JP6303874B2 - ダイレクトドライブモータ、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、ダイレクトドライブモータ、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置に関する。

ダイレクトドライブモータは、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達する。ダイレクトドライブモータは、動力を発生するモータ部と、モータ部の回転を検出する回転検出器と、モータ部及び回転検出器を保持するハウジングと、を備えている。モータ部は、電力を供給するケーブルと接続される。回転検出器は、検出信号を出力するケーブルと接続される。

特許文献１、特許文献２、及び特許文献３に開示されているように、ケーブルは、クランプのような固定部材を用いて固定される。特許文献１は、カバーの外面から突出するクランプを用いて、コイルに接続されるパワーケーブルを固定する構造を開示する。特許文献２及び特許文献３は、検出器カバーの外面から突出するクランプを用いて、回転検出器に接続される検出器ケーブルを固定する構造を開示する。

実開平０１−１０５３５６号公報 特開２００３−２７４５９７号公報 特開２００３−２７４５９８号公報

ケーブルを固定するための固定部材がハウジング（カバー）の外面から突出すると、ダイレクトドライブモータの占有空間が大型化する可能性がある。占有空間が大型化したダイレクトドライブモータが、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置に使用された場合、それら搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置の小型化が困難となる可能性がある。

本発明の態様は、大型化を抑制できるダイレクトドライブモータを提供することを目的とする。また、本発明の態様は、大型化を抑制できる搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様は、ステータと、前記ステータに対して回転可能なロータと、を有するモータ部と、前記モータ部の回転を検出する回転検出器と、前記モータ部及び前記回転検出器を保持するハウジングと、少なくとも一部が前記ハウジングの外面に設けられた孔に配置されるケーブルと、前記孔の内側に配置され、前記ケーブルを固定する固定機構と、を備えるダイレクトドライブモータを提供する。

本発明の第１の態様によれば、ケーブルが配置されるハウジングの孔の内側に固定機構が設けられるので、固定機構がハウジングの外面から突出することが抑制される。したがって、ダイレクトドライブモータの占有面積の大型化が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記固定機構は、前記ケーブルの外面に固定されるクランプ部材と、前記孔の内側に配置され前記クランプ部材が前記孔の端部から前記ハウジングの外側に出ないように前記クランプ部材を支持する支持部と、を含んでもよい。

これにより、固定機構はハウジングの外面から突出することを抑制されつつ、ケーブルを十分に固定できる。

本発明の第１の態様において、前記クランプ部材は、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部との間の中間部と、を含み、前記ケーブルの外面の第１部位に前記第１端部が固定され、前記ケーブルの中心軸と平行な方向に関して前記第１部位とは異なる前記ケーブルの外面の第２部位に前記第２端部が固定されるように、前記クランプ部材の前記中間部が曲げられてもよい。

これにより、ケーブルは、クランプ部材の第１端部と第２端部とで十分に固定される。

本発明の第１の態様において、前記ケーブルは、リード線と、前記リード線の周囲に配置され前記リード線よりも軟らかい保護部材と、を含み、前記クランプ部材は、前記保護部材に食い込むように曲げられてもよい。

これにより、リード線の損傷が抑制されつつ、ケーブルは十分に固定される。

本発明の第１の態様において、前記支持部は、前記孔の内面に設けられ塑性変形可能な突起部を含み、前記突起部は、前記孔の内側に配置された前記クランプ部材の下部を支持するように変形されてもよい。

これにより、クランプ部材が孔の外側に出てしまうことが十分に抑制される。

本発明の第１の態様において、前記クランプ部材は、筒状の部材であり、前記クランプ部材の外面に設けられ前記クランプ部材の中心軸と平行なスリット部を有してもよい。

これにより、クランプ部材は変形し易くなり、ケーブルを安定して保持することができる。

本発明の第２の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により物体を搬送する搬送部と、を備える搬送装置を提供する。

本発明の第２の態様によれば、搬送装置の大型化が抑制される。

本発明の第３の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を検査する検査部と、を備える検査装置を提供する。

本発明の第３の態様によれば、検査装置の大型化が抑制される。

本発明の第４の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を加工する加工部と、を備える工作機械を提供する。

本発明の第４の態様によれば、工作機械の大型化が抑制される。

本発明の第５の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を処理する処理部と、を備える半導体製造装置を提供する。

本発明の第５の態様によれば、半導体製造装置の大型化が抑制される。

本発明の態様によれば、大型化を抑制できるダイレクトドライブモータが提供される。また、本発明の態様によれば、大型化を抑制できる搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置が提供される。

