JP2015500151A - ウェハーの研磨装置及びウェハーの研磨方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 定盤と、
前記定盤上に配置され、複数の固定研磨粒子を含む研磨パッドと、
前記研磨パッド上に配置されるヘッド部と、
前記ヘッド部の外周部に装着されるリテーナと、
前記リテーナの下端に装着され、環状を有するドレッシング部と、を含むウェハーの研磨装置。 - 前記ヘッド部の下面にウェハーが収容され、
前記ウェハーの一部分が前記研磨パッドの外周部と重なるように配置される請求項1に記載のウェハーの研磨装置。 - 前記ドレッシング部は、内部から外部に延長される複数の溝を含む請求項1に記載のウェハーの研磨装置。
- 前記複数の溝の間の間隔は、相互対応する請求項3に記載のウェハーの研磨装置。
- 前記ドレッシング部は、前記研磨パッドと直接接触する請求項1に記載のウェハーの研磨装置。
- 前記ヘッド部にウェハーを収容でき、
前記ウェハーの外周部から、前記ウェハーの半径を基準として、3%〜10%に該当する前記ウェハーの部分が、前記研磨パッドの外周部から外側に突出する請求項1に記載のウェハーの研磨装置。 - 回転可能な定盤上に配置され、固定研磨粒子が付着された研磨パッドと、
前記定盤の回転軸とは異なる回転軸によって回転され、前記定盤の上側に位置するヘッド部と、
前記ヘッド部の外周面に装着されるリテーナと、
前記リテーナと接触し、前記研磨パッドをドレッシングするためのドレッシング部と、を含み、
前記ウェハーは、一部が前記研磨パッドの外周部から所定長さ突出するように前記ヘッド部に装着されるウェハーの研磨装置。 - 前記ウェハーは、直径を基準として3%〜30%が前記研磨パッドの外周部から突出するように前記ヘッド部に装着される請求項7に記載のウェハーの研磨装置。
- 前記ウェハーとヘッド部との間には、前記ウェハーと直接接触するプレートがさらに設けられる請求項7に記載のウェハーの研磨装置。
- 前記研磨パッドは固定研磨パッドとして、炭化ケイ素化合物、窒化ホウ素化合物及びダイヤモンドのいずれか一つまたはこれらの組み合わせからなる請求項7に記載のウェハーの研磨装置。
- 定盤上に配置され、複数の固定研磨粒子を含む研磨パッドと、前記研磨パッド上に配置されるヘッド部と、前記ヘッド部の外周部に装着される支持部と、前記支持部の下端に配置されて研磨対象のウェハーを取り囲む形状を有するドレッシング部とを含むウェハーの研磨装置を利用してウェハーを研磨する方法であって、
前記研磨パッドによって前記ウェハーが研磨されると共に、前記ドレッシング部によって研磨パッドがドレッシングされるウェハーの研磨方法。 - 前記研磨パッドのドレッシングと共に、前記ウェハーが研磨される段階は、
前記ウェハーが前記研磨パッドの外周部と重なるように配置されることで行われる請求項11に記載のウェハーの研磨方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018088490A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 株式会社ディスコ | 研磨装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5953328B2 (ja) * | 2014-02-27 | 2016-07-20 | 株式会社アライドマテリアル | マウント材およびそれを用いたワークの加工方法ならびに平面加工用マウント体 |
US10879077B2 (en) * | 2017-10-30 | 2020-12-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Planarization apparatus and planarization method thereof |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10286756A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-27 | Toshiba Corp | 研磨パッドのドレッシング方法、ポリッシング装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2001347449A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-18 | Applied Materials Inc | ウェハー研磨装置 |
JP2002355750A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Ibiden Co Ltd | 面加工装置及び面加工方法 |
JP2002373874A (ja) * | 1999-12-17 | 2002-12-26 | Fujikoshi Mach Corp | ウェーハの研磨装置 |
JP2004023038A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体ウェーハの研磨装置 |
JP2006205265A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Speedfam Co Ltd | 研磨方法および研磨用組成物 |
JP2010023122A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Nikon Corp | 保持装置および研磨装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5972792A (en) * | 1996-10-18 | 1999-10-26 | Micron Technology, Inc. | Method for chemical-mechanical planarization of a substrate on a fixed-abrasive polishing pad |
US6004193A (en) * | 1997-07-17 | 1999-12-21 | Lsi Logic Corporation | Dual purpose retaining ring and polishing pad conditioner |
JP2000040679A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
US6402594B1 (en) * | 1999-01-18 | 2002-06-11 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Polishing method for wafer and holding plate |
TW467795B (en) * | 1999-03-15 | 2001-12-11 | Mitsubishi Materials Corp | Wafer transporting device, wafer polishing device and method for making wafers |
JP2001009710A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-16 | Toshiba Circuit Technol Kk | ウエーハ研磨装置 |
US6705930B2 (en) * | 2000-01-28 | 2004-03-16 | Lam Research Corporation | System and method for polishing and planarizing semiconductor wafers using reduced surface area polishing pads and variable partial pad-wafer overlapping techniques |
US20020042200A1 (en) * | 2000-10-02 | 2002-04-11 | Clyde Fawcett | Method for conditioning polishing pads |
JP2002184733A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-28 | Hitachi Ltd | 処理方法、測定方法及び半導体装置の製造方法 |
TW505967B (en) * | 2001-10-11 | 2002-10-11 | Macronix Int Co Ltd | Wafer carrier structure of chemical mechanical polishing device |
US6869335B2 (en) * | 2002-07-08 | 2005-03-22 | Micron Technology, Inc. | Retaining rings, planarizing apparatuses including retaining rings, and methods for planarizing micro-device workpieces |
US7294049B2 (en) * | 2005-09-01 | 2007-11-13 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for removing material from microfeature workpieces |
JP5415735B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2014-02-12 | 株式会社荏原製作所 | ドレッシング方法、ドレッシング条件の決定方法、ドレッシング条件決定プログラム、および研磨装置 |
JP5297321B2 (ja) * | 2008-10-07 | 2013-09-25 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
KR101133355B1 (ko) * | 2009-10-28 | 2012-04-06 | 실트로닉 아게 | 반도체 웨이퍼의 연마 방법 |
KR101692574B1 (ko) * | 2009-12-15 | 2017-01-03 | 고꾸리쯔 다이가꾸 호우징 오사까 다이가꾸 | 연마 방법 및 연마 장치 |
-
2012
- 2012-12-14 WO PCT/KR2012/010944 patent/WO2013089502A1/en active Application Filing
- 2012-12-14 US US14/365,976 patent/US20140364041A1/en not_active Abandoned
- 2012-12-14 JP JP2014547109A patent/JP2015500151A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10286756A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-27 | Toshiba Corp | 研磨パッドのドレッシング方法、ポリッシング装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2002373874A (ja) * | 1999-12-17 | 2002-12-26 | Fujikoshi Mach Corp | ウェーハの研磨装置 |
JP2001347449A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-18 | Applied Materials Inc | ウェハー研磨装置 |
JP2002355750A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Ibiden Co Ltd | 面加工装置及び面加工方法 |
JP2004023038A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体ウェーハの研磨装置 |
JP2006205265A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Speedfam Co Ltd | 研磨方法および研磨用組成物 |
JP2010023122A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Nikon Corp | 保持装置および研磨装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018088490A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 株式会社ディスコ | 研磨装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013089502A1 (en) | 2013-06-20 |
US20140364041A1 (en) | 2014-12-11 |
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