JP2015509196A - ビット不良および仮想検査を用いたウェハ検査プロセスの生成 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- ウェハ検査プロセスを生成するためのコンピュータで実行される方法であって、
ウェハを検査システムでスキャニングして、ウェハ上の欠陥を検出し、
スキャニング中の検査システムの1以上の検出器の出力を、出力がウェハ上で検出される欠陥に対応するか否かに関係なく保存し、
ウェハの試験によって検出されたビット不良に対応するウェハ上の物理的な位置を、欠陥が検出されなかった物理的な位置の第1部分と欠陥が検出された物理的な位置の第2部分とに分離し、
1以上の欠陥検出方法を、物理的な位置の第1部分に対応する保存された出力に適用して、物理的な位置の第1部分での欠陥を検出し、
物理的な位置の第1部分で1以上の欠陥検出方法によって検出される欠陥に基づいてウェハ検査プロセスを生成することを含み、前記保存、分離、適用、および生成がコンピュータシステムで実施される、方法。 - ウェハが、スキャニングステップ以外の方法の任意のステップのために用いられない、請求項1記載の方法。
- 試験の結果に基づいてビット不良に対応するウェハ上の物理的な位置を決定することをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 検査システムが光学または電子線検査システムを含む、請求項1記載の方法。
- キラー欠陥として物理的な位置の第1部分で1以上の欠陥検出方法によって検出される欠陥を指定することをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 前記分離が、検査システムによって報告される欠陥の座標を物理的な位置の座標と比較することを含む、請求項1記載の方法。
- 前記分離が、検査システムによって報告される欠陥の座標をビットマップドメインに変換し、ビット不良のビットマップドメイン座標を検査システムによって検出される欠陥のビットマップドメイン座標と比較することを含む、請求項1記載の方法。
- 適用ステップのためのホットストップとして物理的な位置の第1部分に関する情報を保存することをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 前記適用が、保存された出力に適用される1以上の欠陥検出方法の1つを、1以上の欠陥検出方法のもう1つ別の方法を保存された出力に適用することによって検出される欠陥に応じて変更することを含む、請求項1記載の方法。
- 前記スキャニングが、異なる層がウェハ上に形成された後に検査システムでウェハをスキャニングして、異なる層上の欠陥を検出することを含み、この場合、物理的な位置が少なくとも2つの異なる層上の物理的な位置を含み、ウェハ検査プロセスが1以上の異なる層について生成される、請求項1記載の方法。
- 1以上の欠陥検出方法についてユーザーからの入力を取得することをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 1以上の欠陥検出方法が同じ欠陥検出アルゴリズムの1以上のパラメータについて異なる値を有する同じ欠陥検出アルゴリズムを含む、請求項1記載の方法。
- 1以上の欠陥検出方法が異なる欠陥検出アルゴリズムを含む、請求項1記載の方法。
- 1以上の欠陥検出方法の第1の方法が1以上の検出器の第1のセットによって生成される出力を使用し、1以上の欠陥検出方法の第2の方法が第1セットと異なる1以上の検出器の第2のセットによって生成される出力を使用する、請求項1記載の方法。
- ウェハ検査プロセスの生成が、ウェハ検査プロセスの1以上の欠陥検出方法のうちの少なくとも1つおよび1以上の欠陥検出方法の少なくとも1つに入力されるウェハ検査プロセス中の出力を生成するために用いられる1以上の検出器の少なくとも1つを選択することを含む、請求項1記載の方法。
- 前記生成が、物理的な位置の第2部分で検査システムによりウェハ上で検出される欠陥と組み合わせて、物理的な位置の第1部分で1以上の欠陥検出方法によって検出される欠陥に基づいてウェハ検査プロセスを生成することを含む、請求項1記載の方法。
- 前記適用が、1以上の欠陥検出方法を物理的な位置の第1および第2部分に対応する保存された出力に適用して、物理的な位置の第1および第2部分での欠陥を検出することを含む、請求項1記載の方法。
- 前記生成が、物理的な位置の第1および第2部分で1以上の欠陥検出方法によって検出される欠陥に基づいてウェハ検査プロセスを生成することを含む、請求項17記載の方法。
- ウェハ検査プロセスを生成するためのコンピュータで実行される方法を実施するためのコンピュータシステムで実行可能なプログラム命令を保存するコンピュータ可読媒体であって、コンピュータで実行される方法が、
出力がウェハ上で検出される欠陥に対応するか否かに関係なく、ウェハ上の欠陥を検出するために実施されるウェハのスキャニングの間の検査システムの1以上の検出器の出力を保存し、
ウェハの試験によって検出されるビット不良に対応するウェハ上の物理的な位置を、欠陥が検出されなかった物理的な位置の第1部分と欠陥が検出された物理的な位置の第2部分とに分け、
1以上の欠陥検出方法を物理的な位置の第1部分に対応する保存された出力に適用して、物理的な位置の第1部分で欠陥を検出し、
物理的な位置の第1部分で1以上の欠陥検出方法によって検出される欠陥に基づいてウェハ検査プロセスを生成することを含む、コンピュータ可読媒体。 - ウェハ検査プロセスを生成するように構成されたシステムであって、
ウェハをスキャニングして、ウェハ上の欠陥を検出するように構成された検査サブシステムと、
出力がウェハ上で検出される欠陥に対応するか否かに関係なくスキャニング中の検査システムの1以上の検出器の出力を保存し、
ウェハの試験によって検出されるビット不良に対応するウェハ上の物理的な位置を、欠陥が検出されなかった物理的な位置の第1部分と、欠陥が検出された物理的な位置の第2部分とに分け、
物理的な位置の前記第1部分に対応する保存された出力に1以上の欠陥検出方法を適用して、物理的な位置の第1部分で欠陥を検出し、
物理的な位置の第1部分で1以上の欠陥検出方法によって検出される欠陥に基づいてウェハ検査プロセスを生成するように構成されたコンピュータサブシステムと、
を含む、システム。
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