JP2015520444A - 透明導電膜及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

透明導電膜が、透明基板と、透明基板上に形成されたポリマー層とを含み、ポリマー層の表面は、メッシュ状トレンチを定めるようにパターン化され、メッシュ状トレンチは、導電性材料で充填されて感知領域を形成し、感知領域の周囲にリード線が印刷され、リード線は、メッシュ状トレンチ内の導電性材料に電気的に接続される。さらに、透明導電膜を製造する方法が提供される。透明導電膜及び方法において、トレンチを導電性材料で充填して感知領域を形成し、リード線は印刷により形成され、且つ、導電性材料に電気的に接続され、透明導電膜のリード線の歩留まりは比較的高い。

Description

本開示は、導電膜の分野に関し、より具体的には、透明導電膜及びその製造方法に関する。

透明導電膜は、良好な導電率及び可視波長において高い光透過率を有する、１つのタイプの導電膜である。現在、透明導電膜は、フラットパネル・ディスプレイ、光起電装置、タッチパネル、及び電磁シールド並びに他の分野において広く使用されており、且つ、極めて広い市場空間を有している。

ＩＴＯが、透明導電膜の市場の中心となっている。しかしながら、タッチスクリーンの最も実用的な適用において、透明導電膜をパターン化するために、露光、現像、エッチング、及び洗浄、並びに他の手順が必要とされる、即ち、設計されたパターンに従って、基板の表面上に一定の導電性領域及び絶縁領域が形成される。これとは対照的に、印刷により、金属メッシュが、基板の指定された領域上に直接形成されるが、このことは、パターン化プロセスを省略できる、汚染が少ない及び低価格である等といった多くの利点を有する。メッシュ線は、不透明な高導電率の金属で作製され、線幅は目の解像度を下回り、線のない領域は光透過領域である。透明導電膜の表面平方抵抗及び光透過率は、線幅及びメッシュの形状を変更することにより、特定の範囲内で制御することができる。

従来の印刷方法により製造された導電膜において、位置センサの感知領域のメッシュとリード線領域のメッシュの密度は異なっており、感知領域のメッシュの周期は大きく、メッシュの密度は小さいのに対して、リード線のメッシュの周期は小さく、このメッシュは比較的集中しているので、リード線領域は、製造中の導電率及び接着性に比較的悪影響を与える。

本開示は、透明導電膜、並びに導電率及び接着性がより大きい透明導電膜を製造する方法を提供することに向けられる。

本開示の一態様によると、透明導電膜が提供され、この透明導電膜は、
透明基板と、
透明基板上に積層されたポリマー層と、
を含み、ポリマー層の表面はメッシュ状トレンチを定めるようにパターン化され、メッシュ状トレンチは導電性材料で充填されて感知領域を形成し、感知領域の周囲にリード線が印刷され、リード線はメッシュ状トレンチ内の導電性材料に電気的に接続される。

１つの実施形態において、感知領域は可視領域であり、感知領域の光透過率は８５％を上回る。

１つの実施形態において、リード線は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷によって形成される。

１つの実施形態において、リード線はメッシュ又は直線であり、且つ、直線の幅は５μｍから２００μｍまでの範囲にわたり、直線の高さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたり、メッシュの幅は２μｍから６μｍまでの範囲にわたり、メッシュの深さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたる。

１つの実施形態において、トレンチにより形成されたメッシュは、規則的メッシュ又はランダムな不規則メッシュである。

１つの実施形態において、感知領域には、その縁上に、トレンチ内の導電性材料に電気的に接続された直線が設けられ、リード線の導電性材料は、直線を介してトレンチ内の導電性材料に電気的に接続され、又はリード線はメッシュ線であり、且つ、ノードによりトレンチ内の導電性材料に電気的に接続される。

本開示の１つの態様によると、透明導電膜が提供され、この透明導電膜は、
透明基板を含み、該透明基板は、第１の表面と、第１の表面とは反対側の第２の表面とを有し、第１の表面及び第２の表面の両方ともメッシュ状トレンチを定めるようにパターン化され、メッシュ状トレンチは導電性材料で充填されて感知領域を形成し、感知領域の周囲にリード線が印刷され、リード線はメッシュ状トレンチ内の導電性材料に電気的に接続される。

１つの実施形態において、リード線は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷によって形成される。

１つの実施形態において、感知領域は、その縁上に、トレンチ内の導電性材料に電気的に接続された直線が設けられ、リード線の導電性材料は、直線によりトレンチ内の導電性材料に電気的に接続され、又はリード線はメッシュ線であり、且つ、ノードによりトレンチ内の導電性材料に電気的に接続される。

本開示の１つの態様によると、透明導電膜が提供され、この透明導電膜は、
透明基板と、該透明基板上に堆積されたポリマー層とを含み、ポリマー層の表面は、メッシュ状の第１のトレンチを定めるようにパターン化され、メッシュ状の第１のトレンチは導電性材料で充填されて第１の感知領域を形成し、第１の感知領域の周囲に第１のリード線が印刷され、第１のリード線はメッシュ状の第１のトレンチ内の導電性材料に電気的に接続され、第１の感知領域及び第１のリード線にはポリマー層が設けられ、ポリマー層の表面はメッシュ状の第２のトレンチを定めるようにパターン化され、メッシュ状の第２のトレンチは導電性材料で充填されて第２の感知領域を形成し、第２の感知領域の周囲に第２のリード線が印刷され、第２のリード線はメッシュ状の第２のトレンチ内の導電性材料に電気的に接続され、第１の感知領域及び第２の感知領域は互いに絶縁される。

１つの実施形態において、第１のリード線及び第２のリード線は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷によって形成される。

１つの実施形態において、第１の感知領域及び第２の感知領域には、その縁上に、それぞれ、第１のトレンチ内の導電性材料及び第２のトレンチ内の導電性材料に電気的に接続された直線が設けられ、第１のリード線及び第２のリード線の導電性材料は、直線を介して、第１のトレンチ内の導電性材料及び第２のトレンチ内の導電性材料に電気的に接続され、又は第１のリード線及び第２のリード線はメッシュ線であり、且つ、それぞれ、ノードを介して第１のトレンチ内の導電性材料及び第２のトレンチ内の導電性材料に電気的に接続される。

本開示の１つの態様によると、透明導電膜を製造する方法が提供され、この方法は、次のステップ、即ち、
その表面がメッシュ状の第１のトレンチになるようにパターン化された第１のポリマー層を有する透明基板を準備するステップと、
第１のトレンチ内に導電性材料を充填して感知領域を形成するステップと、
感知領域の周囲に第１のリード線を印刷するステップとを含み、リード線は、第１のトレンチ内の導電性材料に電気的に接続される。

１つの実施形態において、透明導電膜を製造する方法は、
第１のリード線及び感知領域上に第２のポリマー層を塗布するステップと、
メッシュ状の第２のトレンチを形成するように、第２のポリマー層上にメッシュ状の第２のトレンチをパターン化するステップと、
第２のポリマー層の表面において、メッシュ状の第２のトレンチ内に導電性材料を充填するステップと、
第２のポリマー層上の感知領域の周囲に第２のリード線を印刷するステップと、
をさらに含み、第２のリード線は、第２のトレンチ内の導電性材料に電気的に接続され、第２のポリマー層上の感知領域及び第１のポリマー層上の感知領域は互いに絶縁される。

透明導電膜、及び透明導電膜を製造するための方法において、トレンチを導電性材料で充填して感知領域を形成し、リード線を印刷により形成し、トレンチ内の導電性材料に電気的に接続させ、このリード線は比較的高い歩留まりを有する。

第１の実施形態による透明導電膜の概略図である。 第１の実施形態による透明導電膜のメッシュ状トレンチの概略図である。 第１の実施形態による透明導電膜を製造する方法のフローチャートである。 第２の実施形態による透明導電膜の概略図である。 第２の実施形態による透明導電膜のメッシュ状トレンチの概略図である。 第３の実施形態による透明導電膜の概略図である。 第３の実施形態による透明導電膜の概略図である。 第３の実施形態による透明導電膜のメッシュ状の第１のトレンチの概略図である。 第３の実施形態による透明導電膜のメッシュ状の第２のトレンチの概略図である。 第４の実施形態による透明導電膜の概略図である。 第４の実施形態による透明導電膜の概略図である。 第４の実施形態による透明導電膜のメッシュ状の第１のトレンチの概略図である。 第４の実施形態による透明導電膜のメッシュ状の第２のトレンチの概略図である。 一実施形態による透明導電膜の斜視図である。 一実施形態による透明導電膜の斜視図である。 一実施形態による透明導電膜の感知領域及びリード線の電気的接続の概略図である。 別の実施形態による透明導電膜の感知領域及びリード線の電気的接続の概略図である。

