JP2016065299A - 成膜方法およびスパッタリング装置 - Google Patents
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 69
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title abstract description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 49
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 10
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 5
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 122
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 17
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 13
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 5
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020994 Sn-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009069 Sn—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- WGCXSIWGFOQDEG-UHFFFAOYSA-N [Zn].[Sn].[In] Chemical compound [Zn].[Sn].[In] WGCXSIWGFOQDEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N indium;oxozinc;tin Chemical compound [In].[Sn].[Zn]=O HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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- H—ELECTRICITY
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
- H01J37/3405—Magnetron sputtering
- H01J37/3408—Planar magnetron sputtering
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
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- H01J37/3444—Associated circuits
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- H—ELECTRICITY
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- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
【解決手段】 このスパッタリング装置は、ガス10が導入される真空容器2内に設けられたアンテナ20に高周波電力PR を供給して誘導結合型のプラズマ22を発生させ、当該プラズマ22とターゲットバイアス電圧VT とを用いて、ターゲット30をスパッタさせて基板12上に成膜を行うものである。成膜の開始時は、アンテナ20に高周波電力PR を供給してプラズマ22を発生させた後に、ターゲット30にターゲットバイアス電圧VT を印加してスパッタリングを開始し、成膜の終了時は、ターゲット30に印加していたターゲットバイアス電圧VT を止めてスパッタリングを停止した後に、アンテナ20に供給していた高周波電力PR を止めてプラズマ22を消滅させる。
【選択図】 図2
Description
10 ガス
12 基板
20 アンテナ
22 プラズマ
24 高周波電源
30 ターゲット
34 ターゲットバイアス電源
46 制御装置
PR 高周波電力
VT ターゲットバイアス電圧
Claims (6)
- スパッタリング用のガスが導入される真空容器内に設けられたアンテナに高周波電力を供給して誘導結合型のプラズマを発生させ、当該プラズマと、ターゲットに印加されるターゲットバイアス電圧とを用いて、ターゲットをスパッタさせて基板上に成膜を行うスパッタリング装置において、
成膜の開始時は、前記アンテナに前記高周波電力を供給して前記プラズマを発生させた後に、前記ターゲットに前記ターゲットバイアス電圧を印加してスパッタリングを開始し、
成膜の終了時は、前記ターゲットに印加していた前記ターゲットバイアス電圧を止めてスパッタリングを停止した後に、前記アンテナに供給していた前記高周波電力を止めて前記プラズマを消滅させる、ことを特徴とする成膜方法。 - 成膜の開始時は、前記アンテナに前記高周波電力を供給して前記プラズマを発生させた後に、前記ターゲットに印加する前記ターゲットバイアス電圧をゼロから所定値まで徐々に大きくし、
成膜の終了時は、前記ターゲットに印加していた前記ターゲットバイアス電圧を徐々に小さくして止めた後に、前記アンテナに供給していた前記高周波電力を止めて前記プラズマを消滅させる請求項1記載の成膜方法。 - 成膜の開始時は、前記アンテナに供給する前記高周波電力を徐々に大きくして最小電力で前記プラズマを発生させた後に、前記ターゲットに前記ターゲットバイアス電圧を印加し、その後更に、前記アンテナに供給する前記高周波電力を所定値まで徐々に大きくする請求項1記載の成膜方法。
- スパッタリング用のガスが導入される真空容器内に設けられたアンテナに高周波電源から高周波電力を供給して誘導結合型のプラズマを発生させ、当該プラズマと、ターゲットバイアス電源からターゲットに印加されるターゲットバイアス電圧とを用いて、ターゲットをスパッタさせて基板上に成膜を行うスパッタリング装置であって、
前記高周波電源および前記ターゲットバイアス電源を制御して、(a)成膜の開始時に、前記高周波電源から前記アンテナに前記高周波電力を供給させて前記プラズマを発生させた後に、前記ターゲットバイアス電源から前記ターゲットに前記ターゲットバイアス電圧を印加させてスパッタリングを開始させる機能と、(b)成膜の終了時に、前記ターゲットバイアス電源から前記ターゲットに印加していた前記ターゲットバイアス電圧を止めてスパッタリングを停止させた後に、前記アンテナに供給していた前記高周波電力を止めて前記プラズマを消滅させる機能とを有している制御装置を備えていることを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記制御装置は、(a)成膜の開始時に、前記高周波電源から前記アンテナに前記高周波電力を供給して前記プラズマを発生させた後に、前記ターゲットバイアス電源から前記ターゲットに印加する前記ターゲットバイアス電圧をゼロから所定値まで徐々に大きくする機能と、(b)成膜の終了時に、前記ターゲットバイアス電源から前記ターゲットに印加していた前記ターゲットバイアス電圧を徐々に小さくして止めた後に、前記高周波電源から前記アンテナに供給していた前記高周波電力を止めて前記プラズマを消滅させる機能とを更に有している請求項4記載のスパッタリング装置。
