JP2015510624A - 電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネル - Google Patents

電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネル Download PDF

Info

Publication number
JP2015510624A
JP2015510624A JP2014549969A JP2014549969A JP2015510624A JP 2015510624 A JP2015510624 A JP 2015510624A JP 2014549969 A JP2014549969 A JP 2014549969A JP 2014549969 A JP2014549969 A JP 2014549969A JP 2015510624 A JP2015510624 A JP 2015510624A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
film
conductive
transparent conductive
conductive thin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014549969A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5872064B2 (ja
Inventor
キム，キョンテク
キム，インソク
チョ，チョン
チョン，クン
イ，ミンヒ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LX Hausys Ltd
Original Assignee
LG Hausys Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LG Hausys Ltd filed Critical LG Hausys Ltd
Publication of JP2015510624A publication Critical patent/JP2015510624A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5872064B2 publication Critical patent/JP5872064B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
    • H01B5/14—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H05K1/02—Details
    • H05K1/0274—Optical details, e.g. printed circuits comprising integral optical means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/033—Pointing devices displaced or positioned by the user, e.g. mice, trackballs, pens or joysticks; Accessories therefor
    • G06F3/0354—Pointing devices displaced or positioned by the user, e.g. mice, trackballs, pens or joysticks; Accessories therefor with detection of 2D relative movements between the device, or an operating part thereof, and a plane or surface, e.g. 2D mice, trackballs, pens or pucks
    • G06F3/03547—Touch pads, in which fingers can move on a surface
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/045—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using resistive elements, e.g. a single continuous surface or two parallel surfaces put in contact
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/18—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/22—Auxiliary parts of casings not covered by groups H02K5/06-H02K5/20, e.g. shaped to form connection boxes or terminal boxes
    • H02K5/225—Terminal boxes or connection arrangements
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K2211/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to measuring or protective devices or electric components
    • H02K2211/03—Machines characterised by circuit boards, e.g. pcb
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03—Conductive materials
    • H05K2201/0302—Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0317—Thin film conductor layer; Thin film passive component
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03—Conductive materials
    • H05K2201/032—Materials
    • H05K2201/0326—Inorganic, non-metallic conductor, e.g. indium-tin oxide [ITO]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネルを開示する。本発明に係る透明導電性フィルムは、フィルム基材；前記フィルム基材上に形成された第１の導電性薄膜；前記第１の導電性薄膜上に形成された第２の導電性薄膜；及び前記第２の導電性薄膜上に形成された第３の導電性薄膜；を含み、前記第２の導電性薄膜は、前記第１の導電性薄膜または前記第３の導電性薄膜より導電性の高い材質で形成されることを特徴とする。

