JP2015218357A - 薄膜形成装置および薄膜形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 帯状機材
3 搬送ロール
4 搬送ロール
5 メインロール
6 メインロールチャンバ
7 成膜チャンバ
7a 第1成膜チャンバ
7b 第2成膜チャンバ
31 芯部
41 芯部
51 外周面
61 真空ポンプ
62 間仕切り部
71 真空ポンプ
71a 真空ポンプ
71b 真空ポンプ
72 プラズマ電極
72a プラズマ電極
72b プラズマ電極
73 原料ガス配管
73a 原料ガス配管
73b 原料ガス配管
74 高周波電源
74a 高周波電源
74b 高周波電源
75 プラズマ強度制御手段
75a プラズマ強度制御手段
75b プラズマ強度制御手段
76 シャッター装置
Claims (5)
- 一方が帯状基材を送り出し、他方が帯状基材を巻き取ることにより、帯状基材を往復搬送させる一対の搬送ロールと、
帯状基材の膜形成面の一部を囲み、当該膜形成面の一部との間に閉空間を形成する成膜チャンバと、
前記閉空間に原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
高周波電源に接続され、前記閉空間にある前記原料ガスをプラズマ化させるプラズマ電極と、
を備え、前記成膜チャンバ内でプラズマ化した前記原料ガスを前記膜形成面に当てて前記原料ガスを成分とする薄膜を形成させる薄膜形成装置であり、
帯状基材を所定の速度で搬送しながら薄膜を帯状基材に形成させる成膜モードと、
帯状基材の搬送方向を反転させる反転モードと、
を有し、
帯状基材の単位面積に前記プラズマが単位時間で与える熱量を、前記反転モードの際は前記成膜モードの際よりも低くさせる伝熱制限手段をさらに有することを特徴とする、薄膜形成装置。 - 前記伝熱制限手段は、前記反転モード際の前記プラズマの強度を前記成膜モードの際の前記プラズマの強度よりも低くするプラズマ強度制御手段であることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 前記プラズマ強度制御手段は、前記反転モードの際に前記プラズマ電極に印加される電圧を前記成膜モードの際の電圧である成膜電圧よりも低い電圧である待機電圧とすることを特徴とする、請求項2に記載の薄膜形成装置。
- 前記伝熱制限手段は、前記膜形成面と前記プラズマ電極との間を遮蔽するシャッター装置であり、当該シャッター装置は、前記膜形成面と前記プラズマ電極との間を遮蔽する遮蔽位置と、前記プラズマ電極から前記膜形成面までの前記プラズマの動きを妨げない待機位置との間で移動可能であることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 帯状基材を往復搬送させながら、プラズマ化した原料ガスを帯状基材の膜形成面に当てて前記原料ガスを成分とする薄膜を形成させる薄膜形成方法であり、
帯状基材を所定の速度で搬送しながら薄膜を帯状基材に形成させる成膜ステップと、
帯状基材の搬送方向を反転させる反転ステップと、
を有し、
帯状基材の単位面積に前記プラズマが単位時間で与える熱量を、前記反転ステップの際は前記成膜ステップの際よりも低くさせることを特徴とする、薄膜形成方法。
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