- 前記制御装置は、成膜の開始時に、前記高周波電源から前記アンテナに供給する前記高周波電力を徐々に大きくして最小電力で前記プラズマを発生させた後に、前記ターゲットバイアス電源から前記ターゲットに前記ターゲットバイアス電圧を印加させ、その後更に、前記高周波電源から前記アンテナに供給する前記高周波電力を所定値まで徐々に大きくする機能を更に有している請求項4記載のスパッタリング装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014196266A JP6264248B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | 成膜方法およびスパッタリング装置 |
PCT/JP2015/061238 WO2016047184A1 (ja) | 2014-09-26 | 2015-04-10 | 成膜方法およびスパッタリング装置 |
KR1020177010896A KR20170058428A (ko) | 2014-09-26 | 2015-04-10 | 성막 방법 및 스퍼터링 장치 |
CN201580051441.7A CN106715750B (zh) | 2014-09-26 | 2015-04-10 | 成膜方法及溅镀装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014196266A JP6264248B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | 成膜方法およびスパッタリング装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016065299A true JP2016065299A (ja) | 2016-04-28 |
JP2016065299A5 JP2016065299A5 (ja) | 2017-02-16 |
JP6264248B2 JP6264248B2 (ja) | 2018-01-24 |
Family
ID=55580725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014196266A Active JP6264248B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | 成膜方法およびスパッタリング装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6264248B2 (ja) |
KR (1) | KR20170058428A (ja) |
CN (1) | CN106715750B (ja) |
WO (1) | WO2016047184A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020152968A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 日新電機株式会社 | スパッタリング装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7061257B2 (ja) | 2017-03-17 | 2022-04-28 | 日新電機株式会社 | スパッタリング装置 |
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JP6916699B2 (ja) * | 2017-09-14 | 2021-08-11 | 株式会社Screenホールディングス | 成膜方法および成膜装置 |
CN111542645B (zh) * | 2017-12-27 | 2022-07-26 | 佳能安内华股份有限公司 | 成膜方法及成膜装置 |
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GB2597985A (en) * | 2020-08-13 | 2022-02-16 | Dyson Technology Ltd | Method of forming a cathode layer, method of forming a battery half cell |
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-
2014
- 2014-09-26 JP JP2014196266A patent/JP6264248B2/ja active Active
-
2015
- 2015-04-10 KR KR1020177010896A patent/KR20170058428A/ko not_active Application Discontinuation
- 2015-04-10 CN CN201580051441.7A patent/CN106715750B/zh active Active
- 2015-04-10 WO PCT/JP2015/061238 patent/WO2016047184A1/ja active Application Filing
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US11251020B2 (en) | 2017-06-07 | 2022-02-15 | Nissin Electric Co., Ltd. | Sputtering apparatus |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170058428A (ko) | 2017-05-26 |
CN106715750A (zh) | 2017-05-24 |
WO2016047184A1 (ja) | 2016-03-31 |
JP6264248B2 (ja) | 2018-01-24 |
CN106715750B (zh) | 2019-02-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170116 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170124 |
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