JP2000252557A - Ｙａｇレーザ用制御装置 - Google Patents
Ｙａｇレーザ用制御装置Info
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- JP2000252557A JP2000252557A JP5324299A JP5324299A JP2000252557A JP 2000252557 A JP2000252557 A JP 2000252557A JP 5324299 A JP5324299 A JP 5324299A JP 5324299 A JP5324299 A JP 5324299A JP 2000252557 A JP2000252557 A JP 2000252557A
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- Japan
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- yag
- excitation lamp
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＹＡＧレーザを長期間不使用の後のレーザ発
振器起動を自動化する。 【解決手段】 ＹＡＧレーザ１は、励起ランプ２及びＹ
ＡＧロッド３を収容するキャビティ４と、冷却水通路５
に配設されたイオン交換樹脂６、熱交換器７、ポンプ８
と、ＹＡＧレーザ用制御装置２０とを備える。制御装置
２０のトリガ制御回路２３は、レーザ発振器起動指示に
従ってポンプ８を起動し冷却水のイオン交換樹脂６によ
る精製を開始させ、次いで、トリガ回路２１により励起
ランプ２にトリガをかけ、このトリガが失敗した場合、
タイマ２２により所定の待ち時間を計時させ、所定の待
ち時間経過後再度トリガ回路２１にトリガを繰り返えさ
せる。所定回数トリガが失敗したとき、トリガアラーム
を通知する。
振器起動を自動化する。 【解決手段】 ＹＡＧレーザ１は、励起ランプ２及びＹ
ＡＧロッド３を収容するキャビティ４と、冷却水通路５
に配設されたイオン交換樹脂６、熱交換器７、ポンプ８
と、ＹＡＧレーザ用制御装置２０とを備える。制御装置
２０のトリガ制御回路２３は、レーザ発振器起動指示に
従ってポンプ８を起動し冷却水のイオン交換樹脂６によ
る精製を開始させ、次いで、トリガ回路２１により励起
ランプ２にトリガをかけ、このトリガが失敗した場合、
タイマ２２により所定の待ち時間を計時させ、所定の待
ち時間経過後再度トリガ回路２１にトリガを繰り返えさ
せる。所定回数トリガが失敗したとき、トリガアラーム
を通知する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＹＡＧレーザ用制
御装置に係り、特に冷却水の精製を行うイオン交換樹脂
を備えたＹＡＧレーザ用制御装置に関する。
御装置に係り、特に冷却水の精製を行うイオン交換樹脂
を備えたＹＡＧレーザ用制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＹＡＧレーザは、イットリウム・アルミ
ニウム・ガーネット（以下、ＹＡＧと略す）の母体結晶
に３価のネオジウム（Ｎｄ3+）をレーザ媒質としてドー
プし、この結晶体であるＹＡＧロッドをクリプトン・ラ
ンプ、キセノン・ランプ、等を用いた励起ランプにより
励起することにより、連続発振またはパルス発振を行わ
せるものである。
ニウム・ガーネット（以下、ＹＡＧと略す）の母体結晶
に３価のネオジウム（Ｎｄ3+）をレーザ媒質としてドー
プし、この結晶体であるＹＡＧロッドをクリプトン・ラ
ンプ、キセノン・ランプ、等を用いた励起ランプにより
励起することにより、連続発振またはパルス発振を行わ
せるものである。
【０００３】通常ＹＡＧレーザは、励起ランプに入力し
た電力の一部のみがレーザ光に変換され、残りの電力は
熱となる。この大量の熱を放熱させるため、ＹＡＧロッ
ド、励起ランプ及び集光反射鏡を備えたキャビティ（冷
却水容器）を冷却水で満たし、この冷却水を外部の熱交
換器へ循環させて、放熱を行っている。
た電力の一部のみがレーザ光に変換され、残りの電力は
熱となる。この大量の熱を放熱させるため、ＹＡＧロッ
ド、励起ランプ及び集光反射鏡を備えたキャビティ（冷
却水容器）を冷却水で満たし、この冷却水を外部の熱交
換器へ循環させて、放熱を行っている。
【０００４】またＹＡＧレーザにおいて、励起ランプを
点灯する際には、アノードとカソード間に所定の電圧を