感知領域及びリード線は、従来技術においては、印刷により基板上に一度に形成されるが、透明導電膜及びその製造方法の以下の実施形態の主要な考えは：初めに、基板上にメッシュ状トレンチをパターン化し、トレンチを導電性材料で充填して感知領域を形成し、最後に、感知領域の周囲にリード線を印刷し、リード線をメッシュ状トレンチ内の導電性材料に電気的に接続させるというものである。このように、感知領域とリード線の間の密度の差が原因で従来の印刷技術によるリード線の歩留まりが低いという欠点を回避することができ、それにより、リード線の導電率及び接着性が保証される。

第１の実施形態。
図１及び図２を参照すると、図示される実施形態において、透明導電膜１００が、基板１１０と、基板１１０上に積層された第１のインプリント接着剤層（ポリマー層）１２０とを含む。

基板１１０は、第１の表面１１２と、第１の表面１１２とは反対側の第２の表面１１４とを有する。第１のインプリント接着剤層１２０が、第１の表面１１２上に塗布される。第１のインプリント接着剤層は、メッシュ状の第１のトレンチ１２２を定め、形成するようにパターン化される。言い換えれば、複数のメッシュが第１のトレンチ１２２により形成され、このメッシュ線がトレンチである。メッシュは、正多角形のような規則的メッシュであってもよく、又はランダムな不規則メッシュであってもよい。第１のトレンチ１２２を導電性材料１２４で充填し、それにより、第１のトレンチ１２２が配置された領域が第１の感知領域を形成する。

第１のインプリント接着剤層１２０上の第１の感知領域の周囲に第１のリード線１２６を印刷し、第１のリード線１２６は、第１のトレンチ１２２内の導電性材料１２４に電気的に接続される。第１のリード線１２６は、メッシュ又は直線であり、直線の幅は５μｍから２００μｍまでの範囲にわたり、直線の高さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたり、メッシュの幅は２μｍから６μｍまでの範囲にわたり、メッシュの深さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたる。

図示される実施形態において、基板１１０は、ガラスのような透明材料から作製された透明基板とすることができ、又は、タッチ分野に適したいずれかの可撓性の透明基板とすることができる。第１の感知領域は、ユーザがタッチし、誘導を達成するために使用される。第１の感知領域は可視領域であり、導電性材料１２４の領域は導電性領域であり、第１のトレンチ１２２により形成されるメッシュは光透過領域である。第１の感知領域の光透過率は、基板１１０の光透過率及び導電性領域の面積に関連し、図示される実施形態において、第１の感知領域の光透過率は８５％を上回る。

図３を参照すると、図示される実施形態において、透明導電膜１００を製造する方法が、次のように示される：

１．基板１１０の第１の表面１１２に第１のインプリント接着剤層１２０を塗布する。これは、塗布、ＵＶ（紫外線光線）接着剤による吹き付け塗布により形成することができる。

２．第１のインプリント接着剤層１２０を、メッシュ状トレンチ１２２を定めるようにパターン化する。第１のインプリント接着剤層１２０は、エッチングによりメッシュ・パターンを定めるようにパターン化され、メッシュ線は第１のトレンチ１２２である。

３．第１のトレンチ１２２を導電性材料１２４で充填して、第１の感知領域を形成する。例えば、ナノ銀インクなどの導電性材料１２４を、スクレープ技術により第１のトレンチ内に充填し、次いで、焼結して、第１のトレンチ１２２内に導電性領域を形成することができる。同じく導電性領域を、真空スパッタリング又は化学めっきにより形成することができ、第１のインプリント接着剤層１２０を金属化して導電性領域を形成する。

４．第１の感知領域の周囲に第１のリード線１２６を印刷し、第１のリード線を第１のトレンチ１２２内の導電性材料１２４に電気的に接続させる。第１のリード線１２６は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷により形成され、その歩留まりは比較的高い。