Description

本発明は、透明導電性フィルムに関し、より詳細には、電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネルに関する。
現在まで、タッチパネルの製造時に最も重要な部品の一つである透明電極フィルムとしては、全光線透過率が８５％以上で、表面抵抗が４００Ω／ｓｑｕａｒｅ以下であるインジウムスズ酸化物（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：ＩＴＯ）フィルムが最も広く使用されている。
一般的な透明電極フィルムは、透明高分子フィルムなどのフィルム基材上にアンダーコート層を形成した後、アンダーコート層上にＩＴＯなどの透明導電性薄膜を積層することによって製作していた。
近年、静電容量方式や抵抗膜方式のタッチパネルの使用が増加するとともに、微細な静電流や微細なタッチを感知するための表面抵抗２００Ω／ｓｑｕａｒｅ未満の低抵抗具現が要求されている。しかし、ＩＴＯ薄膜を用いた透明電極フィルムの場合、導電性を有し得る範囲に限界がある。
本発明の一つの目的は、電気的特性に優れた透明導電性フィルムを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、電気的特性に優れた透明導電性フィルムを用いたタッチパネルを提供することにある。
前記の一つの目的を達成するための本発明の実施例に係る透明導電性フィルムは、フィルム基材；前記フィルム基材上に形成された第１の導電性薄膜；前記第１の導電性薄膜上に形成された第２の導電性薄膜；及び前記第２の導電性薄膜上に形成された第３の導電性薄膜；を含み、前記第２の導電性薄膜は、前記第１の導電性薄膜または前記第３の導電性薄膜より導電性の高い材質で形成されることを特徴とする。
前記の他の目的を達成するための本発明の実施例に係るタッチパネルは、第１の透明導電性フィルムを有する第１のパネル板；前記第１のパネル板と対向し、前記第１の透明導電性フィルムと直交する第２の透明導電性フィルムを有する第２のパネル板；及び前記第１の透明導電性フィルムと前記第２の透明導電性フィルムとの間に配置されたスペーサー；を含み、前記第１の透明導電性フィルムまたは前記第２の透明導電性フィルムは、フィルム基材と、前記フィルム基材上に形成された第１の導電性薄膜と、前記第１の導電性薄膜上に形成された第２の導電性薄膜と、前記第２の導電性薄膜上に形成された第３の導電性薄膜とを含み、前記第２の導電性薄膜は、前記第１の導電性薄膜または前記第３の導電性薄膜より導電性の高い材質で形成される透明導電性フィルムであることを特徴とする。
本発明に係る透明導電性フィルムは、第１の導電性薄膜と第３の導電性薄膜との間に形成される第２の導電性薄膜を第１の導電性薄膜または第３の導電性薄膜より導電性の高い
材質で形成することによって、電気的特性を向上させることができる。
また、本発明に係る透明導電性フィルムは、金属材質からなる第２の導電性薄膜をＩＴＯ材質からなる第１の導電性薄膜と第３の導電性薄膜との間に形成する場合、インジウムなどの希金属の使用を減少させる効果を期待することができる。
また、本発明に係るタッチパネルは、電気的特性に優れた透明導電性フィルムを用いることによって、タッチパネルの電気的特性を向上させることができる。
本発明の一実施例に係る透明導電性フィルムを示した断面図である。 図１の透明導電性フィルムを用いた第１の実施例に係るタッチパネルを示した断面図である。 図１の透明導電性フィルムを用いた第２の実施例に係るタッチパネルを示した断面図である。 図１の透明導電性フィルムを用いた第３の実施例に係るタッチパネルを示した断面図である。
本発明の利点及び特徴、そして、それらを達成する方法は、添付の図面と共に詳細に後述している実施例を参照すれば明確になるだろう。しかし、本発明は、以下で開示する実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態に具現可能である。但し、本実施例は、本発明の開示を完全にし、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであって、本発明は、請求項の範疇によって定義されるものに過ぎない。明細書全体にわたって同一の参照符号は、同一の構成要素を称する。
以下では、添付の図面を参照して本発明に係る透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネルについて説明する。
図１は、本発明の一実施例に係る透明導電性フィルムを示した断面図である。
図１を参照すると、本発明の一実施例に係る透明導電性フィルム１００は、フィルム基材１０１、フィルム基材１０１上に順次積層された第１の誘電体薄膜１０２、第２の誘電体薄膜１０３、第１の導電性薄膜１０４、第２の導電性薄膜１０５及び第３の導電性薄膜１０６を含むことができる。
フィルム基材１０１は、第１の誘電体薄膜１０２または第１の導電性薄膜１０４の形成面を提供し、透明導電性フィルム１００に機械的強度を提供するためのものであって、ガラスや透明高分子フィルムなどの透明性を有する基材であり得る。例えば、透明高分子フィルムとしては、ポリアクリル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリエポキシ系、ポリオレフィン系、ポリカーボネート系及びセルロース系などからなる群より選ばれたプラスチックフィルムを使用することができる。
透明高分子フィルムからなるフィルム基材１０１は、表面平坦性と耐熱性を備えるために、透明高分子フィルムにプライマーコーティング処理をした後、ハードコーティング処理をしたものであり得る。
フィルム基材１０１の厚さは、機械的強度などを考慮すると、２０μｍ〜１０００μｍ程度であることが好ましい。フィルム基材１０１の厚さが２０μｍ未満であると、機械的
強度が不足し、第１及び第２の誘電体膜１０２、１０３と第１ないし第３の導電性薄膜１０４、１０５、１０６を連続的に形成する操作が難しくなり得る。その一方、フィルム基材１０１の厚さが１０００μｍを超えると、タッチパネルなどに適用されたとき、打点特性などが悪く、透過率を低下させるという問題がある。