印加した上で、キャビティとカソード間に数十キロボル
トのトリガ電圧を印加してランプを点灯させる。このト
リガ電圧を印加することを通常“トリガをかける”とい
う。このトリガがかけられると、図５の実線の矢印に示
すように、キャビティ→冷却水→励起ランプ容器（石英
ガラス）→ランプ内ガス→カソードという経路でトリガ
電流が流れ、カソード付近の管内ガスが電離し、この電
離により生じたイオン及び電子がアノード・カソード間
にシマー電流の放電を開始させ、ランプがシマー点灯す
る。
点灯する際には、アノードとカソード間に所定の電圧を
印加した上で、キャビティとカソード間に数十キロボル
トのトリガ電圧を印加してランプを点灯させる。このト
リガ電圧を印加することを通常“トリガをかける”とい
う。このトリガがかけられると、図５の実線の矢印に示
すように、キャビティ→冷却水→励起ランプ容器（石英
ガラス）→ランプ内ガス→カソードという経路でトリガ
電流が流れ、カソード付近の管内ガスが電離し、この電
離により生じたイオン及び電子がアノード・カソード間
にシマー電流の放電を開始させ、ランプがシマー点灯す
る。
【０００５】このシマー点灯は、繰り返しパルス点灯時
のランプ寿命を延ばしたり、レーザ点灯の為のフラッシ
ュ点灯の電流立ち上がり時間を短縮するために行われて
いる。
のランプ寿命を延ばしたり、レーザ点灯の為のフラッシ
ュ点灯の電流立ち上がり時間を短縮するために行われて
いる。
【０００６】このようなＹＡＧレーザ装置において、冷
却水経路を構成する金属等からイオンが冷却水に溶解
し、冷却水の純度が低下し、その導電率が高まる。冷却
水の導電率が高まると、励起ランプにトリガをかけたと
きに、図５の破線の矢印に示すように、キャビティ→冷
却水→カソード引出導体という経路でトリガ電流が流
れ、ランプ内にトリガ電流を流して管内ガスの電離を行
うことができず、従ってシマー点灯することができなく
なる。
却水経路を構成する金属等からイオンが冷却水に溶解
し、冷却水の純度が低下し、その導電率が高まる。冷却
水の導電率が高まると、励起ランプにトリガをかけたと
きに、図５の破線の矢印に示すように、キャビティ→冷
却水→カソード引出導体という経路でトリガ電流が流
れ、ランプ内にトリガ電流を流して管内ガスの電離を行
うことができず、従ってシマー点灯することができなく
なる。
【０００７】このため、従来のＹＡＧレーザ装置には、
冷却水経路にイオン交換樹脂が設けられ、冷却水をイオ
ン交換樹脂によって精製することが行われている。即ち
ポンプを回して冷却水をイオン交換樹脂に通すと、冷却
水のイオン不純物がイオン交換樹脂に吸着され、冷却水
の導電率が低下する。こうして冷却水の導電率を低下さ
せて励起ランプにトリガをかければ、トリガ電流はラン
プ内を流れて、管内ガスを電離させ、励起ランプをシマ
ー点灯させることができる。
冷却水経路にイオン交換樹脂が設けられ、冷却水をイオ
ン交換樹脂によって精製することが行われている。即ち
ポンプを回して冷却水をイオン交換樹脂に通すと、冷却
水のイオン不純物がイオン交換樹脂に吸着され、冷却水
の導電率が低下する。こうして冷却水の導電率を低下さ
せて励起ランプにトリガをかければ、トリガ電流はラン
プ内を流れて、管内ガスを電離させ、励起ランプをシマ
ー点灯させることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらイオン交
換樹脂を備えたＹＡＧレーザ装置においても、長期間使
用しないため、冷却水ポンプを停止させた状態で放置す
ると、冷却水中に冷却水経路から不純物が溶け出して、
冷却水の導電率が低下する。このため次にＹＡＧレーザ
装置を使用するために励起ランプを点灯する際、トリガ
電流がランプ内を流れず、トリガエラーとなるという問
題点があった。
換樹脂を備えたＹＡＧレーザ装置においても、長期間使
用しないため、冷却水ポンプを停止させた状態で放置す
ると、冷却水中に冷却水経路から不純物が溶け出して、
冷却水の導電率が低下する。このため次にＹＡＧレーザ
装置を使用するために励起ランプを点灯する際、トリガ
電流がランプ内を流れず、トリガエラーとなるという問
題点があった。
【０００９】トリガエラーとなると、冷却水ポンプを起
動して冷却水をイオン交換樹脂に通して、冷却水を精製
し、その導電率をあるレベル以下に低下させてから、ト
リガエラーをリセットし、再度励起ランプ点灯指示を行
うという煩わしい操作を行わねばならず、ＹＡＧレーザ
