JPH1115504A - 液晶ガラス基板搬送用産業ロボット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダミーカセットに供給するダミー基板がない
場合に、装置を停止することなくダミー基板を補充でき
て供給するダミー基板がないために発生する生産性低下
がない液晶ガラス基板搬送用産業ロボット装置を得る。 【解決手段】 供給カセット１１の液晶ガラス基板及び
ダミーカセット１３のダミー基板のトレイ２への供給、
トレイ２の液晶ガラス基板の回収カセット１２への回
収、トレイ２のダミー基板のダミーカセット１３への回
収及びダミーカセット１３内のダミー基板がない場合に
補充カセット１６のダミー基板のトレイ２への供給を産
業ロボット１に指令し、かつ補充カセット１６のダミー
基板の残数が所定数以下となったきにダミー基板補充を
報知する制御装置１５を設ける。そして、この補充報知
により人為作業によってダミー基板を補充する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】８この発明は、液晶ガラス基
板をカセットステージから加工装置に連係するトレイ
に、供給及び回収する作業を行う液晶ガラス基板搬送用
産業ロボット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４及び図５は、従来の液晶ガラス基板
搬送用産業ロボット装置を示す図で、図４は全体を概念
的に示す構成図、図５は図４の装置の動作を説明するフ
ローチャートである。図において、１は産業ロボット、
２は産業ロボット１の一側に配置されたトレイ、３はト
レイ２に連係するスパッタ装置である。

【０００３】４は産業ロボット１の他側に配置されたカ
セットステージで、後述する供給カセット及び回収カセ
ットをステージにより移動させる。また、カセットステ
ージ４には第一ポジション５、第二ポジション６、第三
ポジション７、第四ポジション８、第五ポジション９及
び第六ポジション１０が設けられている。１１は供給カ
セットで、トレイ２に供給される液晶ガラス基板が収容
されて、カセットステージ４の第二ポジション６に載置
されている。

【０００４】１２は回収カセットで、トレイ２から取り
出された液晶ガラス基板が回収されるものであり、カセ
ットステージ４の第五ポジション９に載置されている。
１３はカセットステージ４に隣接して設けられたダミー
カセットで、ダミー基板が収容されている。１４は産業
ロボット１の制御盤、１５は産業ロボット１、カセット
ステージ４等の関連機器を制御する液晶ガラス基板搬送
用産業ロボット装置の制御装置である。

【０００５】従来の液晶ガラス基板搬送用産業ロボット
装置は上記のように構成され、産業ロボット１はトレイ
２がロボットアクセス位置にある場合に、カセットステ
ージ４の第二ポジション６にある供給カセット１１内の
液晶ガラス基板を取り出してトレイ２上の各ポイントへ
供給する。

【０００６】また、トレイ２への供給する液晶ガラス基
板を、同一の供給カセット１１内の液晶ガラス基板によ
って供給できないときには、ダミーカセット１３内のダ
ミー基板をトレイ２上へ供給する。そして、スパッタ装
置３内で成膜／加熱処理された基板が載置されたトレイ
２がロボットアクセス位置へ到着すると、トレイ２上の
液晶ガラス基板はカセットステージ４の第五ポジション
９にある回収カセット１２へ、またダミー基板はダミー
カセット１３へそれぞれ回収される。

【０００７】また、カセットステージ４の動作は、第一
ポジション５に供給カセット１１が載置されると第二ポ
ジション６へ搬送する。そして、第二ポジション６では
前述のように供給カセット１１内の液晶ガラス基板が取
り出され、供給カセット１１が空になると、第三ポジシ
ョン７、第四ポジション８、第五ポジション９へ順次供
給カセット１１を搬送する。そして、第五ポジション９
において供給カセット１１は回収カセット１２となる。

【０００８】次いで、前述のスパッタ装置３による処理
済みの液晶ガラス基板が、トレイ２から産業ロボット１
によって取り出されて第五ポジション９の回収カセット
１２へ収容される。そして、処理済みの液晶ガラス基板
を収容した回収カセット１２がカセットステージ４の第
六ポジション１０へ搬送される。

【０００９】また、上記の液晶ガラス基板搬送用産業ロ
ボット装置における産業ロボット１等による作業におい
て、ダミー基板を供給する際にダミーカセット１３内に
ダミー基板がない場合の動作を図２のフローチャートに
よって説明する。すなわち、ステップ１０１においてダ
ミー基板の要求があればステップ１０２へ進み、ダミー
カセット１３内にダミー基板があればステップ１０３へ
進んで産業ロボット１がダミー基板を取り出す。