第１の誘電体薄膜１０２及び第２の誘電体薄膜１０３は、第１ないし第３の導電性薄膜１０４、１０５、１０６の下地薄膜であって、透明導電性フィルム１００の透明性、耐擦傷性、耐屈曲性及び耐久性などの特性を向上させるために形成することができる。
例えば、第１の誘電体薄膜１０２及び第２の誘電体薄膜１０３は、ＮａＦ（１．３）、Ｎａ3ＡｌＦ6（１．３５）、ＬｉＦ（１．３６）、ＭｇＦ2（１．３８）、ＣａＦ2（１．４）、ＢａＦ2（１．３）、ＢａＦ2（１．３）、ＳｉＯ2（１．４６）、ＬａＦ3（１．５５）、ＣｅＦ（１．６３）、Ａｌ2Ｏ3（１．６３）などの無機物（括弧内の数値は光の屈折率を示す）や、光の屈折率が１．４〜１．６程度であるアクリル樹脂、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、シロキサン系ポリマーなどの有機物や、前記無機物と前記有機物との混合物で形成することができる。
前記材料のうち第１の誘電体薄膜１０２の材料は、有機物であるか、または有機物と無機物との混合物であることが好ましい。特に、有機物としては、メラミン樹脂、アルキド樹脂及び有機シラン縮合物の混合物からなる熱硬化型樹脂を使用することが好ましい。
また、第２の誘電体薄膜１０３の材料は、無機物であるか、または有機物と無機物との混合物であることが好ましい。特に、無機物としては、ＳｉＯ2、ＭｇＦ2、Ａｌ2Ｏ3などを好ましく使用することができる。
第１の誘電体薄膜１０２は、１０ｎｍ〜２５ｎｍの厚さ、好ましくは１３ｎｍ〜２０ｎｍの厚さに形成することができる。第２の誘電体薄膜１０３は、１５ｎｍ〜１００ｎｍの厚さ、好ましくは２０ｎｍ〜６０ｎｍの厚さに形成することができる。第１及び第２の誘電体薄膜１０２、１０３の各厚さを前記の範囲にすることによって、透明性、耐擦傷性、耐屈曲性などの特性を両立させやすい。
第１の誘電体薄膜１０２及び第２の誘電体薄膜１０３は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、塗工法などによって形成することができる。
前記透明導電性フィルム１００は、第１及び第２の誘電体薄膜１０２、１０３などの下地薄膜を積層することによって、透明性、耐擦傷性や耐屈曲性が向上するとともに、タッチパネル用としての打点特性の向上に良好な結果を得ることができる。
しかし、第１及び第２の誘電体薄膜１０２、１０３は、必ず形成すべきものではなく、省略可能である。
第１の導電性薄膜１０４及び第３の導電性薄膜１０６は、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銅（Ｃｕ）などの金属、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸
化カドミウム（ＣｄＯ）などの金属酸化物、ヨウ化銅（ＣｕＩ）などの金属ハロゲン化物及びインジウムスズ酸化物（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：ＩＴＯ）、フッ素がドーピングされたスズ酸化物（Ｆｌｏｕｒｉｎｅ ｄｏｐｅｄ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ；ＦＴＯ）などの透明伝導性酸化物などの公知となっている物質で形成することができる。第１の導電性薄膜１０４及び第３の導電性薄膜１０６は、これらから選ばれた１種または２種以上の材質を含んで形成することができる。このとき、第１の導電性薄膜１０４及び第３の導電性薄膜１０６は、透明導電性フィルム１００内の屈折率変化による光学的特性変化
を最小化するために同一の材質で形成されることが好ましい。
また、第１の導電性薄膜１０４及び第３の導電性薄膜１０６は、光透過率及び電気的特性を向上させるために、光透過率が８５％以上で、表面抵抗が４００Ω／ｓｑｕａｒｅ以下であるＩＴＯ材質で形成することが好ましい。
このとき、第３の導電性薄膜１０６は、第２の導電性薄膜１０５によって反射される光を補償する役割をする。
第２の導電性薄膜１０５は、透明導電性フィルム１００の電気的特性を向上させるためのものであって、第１の導電性薄膜１０４及び第３の導電性薄膜１０６のうち一つ以上よりも導電性の高い材質で形成される。
例えば、第２の導電性薄膜１０５は、スズ（Ｓｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、グラフェン、亜鉛（Ｚｎ）などから選ばれた一つ以上の材質を含んで形成することができる。
このような第２の導電性薄膜１０５は、光特性に対する影響を最小限に減少させるために、１ｎｍ〜１０ｎｍの厚さｔ２に形成することができる。第２の導電性薄膜１０５の厚さｔ２が１ｎｍ未満である場合は、透明導電性フィルム１００に対して目標値の電気的特性の向上を期待することができない。その一方、第２の導電性薄膜１０５の厚さｔ２が１０ｎｍを超える場合は、透明性を低下させるので、透明導電性フィルム１００の光学的特性が低下し得る。
好ましくは、第２の導電性薄膜１０５は、透明導電性フィルム１００の透過率及び電気的特性を最適化するために５ｎｍの厚さに形成することができる。
透明導電性フィルム１００は、第１の導電性薄膜１０４の厚さをｔ１、第２の導電性薄膜１０５の厚さをｔ２、第３の導電性薄膜１０６の厚さをｔ３、これらの合算厚さ（ｔ１＋ｔ２＋ｔ３）をｔと定義すると、ｔは２０ｎｍ〜１００ｎｍに形成することができる。
ｔが２０ｎｍ未満である場合は、透明導電性フィルム１００の電気的特性を期待することができない。その一方、ｔが１００ｎｍを超える場合は、透明性を低下させるので、透明導電性フィルム１００の光学的特性が低下し得る。
第１ないし第３の導電性薄膜１０４、１０５、１０６は、当該技術分野でよく知られている通常の導電性薄膜の形成方法、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、スプレー熱分解法、化学めっき法、電気めっき法、ウェットコーティング法またはこれらの組み合わせを使用して形成することができる。このうち、特に、導電性薄膜の形成速度や生産性などを考慮すると、第１ないし第３の導電性薄膜１０４、１０５、１０６は、真空蒸着法、スパッタリング法、ウェットコーティング法を使用して形成することが好ましい。