装置の操作性が低いという問題点があった。
動して冷却水をイオン交換樹脂に通して、冷却水を精製
し、その導電率をあるレベル以下に低下させてから、ト
リガエラーをリセットし、再度励起ランプ点灯指示を行
うという煩わしい操作を行わねばならず、ＹＡＧレーザ
装置の操作性が低いという問題点があった。
【００１０】以上の問題点に鑑み、本発明の目的は、Ｙ
ＡＧレーザ装置を長期間放置した後に再度使用する場合
にも、自動的に励起ランプを点灯させることができるＹ
ＡＧレーザ用制御装置を提供することである。
ＡＧレーザ装置を長期間放置した後に再度使用する場合
にも、自動的に励起ランプを点灯させることができるＹ
ＡＧレーザ用制御装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、励起ランプ及びＹＡＧロッドを収容するキャ
ビティに接続された冷却水通路にイオン交換樹脂及びポ
ンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御装置において、前記
励起ランプをトリガするトリガ手段と、トリガが失敗し
たとき所定の待ち時間を計時するタイマと、レーザ発振
器起動指示に従って前記ポンプを起動し、前記トリガ手
段により前記励起ランプにトリガをかけ、このトリガが
失敗した場合、前記タイマにより所定の待ち時間を計時
させ、所定の待ち時間経過後再度トリガを繰り返すトリ
ガ制御手段と、を備えたことを要旨とするＹＡＧレーザ
用制御装置である。
本発明は、励起ランプ及びＹＡＧロッドを収容するキャ
ビティに接続された冷却水通路にイオン交換樹脂及びポ
ンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御装置において、前記
励起ランプをトリガするトリガ手段と、トリガが失敗し
たとき所定の待ち時間を計時するタイマと、レーザ発振
器起動指示に従って前記ポンプを起動し、前記トリガ手
段により前記励起ランプにトリガをかけ、このトリガが
失敗した場合、前記タイマにより所定の待ち時間を計時
させ、所定の待ち時間経過後再度トリガを繰り返すトリ
ガ制御手段と、を備えたことを要旨とするＹＡＧレーザ
用制御装置である。
【００１２】また本発明は、励起ランプ及びＹＡＧロッ
ドを収容するキャビティに接続された冷却水通路にイオ
ン交換樹脂及びポンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御装
置において、前記励起ランプをトリガするトリガ手段
と、前記冷却水の導電率を測定する導電率測定手段と、
レーザ発振器起動指示に従って前記ポンプを起動し、前
記導電率測定手段による前記冷却水の導電率が所定の導
電率以下になったとき、前記トリガ手段により前記励起
ランプにトリガをかけるトリガ制御手段と、を備えたこ
とを要旨とするＹＡＧレーザ用制御装置である。
ドを収容するキャビティに接続された冷却水通路にイオ
ン交換樹脂及びポンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御装
置において、前記励起ランプをトリガするトリガ手段
と、前記冷却水の導電率を測定する導電率測定手段と、
レーザ発振器起動指示に従って前記ポンプを起動し、前
記導電率測定手段による前記冷却水の導電率が所定の導
電率以下になったとき、前記トリガ手段により前記励起
ランプにトリガをかけるトリガ制御手段と、を備えたこ
とを要旨とするＹＡＧレーザ用制御装置である。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に図面を参照して、本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明に係るＹＡ
Ｇレーザ用制御装置の第１の実施形態を説明するブロッ
ク図である。図２は、第１実施形態の動作を説明するフ
ローチャートである。図１において、ＹＡＧレーザ１
は、励起ランプ２及びＹＡＧロッド３を備えて冷却水容
器となるキャビティ４と、冷却水通路５に設けられ冷却
水を精製するイオン交換樹脂６と、冷却水の熱を外気へ
放出する熱交換器７と、冷却水を循環させるポンプ８
と、冷却水タンク９と、ＹＡＧレーザ用制御装置２０と
を備えている。
施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明に係るＹＡ
Ｇレーザ用制御装置の第１の実施形態を説明するブロッ
ク図である。図２は、第１実施形態の動作を説明するフ