図１は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータの一例を示す断面図である。 図２は、本実施形態に係る固定機構の一例を示す断面図である。 図３は、図２を下方から見た図である。 図４は、変形前のクランプ部材の一例を示す斜視図である。 図５は、変形後のクランプ部材の一例を示す斜視図である。 図６は、クランプ部材を変形させる処理の一例を示す模式図である。 図７は、本実施形態に係るケーブルを孔に固定する方法の一例を示すフローチャートである。 図８は、本実施形態に係るケーブルを孔に固定する方法の一例を説明するための模式図である。 図９は、本実施形態に係るケーブルを孔に固定する方法の一例を説明するための模式図である。 図１０は、クランプ部材の一例を示す斜視図である。 図１１は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える検査装置の一例を示す図である。 図１２は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える工作機械の一例を示す図である。 図１３は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える半導体製造装置の一例を示す図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１の一例を示す断面図である。ダイレクトドライブモータ１は、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達する。

図１に示すように、ダイレクトドライブモータ１は、対象物を回転させるための動力を発生するモータ部２と、モータ部２の回転を検出する回転検出器３と、モータ部２及び回転検出器３を保持するハウジング４と、モータ部２と接続されるケーブル１０Ａと、回転検出器３と接続されるケーブル１０Ｂと、ダイレクトドライブモータ１を制御する制御装置９とを備えている。

モータ部２は、ステータ２１と、ステータ２１に対して回転可能なロータ２２とを有する。ロータ２２は、回転軸ＡＸを中心に回転する。

本実施形態において、ダイレクトドライブモータ１は、アウターロータ型である。ロータ２２は、ステータ２１の周囲に配置される。回転軸ＡＸに対して、ロータ２２は、ステータ２１の外側に配置される。

ステータ２１は、ステータコア２１Ａと、ステータコア２１Ａに支持されるコイル２１Ｂとを有する。ステータコア２１Ａは、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置されるティースを有する。コイル２１Ｂは、複数設けられる。コイル２１Ｂは、ステータコア２１Ａの複数のティースのそれぞれに支持される。

ロータ２２は、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置された永久磁石を含む。ステータ２１とロータ２２とは、間隙を介して対向する。

回転検出器３は、モータ部２の回転を検出する。回転検出器３は、レゾルバを含み、モータ部２のロータ２２の回転速度、回転方向、及び回転角度の少なくとも一つを検出する。本実施形態において、回転検出器３は、アブソリュートレゾルバ及びインクリメンタルレゾルバの２種類のレゾルバを含む。

ハウジング４は、第１ハウジング４１と、回転軸ＡＸに対して第１ハウジング４１の外側に配置される第２ハウジング４２とを含む。第１ハウジング４１は、環状の部材である。第２ハウジング４２は、環状の部材である。本実施形態において、第１ハウジング４１及び第２ハウジング４２はそれぞれ、円筒状の部材である。第１ハウジング４１の中心軸と、第２ハウジング４２の中心軸と、回転軸ＡＸとは、一致する。

本実施形態において、第１ハウジング４１は、回転軸ＡＸと平行に配置された２つの円筒状の部材を含む。第２ハウジング４２は、回転軸ＡＸと平行に配置された２つの円筒状の部材を含む。なお、第１ハウジング４１は、１つの円筒状の部材でもよいし、３つ以上の円筒状の部材でもよい。第２ハウジング４２についても同様である。

ステータ２１及びロータ２２を含むモータ部２は、第１ハウジング４１と第２ハウジング４２との間に配置される。ステータ２１は、第１ハウジング４１と接続される。ステータ２１は、第１ハウジング４１の外面に固定される。ロータ２２は、第２ハウジング４２と接続される。ロータ２２は、第２ハウジング４２の内面に固定される。

第１ハウジング４１と第２ハウジング４２との間に軸受５が配置される。軸受５は、内輪５Ａと、外輪５Ｂと、内輪５Ａと外輪５Ｂとの間に配置される転動体５Ｃとを有する。内輪５Ａは、第１ハウジング４１と接続される。外輪５Ｂは、第２ハウジング４２と接続される。軸受５により、第２ハウジング４２は、第１ハウジング４１に対して、回転軸ＡＸを中心に回転可能に支持される。

本実施形態においては、モータ部２、軸受５、及び回転検出器３は、回転軸ＡＸと平行な方向に配置される。これにより、回転軸ＡＸに対する放射方向に関するダイレクトドライブモータ１の寸法の増大が抑制され、ハウジング４の設置面積(フットプリント)の増大が抑制される。

ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、第１ハウジング４１に対して第２ハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。

以下の説明において、第１ハウジング４１を適宜、ハウジングインナ４１、と称し、第２ハウジング４２を適宜、ロータフランジ４２、と称する。

ダイレクトドライブモータ１は、回転軸ＡＸと平行な方向に関してハウジング４の一端部（下端部）に配置された第１カバー部材６と、回転軸ＡＸと平行な方向に関してハウジング４の他端部（上端部）に配置された第２カバー部材８とを有する。

モータ部２は、ハウジング４と第１カバー部材６との間に配置される。回転検出器３は、ハウジング４と第２カバー部材８との間に配置される。第１カバー部材６は、モータ部２を保護する。第２カバー部材８は、回転検出器３を保護する。

ステータ２１は、ケーブル１０Ａと接続される。ケーブル１０Ａを介して、ステータ２１のコイル２１Ｂに電力が供給される。コイル２１Ｂに電力が供給されると、フレミングの左手の法則に従って、ロータ２２及びロータ２２と接続されたロータフランジ４２が回転する。

回転検出器３は、ケーブル１０Ｂと接続される。回転検出器３の検出信号は、ケーブル１０Ｂを介して制御装置９に出力される。

以下の説明において、ケーブル１０Ａ及びケーブル１０Ｂを合わせて適宜、ケーブル１０、と総称する。ケーブル１０は、ハウジング４に保持されたダイレクトドライブモータ１の機器と接続される。本実施形態において、ダイレクトドライブモータ１の機器は、モータ部２及び回転検出器３の少なくとも一方を含む。

ロータフランジ４２にワーク（不図示）が接続される。モータ部２の作動によりロータフランジ４２が回転すると、ロータフランジ４２と一緒にワークが回転する。ロータフランジ４２は、モータ部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。

制御装置９は、ステータ２１のコイル２１Ｂに供給する電力を調整する。回転検出器３の検出信号は、ケーブル１０（１０Ｂ）を介して、制御装置９に出力される。制御装置９は、回転検出器３の検出信号に基づいて、コイル２１Ｂに供給する電力を調整する。制御装置９により調整された電力は、ケーブル１０（１０Ａ）を介して、モータ部２のコイル２１Ｂに供給される。これにより、ロータフランジ４２に接続されたワークは、目標角度で回転可能であり、目標位置に位置決めされる。

ハウジング４は、孔１１を有する。孔１１の端部は、ハウジング４の外面に設けられる。ケーブル１０の少なくとも一部は、孔１１に配置される。本実施形態において、孔１１の端部（下端部）は、ハウジング４のハウジングインナ４１の外面（下面）１２に設けられる。

孔１１は、ハウジング４の内部空間とハウジング４の外部空間とを結ぶように、ハウジング４（ハウジングインナ４１）に設けられる。ハウジング４の内部空間に、モータ部２及び回転検出器３が配置される。ハウジング４の内部空間は、ハウジング４と第１カバー部材６との間の空間を含む。ハウジング４の内部空間は、ハウジング４と第２カバー部材８との間の空間を含む。ハウジング４と第１カバー部材６との間の空間にモータ部２が配置される。ハウジング４と第２カバー部材８との間の空間に回転検出器３が配置される。

ケーブル１０の一部は、ハウジング４の内部空間に配置される。ケーブル１０の一部は、ハウジング４の外部空間に配置される。ケーブル１０の一部は、ハウジングインナ４１の下面１２から外側に出ている。

ダイレクトドライブモータ１は、ケーブル１０を固定する固定機構５０を備えている。固定機構５０の少なくとも一部は、孔１１の内側に配置される。

図２は、図１の固定機構５０の近傍を拡大した図である。図３は、図２を下面１２側から見た図である。図１、図２、及び図３に示すように、固定機構５０は、ケーブル１０の外面に固定されるクランプ部材５１と、孔１１の内側に配置され、クランプ部材５１を支持する支持部５２とを有する。

図２に示すように、ケーブル１０は、リード線１０１と、リード線１０１の周囲に配置された保護部材１０２とを有する。リード線１０１は、導体であり、電気信号及び電気エネルギーを伝達可能である。ケーブル１０Ａのリード線１０１を介して、コイル２１Ｂに電力が供給される。ケーブル１０Ｂのリード線１０１を介して、回転検出器３の検出信号が出力される。