このような構造の透明導電性フィルム１００は、第１の導電性薄膜１０４と第３の導電性薄膜１０６との間にこれらのうち少なくともいずれか一つよりも導電性の高い材質を有する第２の導電性薄膜１０５の形成により、金属物質による光学的特性の影響は微々たるものであるが、薄い膜での電気的特性はより向上し得る。
また、第１の導電性薄膜１０４及び第３の導電性薄膜１０６のうち少なくともいずれか一つがＩＴＯ材質からなる透明導電性フィルム１００である場合、第１の導電性薄膜１０
４と第３の導電性薄膜１０６との間に金属材質の第２の導電性薄膜１０５を挿入することによって、インジウムなどの希金属の使用を減少させる効果を期待することができる。
一方、本発明の透明導電性フィルム１００は、タッチパネル、特に抵抗膜方式のタッチパネルに好ましく適用することができる。
図２は、図１の透明導電性フィルムを用いた第１の実施例に係るタッチパネルを示した断面図で、図３は、図１の透明導電性フィルムを用いた第２の実施例に係るタッチパネルを示した断面図で、図４は、図１の透明導電性フィルムを用いた第３の実施例に係るタッチパネルを示した断面図である。説明の便宜上、図１の透明導電性フィルムを第１の透明導電性フィルムと混用して言及する。
図２を参照すると、タッチパネル２００は、第１の透明導電性フィルム１００を有する第１のパネル板Ｐ１と、第１のパネル板Ｐ１と対向し、第２の透明導電性フィルム１００ａを有する第２のパネル板Ｐ２と、これら二つの第１及び第２の透明導電性フィルム１００、１００ａの間に配置されたスペーサー１３０とを含む。
第１の透明導電性フィルム１００は、粘着剤層（図示せず）によって第１の透明基体１１０と接合し得る。第２の透明導電性フィルム１００ａは、第２の透明基体１２０上に形成することができる。
第１の透明導電性フィルム１００と第２の透明導電性フィルム１００ａは互いに直交し、ラインタイプに形成することができる。第１及び第２の透明基体１１０、１２０は、プラスチックフィルムまたはガラスなどの材質で形成することができる。第２の透明導電性フィルム１００ａは、通常の透明導電性フィルムであり得る。
すなわち、タッチパネル２００は、第１または第２の透明導電性フィルム１００、１００ａを有する一対の第１及び第２のパネル板Ｐ１、Ｐ２を、互いに直交するように形成した第１及び第２の透明導電性フィルム１００、１００ａ同士が対向するようにスペーサー１３０を挟んで対向配置してなる。
前記タッチパネル２００は、加圧する上側の第１のパネル板Ｐ１に図１の透明導電性フィルム１００を使用したものである。このタッチパネル２００は、指やペンなどで上側の第１のパネル板Ｐ１を加圧・打点すると、第１及び第２の透明導電性フィルム１００、１００ａが接触して通電することによって電気回路がオン状態になり、加圧を解除すると、元のオフ状態に戻る透明スイッチ横体として機能する。このとき、第１のパネル板Ｐ１が本発明の電気的特性に優れた透明導電性フィルム１００を採用するので、電気的特性がより向上したタッチパネル２００を具現することができる。
一方、図２のタッチパネル２００は、上部の第１のパネル板Ｐ１のみに本発明の透明導電性フィルム１００を採用するが、これに限定されることはない。
これと異なって、図３に示したように、タッチパネル３００は、下部の第２のパネル板Ｐ２のみに本発明の透明導電性フィルム１００を採用することができる。また、図４に示したように、タッチパネル４００は、上部の第１のパネル板Ｐ１及び下部の第２のパネル板Ｐ２の全てに本発明の透明導電性フィルム１００を採用することができる。これを除いた図３及び図４の内容は図２の内容と同一であるので、重複する内容は省略する。
本発明の第１ないし第３の実施例に係るタッチパネル２００、３００、４００は、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ；ＬＣＤ）、プラズマ表示パ
ネル（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ；ＰＤＰ）、発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ；ＬＥＤ）、有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ
Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅｓ；ＯＬＥＤ）または電子紙（Ｅ−Ｐａｐｅｒ）などのディスプレイ装置に装着して使用することができる。
以下、本発明の実施例を比較例と対比して記載し、これについてより具体的に説明する。
透明導電性フィルムの電気的特性は、熱処理前後のキャリア濃度、移動度及び抵抗を測定して評価した。また、透明導電性フィルムの光学的特性は、透過率及び反射率などを測定して評価した。
実施例１
１２５μｍ厚のポリエチルレンテレフタレートフィルム（以下、ＰＥＴフィルムという）からなる透明なフィルム基材の一面上にＤＣスパッタリング法を用いて１０ｎｍ厚の下部ＩＴＯ薄膜、５ｎｍ厚のＳｎ薄膜及び１０ｎｍ厚の上部ＩＴＯ薄膜を順次形成して透明導電性フィルムの試片を製作した。その後、１５０℃の温度で６０分間透明導電性フィルムの試片を熱処理した。
実施例２
上側からＩＴＯ薄膜２０ｎｍ、Ｓｎ薄膜５ｎｍ、ＩＴＯ薄膜２０ｎｍを形成したことを除いては、残りの構成は実施例１と同一である。
実施例３
上側からＩＴＯ薄膜１０ｎｍ、Ｓｎ薄膜１０ｎｍ、ＩＴＯ薄膜１０ｎｍを形成したことを除いては、残りの構成は実施例１と同一である。
実施例４
上側からＡｕ薄膜１０ｎｍ、Ｓｎ薄膜１０ｎｍ、Ａｕ薄膜１０ｎｍを形成したことを除いては、残りの構成は実施例１と同一である。
実施例５
上側からＡｕ薄膜２０ｎｍ、グラフェン薄膜５ｎｍ、Ｃｕ薄膜２０ｎｍを形成したことを除いては、残りの構成は実施例１と同一である。
比較例１
下部ＩＴＯ薄膜を２０ｎｍの厚さに形成し、Ｓｎ薄膜及び上部ＩＴＯ薄膜を形成しないことを除いては、実施例１と同一である。
比較例２
下部ＩＴＯ薄膜を１５ｎｍの厚さに形成し、上部ＩＴＯ薄膜を形成しないことを除いては、実施例１と同一である。
比較例３
下部ＩＴＯ薄膜を２０ｎｍの厚さに形成し、上部ＩＴＯ薄膜を形成しないことを除いては、実施例１と同一である。
＜透明導電性フィルムの電気的特性評価＞

