JP2016044083A - 単結晶シリコン引上装置、および単結晶シリコン引上方法 - Google Patents
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Abstract
Description
CZ法は、高耐圧気密チャンバ内に配置した石英製のルツボ内に多結晶シリコン(原料シリコン)を入れて、石英ルツボを囲うように配置されたヒータを加熱することによって多結晶シリコンを加熱、溶融してシリコン融液を形成する。そして、石英ルツボの上方に配置されたシードチャックにシード(種結晶)を取り付けるとともに、このシードを石英ルツボ内のシリコン融液に浸漬し、シード及び石英ルツボを回転させながらシードを引き上げて単結晶シリコンを成長させるようになっている(例えば、特許文献1参照。)。単結晶シリコンの引上げにおいては、引上げる単結晶シリコンの長さ(引上長)と石英ルツボの温度とを対応させた温度制御線に沿って、ヒータを制御している。
なお、シリコン融液の温度は、実質的に石英ルツボの温度とほぼ同じであり、シリコン融液の温度は、石英ルツボの温度とすることができる。
引上長の短い最初に引上げた単結晶シリコンのパラメータや、石英ルツボの位置に係るパラメータを反映させて第二のショルダー部温度制御線を生成することによって、こうした第二のショルダー部温度制御線を用いて、最初に引上げた単結晶シリコンのショルダー部の形状と近似したショルダー部をもつ単結晶シリコンを、石英ルツボに残留したシリコン融液から引上げることができる。
単結晶シリコンを再度引上げる際の、ネック部形成時の石英ルツボの温度に係るパラメータを反映させて第二のショルダー部温度制御線を生成することによって、こうした第二のショルダー部温度制御線を用いて、最初に引上げた単結晶シリコンのショルダー部の形状と近似したショルダー部をもつ単結晶シリコンを、石英ルツボに残留したシリコン融液から引上げることができる。
第二のショルダー部温度制御線を、短時間で石英ルツボの温度を低下させる曲線とすることによって、初に引上げた単結晶シリコンのショルダー部の形状と近似したショルダー部をもつ単結晶シリコンを、石英ルツボに残留したシリコン融液から引上げることができる。
図1は、単結晶シリコン引上装置の一例を示す概略図を示す。単結晶シリコンの製造装置1は、耐圧気密に構成されたチャンバ10と、石英ルツボ15と、シードチャック17と、ヒータ19と、ルツボ支持台21と、シードチャック駆動機構30とを備え、減圧状態としたチャンバ10内にて、シードチャック17に取り付けたシードSを石英ルツボ15内に貯留したシリコン融液Mに浸漬し、回転させながら引き上げることにより単結晶シリコンTを成長させるようになっている。
保温筒22は、円筒状の黒鉛からなる内側保温筒22Aと内側保温筒22Aの外方に配置された円筒状の多孔質黒鉛からなる外側保温筒22Bとを有し、内側保温筒22Aの内径と略同じ内径の孔が形成された円板状のロアリング22Cに載置されるとともに上方には内側保温筒22Aの内径と略同じ内径の孔が形成された円板状のアッパリング22Dが配置されている。
温度データは、単結晶シリコンTの成長量(シリコン融液Mの液面からの成長長さ)と、単結晶シリコンの成長量に応じて設定した温度傾きからなるものである。本実施形態においては、この成長量は、単結晶シリコンTの引上長と対応付けられている。温度データについては、詳細を後述する。
フロー管25は、下端開口部より上端開口部が大径とされた逆円錐台形状の中空筒とされ、黒鉛またはSiCにより形成されている。
シードチャック17は、基端側がワイヤWに接続され、ワイヤWがシードチャック駆動機構30を接続されることによりシードSがメインチャンバ11に対して相対的に回転及び昇降自在とされている。
第2のインバータ52とモータM2は、シード回転制御手段を構成している。
第3のインバータ53とモータM3は、シード引上げ速度制御手段を構成している。
本発明では、シリコン融液Mの温度は、実質的に石英ルツボ15の温度と同義である。このため、第4のインバータ55は、放射温度計40によってシリコン融液Mの温度を測定する構成であってもよい。
図2は、本発明の単結晶シリコンの製造方法を段階的に示したフローチャートである。本発明のシリコン単結晶の製造方法では、例えば、図1に示す単結晶シリコンの製造装置1を用いる。