【００１０】また、ステップ１０２においてダミーカセ
ット１３内にダミー基板がなければ、ステップ１０４へ
進んでアラームが発生し、次いでステップ１０５へ進ん
で装置が停止する。そして、ステップ１０６において作
業者によってダミー基板がダミーカセット１３に補充さ
れ、ステップ１０７へ進んで装置が再起動されればステ
ップ１０２へ戻り、再起動されなければステップ１０６
へ戻るようになっている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の液
晶ガラス基板搬送用産業ロボット装置において、ダミー
カセット１３内に供給するダミー基板がない場合に、装
置を停止して作業者によるダミー基板の補充が行われ
る。このため、装置の生産性が低下するという問題点が
あった。

【００１２】この発明は、かかる問題点を解消するため
になされたものであり、ダミーカセットに供給するダミ
ー基板がない場合に、装置を停止することなくダミー基
板を補充できる液晶ガラス基板搬送用産業ロボット装置
を得ることを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この発明に係る液晶ガラ
ス基板搬送用産業ロボット装置においては、供給カセッ
トと回収カセットとが載置されたカセットステージ、ダ
ミーカセット及び補充カセットの三者と、これら三者に
近接して設けられた産業ロボットと、供給カセットの液
晶ガラス基板及びダミーカセットのダミー基板をトレイ
に供給する作業、トレイの液晶ガラス基板を回収カセッ
トに回収する作業、トレイのダミー基板をダミーカセッ
トに回収する作業及びダミーカセット内のダミー基板が
ない場合に補充カセットのダミー基板をトレイに供給す
る作業を産業ロボットに指令し、かつ補充カセットのダ
ミー基板の残数が所定数以下となったきに動作してダミ
ー基板の補充を報知する報知機能を有する制御装置とが
設けられる。

【００１４】また、この発明に係る液晶ガラス基板搬送
用産業ロボット装置においては、供給カセットと回収カ
セットとが載置されたカセットステージ及びダミーカセ
ットの両者と、これら両者に近接して設けられた産業ロ
ボットと、供給カセットの液晶ガラス基板及びダミーカ
セットのダミー基板をトレイに供給する作業、トレイの
液晶ガラス基板を回収カセットに回収する作業、トレイ
のダミー基板をダミーカセットに回収する作業及びダミ
ーカセット内のダミー基板がない場合にカセットステー
ジに供給カセットが到着していればこの供給カセットか
ら液晶ガラス基板をダミー基板としてトレイへ供給する
作業を産業ロボットに指令し、かつ液晶ガラス基板をダ
ミー基板として扱ったことを液晶ガラス基板管理を行っ
ている上位計算機に報告する報告機能を有する制御装置
とが設けられる。

【００１５】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．図１及び図２は、この発明の実施の形態
の一例を示す図で、図１は全体を概念的に示す構成図、
図２は図１の装置の動作を説明するフローチャートであ
る。図において、１は産業ロボット、２は産業ロボット
１の一側に配置されたトレイ、３はトレイ２に連係する
スパッタ装置である。

【００１６】４は産業ロボット１の他側に配置されたカ
セットステージで、後述する供給カセット及び回収カセ
ットをステージにより移動させる。また、カセットステ
ージ４には第一ポジション５、第二ポジション６、第三
ポジション７、第四ポジション８、第五ポジション９及
び第六ポジション１０が設けられている。

【００１７】１１は供給カセットで、トレイ２に供給さ
れる液晶ガラス基板が収容されて、カセットステージ４
の第二ポジション６に載置されている。１２は回収カセ
ットで、トレイ２から取り出された液晶ガラス基板が回
収されるものであり、カセットステージ４の第五ポジシ
ョン９に載置されている。

【００１８】１３はカセットステージ４に隣接して設け
られたダミーカセットで、ダミー基板が収容されてい
る。１４は産業ロボット１の制御盤、１５は産業ロボッ
ト１、カセットステージ４等の関連機器を制御する液晶
ガラス基板搬送用産業ロボット装置の制御装置である。
１６はダミーカセット１３に隣接して設けられた補充カ
セットで、ダミーカセット１３のダミー基板がないとき
に対応するダミー基板が収容されている。