ローチャートである。図１において、ＹＡＧレーザ１
は、励起ランプ２及びＹＡＧロッド３を備えて冷却水容
器となるキャビティ４と、冷却水通路５に設けられ冷却
水を精製するイオン交換樹脂６と、冷却水の熱を外気へ
放出する熱交換器７と、冷却水を循環させるポンプ８
と、冷却水タンク９と、ＹＡＧレーザ用制御装置２０と
を備えている。
【００１４】キャビティ４は、略楕円断面を持つ筒状に
形成され、楕円の一方の焦点の軌跡に沿ってＹＡＧロッ
ド３が配置され、楕円の他方の焦点の軌跡に沿って励起
ランプ２が配置されている。キャビティ４の内面には、
反射面が形成され、励起ランプ２が発する光がＹＡＧロ
ッド３に集束して、効果的にＹＡＧロッドを励起できる
ようになっている。
形成され、楕円の一方の焦点の軌跡に沿ってＹＡＧロッ
ド３が配置され、楕円の他方の焦点の軌跡に沿って励起
ランプ２が配置されている。キャビティ４の内面には、
反射面が形成され、励起ランプ２が発する光がＹＡＧロ
ッド３に集束して、効果的にＹＡＧロッドを励起できる
ようになっている。
【００１５】また、キャビティ４は、励起ランプ２及び
ＹＡＧロッド３を冷却する冷却水容器としても働く。す
なわち、冷却水タンク９の冷却水がポンプ８により冷却
水通路５へ圧送される。ポンプ８により圧送された冷却
水の一部はイオン交換樹脂６を通って精製されて冷却水
タンク９に戻り、その残部は、キャビティ４に入って励
起ランプ２及びＹＡＧロッド３を冷却した後、熱交換器
７に放熱されて、冷却水タンク９に戻るようになってい
る。
ＹＡＧロッド３を冷却する冷却水容器としても働く。す
なわち、冷却水タンク９の冷却水がポンプ８により冷却
水通路５へ圧送される。ポンプ８により圧送された冷却
水の一部はイオン交換樹脂６を通って精製されて冷却水
タンク９に戻り、その残部は、キャビティ４に入って励
起ランプ２及びＹＡＧロッド３を冷却した後、熱交換器
７に放熱されて、冷却水タンク９に戻るようになってい
る。
【００１６】ＹＡＧレーザ用制御装置２０は、励起ラン
プ２をトリガするトリガ回路２１と、トリガが失敗した
とき所定の待ち時間を計時するタイマ２２と、レーザ発
振器起動指示に従ってポンプ８を起動し、トリガ回路２
１により励起ランプ２にトリガをかけ、このトリガが失
敗した場合、タイマ２２により所定の待ち時間を計時さ
せ、所定の待ち時間経過後再度トリガを繰り返すトリガ
制御回路２３とを備えている。
プ２をトリガするトリガ回路２１と、トリガが失敗した
とき所定の待ち時間を計時するタイマ２２と、レーザ発
振器起動指示に従ってポンプ８を起動し、トリガ回路２
１により励起ランプ２にトリガをかけ、このトリガが失
敗した場合、タイマ２２により所定の待ち時間を計時さ
せ、所定の待ち時間経過後再度トリガを繰り返すトリガ
制御回路２３とを備えている。
【００１７】次に、本第１実施形態の動作を、図２のフ
ローチャートを参照して説明する。レーザ発振器の起動
指示を受けると、まず冷却水を循環させるポンプ８を起
動する（ステップＳ１０）。これにより冷却水の循環が
始まり、冷却水はイオン交換樹脂６により不純物イオン
が吸着され、時間の経過に連れて冷却水の導電率が低下
する。
ローチャートを参照して説明する。レーザ発振器の起動
指示を受けると、まず冷却水を循環させるポンプ８を起
動する（ステップＳ１０）。これにより冷却水の循環が
始まり、冷却水はイオン交換樹脂６により不純物イオン
が吸着され、時間の経過に連れて冷却水の導電率が低下
する。
【００１８】次いでトリガ制御回路２３の内部に備えら
れた図示されないエラーカウンタをクリアする（ステッ
プＳ１２）。次いで励起ランプ２のアノード端子２ａ、
カソード端子２ｂ間にランプ電源１０よりシマー点灯の
ための電圧を印加し、トリガ回路２１からキャビティ４
とカソード端子２ｂ間にトリガ電圧を印加しトリガをか
ける（ステップＳ１４）。
れた図示されないエラーカウンタをクリアする（ステッ
プＳ１２）。次いで励起ランプ２のアノード端子２ａ、
カソード端子２ｂ間にランプ電源１０よりシマー点灯の
ための電圧を印加し、トリガ回路２１からキャビティ４
とカソード端子２ｂ間にトリガ電圧を印加しトリガをか
ける（ステップＳ１４）。
【００１９】次いで励起ランプ２がシマー点灯したかど
うかを判定し（ステップＳ１６）、点灯すればトリガ動
作を終了する。シマー点灯しなければ、エラーカウンタ
を１だけカウントアップし（ステップＳ１８）、エラー
カウンタが規定回数になったかどうかを判定する（ステ
ップＳ２０）。エラーカウンタが規定回数であれば、ト
