JP2016028989A - 光ファイバの製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】線引炉上部にチャンバをもつ装置で光ファイバを線引きする際、線引き進行によって生じる線引炉内のガス流の乱れを小さくし光ファイバの外径変動を小さく抑える。【解決手段】線引炉のシール機構として、上部チャンバ２０の内部でガラス母材１１の直胴部１１ａをシールするための第１シール部２６と、ダミー棒１３を挿通させた状態で上部チャンバ２０の上端２０ａを塞いでシールするための第２シール部２４と、上部チャンバ２０の内部における第２シール部２４と第１シール部２６との間に配設された仕切り板２７と、を備える。線引き開始時には第１シール部２６で直胴部１１ａをシールし、ガラス母材１１の下降に伴い少なくとも縮径部１１ｂが第１シール部２６を通過し始める以降には、第２シール部２４で上部チャンバ２０の上端２０ａをシールし、仕切り板２７により上部チャンバ２０内の空間を仕切りながら線引きを行う。【選択図】図１Ｃ

Description

本発明は、上端にダミー棒を連結したガラス母材を用い、光ファイバの線引きを行う光ファイバの製造方法及び製造装置に関する。

光ファイバ用線引炉（以下、線引炉という）による光ファイバの線引きは、例えば石英を主成分とするガラス母材をヒータなどで加熱溶融して行われる。このときの線引炉内の温度は、約２０００℃と非常に高温となるので、線引炉内の部品には、耐熱性に優れたカーボンが用いられている。このカーボンは、高温の酸素含有雰囲気中で酸化して消耗する性質を有する。このため、線引炉内は、アルゴンガスやヘリウムガス等の希ガス又は窒素ガス（以下、不活性ガス等という）の雰囲気に保つ必要がある。

通常、ガラス母材は、小径のシード棒にガラス微粒子を堆積させたものをガラス化しているため、直胴部（本体部ともいう）の上端の、シード棒との境界部がテーパ状に縮径されている。

このように、ガラス母材はその径が大きく変化している縮径部が存在するため、この縮径部が線引炉の上端を通過する際に、この縮径部をシールするのが非常に難しくなる。また、径が大きく変化すると、線引炉内空間の容積が線引きの進行に連れて変化し、線引炉内のガスの流れが変わるため、光ファイバの外径変動が大きくなる場合がある。

光ファイバの外径変動への影響を抑制する技術として、特許文献１には、シール部材として、ガラス母材の直胴部より若干小さい内径をもつリング状のスリット付きカーボンシートを備えた光ファイバ製造装置が開示されている。しかし、特許文献１に記載の技術では、シールしきれず、直接、炉外空気を線引炉内に巻き込んでしまう可能性がある。

特許文献２には、線引炉内の上部空間を仕切り板で仕切りながら線引きする技術が開示されている。また、特許文献３には、線引炉において炉心管に連通した内筒管を設け、内筒管内の空間を多段のリング状の仕切り板により一定間隔に仕切り、ガラス母材の上部空間の容積が大きくならないようにすることにより、光ファイバの外径変動を抑える技術が開示されている。しかし、特許文献２，３に記載の技術では、特に内筒管内のガスとしてアルゴンや窒素などの熱伝導率の低いガスを用いた場合、内筒管内でガス流が乱れ、光ファイバの外径変動が大きくなってしまう可能性がある。

また、特許文献４には、ガラス母材と線引炉の挿通口との空隙をシールするための２重のシール体を有するシール部と、ガラス母材の縮径部に被せるためのキャップ状シール部と、を備えた光ファイバ製造装置が開示されている。

特許文献５には、ガラス母材の直胴部より若干小さい内径をもつリング状のスリット付きカーボンシートを３つ以上有するシール部を備えた光ファイバ製造装置が開示されている。また、特許文献５には、特許文献４に開示されたようなキャップ構造のシール部についても開示されている。

特許文献４，５に記載の技術では、キャップ状シール部の存在により縮径部をシールすることも可能である。しかしながら、キャップ状シール部でのシール後、さらに線引きが進行すると、そのキャップ部分の内側が線引炉内と繋がり、線引炉内空間が拡がってしまう。その結果、このような技術においても、線引炉内空間で生じたガス流の乱れにより、光ファイバの外径が変動してしまう。