第２の実施形態。
図４及び図５を参照すると、透明導電膜２００が、透明基板２１０を含む。基板２１０は、第１の表面２１２と、第１の表面２１２とは反対側の第２の表面２１４とを有する。第１の表面２１２は、メッシュ状の第１のトレンチ２２２を定めるようにパターン化される。言い換えれば、複数のメッシュが第１のトレンチ２２２により形成され、このメッシュ線がトレンチである。メッシュは、正多角形のような規則的メッシュであってもよく、又はランダムな不規則メッシュであってもよい。第１のトレンチ２２２を導電性材料２２４で充填し、それにより、第１のトレンチ２２２が配置された領域が第１の感知領域を形成する。第１の実施形態と同じく、第１の感知領域は可視領域であり、光透過率は８５％を上回り、導電性材料２２４の領域は導電性領域を形成し、第１のトレンチ２２２により形成されるメッシュは光透過領域である。

第１の表面２１２上の第１の感知領域の周囲に第１のリード線２２６を印刷し、第１のリード線２２６を第１のトレンチ２２２内の導電性材料２２４に電気的に接続させる。第１のリード線２２６は、メッシュ又は直線であり、且つ、直線の幅は５μｍから２００μｍまでの範囲にわたり、直線の高さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたり、メッシュの幅は２μｍから６μｍまでの範囲にわたり、メッシュの深さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたる。

図示される実施形態において、透明導電膜２００を製造する方法が、次のように示される：

１．基板２１０の第１の表面２１２を、メッシュ状の第１のトレンチ２２２を定めるようにパターン化する。第１の表面２１２は、エッチング等により、メッシュ・パターンを定めるようにパターン化され、メッシュ線が第１のトレンチ２２２である。

２．第１のトレンチ２２２を導電性材料２２４で充填して、第１の感知領域を形成する。例えば、ナノ銀インクなどの導電性材料２２４を、スクレープ技術により第１のトレンチ２２２内に充填し、次いで、焼結して、第１のトレンチ２２２内に導電性領域を形成することができる。

３．第１の感知領域の周囲に第１のリード線２２６を印刷し、第１のリード線２２６を第１のトレンチ２２２内の導電性材料２２４に電気的に接続させる。第１のリード線２２６は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷により形成され、その歩留まりは比較的高い。従って、片面単層の導電膜が提供される。

第３の実施形態。
図６乃至図９を参照すると、透明導電膜３００が、透明基板３１０を含む。基板３１０は、第１の表面３１２と、第１の表面３１２とは反対側の第２の表面３１４とを有する。

第１の表面３１２を、メッシュ状の第１のトレンチ３２２を定めるようにパターン化する。言い換えれば、複数のメッシュが第１のトレンチ３２２により形成され、このメッシュ線がトレンチである。メッシュは、正多角形のような規則的メッシュであってもよく、又はランダムな不規則メッシュであってもよい。第１のトレンチ３２２を導電性材料３２４で充填し、それにより、第１のトレンチ３２２が配置された領域が第１の感知領域を形成する。第１の実施形態と同じく、第１の感知領域は可視領域であり、光透過率は８５％を上回り、導電性材料３２４の領域は導電性領域を形成し、第１のトレンチ３２２により形成されるメッシュは光透過領域である。第１の表面３１２上の第１の感知領域の周囲に第１のリード線３２６を印刷し、第１のリード線３２６を第１のトレンチ３２２内の導電性材料３２４に電気的に接続させる。

第２の表面３１４を、メッシュ状の第２のトレンチ３３２を定めるようにパターン化する。言い換えれば、複数のメッシュが第２のトレンチ３３２により形成され、このメッシュ線がトレンチである。メッシュは、正多角形のような規則的メッシュであってもよく、又はランダムな不規則メッシュであってもよい。第２のトレンチ３３２を導電性材料３３４で充填し、それにより、第２のトレンチ３３２が配置された領域が第２の感知領域を形成する。第１の実施形態と同じく、第２の感知領域は可視領域であり、光透過率は８５％を上回り、導電性材料３３４の領域は導電性領域を形成し、第２のトレンチ３３２により形成されるメッシュは光透過領域である。第２の表面３１４上の第２の感知領域の周囲に第２のリード線３３６を印刷し、第２のリード線３３６を第２のトレンチ３３２内の導電性材料３３４に電気的に接続させる。第１のリード線３２６及び第２のリード線３３６は、メッシュ又は直線であり、直線の幅は５μｍから２００μｍまでの範囲にわたり、直線の高さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたり、メッシュの幅は、２μｍから６μｍまでの範囲にわたり、メッシュの深さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたる。