リガアラームを通知して（ステップＳ２６）、動作を終
了する。
うかを判定し（ステップＳ１６）、点灯すればトリガ動
作を終了する。シマー点灯しなければ、エラーカウンタ
を１だけカウントアップし（ステップＳ１８）、エラー
カウンタが規定回数になったかどうかを判定する（ステ
ップＳ２０）。エラーカウンタが規定回数であれば、ト
リガアラームを通知して（ステップＳ２６）、動作を終
了する。
【００２０】エラーカウンタが規定回数に達していなけ
れば、所定時間を計測するタイマ２２を起動し（ステッ
プＳ２２）、タイマから所定時間経過したことが知らさ
れるのを待つ（ステップＳ２４）。所定時間が経過する
と、再度励起ランプ２にトリガをかけるために、ステッ
プＳ１４へ移る。
れば、所定時間を計測するタイマ２２を起動し（ステッ
プＳ２２）、タイマから所定時間経過したことが知らさ
れるのを待つ（ステップＳ２４）。所定時間が経過する
と、再度励起ランプ２にトリガをかけるために、ステッ
プＳ１４へ移る。
【００２１】こうして、ポンプ８を起動し、イオン交換
樹脂６による冷却水の精製を初めてから所定時間毎に励
起ランプ２のトリガを繰り返すことになる。通常、規定
回数以内に冷却水の導電率がトリガ可能な程度以下に低
下し、励起ランプ２をシマー点灯させることができる。
もし、機器に何らかの障害があれば、規定回数のシマー
点灯失敗となり、トリガアラームが通知される。
樹脂６による冷却水の精製を初めてから所定時間毎に励
起ランプ２のトリガを繰り返すことになる。通常、規定
回数以内に冷却水の導電率がトリガ可能な程度以下に低
下し、励起ランプ２をシマー点灯させることができる。
もし、機器に何らかの障害があれば、規定回数のシマー
点灯失敗となり、トリガアラームが通知される。
【００２２】図３は、本発明に係るＹＡＧレーザ用制御
装置の第２の実施形態を説明するブロック図である。図
４は、第２実施形態の動作を説明するフローチャートで
ある。図３おいて、ＹＡＧレーザ１は、励起ランプ２及
びＹＡＧロッド３を備えたキャビティ４と、冷却水通路
５に設けられ冷却水を精製するイオン交換樹脂６と、冷
却水の熱を外気へ放出する熱交換器７と、冷却水をキャ
ビティ４、イオン交換樹脂６、熱交換器７間で循環させ
るポンプ８と、冷却水タンク９と、ＹＡＧレーザ用制御
装置３０とを備えている。
装置の第２の実施形態を説明するブロック図である。図
４は、第２実施形態の動作を説明するフローチャートで
ある。図３おいて、ＹＡＧレーザ１は、励起ランプ２及
びＹＡＧロッド３を備えたキャビティ４と、冷却水通路
５に設けられ冷却水を精製するイオン交換樹脂６と、冷
却水の熱を外気へ放出する熱交換器７と、冷却水をキャ
ビティ４、イオン交換樹脂６、熱交換器７間で循環させ
るポンプ８と、冷却水タンク９と、ＹＡＧレーザ用制御
装置３０とを備えている。
【００２３】キャビティ４は、略楕円断面を持つ筒状に
形成され、楕円の一方の焦点の軌跡に沿ってＹＡＧロッ
ド３が配置され、楕円の他方の焦点の軌跡に沿って励起
ランプ２が配置されている。キャビティ４の内面には、
反射面が形成され、励起ランプ２が発する光がＹＡＧロ
ッド３に集束して、効果的にＹＡＧロッドを励起できる
ようになっている。
形成され、楕円の一方の焦点の軌跡に沿ってＹＡＧロッ
ド３が配置され、楕円の他方の焦点の軌跡に沿って励起
ランプ２が配置されている。キャビティ４の内面には、
反射面が形成され、励起ランプ２が発する光がＹＡＧロ
ッド３に集束して、効果的にＹＡＧロッドを励起できる
ようになっている。
【００２４】また、キャビティ４は、励起ランプ２及び
ＹＡＧロッド３を冷却する冷却水容器としても働く。す
なわち、冷却水タンク９の冷却水がポンプ８により冷却
水通路５へ圧送される。ポンプ８により圧送された冷却
水の一部はイオン交換樹脂６を通って精製されて冷却水
タンク９に戻り、その残部は、キャビティ４に入って励
起ランプ２及びＹＡＧロッド３を冷却した後、熱交換器
７に放熱されて、冷却水タンク９に戻るようになってい
る。
ＹＡＧロッド３を冷却する冷却水容器としても働く。す
なわち、冷却水タンク９の冷却水がポンプ８により冷却
水通路５へ圧送される。ポンプ８により圧送された冷却
水の一部はイオン交換樹脂６を通って精製されて冷却水
タンク９に戻り、その残部は、キャビティ４に入って励
起ランプ２及びＹＡＧロッド３を冷却した後、熱交換器
７に放熱されて、冷却水タンク９に戻るようになってい
る。
【００２５】ＹＡＧレーザ用制御装置３０は、励起ラン