特開２０１０−１３２５０５号公報 特開平５−１４７９６９号公報 特開平１１−３４３１３７号公報 特開２００９−６２２６５号公報 特開２０１１−２３０９７８号公報

本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、線引炉の上部にチャンバを備えた装置で光ファイバの線引きを行うに際し、ガラス母材の線引き進行によって生じる線引炉内のガス流の乱れを小さくし、光ファイバの外径変動を小さく抑えることにある。

本発明による光ファイバの製造方法は、上端にダミー棒が連結され且つ上部に縮径部が存在するガラス母材と線引炉の上端開口部との間の隙間を、シール機構によりシールしながら、上記線引炉の内部及び上記上端開口部に連結された上部チャンバの内部に上記ガラス母材を吊り下げ降下させ、光ファイバの線引きを行う光ファイバの製造方法であって、上記シール機構は、上記上部チャンバの内部で上記ガラス母材の直胴部をシールするための第１シール部と、上記ダミー棒を挿通させた状態で上記上部チャンバの上端を塞いでシールするための第２シール部と、上記上部チャンバの内部における上記第２シール部と上記第１シール部との間に配設された仕切り板と、を有し、線引き開始時には、上記第１シール部により上記直胴部をシールし、上記ガラス母材の下降に伴い少なくとも上記縮径部が上記第１シール部を通過し始める以降には、上記第２シール部で上記上部チャンバの上端をシールし、上記仕切り板により上記上部チャンバ内の空間を仕切りながら上記線引きを行うものである。

本発明による光ファイバの製造装置は、線引炉と、上記線引炉の上端開口部に連結された上部チャンバと、上端にダミー棒が連結され且つ上部に縮径部が存在するガラス母材と上記上端開口部との間の隙間をシールするシール機構と、を備え、上記シール機構により上記隙間をシールしながら、上記線引炉の内部及び上記上部チャンバの内部に上記ガラス母材を吊り下げ降下させ、光ファイバの線引きを行う光ファイバの製造装置であって、上記シール機構は、上記上部チャンバの内部で上記ガラス母材の直胴部をシールするための第１シール部と、上記ダミー棒を挿通させた状態で上記上部チャンバの上端を塞いでシールするための第２シール部と、上記上部チャンバの内部における上記第２シール部と上記第１シール部との間に配設された仕切り板と、を有し、線引き開始時には、上記第１シール部により上記直胴部をシールし、上記ガラス母材の下降に伴い少なくとも上記縮径部が上記第１シール部を通過し始める以降には、上記第２シール部で上記上部チャンバの上端をシールし、上記仕切り板により上記上部チャンバ内の空間を仕切るものである。

本発明によれば、線引炉の上部にチャンバを備えた装置で光ファイバの線引きを行うに際し、ガラス母材の線引き進行によって生じる線引炉内のガス流の乱れを小さくし、光ファイバの外径変動を小さく抑えることができる。

本発明の実施形態に係る光ファイバ製造装置の一構成例を示す図で、定常時の線引き状態を示す図である。 本発明の実施形態に係る光ファイバ製造装置の一構成例を示す図で、図１Ａの状態から線引きが進みガラス母材が降下した状態を示す図である。 本発明の実施形態に係る光ファイバ製造装置の一構成例を示す図で、図１Ｂの状態からさらに線引きが進みガラス母材が降下した状態を示す図である。 図１Ａ〜図１Ｃの光ファイバ製造装置で用いる仕切り板の一例を示す図である。 従来の光ファイバ製造装置において、線引きが進んだ状態を示す図である。

