JP2016004829A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型のデバイスであってもエキスパンド分割が可能なウエーハの加工方法を提供すること。
【解決手段】ウエーハの加工方法は薄化工程とオゾン洗浄工程とレーザー光線照射工程とテープ貼着工程と分割工程を含む。薄化工程は薄化研削及び研磨を行いウエーハWを所定の厚みに薄化し裏面WRを平坦化する。オゾン洗浄工程は薄化工程実施後にウエーハWRの裏面WRに紫外線を照射してオゾン洗浄を行う。レーザー光線照射工程はウエーハW裏面WR側からウエーハW内部に集光点を位置付けて分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して内部に改質層を形成する。テープ貼着工程はオゾン洗浄工程及びレーザー光線照射工程実施後にウエーハWの裏面WRにエキスパンドテープを装着する。分割工程はウエーハWを分割予定ラインに沿って分割する。
【選択図】図3
【解決手段】ウエーハの加工方法は薄化工程とオゾン洗浄工程とレーザー光線照射工程とテープ貼着工程と分割工程を含む。薄化工程は薄化研削及び研磨を行いウエーハWを所定の厚みに薄化し裏面WRを平坦化する。オゾン洗浄工程は薄化工程実施後にウエーハWRの裏面WRに紫外線を照射してオゾン洗浄を行う。レーザー光線照射工程はウエーハW裏面WR側からウエーハW内部に集光点を位置付けて分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して内部に改質層を形成する。テープ貼着工程はオゾン洗浄工程及びレーザー光線照射工程実施後にウエーハWの裏面WRにエキスパンドテープを装着する。分割工程はウエーハWを分割予定ラインに沿って分割する。
【選択図】図3
Description
本発明は、環状のフレームに装着されたエキスパンドテープに貼着されたウエーハを、所定のストリートに沿って複数個のチップに分割するウエーハの加工方法に関する。
半導体デバイス製造工程では、略円板形状である半導体ウエーハの表面に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって区画された複数の領域に、ICやLSI等のデバイスを形成することが行われる。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによってデバイスが形成された領域毎にウエーハを分割加工し、個々のデバイスチップを製造することが行われている。また、サファイヤ基板等で形成される光デバイスウエーハも同様の分割加工がなされることが知られている。このような半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等を分割予定ラインに沿って分割する方法として、特許文献1に開示されるように、ウエーハに対して透過性を有する波長のパルス状の加工用レーザービーム(パルスレーザー光線)を照射してウエーハ内部に改質層を形成し、その後外力を与えて分割する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、上記レーザー加工方法を用いてストリートに沿って改質層が形成されたウエーハの裏面にダイボンディング用の接着フィルムを貼着し、この接着フィルムを介してウエーハをエキスパンドテープに貼着した後、エキスパンドテープを拡張することにより改質層が形成されることによって強度が低下せしめられたストリートに沿って個々のデバイスに分割されるとともに、接着フィルムを分割された各デバイスの外周縁に沿って破断する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかし、デバイスが小さい場合(例えば3mm×3mm 以下)、エキスパンドテープを拡張しても、所々でウエーハの裏面に貼着した接着フィルムやデバイスの分割が不十分となってしまう問題がある。
本発明は、上記問題にかんがみなされたもので、その目的は、小型のデバイスであってもエキスパンド分割が可能なウエーハの加工方法を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウエーハの加工方法は、表面に分割予定ラインに区画されてデバイスが形成されたウエーハの加工方法であって、ウエーハの裏面を薄化研削及び研磨を行い所定の厚みに薄化し裏面を平坦化する薄化工程と、該薄化工程を実施した後に、ウエーハの該裏面に紫外線を照射してオゾン洗浄を行うオゾン洗浄工程と、ウエーハ裏面側からウエーハ内部に集光点を位置付けて分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して内部に改質層を形成するレーザー光線照射工程と、該オゾン洗浄工程及び該レーザー光線照射工程を実施した後に、ウエーハの該裏面にエキスパンドテープを装着するテープ貼着工程と、該テープ貼着工程を実施した後に、該エキスパンドテープを拡張して該分割予定ラインに沿って形成された改質層に張力を作用させて、ウエーハを該分割予定ラインに沿って分割する分割工程とを含むことを特徴とする。