保護部材１０２は、リード線１０１を保護する。保護部材１０２は、チューブ状の部材であり、リード線１０１の周囲に配置される。保護部材１０２を、保護チューブ１０２、と称してもよい。保護部材１０２は、リード線１０１よりも軟らかい。本実施形態において、リード線１０１は、金属製である。保護部材１０２は、リード線１０１の金属よりも軟らかい合成樹脂製である。

クランプ部材５１は、ケーブル１０の周囲に配置される。クランプ部材５１は、筒状（スリーブ状）の部材である。クランプ部材５１は、塑性変形可能である。クランプ部材５１は、合成樹脂製でもよいし、アルミニウムのような軟らかい軽金属製でもよい。クランプ部材５１は、外力の作用により、曲がることができる。

クランプ部材５１は、曲げられている。クランプ部材５１は、上端部（第１端部）５１Ａと、下端部（第２端部）５１Ｂと、上端部５１Ａと下端部５１Ｂとの間の中間部５１Ｃとを含む。クランプ部材５１の中間部５１Ｃが曲げられている。クランプ部材５１がケーブル１０の周囲に配置された状態で、中間部５１Ｃが曲げられることによって、クランプ部材５１の少なくとも一部とケーブル１０とが接触する。これにより、ケーブル１０の外面にクランプ部材５１が固定される。

本実施形態において、クランプ部材５１は、ケーブル１０の保護部材１０２の外面に固定される。クランプ部材５１が保護部材１０２の周囲に配置された状態で、中間部５１Ｃが曲げられることによって、クランプ部材５１の少なくとも一部と保護部材１０２とが接触する。これにより、保護部材１０２の外面にクランプ部材５１が固定される。

上述したように、保護部材１０２は、合成樹脂製であり、軟らかい。クランプ部材５１は、保護部材１０２に食い込むことができる。本実施形態において、クランプ部材５１は、保護部材１０２に食い込むように曲げられる。

本実施形態においては、ケーブル１０の保護部材１０２の外面の第１部位１０２Ａにクランプ部材５１の上端部５１Ａが固定され、ケーブル１０の中心軸ＢＸと平行な方向に関して第１部位１０２Ａとは異なるケーブル１０の保護部材１０２の外面の第２部位１０２Ｂにクランプ部材５１の下端部５１Ｂが固定されるように、クランプ部材５１の中間部５１Ｃが曲げられる。

すなわち、本実施形態においては、クランプ部材５１の上端部５１Ａ及び下端部５１Ｂが保護部材１０２に食い込む。本実施形態においては、クランプ部材５１が保護部材１０２に食い込むものの、保護部材１０２の破損の抑制、及び保護部材１０２の内側に配置されているリード線１０１の損傷の抑制のために、上端部５１Ａ及び下端部５１Ｂは、面取り（Ｃ面取り）されている。なお、上端部５１Ａ及び下端部５１Ｂが、丸み面取り（Ｒ面取り）されてもよい。

支持部５２は、クランプ部材５１の下部を支持する。支持部５２は、孔１１の下端部において、孔１１の内面に設けられる。支持部５２は、孔１１の内面から孔１１の中心に向かって突出する突起部を含む。本実施形態において、支持部５２は、孔１１の中心軸を囲む円筒状の部材である。

支持部５２は、クランプ部材５１が孔１１の下端部からハウジング４の外側に出ないようにクランプ部材５１を支持する。換言すれば、支持部５２は、クランプ部材５１がハウジングインナ４１の下面１２よりも下方に配置されないように、クランプ部材５１を保持する。

本実施形態において、支持部５２は、孔１１の内面に設けられ塑性変形可能な突起部を含む。支持部（突起部）５２は、孔１１の内側に配置されたクランプ部材５１の下部を支持するように塑性変形される。支持部５２が曲げ加工され、塑性変形されることによって、クランプ部材５１の下方に支持部５２が配置される。

図４は、本実施形態に係るクランプ部材５１の一例を示す斜視図である。図４は、変形前のクランプ部材５１を示す。図４に示すように、クランプ部材５１は、円筒状の部材である。クランプ部材５１の上端部５１Ａ及び下端部５１Ｂはそれぞれ、面取りされている。

クランプ部材５１の内径は、ケーブル１０（保護部材１０２）の外径よりも大きい。保護部材１０２は、変形前のクランプ部材５１の内側に円滑に配置可能である。保護部材１０２が変形前のクランプ部材５１の内側に配置された状態で、保護部材１０２とクランプ部材５１とは相対移動可能である。