プ２をトリガするトリガ回路２１と、冷却水の導電率を
測定する導電率測定回路３１と、レーザ発振器起動指示
に従ってポンプ８を起動し、導電率測定回路３１による
冷却水の導電率が所定の導電率以下になったとき、トリ
ガ回路１１により励起ランプ２にトリガをかけるトリガ
制御回路３３とを備えている。導電率測定回路３１に
は、キャビティ４内に設けられた導電率測定電極３２が
接続されており、キャビティ４と導電率測定電極３２と
の電気抵抗を測定することにより、キャビティ４内の冷
却水の導電率を測定できるようになっている。
プ２をトリガするトリガ回路２１と、冷却水の導電率を
測定する導電率測定回路３１と、レーザ発振器起動指示
に従ってポンプ８を起動し、導電率測定回路３１による
冷却水の導電率が所定の導電率以下になったとき、トリ
ガ回路１１により励起ランプ２にトリガをかけるトリガ
制御回路３３とを備えている。導電率測定回路３１に
は、キャビティ４内に設けられた導電率測定電極３２が
接続されており、キャビティ４と導電率測定電極３２と
の電気抵抗を測定することにより、キャビティ４内の冷
却水の導電率を測定できるようになっている。
【００２６】次に、本第２実施形態の動作を、図４のフ
ローチャートを参照して説明する。レーザ発振器の起動
指示を受けると、まず冷却水を循環させるポンプ８を起
動する（ステップＳ４０）。これにより冷却水の循環が
始まり、冷却水はイオン交換樹脂６により不純物イオン
が吸着され、時間の経過に連れて冷却水の導電率が低下
する。
ローチャートを参照して説明する。レーザ発振器の起動
指示を受けると、まず冷却水を循環させるポンプ８を起
動する（ステップＳ４０）。これにより冷却水の循環が
始まり、冷却水はイオン交換樹脂６により不純物イオン
が吸着され、時間の経過に連れて冷却水の導電率が低下
する。
【００２７】次いで導電率測定回路３１により、キャビ
ティ４と導電率測定電極３２との電気抵抗を測定するこ
とにより冷却水の導電率を測定する（ステップＳ４
２）。次いで、導電率が規定値以下かどうかを判定する
（ステップＳ４４）。導電率が規定値を上回っていれ
ば、再度導電率を測定するためにステップＳ４２へ移
る。即ち、導電率が規定値以下になるまで、冷却水をイ
オン交換樹脂６で精製しながら待機することとなる。
ティ４と導電率測定電極３２との電気抵抗を測定するこ
とにより冷却水の導電率を測定する（ステップＳ４
２）。次いで、導電率が規定値以下かどうかを判定する
（ステップＳ４４）。導電率が規定値を上回っていれ
ば、再度導電率を測定するためにステップＳ４２へ移
る。即ち、導電率が規定値以下になるまで、冷却水をイ
オン交換樹脂６で精製しながら待機することとなる。
【００２８】導電率が規定値以下であれば、励起ランプ
２のアノード端子２ａ、カソード端子２ｂ間にランプ電
源１０よりシマー点灯のための電圧を印加し、トリガ回
路２１からキャビティ４とカソード端子２ｂ間にトリガ
電圧を印加しトリガをかける（ステップＳ４６）。
２のアノード端子２ａ、カソード端子２ｂ間にランプ電
源１０よりシマー点灯のための電圧を印加し、トリガ回
路２１からキャビティ４とカソード端子２ｂ間にトリガ
電圧を印加しトリガをかける（ステップＳ４６）。
【００２９】次いで励起ランプ２がシマー点灯したかど
うかを判定し（ステップＳ４８）、点灯すればトリガ動
作を終了する。ステップＳ４８の判定でシマー点灯しな
ければ、冷却水の導電率が規定値以下にもかかわらずシ
マー点灯しなかったので、なんらかの機器の障害がある
としてトリガアラームを通知して（ステップＳ５０）、
動作を終了する。
うかを判定し（ステップＳ４８）、点灯すればトリガ動
作を終了する。ステップＳ４８の判定でシマー点灯しな
ければ、冷却水の導電率が規定値以下にもかかわらずシ
マー点灯しなかったので、なんらかの機器の障害がある
としてトリガアラームを通知して（ステップＳ５０）、
動作を終了する。
【００３０】以上好ましい実施の形態について説明した
が、これらは本発明をげんていするものではない。例え
ば、実施の形態においては、励起ランプが１本の場合を
示したが、ＹＡＧロッドへ入力する励起光をより強める
ため、励起ランプを複数設けたＹＡＧレーザにも適用可
能である。この場合、トリガ制御回路から励起ランプ毎
に順次トリガをかけるようにして、励起ランプをシマー
点灯させてもよい。
が、これらは本発明をげんていするものではない。例え
ば、実施の形態においては、励起ランプが１本の場合を
示したが、ＹＡＧロッドへ入力する励起光をより強める