表１は、実施例１〜５及び比較例１〜３による透明導電性フィルムの電気的特性評価結果を示したものである。
Figure 2015510624
表１を参照すると、実施例３〜４の場合は、相対的に抵抗が低く、実施例１〜２、５の場合は、実施例３〜４に比べて抵抗が少し高かったが、比較例１〜３に比べて抵抗が低かった。
すなわち、実施例１〜５の場合、比較例１〜３に比べて低い抵抗を有するので、優れた電気的特性を示すことを確認することができた。
前記表において、抵抗は、キャリア濃度と移動度の二つの因子によって示される結果であり、キャリアの濃度が高く、移動度が高い場合、抵抗は低くなる。
また、実施例１〜３を通じて、抵抗は、Ｓｎ薄膜の厚さに反比例し、それぞれのＩＴＯ薄膜の厚さに比例することを確認することができた。したがって、相対的に薄い各ＩＴＯ薄膜間にＳｎ薄膜を厚く挿入すると、電気伝導度の向上を通じて優れた電気的特性を示すことができると判断できる。
また、実施例４〜５を通じて、金属のみで層を構成したり、各金属間にグラフェンを挿入して層を構成することによっても、優れた電気的特性を示すことを確認することができた。
＜透明導電性フィルムの光学的特性評価＞
表２は、実施例１〜５及び比較例１〜３の透明導電性フィルムの光学的特性評価結果を示したものである。
Figure 2015510624
ここで、Ｔは、５５０ｎｍ波長での光透過率を意味し、Ｙ（Ｄ６５）は、５５０ｎｍ波長での全体の透過率または全体の反射率を意味し、ｂ＊は、黄色く見える（ｙｅｌｌｏｗｉｓｈ）程度を意味し、Ｈａｚｅは濁度を意味し、Ｒは、５５０ｎｍ波長での光反射率を意味する。
表２を参照すると、透過率は、実施例１〜２及び比較例１で相対的に高い一方、比較例２では著しく低く、実施例３〜５及び比較例３では、実施例１〜２に比べて少し低い結果を示した。
また、ｂ＊値は、比較例１で最も低く、実施例１〜２では、実施例３〜４及び比較例２〜３に比べて少し低く、実施例５では最も高い結果を示した。
また、濁度は、比較例１、３で相対的に低い一方、実施例４〜５では相対的に高く、実施例１〜３及び比較例２では相対的に中間程度の値を示した。
また、反射率は、実施例４〜５及び比較例２で相対的に高い一方、実施例１〜３及び比較例１、３では相対的に低かった。
これを通じて、実施例１〜３と比較例１の場合、本発明の透明導電性フィルムに要求される光学的特性に好ましい条件であることを確認することができた。
前記の実験結果をまとめると、実施例１〜３の場合、電気的及び光学的側面のいずれにおいても優れた特性を示すことを確認することができた。実施例４〜５の場合、電気的特性に優れる一方、光学的特性は相対的に低下することが分かった。
また、比較例１の場合、光学的特性には最も優れるが、電気的特性は非常に低下し、比較例２〜３の場合、光学的及び電気的側面、特に光学的側面で非常に特性が低下することが分かった。
以上では、本発明の実施例を中心に説明したが、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する技術者の水準で多様な変更や変形を加えることができる。このような変更と変形は、本発明が提供する技術思想の範囲を逸脱しない限り、本発明に属するものと言える。したがって、本発明の権利範囲は、以下で記載する特許請求の範囲によって判断すべきであろう。
１００：透明導電性フィルム（または第１の透明導電性フィルム）、１００ａ：第２の透明導電性フィルム、１０１：フィルム基材、１０２：第１の誘電体薄膜、１０３：第２の誘電体薄膜、１０４：第１の導電性薄膜、１０５：第２の導電性薄膜、１０６：第３の導電性薄膜、１１０：第１の透明基体、１２０：第２の透明基体、１３０：スペーサー、２００、３００、４００：タッチパネル、Ｐ１：第１のパネル板、Ｐ２：第２のパネル板