図示される実施形態において、透明導電膜３００を製造する方法が、次のように示される：

１．基板３１０の第１の表面３１２を、メッシュ状の第１のトレンチ３２２を定めるようにパターン化する。

２．第１のトレンチ３２２を導電性材料３２４で充填して第１の感知領域を形成する。

３．第１の感知領域の周囲に第１のリード線３２６を印刷し、第１のリード線３２６を第１のトレンチ３２２内の導電性材料３２４に電気的に接続させる。第１のリード線３２６は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷により形成され、その歩留まりは比較的高い。

４．上記のステップを参照して、第２のトレンチ３３２を第２の表面３１４上に形成し、第２のトレンチ３３２を導電性材料３３４で充填し、第２のリード線３３６を印刷する。従って、両面単層の導体が提供される。

第４の実施形態。
図１０乃至図１３を参照すると、透明導電膜４００が、透明基板４１０と、第１のインプリント接着剤層４２０と、第２のインプリント接着剤層４３０とを含む。

基板４１０は、第１の表面４１２と、第１の表面４１２とは反対側の第２の表面４１４とを有する。第１のインプリント接着剤層４２０が、第１の表面４１２上に積層される。第１のインプリント接着剤層４２０を、メッシュ状の第１のトレンチ４２２を定め、形成するようにパターン化する。言い換えれば、複数のメッシュが第１のトレンチ４２２により形成され、メッシュ線がトレンチである。メッシュは、正多角形のような規則的メッシュであってもよく、又はランダムな不規則メッシュであってもよい。第１のトレンチ４２２を導電性材料４２４で充填し、それにより、第１のトレンチ４２２が配置された領域が第１の感知領域を形成する。第１のインプリント接着剤層４２０上の第１の感知領域の周囲に第１のリード線４２６を印刷し、第１のリード線４２６を第１のトレンチ４２２内の導電性材料４２４に電気的に接続させる。

第２のインプリント接着剤層４３０を、第１のインプリント接着剤層４２０上に積層し、第２のインプリント接着剤層４３０を、メッシュ状の第２のトレンチ４３２を定め、形成するようにパターン化する。言い換えれば、複数のメッシュが第２のトレンチ４３２により形成され、このメッシュ線がトレンチである。メッシュは、正多角形のような規則的メッシュであってもよく、又はランダムな不規則メッシュであってもよい。第２のトレンチ４３２を導電性材料４３４で充填して第２の感知領域を形成する。第２のインプリント接着剤層４３０上の第２の感知領域の周囲に第２のリード線４３６を印刷し、第２のリード線４３６を、第２のトレンチ４３２内の導電性材料４３４に電気的に接続させる。さらに、第２の感知領域及び第１の感知領域は、互いに絶縁される。従って、片面２層の導電膜が形成され、これは、タッチ分野に適用される場合、マルチタッチをサポートする単一の導電膜を達成することができ、タッチ機器の厚さも薄い。

図示される実施形態において、第１の感知領域及び第２の感知領域の光透過率は両方とも８５％を上回る。第１のリード線４２６及び第２のリード線４３６の両方ともメッシュ又は直線であり、直線の幅は５μｍから２００μｍまでの範囲にわたり、直線の高さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたり、メッシュの幅は２μｍから６μｍまでの範囲にわたり、メッシュの深さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたる。

図示される実施形態において、透明導電膜４００を製造する方法が、次のように示される：
１．基板４１０の第１の表面４１２に第１のインプリント接着剤層４２０を塗布する。

２．第１のインプリント接着剤層４２０を、第１のトレンチ４２２を定めるようにパターン化する。

３．第１のトレンチ４２２を導電性材料４２４で充填して第１の感知領域を形成する。

４．第１の感知領域の周囲に第１のリード線４２６を印刷し、第１のリード線４２６を、第１のトレンチ４２２内の導電性材料４２４に電気的に接続させる。第１のリード線４２６は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷により形成され、その歩留まりは高い。