［本発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。
（１）本発明による光ファイバの製造方法は、上端にダミー棒が連結され且つ上部に縮径部が存在するガラス母材と線引炉の上端開口部との間の隙間を、シール機構によりシールしながら、上記線引炉の内部及び上記上端開口部に連結された上部チャンバの内部に上記ガラス母材を吊り下げ降下させ、光ファイバの線引きを行う光ファイバの製造方法であって、上記シール機構は、上記上部チャンバの内部で上記ガラス母材の直胴部をシールするための第１シール部と、上記ダミー棒を挿通させた状態で上記上部チャンバの上端を塞いでシールするための第２シール部と、上記上部チャンバの内部における上記第２シール部と上記第１シール部との間に配設された仕切り板と、を有し、線引き開始時には、上記第１シール部により上記直胴部をシールし、上記ガラス母材の下降に伴い少なくとも上記縮径部が上記第１シール部を通過し始める以降には、上記第２シール部で上記上部チャンバの上端をシールし、上記仕切り板により上記上部チャンバ内の空間を仕切りながら上記線引きを行うものである。これにより、線引炉の上部にチャンバを備えた装置で光ファイバの線引きを行うに際し、ガラス母材の線引き進行によって生じる線引炉内のガス流の乱れを小さくし、光ファイバの外径変動を小さく抑えることができる。

（２）上記第１シール部と前記仕切り板との間の距離は、前記縮径部におけるテーパ部の高さと略同じであるようにしたものである。これにより、第１シール部のシール機能が無くなった時に、線引炉内と通じた線引炉内空間が拡大するのを最小限に抑えつつ、線引炉内空間を仕切ることができるため、さらに線引炉内のガス流の乱れを小さくし、光ファイバの外径変動をさらに小さく抑えることができる。

（３）上記仕切り板は、中央部に孔が空いた同心円状の板であり、内周側にスリットが切り込まれ、撓むことにより上記直胴部及び上記テーパ部を通過させることが好ましい。スリットにより直胴部、テーパ部を通過させることができ、第１シール部がテーパ部を通過しても、仕切り板としての機能を果たすことができるので、光ファイバの外径変動を小さく抑える効果を、簡易な構成の仕切り板で実現することができる。

（４）上記仕切り板の上記中央部の上記孔は、上記ダミー棒の外径と略同じ径をもつようにする。これにより、仕切り板がテーパ部を通過した後も、線引炉内空間を仕切ることができるので、光ファイバの外径変動をより小さく抑えることができる。

（５）上記仕切り板はカーボン製であることが好ましい。これにより、仕切り板がガラス母材を傷つけることは無い。

（６）本発明による光ファイバの製造装置は、線引炉と、上記線引炉の上端開口部に連結された上部チャンバと、上端にダミー棒が連結され且つ上部に縮径部が存在するガラス母材と上記上端開口部との間の隙間をシールするシール機構と、を備え、上記シール機構により上記隙間をシールしながら、上記線引炉の内部及び上記上部チャンバの内部に上記ガラス母材を吊り下げ降下させ、光ファイバの線引きを行う光ファイバの製造装置であって、上記シール機構は、上記上部チャンバの内部で上記ガラス母材の直胴部をシールするための第１シール部と、上記ダミー棒を挿通させた状態で上記上部チャンバの上端を塞いでシールするための第２シール部と、上記上部チャンバの内部における上記第２シール部と上記第１シール部との間に配設された仕切り板と、を有し、線引き開始時には、上記第１シール部により上記直胴部をシールし、上記ガラス母材の下降に伴い少なくとも上記縮径部が上記第１シール部を通過し始める以降には、上記第２シール部で上記上部チャンバの上端をシールし、上記仕切り板により上記上部チャンバ内の空間を仕切るものである。これにより、線引炉の上部にチャンバを備えた装置で光ファイバの線引きを行うに際し、ガラス母材の線引き進行によって生じる線引炉内のガス流の乱れを小さくし、光ファイバの外径変動を小さく抑えることができる。

［本発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態に係る光ファイバの製造方法及び製造装置の具体例を、以下に図１Ａ〜図１Ｃ及び図２を参照しつつ説明する。なお、以下では、線引炉として、加熱源（ヒータ）により炉心管を加熱する抵抗炉を挙げて説明するが、コイルに高周波電源を印加し、炉心管を誘導加熱する誘導炉も適用可能である。