Claims (10)

  1. フィルム基材；
    前記フィルム基材上に形成された第１の導電性薄膜；
    前記第１の導電性薄膜上に形成された第２の導電性薄膜；及び
    前記第２の導電性薄膜上に形成された第３の導電性薄膜；を含み、
    前記第２の導電性薄膜は、前記第１の導電性薄膜または前記第３の導電性薄膜より導電性の高い材質で形成されることを特徴とする透明導電性フィルム。
  2. 前記第２の導電性薄膜は、スズ（Ｓｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、グラフェン及び亜鉛（Ｚｎ）のうち一つ以上の材質を含んで形成されることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
  3. 前記第２の導電性薄膜は、１ｎｍ〜１０ｎｍの厚さに形成されることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
  4. 前記第１の導電性薄膜及び前記第３の導電性薄膜は、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銅（Ｃｕ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸化カドミウム（
    ＣｄＯ）及びヨウ化銅（ＣｕＩ）のうち一つ以上の材質を含んで形成されることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
  5. 前記第１の導電性薄膜及び前記第３の導電性薄膜は、透明伝導性酸化物で形成され、前記透明伝導性酸化物は、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）またはフッ素がドーピングされたスズ酸化物（ＦＴＯ）であることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
  6. 前記第１の導電性薄膜は、前記第３の導電性薄膜と同一の材質で形成されることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
  7. 前記透明導電性フィルムは、前記第１の導電性薄膜、前記第２の導電性薄膜及び前記第３の導電性薄膜の合算厚さが２０ｎｍ〜１００ｎｍであることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
  8. 前記フィルム基材と前記第１の導電性薄膜との間には、
    前記フィルム基材と接触して形成された第１の誘電体薄膜；及び
    前記第１の誘電体薄膜上に形成された第２の誘電体薄膜；がさらに含まれる、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
  9. 前記第１の誘電体薄膜及び第２の誘電体薄膜は、無機物及び有機物のうち１種以上を含むことを特徴とする、請求項８に記載の透明導電性フィルム。
  10. 第１の透明導電性フィルムを有する第１のパネル板；
    前記第１のパネル板と対向し、前記第１の透明導電性フィルムと直交する第２の透明導電性フィルムを有する第２のパネル板；及び
    前記第１の透明導電性フィルムと前記第２の透明導電性フィルムとの間に配置されたスペーサー；を含み、
    前記第１の透明導電性フィルムまたは前記第２の透明導電性フィルムは、フィルム基材と、前記フィルム基材上に形成された第１の導電性薄膜と、前記第１の導電性薄膜上に形成された第２の導電性薄膜と、前記第２の導電性薄膜上に形成された第３の導電性薄膜と、を含み、
    前記第２の導電性薄膜は、前記第１の導電性薄膜または前記第３の導電性薄膜より導電性の高い材質で形成される透明導電性フィルムであることを特徴とするタッチパネル。
JP2014549969A 2011-12-28 2012-12-14 電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネル Expired - Fee Related JP5872064B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2011-0144915 2011-12-28
KR1020110144915A KR101407877B1 (ko) 2011-12-28 2011-12-28 전기적 특성이 우수한 투명 도전성 필름 및 이를 이용한 터치 패널
PCT/KR2012/010917 WO2013100453A1 (ko) 2011-12-28 2012-12-14 전기적 특성이 우수한 투명 도전성 필름 및 이를 이용한 터치 패널