図５は、本実施形態に係るクランプ部材５１の一例を示す斜視図である。図５は、変形後のクランプ部材５１を示す。保護部材１０２が変形前のクランプ部材５１の内側に配置された状態で、クランプ部材５１の中間部５１Ｃが曲げられるようにクランプ部材５１が変形されることにより、図５に示すように、保護部材１０２の外面の第１部位１０２Ａにクランプ部材５１の上端部５１Ａが固定され、保護部材１０２の外面の第２部位１０２Ｂにクランプ部材５１の下端部５１Ｂが固定される。クランプ部材５１の上端部５１Ａは、保護部材１０２に食い込む。クランプ部材５１の下端部５１Ｂは、保護部材１０２に食い込む。クランプ部材５１が曲げ加工されることにより、保護部材１０２に固定され、保護部材１０２とクランプ部材５１とは相対移動不可能になる。

図６は、工具１４を使ってクランプ部材５１を変形させる処理の一例を示す図である。工具１４は、クランプ部材５１の曲げ加工を実施可能である。クランプ部材５１の曲げ加工は、加締め加工を含む。工具１４を、加締め工具１４、と称してもよい。クランプ部材５１は、工具１４によって曲げ変形される。

クランプ部材５１は、円筒状の部材である。図４を参照して説明したように、保護部材１０２は、変形前のクランプ部材５１の内側に円滑に配置可能である。保護部材１０２が変形前のクランプ部材５１の内側に配置された状態で、保護部材１０２とクランプ部材５１とは相対移動可能である。クランプ部材５１の加締め加工において、変形前のクランプ部材５１が保護部材１０２の周囲に配置される。

工具１４は、円筒状の部材である。変形前のクランプ部材５１が保護部材１０２の周囲に配置された状態で、そのクランプ部材５１の周囲に工具１４が配置される。工具１４の内側に保護部材１０２及び変形前のクランプ部材５１が挿入されることによって、クランプ部材５１の周囲に工具１４が配置される。

クランプ部材５１が保護部材１０２の周囲に配置された状態で、そのクランプ部材５１が工具１４とクランプねじ部材１５との間に配置される。工具１４を介してクランプ部材５１に外力が作用することにより、クランプ部材５１が曲げられ、保護部材１０２に固定される。

工具１４は、クランプ部材５１よりも硬く、強度が高い材料で形成される。クランプ部材５１と接触する工具１４の内面は、斜面を含み、工具１４の内径は徐々に細くなるテーパ状である。これにより、工具１４は、クランプ部材５１を所期の形状に変形可能である。また、工具１４の内面に、十字状又は一字状の溝が設けられている。これにより、工具１４はクランプ部材５１を円滑にねじ込むことができる。

次に、ケーブル１０を孔１１に固定する方法の一例について、図７のフローチャート、及び図８、図９の模式図を参照して説明する。

ケーブル１０の保護部材１０２にクランプ部材５１が固定される（ステップＳ１）。図５及び図６等を参照して説明したように、保護部材１０２の周囲にクランプ部材５１が配置された状態で、クランプ部材５１の曲げ加工が実施されることによって、ケーブル１０の保護部材１０２にクランプ部材５１が固定される。

次に、図８に示すように、ケーブル１０及びクランプ部材５１が孔１１に配置される（ステップＳ２）。すなわち、クランプ部材５１が固定されたケーブル１０が孔１１に挿入される。ケーブル１０及びクランプ部材５１は、孔１１に圧入されてもよい。なお、ケーブル１０及びクランプ部材５１と孔１１との間に間隙が設けられてもよい。

ケーブル１０及びクランプ部材５１を孔１１に配置する処理において、支持部５２は未だ変形されていない。支持部５２が変形前において、孔１１の内径は、クランプ部材５１の外径よりも大きい。したがって、孔１１の内側にケーブル１０及びクランプ部材５１を配置することができる。

また、図８に示すように、孔１１は、クランプ部材５１と接触可能な面１６を有する。面１６は、下方を向く。面１６とクランプ部材５１とが接触することにより、クランプ部材５１及びそのクランプ部材５１に固定されている保護部材１０２が位置決めされる。

ケーブル１０及びクランプ部材５１が孔１１に配置された後、図９に示すように、支持部５２の曲げ加工が実施される（ステップＳ３）。本実施形態においては、加締め工具により、支持部５２の加締め加工が実施される。支持部５２の先端部（下端部）が孔１１の内側を向き、支持部５２の内面が上方を向くように、支持部５２の加締め加工が実施される。これにより、支持部５２が変形（塑性変形）される。支持部５２により、クランプ部材５１が固定される。以上の処理により、ケーブル１０が孔１１に固定される。