図１Ａ〜図１Ｃは、本発明の実施形態に係る光ファイバ製造装置の一構成例を示す図である。ここで、図１Ａは定常時の線引き状態を示し、図１Ｂは図１Ａの状態から線引きが進みガラス母材が降下した状態を示し、図１Ｃは図１Ｂの状態からさらに線引きが進みガラス母材が降下した状態を示している。また、図２は、図１Ａ〜図１Ｃの光ファイバ製造装置で用いる仕切り板の一例を示す図である。

本実施形態に係る光ファイバ製造装置１は、炉心管１５、ヒータ１６、断熱材１７、及び炉筐体１８を有する線引炉（光ファイバ用の線引炉）１０を備えると共に、線引炉１０の下端開口部に連結された下部チャンバ１９と、線引炉１０の上端開口部に連結された上部チャンバ２０と、を備える。

そして、光ファイバ製造装置１は、線引炉１０内でガラス母材（光ファイバ用のガラス母材）１１を加熱溶融して光ファイバ１２の線引を行う。以下、この光ファイバ製造装置１の構成について、並びに光ファイバ製造装置１を用いた光ファイバ製造方法について、具体的に説明する。

ガラス母材１１には、直胴部１１ａの上端部分にテーパ部（高さＨで示す部分）を持つ縮径部１１ｂが存在しており、縮径部１１ｂの上端にある連結部分１４において、ガラス母材１１と同種のガラスロッドからなるダミー棒１３が連結されている。直胴部１１ａの直径が１００ｍｍとすると、テーパ部の上端（つまり縮径終了端）では例えば直径５０ｍｍ程度まで縮径され、この部分で大きく縮径している。なお、連結部分１４では、溶着、若しくは図示しない連結部材を介した接続により連結しておけばよい。

そして、ガラス母材１１は、このダミー棒１３の上方に接続された移動機構（図示せず）により、ダミー棒１３を介して上側から吊り下げて支持されると共に線引き方向（上下方向）に移動可能となっている。この移動機構により、線引きが終了すると新たなガラス母材に入れ換えることが可能となっている。

炉心管１５は、炉筐体１８の中央部に円筒状で形成されており、下部チャンバ１９及び上部チャンバ２０と連通している。炉心管１５はカーボン製で、その内部には、上部チャンバ２０側からガラス母材１１が挿入される。

ヒータ１６は、炉筐体１８内において炉心管１５を囲むように配された筒状の加熱源であり、断熱材１７はヒータ１６の外側を覆うように収納される。ヒータ１６は、炉心管１５の内部に挿入されたガラス母材１１を加熱溶融し、溶融縮径した光ファイバ１２を下部チャンバ１９から垂下させる。

上部チャンバ２０は、線引炉１０の上端開口部に連結され、ガラス母材１１を収納するチャンバであり、例えば炉心管１５と同程度の内径を有する円筒型のチャンバである。また、光ファイバ製造装置１は、線引炉１０の上端開口部とその上端開口部から挿入されたガラス母材１１との間の隙間をシールするシール機構を備える。

上記シール機構は、上部チャンバ２０の内部でガラス母材１１の直胴部１１ａ（基本的にほぼ最大径の部位となる）をシールするための第１シール部２６を有する。第１シール部２６は、例えば中央部に孔が空いた同心円状の部材であり、この孔の径は直胴部１１ａと略同一か、若干小さくなっている。この部材としては、例えばカーボンシートやカーボンフェルトを複数枚積層したものなどが適用できる。但し、第１シール部２６の形状はこの例に限ったものではなく、直胴部１１ａの部分でのシールが可能な形状であればよい。

また、上記シール機構は、ダミー棒１３を挿通させた状態で上部チャンバ２０の上端（上端開口部）２０ａを塞いでシールするための第２シール部２４を有する。図１Ａでは、第２シール部２４の一例として、ダミー棒１３の長手方向に垂直に設けた蓋体を挙げている。また、ダミー棒１３には、例えば第２シール部２４が上端開口部２０ａで係止するまでダミー棒１３と共に降下するように、第２シール部２４を載置する部材２５が設けられている。なお、第２シール部２４は、例示したような形状に限らず、ダミー棒１３を挿通させた状態で、上端開口部２０ａを塞ぐことが可能な形状を有していればよい。なお、上部チャンバ２０の高さにもよるが、部材２５の位置を連結部分１４に合わせ、部材２５によりダミー棒１３とガラス母材１１を連結するようにしてもよい。