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015510624A true JP2015510624A (ja) 2015-04-09
JP5872064B2 JP5872064B2 (ja) 2016-03-01

Family

ID=48694262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014549969A Expired - Fee Related JP5872064B2 (ja) 2011-12-28 2012-12-14 電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネル

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20150022496A1 (ja)
JP (1) JP5872064B2 (ja)
KR (1) KR101407877B1 (ja)
CN (1) CN104040643B (ja)
TW (1) TWI483270B (ja)
WO (1) WO2013100453A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017170760A1 (ja) * 2016-04-01 2017-10-05 日東電工株式会社 光透過性フィルム
JP2017188447A (ja) * 2016-04-01 2017-10-12 日東電工株式会社 光透過性フィルム

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6029854B2 (ja) * 2012-05-22 2016-11-24 ミネベア株式会社 振動子及び振動発生器
TWI543319B (zh) * 2013-08-01 2016-07-21 Ｌｇ化學股份有限公司 透明導電層積體、含透明導電層積體的透明電極、及透明導電層積體的製法
KR102175361B1 (ko) * 2013-10-22 2020-11-06 엘지이노텍 주식회사 터치 윈도우 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
CN104835554B (zh) * 2015-03-18 2017-06-06 浙江大学 一种基于TiN层间掺杂的透明导电氧化物薄膜
CN109427434A (zh) * 2017-08-25 2019-03-05 张家港康得新光电材料有限公司 透明导电薄膜及具有其的触控传感器
WO2020184108A1 (ja) * 2019-03-12 2020-09-17 アルプスアルパイン株式会社 電磁駆動装置及び操作装置
US11650449B2 (en) * 2019-09-03 2023-05-16 Boe Technology Group Co., Ltd. Display panel and display apparatus