【００１９】上記のように構成された液晶ガラス基板搬
送用産業ロボット装置において、ダミー基板の供給時に
ダミー基板を取り出す際の動作を図２に示すフローチャ
ートによって説明する。すなわち、ステップ２０１にお
いてダミー基板の要求があればステップ２０２へ進み、
ダミーカセット１３内にダミー基板があればステップ２
０３へ進んでダミー基板を取り出す。

【００２０】また、ステップ２０２において、同一供給
カセット１１内の液晶ガラス基板によって、トレイ２上
の各ポイントへ液晶ガラス基板を供給することができ
ず、しかもダミーカセット１３内にダミー基板がない場
合はステップ２０４へ進む。そして、ステップ２０４に
おいて補充カセット１６からダミー基板を取り出し、ス
テップ２０５へ進み、補充カセット１６内のダミー基板
数を一枚減算する。

【００２１】次いで、ステップ２０６へ進んで補充カセ
ット１６内のダミー基板数が所定数未満であればステッ
プ２０７へ進む。ステップ２０７により制御装置１５の
報知器（図示しない）に補充カセット１６内のダミー基
板数不足を表示する。そして、ステップ２０８に進み制
御装置１５の報知器により、補充カセット１６内のダミ
ー基板数不足がブザー音によって報知される。これらの
動作によって作業者に対してダミー基板の補充が報知さ
れる。

【００２２】このような制御装置１５の報知器による報
知に従って、作業者がダミー基板を補充することによ
り、装置を停止することなく人為作業によりダミー基板
の補充が行われる。したがって、供給するダミー基板が
ないために装置が停止することよって発生する装置の生
産性低下を未然に防止することができる。

【００２３】実施の形態２．図３は、この発明の他の実
施の形態の一例を示す図で、装置の動作を説明するフロ
ーチャートである。なお、図３の他は前述の図４及び図
５の従来の液晶ガラス基板搬送用産業ロボット装置と同
様に装置が構成されている。以下、図３によりダミー基
板の供給時にダミー基板を取り出す際の動作を説明す
る。すなわち、ステップ３０１においてダミー基板の要
求があればステップ３０２へ進み、ダミーカセット１３
内にダミー基板があればステップ３０３へ進んでダミー
基板を取り出しトレイ２へ供給する。

【００２４】また、ステップ３０２において、同一供給
カセット１１内の液晶ガラス基板によって、トレイ２上
の各ポイントへ液晶ガラス基板を供給することができ
ず、しかもダミーカセット１３内にダミー基板がない場
合はステップ３０４へ進む。そして、ステップ３０４に
おいて次の供給カセット１１がカセットステージ４の第
二ポジション６に到着していればステップ３０５へ進
む。

【００２５】そして、ステップ３０５において供給カセ
ット１１から液晶ガラス基板をダミー基板として取り出
してトレイ２へ供給する。次いで、ステップ３０６へ進
んで液晶ガラス基板管理を行っている上位計算機（図示
しない）に、液晶ガラス基板をダミー基板として扱った
ことを通信により報告する。これによって液晶ガラス基
板管理数量のずれの発生を防止する。

【００２６】このような制御装置１５の動作によって、
液晶ガラス基板の供給を要する場合であって、ダミーカ
セット１３内にダミー基板がないときに、装置を停止さ
せることなく次の供給カセット１１から液晶ガラス基板
をダミー基板として取り出してトレイ２へ供給する。

【００２７】そして、この動作と共に、液晶ガラス基板
をダミー基板として扱った旨が報告されて基板管理数量
のずれの発生が防止される。したがって、供給するダミ
ー基板がないために装置が停止することよって発生する
装置の生産性低下を未然に防止することができる。ま
た、前述の図１〜図２の実施の形態における補充カセッ
ト１６が不要になるので、設備費を節減することができ
る。

【００２８】

【発明の効果】この発明は以上説明したように、供給カ
セットと回収カセットとが載置されたカセットステー
ジ、ダミーカセット及び補充カセットの三者と、これら
三者に近接して設けられた産業ロボットと、供給カセッ
トの液晶ガラス基板及びダミーカセットのダミー基板を
トレイに供給する作業、トレイの液晶ガラス基板を回収
カセットに回収する作業、トレイのダミー基板をダミー
カセットに回収する作業及びダミーカセット内のダミー
基板がない場合に補充カセットのダミー基板をトレイに
供給する作業を産業ロボットに指令し、かつ補充カセッ
トのダミー基板の残数が所定数以下となったきに動作し
ダミー基板の補充を報知する報知機能を有する制御装置
とを設けたものである。