さらに、上記シール機構は仕切り板２７を有する。この仕切り板２７は、上部チャンバ２０の内部における第２シール部２４と第１シール部２６との間に配設され、上部チャンバ２０内の空間を仕切るための板である。仕切り板２７は、線引き開始時には直胴部１１ａの箇所に位置しているが、ガラス母材１１の下降に伴い縮径部１１ｂの箇所、ダミー棒１３の箇所に位置するようになり、線引き中、線引炉内空間を仕切る。

このような一連の仕切りを可能にするため、仕切り板２７は、ガラス母材１１を挿通させるための孔の径が可変になっているものとする。例えば、図２で例示するように、仕切り板２７は、中央部に孔２７ａが空いた同心円状の板であり、内周側にスリット２７ｂが切り込まれ、十分に撓むことにより直胴部１１ａ及び縮径部１１ｂのテーパ部を通過させることができるものとする。ここで、撓む方向は、ガラス母材１１の挿入時を考慮すると、下側に向かって撓むことになる。但し、挿入時に上側に撓ませた状態で挿入し、線引き進行により撓みがなくなるまで上側に撓んだ状態であってもよい。このような仕切り板２７は簡易な構成であり、容易に作成することができる。

スリット２７ｂは、例えば菊割状（放射状）に複数本入れておけばよい。そして、仕切り板２７は、孔２７ａの径を可変にして撓ませるため、上部チャンバ２０の内部の仕切り板２７の上下に、線引き中に仕切り板２７が外れることを防止するための固定部材２８ａ，２８ｂを設けておくなどの工夫を行っておけばよい。

さらに、この例では、孔２７ａの径がダミー棒１３の径と略同一とする。孔２７ａをダミー棒１３と略同径の挿通孔とすることで、仕切り板２７がテーパ部を通過した後、ダミー棒１３が通過する際にも、線引炉内空間を仕切ることができる。無論、孔２７ａの径はダミー棒１３の径より若干小さくても、ダミー棒１３の位置でも仕切り板２７を撓ませた状態で空間を仕切ることはできる。

また、仕切り板２７は、例えばカーボンフェルトやカーボンシートなど、カーボン製（カーボンを主成分とする材質）であることが好ましい。カーボンは耐熱性があり、撓ませることが可能である。また、カーボンは、摩擦係数を小さく加工することができる（やわらかい素材である）ため、接触してもガラス母材１１を傷付ける心配もない。また、カーボン部品は比較的コストが安く、製造コストの増加の心配がない。カーボンとしては、不純物混入の観点から、高純度カーボンと呼ばれるものを用いるのが好ましい。

その他、線引炉１０には、不活性ガス等による炉内ガスの供給機構が設けられている。詳しくは、上部チャンバ２０にガス導入路２２が設けられており、例えば、アルゴンガスと窒素ガスとを混合した不活性ガス等が炉心管１５内に送り込まれ、これにより、炉心管１５内やヒータ１６の周りの酸化劣化の防止を図る。このガス導入路２２により炉内ガスが供給される位置は、第１シール部２６より下側になるように設定される。

光ファイバ製造装置１は、上述のような構成により、上記シール機構で炉外空気を巻き込まないように上記隙間をシールしながら、線引炉１０の内部及び上部チャンバ２０の内部にガラス母材１１を吊り下げ降下させ、線引炉１０内でガラス母材１１の下部をヒータ１６により加熱溶融させる。線引炉１０では、こうして加熱溶融されて細径となったガラス母材１１の下端から光ファイバ１２を溶融垂下させて、炉筐体１８の下端部に設けられた下部チャンバ１９の排出孔からその光ファイバ１２を引き出す。そして、線引が進むに連れて、ダミー棒１３と共にガラス母材１１を移動機構により徐々に下降させていく。