以上説明したように、本実施形態によれば、ケーブル１０が配置されるハウジング４の孔１１の内側に固定機構５０が設けられるので、固定機構５０がハウジング４（ハウジングインナ４１）の下面１２から突出することが抑制される。したがって、ダイレクトドライブモータ１の占有面積の大型化が抑制される。特に、回転軸ＡＸと平行な方向に関するダイレクトドライブモータ１の寸法の大型化が抑制される。

ダイレクトドライブモータ１の下面１２が、構造物の支持面に支持される場合が多い。すなわち、下面１２が、構造物の支持面に取り付けられる取付け面として機能する場合が多い。ケーブル１０を固定するための固定部材が下面１２から突出すると、その固定部材を配置するための空間を構造物に設ける必要が生じ、構造物に対して煩雑な加工を強いることとなる。本実施形態によれば、固定機構５０が下面１２から突出することが抑制されているため、構造物に対して実施する加工は最小限の加工で済む。

また、本実施形態によれば、固定機構５０は、ケーブル１０の外面に固定されるクランプ部材５１と、孔１１の内側に配置されクランプ部材５１が孔１１の下端部からハウジング４の外側に出ないようにクランプ部材５１を支持する支持部５２と、を含む。

これにより、固定機構５０はハウジング４の下面１２から突出することを抑制されつつ、ケーブル１１を十分に固定できる。クランプ部材５１とケーブル１０とは、工具１４を使った簡単な加工で実施できる。

また、本実施形態によれば、クランプ部材５１は、上端部５１Ａと、下端部５１Ｂと、中間部５１Ｃと、を含み、ケーブル１０の外面の第１部位１０２Ａに上端部５１Ａが固定され、ケーブル１０の外面の第２部位１０２Ｂに下端部５１Ｂが固定されるように、中間部５１Ｃが曲げられる。

これにより、ケーブル１０とクランプ部材１０とは、上端部５１Ａと下端部５１Ｂとで十分に固定される。

また、本実施形態によれば、ケーブル１０は、リード線１０１と、リード線１０１の周囲に配置されリード線１０１よりも軟らかい保護部材１０２と、を含み、クランプ部材５１は、保護部材１０２に食い込むように変形される。

これにより、リード線１０１の損傷が抑制されつつ、ケーブル１０とクランプ部材５１とは十分に固定される。

また、本実施形態によれば、支持部５２は、孔１１の内面に設けられ塑性変形可能な突起部を含み、支持部（突起部）５２は、孔１１の内側に配置されたクランプ部材５１の下部を支持するように変形される。

これにより、ケーブル１０の外面よりも外側に突出するクランプ部材５１を支持部５２で支持して、クランプ部材５１が孔１１の外側に出てしまうことが十分に抑制される。

図１０は、クランプ部材５１の変形例である。図１０に示すように、クランプ部材５１の外面に、スリット部１３が設けられてもよい。スリット部１３は、クランプ部材５１の中心軸と平行に設けられる。スリット部１３は、クランプ部材５１の中心軸の周囲に複数設けられる。スリット部１３が設けられることにより、クランプ部材５１は変形し易くなり、保護部材１０２と十分に固定される。なお、スリット部１３を、すり割り部１３、と称してもよい。

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１１は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１を備える検査装置３００の一例を示す図である。検査装置３００は、検査対象の物体Ｗ１を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ１を検査する検査部３０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１と、ダイレクトドライブモータ１の作動により物体Ｗ１を搬送する搬送部２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１の下面１２は、検査装置３００のベース部材３０２に接続される。

搬送部２０１は、ダイレクトドライブモータ１のロータフランジ４２と接続されたテーブルを含む。テーブル２０１は、検査対象の物体Ｗ１を支持する。テーブル２０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により回転する。テーブル２０１が回転することにより、そのテーブル２０１に支持されている物体Ｗ１は移動する。

検査部３０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により移動する物体Ｗ１を検査する。本実施形態において、検査部３０１は、テーブル２０１に支持された物体Ｗ１の画像を取得するカメラを含む。カメラ３０１で撮影された物体Ｗ１の画像に基づいて、物体Ｗ１の検査が実施される。

搬送装置２００は、カメラ３０１の視野領域に物体Ｗ１を移動する。カメラ３０１は、搬送装置２００により視野領域に配置された物体Ｗ１の画像を取得する。

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ１をカメラ３０１の視野領域に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、検査装置３００の検査精度の低下が抑制される。また、検査装置３００の小型化が実現される。また、下面１２から固定機構５０が突出していないため、下面１２を支持するベース部材３０２に煩雑な加工を施さなくて済む。

＜第３実施形態＞
第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１２は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１を備える工作機械４００の一例を示す図である。工作機械４００は、加工対象の物体Ｗ２を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ２を加工する加工部４０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１と、ダイレクトドライブモータ１の作動により物体Ｗ２を搬送する搬送部（テーブル）２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１の下面１２は、工作機械４００のベース部材４０２に接続される。

テーブル２０１は、ダイレクトドライブモータ１のロータフランジ４２と接続される。物体Ｗ２は、テーブル２０１に支持される。テーブル２０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により回転する。テーブル２０１が回転することにより、そのテーブル２０１に支持されている物体Ｗ２は移動する。

加工部４０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により移動する物体Ｗ２を加工する。本実施形態において、加工部４０１は、テーブル２０１に支持された物体Ｗ２に部品Ｂを搭載するロボットアームを含む。

搬送装置２００は、ロボットアーム４０１の可動範囲に物体Ｗ２を移動する。ロボットアーム４０１は、搬送装置２００により可動範囲に配置された物体Ｗ２に部品Ｂを搭載する。

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ２をロボットアーム４０１の可動範囲に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、工作機械４００の加工精度の低下が抑制される。また、工作機械４００の小型化が実現される。また、下面１２を支持するベース部材４０２に煩雑な加工を施さなくて済む。

＜第４実施形態＞
第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１３は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１を備える半導体製造装置５００の一例を示す図である。半導体製造装置５００は、処理対象の物体Ｗ３を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ３を処理する処理部５０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１と、物体Ｗ３を搬送する搬送部（テーブル）２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１の下面１２は、半導体製造装置５００のベース部材５０２に接続される。

半導体製造装置５００は、半導体デバイスを製造可能な半導体デバイス製造装置である。半導体製造装置５００は、半導体デバイスの製造工程の少なくとも一部において使用される。物体Ｗ３は、半導体デバイスを製造するための物体である。

本実施形態において、物体Ｗ３は、半導体デバイスを製造するための基板である。物体Ｗ３から半導体デバイスが製造される。物体Ｗ３は、半導体ウエハを含んでもよいし、ガラス板を含んでもよい。物体Ｗ３にデバイスパターン（配線パターン）が形成されることによって、半導体デバイスが製造される。

半導体製造装置５００は、搬送装置２００により処理位置に配置された物体Ｗ３に対して、処理部５０１を用いて、デバイスパターンを形成するための処理を行う。

例えば、半導体製造装置５００が、投影光学系を介してデバイスパターンの像を物体Ｗ３に投影する露光装置を含む場合、処理部５０１は、投影光学系を含み、処理位置は、投影光学系５０１から射出される露光光の照射位置を含む。

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ３を処理部５０１の処理位置に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、半導体製造装置５００の処理精度の低下が抑制される。また、半導体製造装置５００の小型化が実現される。また、下面１２を支持するベース部材５０２に煩雑な加工を施さなくて済む。

なお、上述の各実施形態においては、クランプ部材５１が円筒状の部材であることとした。クランプ部材５１が、ケーブル１０の周囲に複数配置されてもよい。複数のクランプ部材５１が変形されることによって、クランプ部材５１とケーブル１０とが固定される。

なお、上述の各実施形態においては、支持部５２が孔１１の内面から突出し、変形されることによってクランプ部材５１の下部を支持することとした。支持部５２が、ハウジング４とは別の部材であり、孔１１に挿入され、孔１１の内面に固定されることによって、クランプ部材５１の下部を支持してもよい。

なお、上述の各実施形態においては、ケーブル１０が保護部材１０２を有することとした。ケーブル１０は保護部材１０２を有しなくてもよい。クランプ部材５１がリード線１０１に固定されてもよい。