ため、励起ランプを複数設けたＹＡＧレーザにも適用可
能である。この場合、トリガ制御回路から励起ランプ毎
に順次トリガをかけるようにして、励起ランプをシマー
点灯させてもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、励
起ランプ及びＹＡＧロッドを収容するキャビティに接続
された冷却水通路にイオン交換樹脂及び冷却水循環用の
ポンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御装置において、レ
ーザ発振器起動指示に従ってポンプを起動し、トリガ手
段により励起ランプにトリガをかけ、このトリガが失敗
した場合、タイマにより所定の待ち時間を計時させ、所
定の待ち時間経過後再度トリガを繰り返すことにより、
ＹＡＧレーザ装置を長期間放置した後に再度使用する場
合にも、自動的に励起ランプを点灯させることができ
る。
起ランプ及びＹＡＧロッドを収容するキャビティに接続
された冷却水通路にイオン交換樹脂及び冷却水循環用の
ポンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御装置において、レ
ーザ発振器起動指示に従ってポンプを起動し、トリガ手
段により励起ランプにトリガをかけ、このトリガが失敗
した場合、タイマにより所定の待ち時間を計時させ、所
定の待ち時間経過後再度トリガを繰り返すことにより、
ＹＡＧレーザ装置を長期間放置した後に再度使用する場
合にも、自動的に励起ランプを点灯させることができ
る。
【００３２】また本発明によれば、励起ランプ及びＹＡ
Ｇロッドを収容するキャビティに接続された冷却水通路
にイオン交換樹脂及び冷却水循環用のポンプを備えたＹ
ＡＧレーザ用の制御装置において、レーザ発振器起動指
示に従ってポンプを起動し、導電率測定手段による冷却
水の導電率が所定の導電率以下になったとき、トリガ手
段により励起ランプにトリガをかけることにより、ＹＡ
Ｇレーザ装置を長期間放置した後に再度使用する場合に
も、自動的に励起ランプを点灯させることができる。
Ｇロッドを収容するキャビティに接続された冷却水通路
にイオン交換樹脂及び冷却水循環用のポンプを備えたＹ
ＡＧレーザ用の制御装置において、レーザ発振器起動指
示に従ってポンプを起動し、導電率測定手段による冷却
水の導電率が所定の導電率以下になったとき、トリガ手
段により励起ランプにトリガをかけることにより、ＹＡ
Ｇレーザ装置を長期間放置した後に再度使用する場合に
も、自動的に励起ランプを点灯させることができる。
【図１】本発明に係るＹＡＧレーザ用制御装置の第１の
実施形態を説明するブロック図である。
実施形態を説明するブロック図である。
【図２】第１実施形態の動作を説明するフローチャート
である。
である。
【図３】本発明に係るＹＡＧレーザ用制御装置の第２の
実施形態を説明するブロック図である。
実施形態を説明するブロック図である。
【図４】第２実施形態の動作を説明するフローチャート
である。
である。
【図５】冷却水の導電率が励起ランプのシマー点灯に及
ぼす影響を説明する図である。
ぼす影響を説明する図である。
１ ＹＡＧレーザ ２ 励起ランプ ３ ＹＡＧロッド ４ キャビティ ５ 冷却水通路 ６ イオン交換樹脂 ７ 熱交換器 ８ ポンプ ９ 冷却水タンク ２０ ＹＡＧレーザ用制御装置 ２１ トリガ回路 ２２ タイマ ２３ トリガ制御回路 ３０ ＹＡＧレーザ用制御装置 ３１ 導電率測定回路 ３２ 導電率測定電極 ３３ トリガ制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 励起ランプ及びＹＡＧロッドを収容する
キャビティに接続された冷却水通路にイオン交換樹脂及
び冷却水循環用のポンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御
装置において、 前記励起ランプをトリガするトリガ手段と、 トリガが失敗したとき所定の待ち時間を計時するタイマ
と、 レーザ発振器起動指示に従って前記ポンプを起動し、前
記トリガ手段により前記励起ランプにトリガをかけ、こ
のトリガが失敗した場合、前記タイマにより所定の待ち
時間を計時させ、所定の待ち時間経過後再度トリガを繰
り返すトリガ制御手段と、 を備えたことを特徴とするＹＡＧレーザ用制御装置。 - 【請求項２】 励起ランプ及びＹＡＧロッドを収容する
キャビティに接続された冷却水通路にイオン交換樹脂及
