JP2016057222A - 試料保持具およびそれを備える分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】顕微鏡の視野内に試料1を保持する試料保持具であって、顕微鏡ステージに着脱可能に装着される本体部2と、試料1を載せる載置部3と、載置部3を支持し、本体部2に対する載置部3の傾斜角度を調整する角度調整部4と、本体部2に支持され、角度調整部4を上下方向に案内するガイド部5とを備え、ガイド部5は、載置部3の周方向の回転が可能な状態で、径方向の移動を規制する、試料保持具。
【選択図】 図2
Description
顕微鏡ステージに着脱可能に装着される本体部と、
試料を載せる載置部と、
該載置部を支持し、該本体部に対する該載置部の傾斜角度を調整する角度調整部と、
該本体部に支持され、該角度調整部を上下方向に案内するガイド部とを備え、
該ガイド部は、該載置部の周方向の回転が可能な状態で、径方向の移動を規制する、試料保持具。
前記ガイド部が、該高さ調整子を個別に支持するように、該3つ以上の高さ調整子に対応して設けられる3つ以上の案内子を含む、上記(1)に記載の試料保持具。
2.本体部
3.載置部
3a 凸部
3b 溝部
4.角度調整部
5.ガイド部
6.固定部
10.試料保持具
14.高さ調整子
14a 上下方向移動可能な高さ調整子
14b 上下方向移動不能な高さ調整子
15.案内子
16.固定子
17.規制子
20.顕微鏡ステージ
30.駆動部
40.レンズ
50.ミラー
60.観察部
70.分析部
80.制御部
100.分析装置
Claims (7)
- 顕微鏡の視野内に試料を保持する試料保持具であって、
顕微鏡ステージに着脱可能に装着される本体部と、
試料を載せる載置部と、
該載置部を支持し、該本体部に対する該載置部の傾斜角度を調整する角度調整部と、
該本体部に支持され、該角度調整部を上下方向に案内するガイド部とを備え、
該ガイド部は、該載置部の周方向の回転が可能な状態で、径方向の移動を規制する、試料保持具。 - 前記角度調整部が、それぞれの上下方向の位置を相対的に変化させることが可能な3つ以上の高さ調整子を含み、
前記ガイド部が、該高さ調整子を個別に支持するように、該3つ以上の高さ調整子に対応して設けられる3つ以上の案内子を含む、請求項1に記載の試料保持具。 - 前記案内子に上下方向の移動が可能な状態で支持され、前記高さ調整子と共に前記載置部を挟持することで、前記載置部の周方向の回転および上下方向の移動を不能にさせる1つ以上の固定子を含む固定部をさらに備える、請求項2に記載の試料保持具。
- 前記3つ以上の案内子のうちの2つ以上が、前記本体部に着脱自在に取り付けられた棒ネジであり、かつ、該棒ネジに支持される前記高さ調整子が高さ調整用ナットである、請求項2に記載の試料保持具。
- 前記3つ以上の案内子のうちの2つ以上が、前記本体部に着脱自在に取り付けられた棒ネジであり、該棒ネジに支持される前記高さ調整子が高さ調整用ナットであり、かつ、該棒ネジに支持される前記固定子が、前記載置部の固定用ナットである、請求項3に記載の試料保持具。
- 前記棒ネジのピッチが0.4mm以下である、請求項4または請求項5に記載の試料保持具。
- 試料表面の顕微分析を行う分析装置であって、請求項1から請求項6までのいずれかに記載の試料保持具を備える、分析装置。
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