCS、工具控制系統TCS、機台應用程序EAP可由控制器組成。控制器例如是包括微控制器單元（Microcontroller Unit，MCU）、中央處理單元（central processing unit，CPU)、微處理器（microprocessor）、數位訊號處理器（digital signal processor，DSP）、可程式化控制器、可程式化邏輯裝置（programmable logic device，PLD）或其他類似裝置或這些裝置的組合，本發明並不加以限制。此外，在一實施例中，控制器的各功能可被實作為多個程式碼。這些程式碼會被儲存在一個記憶體中，由控制器來執行這些程式碼。或者，在一實施例中，控制器的各功能可被實作為一或多個電路。本發明並不限制用軟體或硬體的方式來實作控制器的各功能。

在本實施例中，晶圓堆W、W’、W’’、W’’’的搬運管理方法更包括步驟S200：判斷清單中的該其中一機台100是否處於自動傳送模式。例如，機台100可被設定為自動傳送模式或手動傳送模式。若該其中一機台100處於自動傳送模式，則進入步驟S300；若該其中一機台100不處於自動傳送模式，則進入步驟S700：判斷下一個機台100。

在本實施例中，步驟S400的機制排除了對已在機台100內的晶圓堆W、W’’建立優先傳送命令。此外，步驟S400包括步驟S410：若為是，設定該其中一機台100具有優先傳送權。

在本實施例中，每一機台100可具有工作區P以及內部緩衝區IB。工作區P用以對晶圓堆集合1000、1000’、1000’’執行製造處理。內部緩衝區IB用以暫存放未處理的晶圓堆集合1000’’。其中，圖3示意了每一晶圓堆集合1000、1000’、1000’’可包括兩組晶圓堆W、W’。晶圓堆W、W’、W’’、W’’’可被置於載具內，載具例如是8吋晶圓專用的卡帶（Cassette）或12吋晶圓專用的前開式晶圓傳送盒（Front Opening Unified Pod, FOUP）。但本發明並不限制每一晶圓堆集合1000、1000’、1000’’內的晶圓堆W、W’數量或晶圓數量。以圖3為例，工作區P中的晶圓堆集合1000已被處理完成而正被移出工作區P，因此在內部緩衝區IB中的晶圓堆集合1000’正被移入工作區P。此時，若內部緩衝區IB內沒有晶圓堆集合1000’’（圖3示意晶圓堆W’’正在被轉移至晶圓堆集合1000’’），則之後該機台100發生閒置的機率提高。因此，較佳使此機台100具有優先權送權，即步驟S300至S410。

接著，在步驟S600中，實時調度系統RTD判斷自動化原料搬運系統AMHS是否有正在轉移至該其中一機台中的晶圓堆W’’。若為否，則進入步驟S610：傳送一晶圓堆W’’’至該其中一機台100。

圖4是執行本發明的一實施例的晶圓堆的搬運管理方法前、後的系統閒置時間曲線圖。在圖4中，橫軸為時間序，縱軸為機台閒置時間（單位為分鐘）。請參考圖4，在執行本發明實施例的晶圓堆1000的搬運管理方法後，系統閒置時間明顯下降。

綜上所述，在本發明的一實施例的晶圓堆的搬運管理方法中，藉由判斷具有內部緩衝區的機台內被預約進行製造處理的晶圓堆集合的數量是否小於3組集合，以判斷是否要對機台設定優先權送權。因此，晶圓堆的搬運管理方法盡量使機台的內部緩衝區保持具有至少一個晶圓堆集合，進而使機台系統閒置時間下降。

10:搬運管理系統 100:機台 200:平行傳送系統 1000、1000’、1000’’:晶圓堆集合 AMHS:自動化原料搬運系統 EAP:機台應用程序 IB:內部緩衝區 MCS:原料控制系統 MES:製造執行系統 P:工作區 RTD:實時調度系統 S100、S200、S300、S400、S410、S500、S600、S610、S700:步驟 TCS:工具控制系統 W、W’、W’’、W’’’:晶圓堆

圖1是根據本發明的一實施例的晶圓堆的搬運管理方法的流程圖。 圖2是根據本發明的一實施例的晶圓堆的搬運管理系統的示意圖。 圖3是晶圓堆被傳送至機台的一示例。 圖4是執行本發明的一實施例的晶圓堆的搬運管理方法前、後的系統閒置時間曲線圖。

S100、S200、S300、S400、S410、S500、S600、S610、S700:步驟

Claims (5)

1. 一種晶圓堆的搬運管理方法，包括：取得具有內部緩衝區(internal buffer)的機台清單；取得該清單中的其中一機台內的晶圓堆集合數量；確認該其中一機台內被預約進行製造處理的晶圓堆集合的數量是否小於3組集合，並確認系統內未在機台內且未建立傳送命令的晶圓堆的位置；確認該其中一機台的優先傳送權是否傳送至自動化原料搬運系統；以及判斷在晶圓堆轉移作業中是否有正在轉移至該其中一機台中的晶圓堆。
2. 如請求項1所述的晶圓堆的搬運管理方法，更包括：判斷該清單中的該其中一機台是否處於自動傳送模式。
3. 如請求項1所述的晶圓堆的搬運管理方法，其中該確認該其中一機台內被預約進行製造處理的晶圓堆集合的數量是否小於3，並確認系統內未在機台內且未建立傳送命令的晶圓堆的位置的步驟包括：若為是，設定該其中一機台具有該優先傳送權。
4. 如請求項1所述的晶圓堆的搬運管理方法，其中該判斷在晶圓堆轉移作業中是否有正在轉移至該其中一機台中的晶圓堆的步驟包括：若為否，傳送一晶圓堆至該其中一機台。
5. 如請求項1所述的晶圓堆的搬運管理方法，其中每一機台具有一工作區以及一內部緩衝區。