５．第１のインプリント接着剤層４２０に第２のインプリント接着剤層４３０を塗布する。

６．第２のインプリント接着剤層４３０を、第２のトレンチ４３２を定めるようにパターン化する。

７．第２のトレンチ４３２を導電性材料４３４で充填して第２の感知領域を形成する。

８．第２の感知領域の周囲に第２のリード線４３６を印刷し、第２のリード線４３６を、第２のトレンチ４３２内の導電性材料４３４に電気的に接続させる。第２のリード線４３６は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷により形成され、その歩留まりは高い。

実施形態の透明導電膜及び透明導電膜の製造方法において、感知領域及びリード線は、一度の印刷により形成されるのではなく、リード線が印刷される際に感知領域の密度を考慮する必要がなく、歩留まりは比較的高くなる。

感知領域とリード線の電気的接続が、例示的な実施形態と組み合わせて説明される。

図１４及び図１５を参照すると、図示される実施形態において、透明導電膜６００が、基板６１０を含む。第１の感知領域６２０及び該第１の感知領域６２０に電気的に接続された第１のリード線６３０と、第２の感知領域６４０及び該第２の感知領域６４０に電気的に接続された第２のリード線６５０が、それぞれ、基板６１０の２つの対向する表面上に形成される。透明導電膜６００は、両面単層の導電膜である。透明導電膜６００にポリマー層を設けることができ、且つ、第１、第２の感知領域、及び第１、第２のリード線をポリマー層上に積層できることが、第１の実施形態乃至第４の実施形態から分かる。

図１６を参照し、第１の感知領域６２０及び第１のリード線６３０の例を挙げる。第１の感知領域６２０は、第１のトレンチ６６０内に導電性材料を充填することによって形成され、第１のトレンチ６６０は第１の感知領域のメッシュ線である。電気的接続は第１の感知領域６２０の周囲に導電性材料を含む直線６７０が設けられることでなされる。直線６７０は、第１のトレンチ６６０内の導電性材料に電気的に接続される。直線６７０は、次のような方法で形成することができる。：即ち、第１のトレンチをパターン化により形成し、次いで導電性材料で充填される際に、第１の感知領域６２０の縁上に直線トレンチを形成する。

図１７を参照し、第２の感知領域６４０及び第２のリード線６５０の例を挙げる。第２の感知領域６４０は、第２のトレンチ６８０内に導電性材料を充填することによって形成され、第２のトレンチ６８０は第１の感知領域のメッシュ線である。第２の感知領域６５０は、メッシュ線により、メッシュ状になるように印刷される。電気的接続は第２のリード線６５０のメッシュ線が、ノード６９０により第２の感知領域６４０のメッシュ線に接続され、複数のノード６９０を堆積させ得ることでなされる。

例の説明は、具体的且つ詳細であるが、これらの説明は、本開示を限定するために用いることができないことを理解すべきである。従って、開示される本発明の保護の範囲は、添付の特許請求の範囲に従うべきである。

１００、２００、３００、４００、６００：透明導電膜
１１０、２１０、３１０、４１０、６１０：基板
１１２、２１２、３１２、４１２：第１の表面
１１４、２１４、３１４、４１４：第２の表面
１２０、４２０：第１のインプリント接着剤層（ポリマー層）
１２２、２２２、３２２、６６０：第１のトレンチ
１２４、２２４、３２４、３３４、４２４、４３４：導電性材料
１２６、２２６、３２６、４２６、６３０：第１のリード線
３３２、４３２、６８０：第２のトレンチ
３３６、４３６、６５０：第２のリード線
４３０：第２のインプリント接着剤層
６２０：第１の感知領域
６４０：第２の感知領域
６７０：直線
６９０：ノード

Claims (14)

