JP2018151187A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. レーザ光源と、
   前記レーザ光源から出射されてカンチレバーで反射された光を検出する光検出器と、
   前記レーザ光源および前記光検出器の少なくとも一方に設けられた、対象物をその光軸と直交する面内の第１方向に移動させる第１駆動機構と、
   を備え、
   前記第１駆動機構が、
   前記第１方向に延在する第１ねじ軸と、
   前記第１ねじ軸に平行に延在する第１ガイド軸と、
   前記第１ねじ軸に螺合する第１ナット部材を介して前記第１ねじ軸に連結されるとともに、前記第１ガイド軸に摺動自在に設けられた第１摺動部材を介して前記第１ガイド軸に連結された、前記対象物を支持する支持部材と、
   前記第１ねじ軸を回転させる第１駆動モータと、
   を備える走査型プローブ顕微鏡。
2. 請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡であって、
   前記対象物を前記面内において前記第１方向と交差する第２方向に移動させる第２駆動機構、
   をさらに備え、
   前記第２駆動機構が、
   前記第２方向に延在する第２ねじ軸と、
   前記第２ねじ軸に平行に延在する第２ガイド軸と、
   前記第２ねじ軸に螺合する第２ナット部材を介して前記第２ねじ軸に連結されるとともに、前記第２ガイド軸に摺動自在に設けられた第２摺動部材を介して前記第２ガイド軸に連結された、前記第１駆動機構を支持するベース部材と、
   前記第２ねじ軸を回転させる第２駆動モータと、
   を備える、走査型プローブ顕微鏡。
3. 請求項２に記載の走査型プローブ顕微鏡であって、
   前記第１駆動機構及び前記第２駆動機構が、前記レーザ光源に設けられてこれを対象物とするものであり、
   さらに、
   前記カンチレバーに光が照射される部位を撮影する撮像部と、
   前記撮像部が取得した撮像データを解析して前記レーザ光源を目標位置に配置するための調整量を特定するレーザ光源調整量特定部と、
   前記第１駆動モータ及び前記第２駆動モータを制御して、前記第１ねじ軸及び前記第２ねじ軸の各々を前記調整量に応じた各回転角度だけ回転させる駆動モータ制御部と、
   を備える、走査型プローブ顕微鏡。
4. 請求項２に記載の走査型プローブ顕微鏡であって、
   前記第１駆動機構及び前記第２駆動機構が、前記光検出器に設けられてこれを対象物とするものであり、
   さらに、
   前記光検出器からの検出信号に基づいて、前記光検出器を目標位置に配置するための調整量を特定する光検出器調整量特定部と、
   前記第１駆動モータ及び前記第２駆動モータを制御して、前記第１ねじ軸及び前記第２ねじ軸の各々を前記調整量に応じた各回転角度だけ回転させる駆動モータ制御部と、
   を備える、走査型プローブ顕微鏡。