JP7095547B2 - 試料保持具およびそれを備える分析装置 - Google Patents
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Description
前記ステージに着脱可能に装着される本体部と、
測定試料を載せる第1載置部と、
前記第1載置部を支持し、かつ上下方向に延びる軸心回りへの回転が規制された状態で前記本体部に支持された第2載置部と、
前記第1載置部を、前記第2載置部に対して前記軸心回りに回転可能な第1状態と、前記第2載置部に固定された第2状態とのうちのいずれかの状態にする状態切替部と、
前記本体部に支持され、前記第2載置部の水平方向への移動を規制し、かつ前記本体部に対する前記第2載置部の傾斜角度を調整する角度調整部と、
を備える、試料保持具。
前記角度調整部は、前記本体部に固定された3つ以上の棒ネジと、前記3つ以上の棒ネジそれぞれに螺合された3つ以上の調整子とを有し、
前記調整子は、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動し、
前記第2載置部は、前記3つ以上の調整子に支持されている、上記(1)または(2)に記載の試料保持具。
前記固定子は、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動し、かつ前記調整子と共に前記第2載置部を挟持することで、前記第2載置部の上下方向の移動を規制し、
前記調整子および前記固定子はそれぞれ、平面視において中空円板形状を有し、前記調整子の直径は前記固定子の直径よりも大きい、上記(3)に記載の試料保持具。
前記本体部に支持され、前記本体部に対する前記第3載置部の高さを調整する高さ調整部と、
をさらに備える、上記(1)から(5)のいずれかに記載の試料保持具。
2 参照試料
10 顕微鏡
11 入射光軸
12 試料保持具
14 顕微鏡ステージ
16 駆動部
18 レンズ
20 ミラー
22 観察部
24 分析部
26 制御部
30 本体部
32 第1載置部
32a 貫通孔
34 第2載置部
34a,34b,34c 貫通孔
36 第3載置部
38 状態切替部
38a ガイド部材
38b 締め具
40 角度調整部
40a ガイド部材
40b 角度調整子
40c 固定子
42 高さ調整部
42a 棒ネジ
42b 高さ調整子
44 高さ調整板
100 分析装置
Claims (7)
- 測定試料を保持しかつ顕微鏡のステージに装着される試料保持具であって、
前記ステージに着脱可能に装着される本体部と、
測定試料を載せる第1載置部と、
前記第1載置部を支持し、かつ上下方向に延びる軸心回りへの回転が規制された状態で前記本体部に支持された第2載置部と、
前記第1載置部を、前記第2載置部に対して前記軸心回りに回転可能な第1状態と、前記第2載置部に固定された第2状態とのうちのいずれかの状態にする状態切替部と、
前記本体部に支持され、前記第2載置部の水平方向への移動を規制し、かつ前記本体部に対する前記第2載置部の傾斜角度を調整する角度調整部と、
を備える、試料保持具。 - 前記状態切替部は、前記第1載置部および前記第2載置部を締め付けることによって、前記第1載置部を前記第2状態にする、請求項1に記載の試料保持具。
- 前記第2載置部は、前記角度調整部を介して前記本体部に支持されており、
前記角度調整部は、前記本体部に固定された3つ以上の棒ネジと、前記3つ以上の棒ネジそれぞれに螺合された3つ以上の調整子とを有し、
前記調整子は、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動し、
前記第2載置部は、前記3つ以上の調整子に支持されている、請求項1または2に記載の試料保持具。 - 前記角度調整部は、少なくとも一つの前記棒ネジに螺合された固定子をさらに有し、
前記固定子は、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動し、かつ前記調整子と共に前記第2載置部を挟持することで、前記第2載置部の上下方向の移動を規制し、
前記調整子および前記固定子はそれぞれ、平面視において中空円板形状を有し、前記調整子の直径は前記固定子の直径よりも大きい、請求項3に記載の試料保持具。 - 平面視において、前記調整子の外縁は前記第2載置部の外縁から外側に突出し、前記固定子の外縁は前記第2載置部の外縁よりも内側に位置する、請求項4に記載の試料保持具。
- 参照試料を載せる第3載置部と、
前記本体部に支持され、前記本体部に対する前記第3載置部の高さを調整する高さ調整部と、
をさらに備える、請求項1から5のいずれかに記載の試料保持具。 - 試料表面の顕微分析を行う分析装置であって、請求項1から6までのいずれかに記載の試料保持具を備える、分析装置。
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JP2018194670A JP7095547B2 (ja) | 2018-10-15 | 2018-10-15 | 試料保持具およびそれを備える分析装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2020064122A JP2020064122A (ja) | 2020-04-23 |
JP7095547B2 true JP7095547B2 (ja) | 2022-07-05 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20140233097A1 (en) | 2013-02-20 | 2014-08-21 | Olympus Corporation | Stage device |
JP2016057222A (ja) | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 新日鐵住金株式会社 | 試料保持具およびそれを備える分析装置 |
CN105549196A (zh) | 2016-03-02 | 2016-05-04 | 河南师范大学 | 一种用于光学显微镜载物台的可倾斜式辅助装置 |
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- 2018-10-15 JP JP2018194670A patent/JP7095547B2/ja active Active
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CN105549196A (zh) | 2016-03-02 | 2016-05-04 | 河南师范大学 | 一种用于光学显微镜载物台的可倾斜式辅助装置 |
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