JP2016035980A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[装置全体の構成]
[実施形態におけるチャンバ回りの構成]
[実施形態におけるトリガ機構の作用]
[他の実施形態または変形例]
10U 上部チャンバ部材
10L 下部チャンバ部材
12 レーザ発振部
14 レーザ励起部
16 トリガ電極
17 誘電体
18 トリガ回路
20 制御部
22 YAGロッド(レーザロッド)
24 全反射ミラー
25 楕円反射鏡筒
25U 上部半楕円反射鏡筒部材
25L 下部半楕円反射鏡筒部材
26 部分反射(出力)ミラー
28 フラッシュランプ
30 主点灯回路(レーザ電源回路)
32 冷却装置
50 台座
Claims (12)
- 固体レーザ媒体を有するレーザ発振部と、
前記固体レーザ媒体に励起光を照射するための外部トリガ方式のフラッシュランプを有する励起部と、
前記固体レーザ媒体と前記フラッシュランプとを並べて収容する導電性のチャンバと、
前記チャンバの外に配置され、前記チャンバとの間にコンデンサを形成するトリガ電極と、
前記フラッシュランプの点灯を開始するために前記トリガ電極に高電圧のパルスを印加するトリガ回路と
を有するレーザ装置。 - 前記トリガ電極と前記チャンバとの間に誘電体が挟まれている、請求項1に記載のレーザ装置。
- 前記チャンバを載せて支持するための絶縁性のベースを有し、
前記ベースの上面と前記チャンバの底面との間に前記トリガ電極および前記誘電体が挿入されている、
請求項2に記載のレーザ装置。 - 前記トリガ電極は、面状の板またはシートの形体を有し、前記チャンバの下面の1/2以上の面積を有する、請求項3に記載のレーザ装置。
- 前記誘電体は、面状の板、シートまたは薄膜の形体を有し、前記チャンバの下面の1/2以上の面積を有する、請求項3または請求項4に記載のレーザ装置。
- 前記チャンバの中で前記固体レーザ媒体および前記フラッシュランプを取り囲み、内壁面が前記励起光を反射する導電性の反射部材を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記反射部材は、導電性の楕円反射鏡筒を有し、
前記固体レーザ媒体および前記フラッシュランプは、前記楕円反射鏡筒内の一対の楕円焦点位置にそれぞれ配置される、
請求項6に記載のレーザ装置。 - 前記反射部材は、前記チャンバに電気的に接続されている、請求項7または請求項7に記載のレーザ装置。
- 前記チャンバ内で前記固体レーザ媒体および前記フラッシュランプを冷却水に晒して冷却する、請求項1〜8のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記冷却水は、イオン交換樹脂を通さない水道水または工業用水である、請求項11に記載のレーザ装置。
- 待機中の前記フラッシュランプに予備放電電流を供給するシマー回路を有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記トリガ電極は、誘電体の中に封入されている、請求項1〜11のいずれか一項に記載のレーザ装置。
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