【００２９】このような制御装置の報知機能による報知
に従って、作業者がダミー基板を補充することにより、
装置を停止することなく作業者によりダミー基板の補充
が行われる。このため、供給するダミー基板がないため
に装置が停止することよって発生する装置の生産性低下
を未然に防止する効果がある。

【００３０】また、この発明は以上説明したように、供
給カセットと回収カセットとが載置されたカセットステ
ージ及びダミーカセットの両者と、これら両者に近接し
て設けられた産業ロボットと、供給カセットの液晶ガラ
ス基板及びダミーカセットのダミー基板をトレイに供給
する作業、トレイの液晶ガラス基板を回収カセットに回
収する作業、トレイのダミー基板をダミーカセットに回
収する作業及びダミーカセット内のダミー基板がない場
合にカセットステージに供給カセットが到着していれば
この供給カセットから液晶ガラス基板をダミー基板とし
てトレイへ供給する作業を産業ロボットに指令し、かつ
液晶ガラス基板をダミー基板として扱ったことを液晶ガ
ラス基板管理を行う上位計算機に報告する報告機能を有
する制御装置とを設けたものである。

【００３１】これによって、液晶ガラス基板の供給を要
する場合であって、ダミーカセット内にダミー基板がな
いときに、装置を停止させることなく次の供給カセット
から液晶ガラス基板をダミー基板として取り出してトレ
イへ供給する。そして、この動作と共に、液晶ガラス基
板をダミー基板として扱った旨が報告されて液晶ガラス
基板管理数量のずれの発生が防止される。したがって、
供給するダミー基板がないために装置が停止することよ
って発生する装置の生産性低下を未然に防止する効果が
ある。また、このような効果を供給カセットと回収カセ
ットとが載置されたカセットステージ及びダミーカセッ
トを配置することによってえることができるので、補充
カセットが不要になり設備費を節減する効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１を示す図であり、全
体を概念的に示す構成図。

【図２】 図１の装置の動作を説明するフローチャー
ト。

【図３】 この発明の実施の形態２を示す図で、装置の
動作を説明するフローチャート。

【図４】 従来の液晶ガラス基板搬送用産業ロボット装
置を示す図で、装置の全体を概念的に示す構成図。

【図５】 図４の装置の動作を説明するフローチャー
ト。

【符号の説明】

１ 産業ロボット、２ トレイ、４ カセットステー
ジ、１１ 供給カセット、１２ 回収カセット、１３
ダミーカセット、１５ 制御装置、１６ 補充カセッ
ト。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 供給カセットと回収カセットとが載置さ
   れたカセットステージ、ダミーカセット及び補充カセッ
   トの三者と、これら三者に近接して設けられた産業ロボ
   ットと、上記供給カセットの液晶ガラス基板及び上記ダ
   ミーカセットのダミー基板をトレイに供給する作業、上
   記トレイの液晶ガラス基板を上記回収カセットに回収す
   る作業、上記トレイのダミー基板を上記ダミーカセット
   に回収する作業及び上記ダミーカセット内のダミー基板
   がない場合に上記補充カセットのダミー基板を上記トレ
   イに供給する作業を上記産業ロボットに指令し、かつ上
   記補充カセットのダミー基板の残数が所定数以下となっ
   たきに動作し上記ダミー基板の補充を報知する報知機能
   を有する制御装置とを備えた液晶ガラス基板搬送用産業
   ロボット装置。
2. 【請求項２】 供給カセットと回収カセットとが載置さ
   れたカセットステージ及びダミーカセットの両者と、こ
   れら両者に近接して設けられた産業ロボットと、上記供
   給カセットの液晶ガラス基板及び上記ダミーカセットの
   ダミー基板をトレイに供給する作業、上記トレイの液晶
   ガラス基板を上記回収カセットに回収する作業、上記ト
   レイのダミー基板を上記ダミーカセットに回収する作業
   及び上記ダミーカセット内のダミー基板がない場合に上
   記カセットステージに供給カセットが到着していればこ
   の供給カセットから液晶ガラス基板をダミー基板として
   上記トレイへ供給する作業を上記産業ロボットに指令
   し、かつ液晶ガラス基板をダミー基板として扱ったこと
   を上記液晶ガラス基板管理を行っている上位計算機に報
   告する報告機能を有する制御装置とを備えた液晶ガラス
   基板搬送用産業ロボット装置。