まず、原料となる塊状の多結晶シリコン(原料シリコン)を石英ルツボ15に充填する(原料充填工程S1)。そして、ヒータ19で石英ルツボ15を加熱して、多結晶シリコンを溶解して得られるシリコン融液Mを形成し、シードSを浸漬する部分の近傍のシリコン融液Mを過冷却状態とする(原料溶融工程S2)。
作業者は、こうしたパラメータの1つないし2つ以上を制御部50に入力することによって、制御部50は、この入力されたパラメータに基づいて第二のショルダー部温度制御線Q2を生成する。
肩カット重量温度換算係数はパラメータとして予め設定、カット重量は実際にカットした。
結晶の重量を測定してタッチパネルへ入力する。
重量温度換算比率[%]=カット重量[kg]×肩カット重量温度換算係数[%/kg]+100[%]
こうした2つの単結晶シリコンは、互いのショルダー部の形状が殆ど同じであり、目標の直径まで確実に広げられている。
以上の結果から、本発明の効果が確認された。
S シード
T 単結晶シリコン
1 単結晶シリコンの製造装置
10 チャンバ
15 石英ルツボ(ルツボ)
19 ヒータ
Claims (5)
- 石英ルツボと、
前記石英ルツボを軸線周りに回転させるとともに、前記石英ルツボの高さ位置を変えるルツボ駆動手段と、
前記石英ルツボに収容したシリコン原料を溶融して、シリコン融液を形成するためのヒータと、
前記ルツボ駆動手段および前記ヒータを制御する制御部と、を少なくとも備えた単結晶シリコン引上装置であって、
前記ヒータは、前記単結晶シリコンのショルダー部を形成する際に、前記シリコン融液の温度と、前記単結晶シリコンのショルダー部の長さとの関係を示す第一のショルダー部温度制御線に沿って制御され、
前記制御部は、前記単結晶シリコンが予定引上長よりも短い位置で有転位化した際に、前記石英ルツボに残留したシリコン融液の残量に応じた第二のショルダー部温度制御線を生成することを特徴とする単結晶シリコン引上装置。 - 前記制御部は、有転位化した位置までの単結晶シリコンの結晶重量、有転位化した位置までの単結晶シリコンの引上長、有転位化した位置における前記石英ルツボの高さ位置のうち、少なくとも1つ以上のパラメータに基づいて前記第二のショルダー部温度制御線を生成することを特徴とする請求項1記載の単結晶シリコン引上装置。
- 前記制御部は、前記石英ルツボに残留したシリコン融液から単結晶シリコンを再度引上げる際の、ネック部形成時の前記シリコン融液の温度に基づいて前記第二のショルダー部温度制御線を生成することを特徴とする請求項1または2記載の単結晶シリコン引上装置。
- 前記第二のショルダー部温度制御線は、前記第一のショルダー部温度制御線よりも、短時間で前記シリコン融液の温度を低下させる曲線を成すことを特徴とする請求項1ないし3いずれか一項記載の単結晶シリコン引上装置。
- 本発明の単結晶シリコン引上方法は、請求項1ないし4いずれか一項記載の単結晶シリコン引上装置を用いた単結晶シリコン引上方法であって、
所定量のシリコン原料を前記石英ルツボに導入する工程と、前記第一のショルダー部温度制御線に沿って前記ヒータを加熱し、前記シリコン原料を溶融したシリコン融液から単結晶シリコンのショルダー部を形成する工程と、前記単結晶シリコンが予め設定した予定引上長よりも短い位置で有転位化した際に、単結晶シリコンを引上げを停止するとともに、前記第二のショルダー部温度制御線を形成する工程と、前記第二のショルダー部温度制御線に沿って前記ヒータを加熱し、前記石英ルツボに残ったシリコン融液から、別な単結晶シリコンのショルダー部を形成する工程と、を順に備えたことを特徴とする単結晶シリコン引上方法。
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JPS55140796A (en) * | 1979-04-21 | 1980-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Automatic crystal growing method |
JP2008266068A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Sumco Corp | シリコン単結晶の育成方法、評価方法および生産方法 |
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