ここで、図１Ａで図示したように、線引き開始時をはじめ定常時には第１シール部２６により直胴部１１ａ（直胴部１１ａの外周面）をシールしておく。また、図１Ｂ及び図１Ｃで図示したように、ガラス母材１１の下降に伴って、縮径部１１ｂが第１シール部２６を通過し始める以降には、第２シール部２４により上部チャンバ２０の上端開口部２０ａをシールしている。無論、縮径部１１ｂが第１シール部２６を通過する手前から（より極端な例では線引の開始時から）第２シール部２４でシールしてもよい。

そして、本実施形態では、図１Ａ〜図１Ｃで図示したように、線引き中（線引き開始からガラス母材１１の下降中）は、仕切り板２７により上部チャンバ２０内の空間を仕切る。そして、本実施形態では、図１Ｃで図示したように、ガラス母材１１の下降に伴い少なくとも縮径部１１ｂが第１シール部２６を通過し始める以降には、第２シール部２４でシールし、仕切り板２７により線引炉内空間を仕切っている。

ここで、図１Ａ，図１Ｂの状態では、仕切り板２７のスリット２７ｂが開いていてもよい（つまり仕切り板２７で完全に線引炉内空間を仕切れなくてもよい）が、図１Ｃの状態（第１シール部２６のシール機能が無くなった状態）では、仕切り板２７で線引炉内空間を仕切る必要がある。このように仕切ることにより、図１Ｃの状態において上部チャンバ２０の内部空間のうち仕切り板２７より上の空間で生じるガス流の乱れは、線引炉１０内と通じた線引炉内空間に影響を与え難くなる。

このようなシールを可能にする条件としては、縮径部１１ｂにおけるテーパ部の高さＨと、第１シール部２６と仕切り板２７との間の距離ｈとの関係が、Ｈ≦ｈを満たせばよい。但し、ｈが小さい程、図１Ｃの状態で上記線引炉内空間が小さくなるため好ましい。また、仕切り板２７の位置は上記線引炉内空間を小さくするために下にある方が好ましい。よって、ｈはＨと同じであることが好ましく、同じでなくとも可能な限りＨに近いことが好ましい。

さらに、仕切り板２７は固定されていることを前提としたが、挿入させるガラス母材１１のテーパ部の形状のバラツキも考慮し、実際に挿入するガラス母材１１のテーパ部の高さＨに合わせるように、仕切り板２７の位置を変える（距離ｈを変更する）ような位置調整機構を設けておいてもよい。

このように、本実施形態に係る光ファイバの製造装置及び製造方法では、２つのシール部２４，２６でシールすると共に仕切り板２７によって上部チャンバ２０内の空間を仕切ることで、炉内空間（上記線引炉内空間）の拡大を最小限に抑え、それによりガラス母材１１の線引き進行によって生じる線引炉内のガス流の乱れを小さくし、結果として光ファイバの外径変動を減らすことができる。

ここで、比較例として、図３を参照しながら従来の光ファイバ製造装置について説明する。図３で示す従来の光ファイバ製造装置１００は、シール機構として上部チャンバ２０に第１シール部２６及び第２シール部２４を有する。そして、線引き開始時には第１シール部２６により直胴部１１ａをシールしておき、ガラス母材１１の下降に伴って、縮径部１１ｂが第１シール部２６を通過し始める以降には、第２シール部２４により上部チャンバ２０の上端開口部２０ａをシールしている。

しかし、光ファイバ製造装置１００では、図３で示すような状態になったとき、第１シール部２６が機能せず、より高い位置の第２シール部２４でシールすることになる。これにより、線引炉１０自体の炉内空間に上部チャンバ２０の内部の空間が加わり、この空間でガス流の乱れが生じ、結果として光ファイバ１２の外径が変動してしまう。これに対し、本実施形態では、上述のように仕切り板２７の存在により、炉内空間の拡大を最小限に抑えることで、結果として光ファイバ１２の外径変動を減らすことができる。

また、本実施形態に係る光ファイバ製造装置１は、図３で示したような従来の光ファイバ製造装置１００において、仕切り板２７を炉内に設置するだけのシンプルな構造であるため、連続操業時の作業性を損なうことはない。また、仕切り板２７が消耗劣化した場合は、それを交換するだけでよいため、メンテナンス作業も容易である。

