JP2016025709A - ダイレクトドライブモータ、このダイレクトドライブモータの製造方法、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態について説明する前に、まず、ダイレクトドライブモータの構成について説明する。図1は、ダイレクトドライブモータ1の全体構成の一例を概略的に示す断面図である。図2は、図1に示すダイレクトドライブモータ1におけるステータ21を示す図である。図3は、図2に示すステータ21のB−B矢視図である。図4は、ステータ21を構成するステータコア25の内周コア251を示す図である。図5は、ステータ21を構成するステータコア25の外周コア252を示す図である。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
2 モータ部
3 回転検出器
4 ハウジング
5 軸受
5A 静止輪
5B 回転輪
5C 転動体
6 第1保護用カバー部材(金属製)
6a 第1保護用カバー部材(樹脂製)
7 絶縁用カバー部材(樹脂製)
7a リード線引出口
8 第2保護用カバー部材(金属製)
10 リード線
11 第1支持部材
12 第2支持部材
13 永久磁石
14 巻線
21 ステータ
22 ロータ
23 ティース
24 ヨーク
25 ステータコア
26 コイル
27 スロット
28 ボビン
30 コネクタ
41 第1ハウジング
42 第2ハウジング
200 搬送装置
201 搬送部
202 テーブル
251 内周コア
252 外周コア
300 検査装置
301 検査部
302 カメラ
400 工作機械
401 加工部
402 ロボットアーム
500 半導体製造装置
501 処理部
502 投影光学系
AX 回転軸
C1,C2 空間
Claims (17)
- 静止輪及び回転輪を有する軸受で構成される軸受部と、
複数のティースに巻線が巻回されたステータコアを有し、前記静止輪を支持するステータと、
前記回転輪に支持され、前記ステータに対して回転可能に設けられたロータと、
前記ロータの回転を検出する回転検出器と、
前記回転検出器と前記軸受部と前記ステータ及び前記ロータで構成されるモータ部とを前記ロータの回転軸に対して径方向に並べて保持すると共に、前記ステータの径方向一端部を保持し、該ステータの軸方向端部の一方面に対向しつつ径方向他端部側に延びて形成された金属製のハウジングと、
電気的絶縁性を有し、少なくとも前記ステータの軸方向端部の一方面と前記ハウジングとの間に設けられたカバーと、
を備えるダイレクトドライブモータ。 - 前記ティースの軸方向最小幅は、前記軸受部の軸方向最大幅よりも大きい
請求項1に記載のダイレクトドライブモータ。 - 前記軸受部の軸方向最大幅部が軸方向に占める位置は、前記ティースの軸方向最小幅部が軸方向に占める位置の範囲内である請求項2に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記ダイレクトドライブモータの軸方向の高さに対し、前記ティースの軸方向最小幅部が25%以上50%以下の範囲で規定された請求項2または3に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記ステータの内側に前記ロータを有するインナーロータ型のダイレクトドライブモータであって、
前記ハウジングは、
前記ステータを前記ステータコアの径方向外縁部で保持し、前記軸受を前記静止輪の径方向内縁部で保持すると共に、前記回転検出器が径方向内縁部に設けられた円環状のステータハウジングと、
前記ロータが径方向外縁部に形成され、前記軸受を前記回転輪の径方向外縁部で保持する円環状のロータハウジングと、
を含む請求項1から4の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。 - 前記カバーは、前記ステータの軸方向端部の他方面にさらに設けられた請求項1から5の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記カバーは、樹脂製のカバーである請求項1から6の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記カバーと前記巻線との間に放熱グリスが充填されている請求項1から7の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 複数の前記ティースは、それぞれ前記巻線がボビンに巻回されたコイルを支持しており、前記カバーは、複数の前記ティースに設けられた各前記ボビンの少なくとも径方向一方端に嵌合され保持されている請求項1から8の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記軸受は、クロスローラ軸受である請求項1から9の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記軸受部は、複数個の前記軸受が軸方向に複数段重ねられて構成された請求項1から10の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記ステータコアは、円環状の部材と、該円環状の部材から径方向に突出した前記複数のティースとが一体的に形成されて構成された請求項1から11の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 静止輪及び回転輪を有する軸受で構成される軸受部と、円環状のステータコアに設けられた複数のティースに巻線が巻回されたステータと、前記ステータの内側に配置され、前記軸受部を介して前記ステータに対し回転可能に設けられた円環状のロータと、前記ステータを前記ステータコアの径方向外縁部で保持すると共に、前記軸受を前記静止輪の径方向内縁部で保持する円環状のステータハウジングと、前記ロータが径方向外縁部に形成され、前記軸受を前記回転輪の径方向外縁部で保持する円環状のロータハウジングと、前記ステータハウジングに面する前記ステータの軸方向端部の一方面に設けられた電気的絶縁性を有する絶縁用カバーと、前記ステータの軸方向端部の他方面に設けられた電気的絶縁性を有する保護用カバーと、を備えたインナーロータ型のダイレクトドライブモータの製造方法であって、
前記ステータハウジング上に前記絶縁用カバーを配置する工程と、
前記ステータハウジング上で位置決めした前記絶縁用カバー上に前記ステータを配置して、前記絶縁用カバーと前記ステータとを嵌合させる工程と、
前記ステータハウジングと前記ステータとを固定する工程と、
前記ステータハウジングに固定された前記ステータ上に前記保護用カバーを配置して、前記保護用カバーと前記ステータとを嵌合させる工程と、
前記保護用カバーの径方向外側端部を前記ステータコアと共に前記ステータハウジングに固定する工程と、
を有するダイレクトドライブモータの製造方法。 - 請求項1から12の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により物体を搬送する搬送部と、
を備える搬送装置。 - 請求項1から12の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を検査する検査部と、
を備える検査装置。 - 請求項1から12の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を加工する加工部と、
を備える工作機械。 - 請求項1から12の何れか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を処理する処理部と、
を備える半導体製造装置。
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