び冷却水循環用のポンプを備えたＹＡＧレーザ用の制御
装置において、 前記励起ランプをトリガするトリガ手段と、 前記冷却水の導電率を測定する導電率測定手段と、 レーザ発振器起動指示に従って前記ポンプを起動し、前
記導電率測定手段による前記冷却水の導電率が所定の導
電率以下になったとき、前記トリガ手段により前記励起
ランプにトリガをかけるトリガ制御手段と、 を備えたことを特徴とするＹＡＧレーザ用制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5324299A JP2000252557A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | Ｙａｇレーザ用制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5324299A JP2000252557A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | Ｙａｇレーザ用制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000252557A true JP2000252557A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=12937336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5324299A Pending JP2000252557A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | Ｙａｇレーザ用制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000252557A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005022707A1 (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-10 | Hamamatsu Photonics K. K. | 固体レーザ装置 |
| JP2006324321A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Miyachi Technos Corp | 高調波レーザ装置及びレーザ加工装置 |
| JP2009176830A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザ発振装置およびレーザ発振方法 |
| CN105322425A (zh) * | 2014-08-04 | 2016-02-10 | 株式会社天田米亚基 | 激光装置 |
-
1999
- 1999-03-01 JP JP5324299A patent/JP2000252557A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005022707A1 (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-10 | Hamamatsu Photonics K. K. | 固体レーザ装置 |
| US7502396B2 (en) | 2003-08-28 | 2009-03-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid-state laser apparatus |
| JP2006324321A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Miyachi Technos Corp | 高調波レーザ装置及びレーザ加工装置 |
| JP2009176830A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザ発振装置およびレーザ発振方法 |
| CN105322425A (zh) * | 2014-08-04 | 2016-02-10 | 株式会社天田米亚基 | 激光装置 |
| JP2016035980A (ja) * | 2014-08-04 | 2016-03-17 | 株式会社アマダミヤチ | レーザ装置 |
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