また、仕切り板２７は、カーボンフェルト（又はカーボンシートやカーボンシートとカーボンフェルトとの組み合わせ）のリングを複数枚（複数層）重ねたものであってもよく、このような構成により、さらに確実に炉内空間を仕切ることが可能となる。ここで、スリット２７ｂの位置は各層で合わせておいてもよいが、ずらしておくことがシール性向上のために好ましい。

実際に、仕切り板２７を用いなかった場合の外径変動が±１μｍであったのに対し、仕切り板２７として１枚のカーボンフェルトリングを用いた場合、外径変動が±０．４μｍの光ファイバ１２を得ることができた。さらに、３枚のカーボンフェルトリングを用いた場合、外径変動±０．１５μｍの光ファイバ１２を得ることができた。

今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

１…光ファイバ製造装置、１０…線引炉、１１…ガラス母材、１１ａ…直胴部、１１ｂ…縮径部、１２…光ファイバ、１３…ダミー棒、１４…連結部分、１５…炉心管、１６…ヒータ、１７…断熱材、１８…炉筐体、１９…下部チャンバ、２０…上部チャンバ、２０ａ…上部チャンバの上端開口部、２１…ガス供給部、２２…ガス導入路、２４…第２シール部、２５…部材、２６…第１シール部、２７…仕切り板、２７ａ…孔、２７ｂ…スリット、２８ａ，２８ｂ…固定部材。

Claims (6)

1. 上端にダミー棒が連結され且つ上部に縮径部が存在するガラス母材と線引炉の上端開口部との間の隙間を、シール機構によりシールしながら、前記線引炉の内部及び前記上端開口部に連結された上部チャンバの内部に前記ガラス母材を吊り下げ降下させ、光ファイバの線引きを行う光ファイバの製造方法であって、
   前記シール機構は、前記上部チャンバの内部で前記ガラス母材の直胴部をシールするための第１シール部と、前記ダミー棒を挿通させた状態で前記上部チャンバの上端を塞いでシールするための第２シール部と、前記上部チャンバの内部における該第２シール部と前記第１シール部との間に配設された仕切り板と、を有し、
   線引き開始時には、前記第１シール部により前記直胴部をシールし、前記ガラス母材の下降に伴い少なくとも前記縮径部が前記第１シール部を通過し始める以降には、前記第２シール部で前記上部チャンバの上端をシールし、前記仕切り板により前記上部チャンバ内の空間を仕切りながら前記線引きを行う、光ファイバの製造方法。
2. 前記第１シール部と前記仕切り板との間の距離は、前記縮径部におけるテーパ部の高さと略同じである、請求項１に記載の光ファイバの製造方法。
3. 前記仕切り板は、中央部に孔が空いた同心円状の板であり、内周側にスリットが切り込まれ、撓むことにより前記直胴部及び前記テーパ部を通過させる、請求項１又は２に記載の光ファイバの製造方法。
4. 前記仕切り板の前記中央部の前記孔は、前記ダミー棒の外径と略同じ径をもつ、請求項３に記載の光ファイバの製造方法。
5. 前記仕切り板はカーボン製である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光ファイバの製造方法。
6. 線引炉と、該線引炉の上端開口部に連結された上部チャンバと、上端にダミー棒が連結され且つ上部に縮径部が存在するガラス母材と前記上端開口部との間の隙間をシールするシール機構と、を備え、前記シール機構により前記隙間をシールしながら、前記線引炉の内部及び前記上部チャンバの内部に前記ガラス母材を吊り下げ降下させ、光ファイバの線引きを行う光ファイバの製造装置であって、
   前記シール機構は、前記上部チャンバの内部で前記ガラス母材の直胴部をシールするための第１シール部と、前記ダミー棒を挿通させた状態で前記上部チャンバの上端を塞いでシールするための第２シール部と、前記上部チャンバの内部における該第２シール部と前記第１シール部との間に配設された仕切り板と、を有し、
   線引き開始時には、前記第１シール部により前記直胴部をシールし、前記ガラス母材の下降に伴い少なくとも前記縮径部が前記第１シール部を通過し始める以降には、前記第２シール部で前記上部チャンバの上端をシールし、前記仕切り板により前記上部チャンバ内の空間を仕切る、光ファイバの製造装置。

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