JP2016022544A - Mems素子 - Google Patents
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- バックチャンバーを備えた基板と、該基板上に、スペーサーを挟んで固定電極と可動電極とを配置することでエアーギャップが形成されたMEMS素子において、
前記可動電極は、絶縁部材と前記スペーサーとの間に挟持され、
該絶縁部材は、一端を前記基板と前記スペーサーとで挟持され、他端を前記基板の端部から前記バックチャンバー内に突出し、前記可動電極を前記絶縁部材の前記他端と前記スペーサーとで挟持していることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、前記絶縁部材は、円形あるいは多角形のリング形状の絶縁部材、あるいは前記リング形状の内部に円柱または角柱状の前記基板の一部が残る絶縁部材からなることを特徴とするMEMS素子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107857233A (zh) * | 2016-09-22 | 2018-03-30 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种mems器件及其制备方法和电子装置 |
JP2018118356A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 新日本無線株式会社 | Mems素子およびその製造方法 |
JP2019042872A (ja) * | 2017-09-02 | 2019-03-22 | 新日本無線株式会社 | Mems素子及びその製造方法 |
JP2020049628A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 新日本無線株式会社 | Mems素子およびその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060141656A1 (en) * | 2001-12-11 | 2006-06-29 | Alfons Dehe | Micromechanical sensors and methods of manufacturing same |
WO2009104389A1 (ja) * | 2008-02-20 | 2009-08-27 | オムロン株式会社 | 静電容量型振動センサ |
WO2009107389A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 国立大学法人東京大学 | 三環性化合物 |
JP2015532038A (ja) * | 2012-08-14 | 2015-11-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | Memsデバイスおよびその製造方法 |
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2014
- 2014-07-17 JP JP2014146856A patent/JP6356512B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060141656A1 (en) * | 2001-12-11 | 2006-06-29 | Alfons Dehe | Micromechanical sensors and methods of manufacturing same |
WO2009104389A1 (ja) * | 2008-02-20 | 2009-08-27 | オムロン株式会社 | 静電容量型振動センサ |
WO2009107389A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 国立大学法人東京大学 | 三環性化合物 |
JP2015532038A (ja) * | 2012-08-14 | 2015-11-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | Memsデバイスおよびその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107857233A (zh) * | 2016-09-22 | 2018-03-30 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种mems器件及其制备方法和电子装置 |
JP2018118356A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 新日本無線株式会社 | Mems素子およびその製造方法 |
JP2019042872A (ja) * | 2017-09-02 | 2019-03-22 | 新日本無線株式会社 | Mems素子及びその製造方法 |
JP2020049628A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 新日本無線株式会社 | Mems素子およびその製造方法 |
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