また、前記ウエーハの加工方法において、該テープ貼着工程において、ウエーハの該裏面にダイボンディング用の接着フィルムを貼着した後に該接着フィルム側に該エキスパンドテープを貼着し、該分割工程において、該エキスパンドテープを拡張して該接着フィルム及び該分割予定ラインに沿って形成された改質層に張力を作用させて、該接着フィルム及びウエーハを該分割予定ラインに沿って破断分割することが好ましい。
本発明は、ウエーハ裏面側にオゾン洗浄を行うことにより裏面の濡れ性が向上しエキスパンドテープや接着フィルムの粘着層との密着性が向上するので、小型のデバイスであっても良好にデバイスの分割及び接着フィルムの破断を行う事が出来る。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態〕
実施形態に係るウエーハの加工方法を、図1から図6に基づいて説明する。図1は、実施形態に係るウエーハの加工方法が施されるウエーハを示す斜視図、図2は、実施形態に係るウエーハの加工方法の薄化工程の概要を示す断面図、図3は、実施形態に係るオゾン洗浄工程の概要を示す断面図、図4は、実施形態に係るウエーハの加工方法のレーザー光線照射工程の概要を示す断面図、図5は、実施形態に係るウエーハの加工方法の貼着工程の概要を示す断面図、図6は、実施形態に係るウエーハの加工方法の分割工程の概要を示す断面図である。
実施形態に係るウエーハの加工方法を、図1から図6に基づいて説明する。図1は、実施形態に係るウエーハの加工方法が施されるウエーハを示す斜視図、図2は、実施形態に係るウエーハの加工方法の薄化工程の概要を示す断面図、図3は、実施形態に係るオゾン洗浄工程の概要を示す断面図、図4は、実施形態に係るウエーハの加工方法のレーザー光線照射工程の概要を示す断面図、図5は、実施形態に係るウエーハの加工方法の貼着工程の概要を示す断面図、図6は、実施形態に係るウエーハの加工方法の分割工程の概要を示す断面図である。
実施形態に係るウエーハの加工方法(以下、単に加工方法と呼ぶ)は、図1に示すウエーハWを加工する加工方法であって、ウエーハWにレーザー光線L(図4に示す)を照射して内部に改質層K(図4等に示す)を形成して個々のデバイスチップDT(図6等に示す)に分割する方法である。なお、本実施形態に係る加工方法により個々のデバイスチップDTに分割される加工対象としてのウエーハWは、本実施形態ではシリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。ウエーハWは、図1に示すように、表面WSに複数の分割予定ラインSによって区画された各領域にデバイスチップDTを構成するデバイスDが形成されている。デバイスDとして、IC(integrated circuit)、LSI(large scale integration)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微少電気機械システム)が、各領域に形成される。また、ウエーハWの表面WSには、SiOF、BSG(SiOB)等の無機物系の膜やポリイミド系、パリレン系等のポリマー膜である有機物系の膜からなる低誘電率絶縁体被膜(Low−k膜)などの表面膜が積層されている。
なお、改質層Kとは、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。
実施形態に係る加工方法は、薄化工程と、オゾン洗浄工程と、レーザー光線照射工程と、テープ貼着工程と、分割工程とを含む。
薄化工程は、ウエーハWの裏面WRを薄化研削及び研磨を行いウエーハWを所定の厚みに薄化し、裏面WRを平坦化する工程である。薄化工程では、まず、ウエーハWの表面WSに図1に示す保護テープTGを貼着する。そして、薄化研削及び研磨を行う加工装置10のチャックテーブル11(図2に示す)のポーラス状の保持面11a上に、保護テープTGを介してウエーハWの表面WSを載置する。チャックテーブル11に図示しない真空吸引経路を介して接続された真空吸引源により保持面11aを吸引して、図2に示すように、保護テープTGを介してウエーハWの表面WS側をチャックテーブル11の保持面11aで吸引保持する。
そして、軸心回りに回転するチャックテーブル11に保持されたウエーハWの裏面WRを、軸心回りに回転する薄化研削及び研磨する研削研磨手段12の下方に位置付ける。そして、研削研磨手段12を徐々に下降していき、図2に示すように、ウエーハWの裏面WRに研削送りする。ウエーハWの裏面WRを研削して、ウエーハWを所定の厚みに薄化するとともに、ウエーハWの裏面WRを平坦化する。なお、研削研磨手段12のウエーハWの裏面WRを薄化研削及び研磨するホイールとして、Poligrindシリーズ(株式会社ディスコ製)、DPホイール(Dry Polishing:株式会社ディスコ製)を用いるのが望ましい。これらのホイールを用いることで、裏面WRを平坦にしながらもデバイスチップDTの抗折強度の低下を抑制することができる。そして、オゾン洗浄工程に進む。
オゾン洗浄工程は、薄化工程を実施した後に、ウエーハWの裏面WRに紫外線を照射してオゾン洗浄を行う工程である。オゾン洗浄工程では、まず、オゾン洗浄を行うオゾン洗浄装置20のステージ21(図3に示す)の保持面21a上に、保護テープTGを介してウエーハWの表面WSを載置し、保護テープTGを介してウエーハWの表面WS側をステージ21の保持面21aで保持する。
そして、ステージ21に保持されたウエーハWの裏面WR上に紫外線を照射する紫外線照射器23を位置付ける。なお、紫外線照射器23は、ウエーハWの裏面WRの全面に対応するように、紫外線を照射する複数本の低圧水銀ランプ22がステージ21の保持面21aに対向して配置されている。低圧水銀ランプ22から12mW/cm2〜18mW/cm2の照度で例えば90秒などの所定時間紫外線をウエーハWの裏面WRの全面に照射する。このとき、低圧水銀ランプ22は、主に、波長が185nm、254nmの紫外線を照射する。ウエーハWの裏面WR全面に紫外線を照射すると、紫外線照射器23がオゾンを生成し、その生成したオゾンを利用して、ウエーハWの裏面WR上の有機化合物を酸化・分解し、ウエーハWの裏面WRの有機物汚染の除去、表面改質を行う。そして、レーザー光線照射工程に進む。
レーザー光線照射工程は、ウエーハW裏面WR側からウエーハW内部に集光点を位置付けて分割予定ラインSに沿ってレーザー光線L(図4に示す)を照射して内部に改質層Kを形成する工程である。レーザー光線照射工程では、レーザー光線Lを照射するレーザー加工装置30のチャックテーブル31(図4に示す)のポーラス状の保持面31a上に、保護テープTGを介してウエーハWの表面WSを載置する。チャックテーブル31に図示しない真空吸引経路を介して接続された真空吸引源により保持面31aを吸引して、図4に示すように、保護テープTGを介してウエーハWの表面WS側をチャックテーブル31の保持面31aで吸引保持する。
そして、レーザー加工装置30の図示しない撮像手段が取得した画像に基いて、アライメントを遂行する。その後、チャックテーブル31とレーザー光線照射手段32とを相対的に移動手段により移動させながら、図4に示すように、チャックテーブル31に保持されたウエーハWの裏面WRからウエーハWに対して透過性を有する波長(例えば、1064nm)のレーザー光線LをウエーハWの内部に集光点を合わせて分割予定ラインSに沿って照射する。そして、分割予定ラインSに沿った改質層KをウエーハW内部に形成する。そして、テープ貼着工程に進む。
テープ貼着工程は、オゾン洗浄工程及びレーザー光線照射工程を実施した後に、ウエーハWの裏面WRにエキスパンドテープTEを装着する工程である。テープ貼着工程において、図5に示すように、まず、ウエーハWの裏面WRにダイボンディング用の接着フィルムFAを貼着する。なお、ダイボンディング用の接着フィルムFAとは、デバイスチップDTを実装、積層するのに用いる特殊粘着フィルムのことをいう。ダイボンディング用の接着フィルムFAを貼着した後、接着フィルムFA側にエキスパンドテープTEを貼着する。なお、エキスパンドテープTEの外縁部には、環状フレームFを貼着しておき、保護テープTGを剥離する。なお、保護テープTGが、紫外線が照射されることで粘着力を低下させるものである場合には、ウエーハWの表面WS側に紫外線を照射した後、保護テープTGを剥離する。そして、分割工程に進む。
分割工程は、テープ貼着工程を実施した後に、エキスパンドテープTEを拡張して分割予定ラインSに沿って形成された改質層Kに張力を作用させて、ウエーハWを分割予定ラインSに沿って分割する工程である。分割工程において、図6に示すように、環状フレームFを分割装置40のクランプ部41に挟持し、押圧部材42をエキスパンドテープTEの下面に当接させる。そして、図6に示すように、押圧部材42を上昇させて、ウエーハWが貼着されたエキスパンドテープTEを半径方向に拡張して、ウエーハW及び接着フィルムFAに半径方向に拡大する外力を付与して、接着フィルムFA及び分割予定ラインSに沿って形成された改質層Kに張力を作用させる。そして、改質層Kを起点に、接着フィルムFA及びウエーハWを分割予定ラインSに沿って個々のデバイスチップDTに破断分割する。その後、分割されたデバイスチップDT及び接着フィルムFAは、エキスパンドテープTEから取り外されて、次工程に搬送される。
実施形態に係る加工方法によれば、薄化工程後に、裏面WR側にオゾン洗浄を行うことにより裏面WRの有機物が除去され、裏面WRの濡れ性が向上し、裏面WRの接着フィルムFAやエキスパンドテープTEの粘着層との密着性が向上する。このために、分割工程において、エキスパンドテープTEを拡張した際に、裏面WRに貼着した接着フィルムFAやエキスパンドテープTEの粘着層がウエーハWの裏面WRと相対的に位置ずれすることを抑制でき、エキスパンドテープTEの拡張によって、改質層Kに張力を確実に付与することができる。よって、小型のデバイスチップDTであってもエキスパンドテープTEを拡張させることで、良好にデバイスチップDTの分割及び接着フィルムFAの破断を行う事が出来る。また、裏面WRを研削研磨手段12のホイールで平坦化した後にオゾン洗浄を行うので、デバイスチップDTの抗折強度の低下を抑制することができる。
次に、本発明の発明者らは、本発明の効果を確認した。結果を表1に示す。
確認においては、直径が300mmで厚みが200μmのシリコンウエーハWを、1mm×1mmの大きさのデバイスチップDTに分割するとともに、ウエーハWの裏面WRに厚さ20μmの接着フィルムFA(リンテック社製LE−5000S−20)を貼着した。本発明品1及び比較例1では、2000番の研削ホイールを用いてウエーハWの裏面WRを平坦にし、本発明品2及び比較例2では、Poligrindシリーズ(株式会社ディスコ製)を用いてウエーハWの裏面WRを平坦にし、本発明品3及び比較例3では、DPホイール(Dry Polishing:株式会社ディスコ製)を用いてウエーハWの裏面WRを平坦にした。なお、Poligrindシリーズ及びDPホイール(Dry Polishing)を用いてウエーハWの裏面WRを平坦にすると、デバイスチップDTの抗折強度の低下を抑制しながらもウエーハWの裏面WRを鏡面に形成することができる。
また、比較例1〜3では、オゾン洗浄工程を実施せずに、本発明品1〜3では、オゾン洗浄工程を実施した。本発明品1〜3及び比較例1〜3において、ウエーハWをデバイスチップDTに分割した際の分割率(ウエーハW及び接着フィルムFAを分割できたデバイスチップDTの割合)を計測した。
表1によれば、比較例1の分割率が90%、比較例2の分割率が70%、比較例3の分割率が70%であるのに対し、本発明品1〜3の分割率が100%となり、オゾン洗浄工程を実施することで、デバイスチップDT及び接着フィルムFAの破断を行うことができる旨が明らかとなった。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。たとえば、本発明では、レーザー光線照射工程を実施した後にオゾン洗浄工程を実施してもよい。要するに、本発明では、テープ貼着工程を実施する前にオゾン洗浄工程を実施すればよい。
D デバイス
DT デバイスチップ
K 改質層
L レーザー光線
S 分割予定ライン
FA 接着フィルム
TE エキスパンドテープ
W ウエーハ
WS 表面
WR 裏面
DT デバイスチップ
K 改質層
L レーザー光線
S 分割予定ライン
FA 接着フィルム
TE エキスパンドテープ
W ウエーハ
WS 表面
WR 裏面
Claims (2)
- 表面に分割予定ラインに区画されてデバイスが形成されたウエーハの加工方法であって、
ウエーハの裏面を薄化研削及び研磨を行い所定の厚みに薄化し裏面を平坦化する薄化工程と、
該薄化工程を実施した後に、ウエーハの該裏面に紫外線を照射してオゾン洗浄を行うオゾン洗浄工程と、
ウエーハ裏面側からウエーハ内部に集光点を位置付けて分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射して内部に改質層を形成するレーザー光線照射工程と、
該オゾン洗浄工程及び該レーザー光線照射工程を実施した後に、ウエーハの該裏面にエキスパンドテープを装着するテープ貼着工程と、
該テープ貼着工程を実施した後に、該エキスパンドテープを拡張して該分割予定ラインに沿って形成された改質層に張力を作用させて、ウエーハを該分割予定ラインに沿って分割する分割工程と、
を含むことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該テープ貼着工程において、ウエーハの該裏面にダイボンディング用の接着フィルムを貼着した後に該接着フィルム側に該エキスパンドテープを貼着し、
該分割工程において、該エキスパンドテープを拡張して該接着フィルム及び該分割予定ラインに沿って形成された改質層に張力を作用させて、該接着フィルム及びウエーハを該分割予定ラインに沿って破断分割すること、
を特徴とする請求項1記載のウエーハの加工方法。
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