1. 透明基板と、
   前記透明基板上に積層されたポリマー層と、
   を含み、前記ポリマー層の表面は、メッシュ状トレンチを定めるようにパターン化され、前記メッシュ状トレンチは、導電性材料で充填されて感知領域を形成し、前記感知領域の周囲にリード線が印刷され、前記リード線は、前記メッシュ状トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続されることを特徴とする透明導電膜。
2. 前記感知領域は可視領域であり、前記感知領域の光透過率は８５％を上回ることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電膜。
3. 前記リード線は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷によって形成されることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電膜。
4. 前記リード線はメッシュ又は直線であり、前記直線の幅は５μｍから２００μｍまでの範囲にわたり、前記直線の高さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたり、前記メッシュの幅は２μｍから６μｍまでの範囲にわたり、前記メッシュの深さは５μｍから１０μｍまでの範囲にわたることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電膜。
5. 前記トレンチにより形成された前記メッシュは、規則的メッシュ又はランダムな不規則メッシュであることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電膜。
6. 前記感知領域には、その縁上に、前記トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続された直線が設けられ、前記リード線の前記導電性材料は、前記直線を介して、前記トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続され、又は前記リード線はメッシュ線であり、且つ、ノードにより前記トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続されることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電膜。
7. 透明基板を含み、前記透明基板は、第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面とを有し、前記第１の表面及び前記第２の表面の両方ともメッシュ状トレンチを定めるようにパターン化され、前記メッシュ状トレンチは、導電性材料で充填されて感知領域を形成し、前記感知領域の周囲にリード線が印刷され、前記リード線は、前記メッシュ状トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続されることを特徴とする透明導電膜。
8. 前記リード線は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷によって形成されることを特徴とする、請求項７に記載の透明導電膜。
9. 前記感知領域には、その縁上に、前記トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続された直線が設けられ、前記リード線の前記導電性材料は、前記直線により前記トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続され、又は前記リード線はメッシュ線であり、且つ、ノードにより前記トレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続されることを特徴とする、請求項７に記載の透明導電膜。
10. 透明基板と、前記透明基板上に堆積されたポリマー層とを含み、前記ポリマー層の表面は、メッシュ状の第１のトレンチを定めるようにパターン化され、前記メッシュ状の第１のトレンチは導電性材料で充填されて第１の感知領域を形成し、前記第１の感知領域の周囲に第１のリード線が印刷され、前記第１のリード線は前記メッシュ状の第１のトレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続され、前記第１の感知領域及び前記第１のリード線にはポリマー層が設けられ、前記ポリマー層の表面はメッシュ状の第２のトレンチを定めるようにパターン化され、前記メッシュ状の第２のトレンチは導電性材料で充填されて第２の感知領域を形成し、前記第２の感知領域の周囲に第２のリード線が印刷され、前記第２のリード線は前記メッシュ状の第２のトレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続され、前記第１の感知領域及び前記第２の感知領域は互いに絶縁されることを特徴とする透明導電膜。
11. 前記第１のリード線及び前記第２のリード線は、スクリーン印刷又はインクジェット印刷によって形成されることを特徴とする、請求項１０に記載の透明導電膜。
12. 前記第１の感知領域及び前記第２の感知領域には、その縁上に、それぞれ、前記第１のトレンチ内の前記導電性材料及び前記第２のトレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続された直線が設けられ、前記第１のリード線の前記導電性材料及び前記第２のリード線の前記導電性材料は、前記直線を介して、前記第１のトレンチ内の前記導電性材料及び前記第２のトレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続され、又は前記第１のリード線及び前記第２のリード線はメッシュ線であり、且つ、それぞれ、ノードを介して前記第１のトレンチ内の前記導電性材料及び前記第２のトレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続されることを特徴とする、請求項１０に記載の透明導電膜。
13. 透明導電膜を製造する方法であって、
    その表面がメッシュ状の第１のトレンチになるようにパターン化された第１のポリマー層を有する透明基板を準備するステップと、
    前記第１のトレンチ内に導電性材料を充填して感知領域を形成するステップと、
    前記感知領域の周囲に第１のリード線を印刷するステップと、
    を含み、前記リード線は前記第１のトレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続される、方法。
14. 前記第１のリード線及び前記感知領域上に第２のポリマー層を塗布するステップと、
    メッシュ状の第２のトレンチを形成するように、前記第２のポリマー層上にメッシュ状の第２のトレンチをパターン化するステップと、
    前記第２のポリマー層の前記表面において、前記メッシュ状の第２のトレンチ内に導電性材料を充填して感知領域を形成するステップと、
    前記第２のポリマー層の前記感知領域の周囲に第２のリード線を印刷するステップと、
    をさらに含み、前記第２のリード線は前記第２のトレンチ内の前記導電性材料に電気的に接続され、前記第２のポリマー層上の前記感知領域及び前記第１のポリマー層上の前記感知領域は互いに絶縁されることを特徴とする、請求項１３に記載の方法。

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