なお、上述の各実施形態においては、ダイレクトドライブモータ１がアウターロータ型であることとした。ダイレクトドライブモータ１は、インナーロータ型でもよい。

１ ダイレクトドライブモータ
２ モータ部
３ 回転検出器
４ ハウジング
５ 軸受
５Ａ 内輪
５Ｂ 外輪
５Ｃ 転動体
６ 第１カバー部材
８ 第２カバー部材
９ 制御装置
１０ ケーブル
１１ 孔
１２ 下面（外面）
１３ スリット部
１４ 工具
２１ ステータ
２１Ａ ステータコア
２１Ｂ コイル
２２ ロータ
４１ 第１ハウジング（ハウジングインナ）
４２ 第２ハウジング（ロータフランジ）
５０ 固定機構
５１ クランプ部材
５１Ａ 上端部
５１Ｂ 下端部
５１Ｃ 中間部
５２ 支持部
１０１ リード線
１０２ 保護部材（保護チューブ）
２００ 搬送装置
３００ 検査装置
３０１ 検査部
４００ 工作機械
４０１ 加工部
５００ 半導体製造装置
５０１ 処理部
ＡＸ 回転軸

Claims (8)

1. ステータと、前記ステータに対して回転可能なロータと、を有するモータ部と、
   前記モータ部の回転を検出する回転検出器と、
   前記モータ部及び前記回転検出器を保持するハウジングと、
   少なくとも一部が前記ハウジングの外面に設けられた孔に配置されるケーブルと、
   前記孔の内側に配置され、前記ケーブルを固定する固定機構と、を備え、
   前記固定機構は、前記ケーブルの外面に固定されるクランプ部材と、前記孔の内側に配置され前記クランプ部材が前記孔の端部から前記ハウジングの外側に出ないように前記クランプ部材を支持する支持部と、を含み、
   前記クランプ部材は、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部との間の中間部と、を含み、
   前記ケーブルの外面の第１部位に前記第１端部が固定され、前記ケーブルの中心軸と平行な方向に関して前記第１部位とは異なる前記ケーブルの外面の第２部位に前記第２端部が固定されるように、前記クランプ部材の前記中間部が曲げられるダイレクトドライブモータ。
2. ステータと、前記ステータに対して回転可能なロータと、を有するモータ部と、
   前記モータ部の回転を検出する回転検出器と、
   前記モータ部及び前記回転検出器を保持するハウジングと、
   少なくとも一部が前記ハウジングの外面に設けられた孔に配置されるケーブルと、
   前記孔の内側に配置され、前記ケーブルを固定する固定機構と、を備え、
   前記固定機構は、前記ケーブルの外面に固定されるクランプ部材と、前記孔の内側に配置され前記クランプ部材が前記孔の端部から前記ハウジングの外側に出ないように前記クランプ部材を支持する支持部と、を含み、
   前記ケーブルは、リード線と、前記リード線の周囲に配置され前記リード線よりも軟らかい保護部材と、を含み、
   前記クランプ部材は、前記保護部材に食い込むように曲げられるダイレクトドライブモータ。
3. ステータと、前記ステータに対して回転可能なロータと、を有するモータ部と、
   前記モータ部の回転を検出する回転検出器と、
   前記モータ部及び前記回転検出器を保持するハウジングと、
   少なくとも一部が前記ハウジングの外面に設けられた孔に配置されるケーブルと、
   前記孔の内側に配置され、前記ケーブルを固定する固定機構と、を備え、
   前記固定機構は、前記ケーブルの外面に固定されるクランプ部材と、前記孔の内側に配置され前記クランプ部材が前記孔の端部から前記ハウジングの外側に出ないように前記クランプ部材を支持する支持部と、を含み、
   前記支持部は、前記孔の内面に設けられ塑性変形可能な突起部を含み、
   前記突起部は、前記孔の内側に配置された前記クランプ部材の下部を支持するように変形されるダイレクトドライブモータ。
4. ステータと、前記ステータに対して回転可能なロータと、を有するモータ部と、
   前記モータ部の回転を検出する回転検出器と、
   前記モータ部及び前記回転検出器を保持するハウジングと、
   少なくとも一部が前記ハウジングの外面に設けられた孔に配置されるケーブルと、
   前記孔の内側に配置され、前記ケーブルを固定する固定機構と、を備え、
   前記固定機構は、前記ケーブルの外面に固定されるクランプ部材と、前記孔の内側に配置され前記クランプ部材が前記孔の端部から前記ハウジングの外側に出ないように前記クランプ部材を支持する支持部と、を含み、
   前記クランプ部材は、筒状の部材であり、
   前記クランプ部材の外面に設けられ前記クランプ部材の中心軸と平行なスリット部を有するダイレクトドライブモータ。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
   前記ダイレクトドライブモータの作動により物体を搬送する搬送部と、
   を備える搬送装置。
6. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
   前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を検査する検査部と、
   を備える検査装置。
7. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
   前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を加工する加工部と、
   を備える工作機械。
8. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
   前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を処理する処理部と、
   を備える半導体製造装置。

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