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002033023A (ja) * 2000-07-14 2002-01-31 Mitsui Chemicals Inc 透明電極
JP2005108467A (ja) * 2003-09-26 2005-04-21 Mitsui Chemicals Inc 透明導電性シートおよびそれを用いた光増感太陽電池。
JP2011253519A (ja) * 2010-06-01 2011-12-15 Samsung Mobile Display Co Ltd タッチスクリーンパネル及びこれを備えた映像表示装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2301120A1 (fr) * 1975-02-14 1976-09-10 Souriau & Cie Perfectionnements apportes aux raccords pour cables electriques
JP3392235B2 (ja) * 1994-09-21 2003-03-31 ミネベア株式会社 回転電機の固定子組立構造および組立方法
US6342733B1 (en) * 1999-07-27 2002-01-29 International Business Machines Corporation Reduced electromigration and stressed induced migration of Cu wires by surface coating
US6743488B2 (en) * 2001-05-09 2004-06-01 Cpfilms Inc. Transparent conductive stratiform coating of indium tin oxide
JP2003225964A (ja) * 2002-02-05 2003-08-12 Mitsui Chemicals Inc 透明導電性薄膜積層体およびその用途
US6828685B2 (en) * 2002-06-14 2004-12-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Memory device having a semiconducting polymer film
US8097330B2 (en) * 2004-04-30 2012-01-17 Nitto Denko Corporation Transparent conductive multilayer body and touch panel
JP3928970B2 (ja) * 2004-09-27 2007-06-13 株式会社アルバック 積層型透明導電膜の製造方法
CN101156302B (zh) * 2005-04-12 2011-06-01 株式会社安川电机 密封线性电机电枢及密封线性电机
JP3850865B2 (ja) * 2005-08-22 2006-11-29 出光興産株式会社 導電性積層体
JP4605788B2 (ja) * 2006-04-27 2011-01-05 日東電工株式会社 タッチパネル
JP4721359B2 (ja) * 2006-09-12 2011-07-13 日東電工株式会社 透明導電性積層体及びそれを備えたタッチパネル
US7684106B2 (en) * 2006-11-02 2010-03-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Compatible MEMS switch architecture
JP4667471B2 (ja) * 2007-01-18 2011-04-13 日東電工株式会社 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル
JP2010157497A (ja) * 2008-12-02 2010-07-15 Geomatec Co Ltd 透明導電膜付き基板とその製造方法
CN101943962A (zh) * 2009-07-03 2011-01-12 深圳富泰宏精密工业有限公司 具有触控按键的便携式电子装置
US9005750B2 (en) * 2009-07-08 2015-04-14 Nitto Denko Corporation Transparent conductive film, electronic device, and touch panel
KR101191117B1 (ko) * 2009-09-28 2012-10-15 주식회사 엘지화학 터치 패널
KR20120021602A (ko) * 2010-08-10 2012-03-09 삼성전자주식회사 표시 기판 및 이의 제조 방법
JP5948052B2 (ja) * 2010-12-28 2016-07-06 株式会社半導体エネルギー研究所 照明装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002033023A (ja) * 2000-07-14 2002-01-31 Mitsui Chemicals Inc 透明電極
JP2005108467A (ja) * 2003-09-26 2005-04-21 Mitsui Chemicals Inc 透明導電性シートおよびそれを用いた光増感太陽電池。
JP2011253519A (ja) * 2010-06-01 2011-12-15 Samsung Mobile Display Co Ltd タッチスクリーンパネル及びこれを備えた映像表示装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017170760A1 (ja) * 2016-04-01 2017-10-05 日東電工株式会社 光透過性フィルム
JP2017188447A (ja) * 2016-04-01 2017-10-12 日東電工株式会社 光透過性フィルム

Also Published As

Publication number Publication date
CN104040643A (zh) 2014-09-10
JP5872064B2 (ja) 2016-03-01
US20130169070A1 (en) 2013-07-04
KR101407877B1 (ko) 2014-06-17
CN104040643B (zh) 2016-12-21
US20150022496A1 (en) 2015-01-22
TWI483270B (zh) 2015-05-01
TW201327583A (zh) 2013-07-01
WO2013100453A1 (ko) 2013-07-04
KR20130076357A (ko) 2013-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5872064B2 (ja) 電気的特性に優れた透明導電性フィルム及びこれを用いたタッチパネル
JP4419146B2 (ja) 透明導電性積層体
JP5143197B2 (ja) 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル
JP5572932B2 (ja) 透明導電性フィルムおよびタッチパネル
JP6106756B2 (ja) 透明導電性基材及び透明導電性基材の製造方法
JP2013541437A (ja) 視認性に優れた透明導電性フィルム及びその製造方法
KR101879220B1 (ko) 투명 전극 패턴 적층체 및 이를 구비한 터치 스크린 패널
KR101865685B1 (ko) 투명 전극 패턴 적층체 및 이를 구비한 터치 스크린 패널
JP6292225B2 (ja) 透明導電体
KR102077548B1 (ko) 투명 전극 패턴 적층체 및 이를 구비한 터치 스크린 패널
JP4406237B2 (ja) 導電性を有する多層膜付透明基板の製造方法。
WO2014020656A1 (ja) 透明導電フィルム及びタッチパネル
JP5498537B2 (ja) 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル
WO2015159805A1 (ja) 積層体、導電性積層体、および電子機器
WO2018211910A1 (ja) 透明導電性フィルムおよび画像表示装置
JP2016057712A (ja) 透明電極パターン積層体及びこれを備えたタッチスクリーンパネル
JP2004175074A (ja) 導電性を有する多層膜付透明基板
JP2016157297A (ja) 透明導電性積層体とタッチパネル
CN106406645A (zh) 一种柔性铜网栅基触摸屏及制备方法
JP2016177940A (ja) 透明導電体の製造方法
WO2015159804A1 (ja) 積層体、導電性積層体、および電子機器
JP2014194788A (ja) 透明導電性フィルム及びタッチパネル
TWI623873B (zh) 透明電極層板及含此之觸控螢幕面板
TW200425171A (en) Transparent conductive film plate with low resistance
JP2014194787A (ja) 透明導電性フィルム及びタッチパネル

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150730

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150818

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151215

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160112

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5872064

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees