JP2015176869A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板上の種々のパターン間に適切にエアギャップを形成することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】一の実施形態によれば、半導体装置の製造方法は、基板上に、複数のパターンを有するパターン部と、前記パターンの上面よりも低い位置に平坦面を有する平坦部とを形成することを含む。さらに、前記方法は、前記基板上に第1膜を転写することにより、前記パターンの上面上および前記平坦部の平坦面上に前記第1膜を連続的に形成し、かつ前記パターン間に第1のエアギャップを形成することを含む。
【選択図】図11
【解決手段】一の実施形態によれば、半導体装置の製造方法は、基板上に、複数のパターンを有するパターン部と、前記パターンの上面よりも低い位置に平坦面を有する平坦部とを形成することを含む。さらに、前記方法は、前記基板上に第1膜を転写することにより、前記パターンの上面上および前記平坦部の平坦面上に前記第1膜を連続的に形成し、かつ前記パターン間に第1のエアギャップを形成することを含む。
【選択図】図11
Description
本発明の実施形態は、半導体装置の製造方法に関する。
フィルムシート上に薄膜を形成し、フィルムシート上の薄膜に基板を押し付けて、基板に薄膜を転写するSTP(spin coating film transfer and hot pressing)という手法が知られている。STPは例えば、基板上にエアギャップを形成する際に使用可能である。
基板上の種々のパターン間に適切にエアギャップを形成することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
一の実施形態によれば、半導体装置の製造方法は、基板上に、複数のパターンを有するパターン部と、前記パターンの上面よりも低い位置に平坦面を有する平坦部とを形成することを含む。さらに、前記方法は、前記基板上に第1膜を転写することにより、前記パターンの上面上および前記平坦部の平坦面上に前記第1膜を連続的に形成し、かつ前記パターン間に第1のエアギャップを形成することを含む。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
基板上にSTPによりエアギャップを形成する場合には、基板上のパターン部と平坦部との境界付近で、平坦部で過剰となった薄膜材料がパターン部内のパターン間に入り込む可能性がある。この場合、均一な深さのエアギャップを形成できないことが問題となる。
また、基板上にSTPによりエアギャップを形成する場合には、パターン間の幅が狭い領域とパターン間の幅が広い領域とで基板と薄膜との密着度が異なることが問題となる。そのため、フィルムシートを基板から剥がす際に、パターン間の幅が広い領域で基板に薄膜が転写されず、この領域内にエアギャップが形成されない可能性がある。
以下、これらの問題を解決可能な半導体装置の製造方法の例を、実施形態を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1〜図19は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図1〜図19は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
本実施形態の半導体装置は、NANDフラッシュメモリである。図1(a)は、セル部のAA(Active Area)断面を示す。図1(b)は、セル部と周辺回路部との境界付近の断面を示す。図1(c)は、周辺回路部の断面を示す。これは、図2(a)〜図19(c)においても同様である。セル部と周辺回路部はそれぞれ、パターン部と平坦部の例である。
まず、図1に示すように、基板1上に、ゲート絶縁膜2、浮遊ゲート材3、ストッパ層11、およびハードマスク層12を順次形成する。ゲート絶縁膜2は、第1絶縁膜の例である。浮遊ゲート材3は、第1電極材の例である。
基板1の例は、シリコン基板などの半導体基板である。図1は、基板1の表面に平行で互いに垂直なX方向およびY方向と、基板1の表面に垂直なZ方向とを示している。本明細書においては、+Z方向を上方向として取り扱い、−Z方向を下方向として取り扱う。例えば、基板1とストッパ層11との位置関係は、基板1がストッパ層11の下部に位置していると表現される。
ゲート絶縁膜2の例は、熱酸化により形成されたシリコン酸化膜である。本実施形態のゲート絶縁膜2は、セル部内と周辺回路部内とで膜厚が異なる。
浮遊ゲート材3の例は、膜厚100nmのポリシリコン層である。浮遊ゲート材3は、金属層でもよいし、ポリシリコン層と金属層とを含む積層膜でもよい。金属層の例は、WSi(タングステンシリサイド)層、CoSi(コバルトシリサイド)層などである。また、浮遊ゲート材3の膜厚の別の例は、100〜200nmである。
ストッパ層11の例は、減圧CVD(Chemical Vapor Deposition)により形成されたシリコン窒化膜である。ストッパ層11は、膜厚100〜200nmのポリシリコン層でもよい。
ハードマスク層12の例は、減圧CVDにより形成されたTEOS(Tetraethyl Orthosilicate)膜である。
次に、図2に示すように、フォトリソグラフィおよびドライエッチングにより、周辺回路部内に素子分離溝21を形成する。素子分離溝21は、ハードマスク層12、ストッパ層11、浮遊ゲート材3、およびゲート絶縁膜2を貫通して基板1に達するように形成される。素子分離溝21の深さの例は、200〜500nmである。
次に、図3に示すように、HDP(High Density Plasma)により、素子分離溝21内に素子分離絶縁膜13を埋め込む。
次に、図4に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)により、素子分離絶縁膜13の表面を平坦化する。その結果、ハードマスク層12が除去され、ストッパ層11の表面が基板1上に露出する。
次に、図5に示すように、セル部内のストッパ層11上にレジスト膜14を形成する。
次に、図6に示すように、素子分離絶縁膜13の上面の高さが浮遊ゲート材3の上面付近の高さに低下するまで、素子分離絶縁膜13をエッチングする。このエッチングは、ウェット方式でもドライ方式でもよい。
次に、図7に示すように、レジスト膜14を利用したウェットエッチングにより、ストッパ層11を除去する。その結果、周辺回路部内のストッパ層11が除去される。図7の工程の後、レジスト膜14を除去する。
次に、図8に示すように、基板1上の全面に再びハードマスク層15を形成する。その結果、セル部内のストッパ層11上と、周辺回路部内の浮遊ゲート材3および素子分離絶縁膜13上に、ハードマスク層15が形成される。ハードマスク層15の例は、TEOS膜である。
図8のストッパ層11は、セル部内には残存しているが、周辺回路部内には残存していない。そのため、セル部内のハードマスク層15の上面の高さは、周辺回路部内のハードマスク層15の上面の高さよりも高くなっている。ストッパ層11の膜厚は、後述するエアギャップの空隙率(深さ)に応じて適宜調整しておくことが可能である。
次に、図9に示すように、フォトリソグラフィおよびドライエッチングにより、Y方向に延びる複数の素子分離溝22をセル部内に形成する。素子分離溝22は、ハードマスク層15、ストッパ層11、浮遊ゲート材3、およびゲート絶縁膜2を貫通して基板1に達するように形成される。素子分離溝22の深さの例は、200〜500nmである。素子分離溝22の幅の例は、30nm以下、例えば、5nm〜15nmである。
図9の工程の結果、Y方向に延びる複数のAAパターンPがセル部内に形成される。各AAパターンPは、基板1の素子領域1aと、ゲート絶縁膜2と、浮遊ゲート材3と、ストッパ層11と、薄く残存するハードマスク層15とを含む。AAパターンPは、パターン部内の複数のパターンの例である。
符号A1は、セル部内のAAパターンPの上面を示す。図9のAAパターンPの上面A1は、セル部内に残存するハードマスク層15の上面である。符号A2は、周辺回路部内の平坦面を示す。本実施形態の周辺回路部は、各AAパターンPの上面A1の面積よりも広い面積を有し、平坦な形状を有する平坦面A2を有している。図9の平坦面A2は、周辺回路部内に残存するハードマスク層15の上面である。
符号Z1は、AAパターンPの上面A1の高さを示す。符号Z2は、平坦面A2の高さを示す。符号ΔZは、高さZ1と高さZ2との差を示す(ΔZ=Z1−Z2)。本実施形態においては、ストッパ層11がセル部内のみに残存しているため、平坦面A2の高さZ2がAAパターンPの上面A1の高さZ1よりも低くなっている。
次に、図10に示すように、CVDにより、基板1上の全面にライナー層16を形成する。その結果、図10のAAパターンPの上面A1は、ライナー層16の上面となる。同様に、図10の平坦面A2は、ライナー層16の上面となる。また、図10のAAパターンPの側面は、ライナー層16で覆われる。ライナー層16の例は、シリコン酸化膜、TEOS膜、HTO(High Temperature Oxide)膜などである。ライナー層16の膜厚の例は、1〜20nmである。
次に、図11に示すように、STPにより、基板1上の全面に薄膜17を形成する。具体的には、フィルムシート上に薄膜17を回転塗布により形成し、フィルムシート上の薄膜17をベークし、フィルムシート上の薄膜17に基板1を押し付けて、基板1に薄膜17を転写する。その後、フィルムシートを基板1から剥がす。薄膜17の例は、流動性を有する膜、例えば、ハイドロジェンシルセスキオキサン(HSQ)膜、ペルヒドロポリシラザン(PHPS)膜などである。薄膜17の膜厚の例は、100nm程度である。薄膜17は、第1膜の例である。
図11の工程の結果、セル部内のAAパターンPの上面A1上および周辺回路部の平坦面A2上に薄膜17が連続的に形成され、かつAAパターンP間にエアギャップ23が形成される。エアギャップ23は、第1のエアギャップの例である。エアギャップ23の空隙率(深さ)は、例えば、薄膜17のベーク温度や転写加重を調整することにより制御可能である。
符号S1は、セル部の中央部に位置するエアギャップ23の上面を示す。符号S2は、セル部の端部に位置するエアギャップ23の上面を示す。中央部は、セル部と周辺回路部との境界から遠い領域である。端部は、セル部と周辺回路部との境界に近い領域である。図11のエアギャップ23の上面S1、S2は、薄膜17により形成されている。図11のエアギャップ23の側面と底面は、ライナー層16により形成されている。
もし平坦面A2の高さがAAパターンPの上面A1の高さと同じであると、セル部と周辺回路部との境界付近で、周辺回路部で過剰となった薄膜17の材料がセル部内のAAパターンP間に入り込む可能性がある。この場合、均一な深さのエアギャップ23を形成できないことが問題となる。この場合、端部におけるエアギャップ23の上面S2は、中央部におけるエアギャップ23の上面S1よりも低くなる。
しかしながら、本実施形態においては、平坦面A2の高さがAAパターンPの上面A1の高さよりも低く設定されている。そのため、本実施形態においては、周辺回路部で薄膜17の材料が過剰になることを抑制することができ、過剰な材料がセル部内のAAパターンP間に入り込むことを抑制することができる。よって、本実施形態によれば、セル部全体にわたって深さの均一性の良好なエアギャップ23を形成することが可能となる。図11においては、端部におけるエアギャップ23の上面S2が、中央部におけるエアギャップ23の上面S1とほぼ同じ高さを有している。
図11の工程の後、酸素中または水蒸気中で基板1を230〜900℃で熱処理する。その結果、薄膜17が酸化膜に転換されて犠牲膜となる。さらに、窒素雰囲気中で基板1を熱処理して、薄膜17を硬化させてもよい。
次に、図12に示すように、ストッパ層11をストッパとするCMPにより、薄膜17の表面を平坦化する。その結果、セル部内のストッパ層11の表面が基板1上に露出する。
次に、図13に示すように、周辺回路部内に残存するハードマスク層15をエッチングにより除去する。このエッチングにより、ライナー層16および薄膜17の一部も除去される。このエッチングは、ウェット方式でもドライ方式でもよい。
次に、図14に示すように、セル内に残存するストッパ層11をリン酸水溶液により除去し、その後、周辺回路部をレジスト膜18で保護する。
次に、図15に示すように、レジスト膜18を利用したエッチングにより、セル部内のライナー層16および薄膜17の一部をさらに除去する。その結果、薄膜17の上面が、浮遊ゲート材3の上面よりも低くなる。図15の工程の後、レジスト膜18を除去する。
次に、図16に示すように、CVDにより、基板1上の全面にゲート間絶縁膜4を形成する。その結果、浮遊ゲート材3の上面および側面や、薄膜17の上面などにゲート間絶縁膜4が形成される。ゲート間絶縁膜4は、第2絶縁膜の例である。ゲート間絶縁膜4の例は、第1シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、および第2シリコン酸化膜を含む積層膜である。ゲート間絶縁膜4の膜厚の例は、20nm程度である。
次に、図17に示すように、CVDにより、ゲート間絶縁膜4上に制御ゲート材5を形成する。制御ゲート材5は、第2電極材の例である。制御ゲート材5の例は、ポリシリコン層と金属層とを含む積層膜である。金属層の例は、タングステン層、NiSi(ニッケルシリサイド)層などである。制御ゲート材5の膜厚の例は、50〜200nmである。
図17(d)は、図17(a)に示すA−A’線上の断面を示す。図17(e)は、図17(a)に示すB−B’線上の断面を示す。図17(e)は、セル部のGC(Gate Conductor)断面に相当する。これは、図18(d)、図18(e)、図19(d)、図19(e)においても同様である。
次に、図18に示すように、フォトリソグラフィおよびドライエッチングにより、X方向に延びる複数の溝24をセル部内に形成する。溝24は、制御ゲート材5、ゲート間絶縁膜4、浮遊ゲート材3、およびゲート絶縁膜2を貫通してゲート絶縁膜1および薄膜17に達するように形成される。その結果、基板1上にセルトランジスタ(および選択トランジスタ)が形成される。セルトランジスタ内の制御ゲート材5は、ワード線として機能する。
次に、図19に示すように、セル部内に残存する薄膜17を等方エッチングにより除去する。その結果、ゲート間絶縁膜4の下面がエアギャップ23の上面S1、S2となり、エアギャップ23の体積が増大する。このエッチングの例は、ウェットエッチングである。
なお、このエッチングにおいては、薄膜17の全部を除去せずに、薄膜17の一部を除去してもよい(図20)。図20は、第1実施形態の変形例の半導体装置の製造方法を示す断面図である。図20の工程は例えば、薄膜17の全部が除去される前に、薄膜17のウェットエッチングを停止することで実現可能である。この場合、ウェットエッチング用の薬液は薄膜17を上部から削っていくため、薄膜17の下部が残存する。図20の薄膜17は、AAパターンPの側面間に残存している。
図20の工程の結果、エアギャップ23の上方に薄膜17を介して別のエアギャップ25が形成される。エアギャップ23、25はそれぞれ、第1、第2のエアギャップの例である。第1のエアギャップ23は、AAパターンP間における薄膜17の下方に形成される。第2のエアギャップ25は、AAパターンP間における薄膜17とゲート間絶縁膜4との間に形成される。
符号S3は、セル部の中央部に位置する第2のエアギャップ25の下面を示す。符号S4は、セル部の端部に位置する第2のエアギャップ25の下面を示す。図20においては、端部における第2のエアギャップ25の下面S4が、中央部における第2のエアギャップ25の下面S3とほぼ同じ高さを有している。
その後、基板1内に拡散層を形成し、基板1上に種々の層間絶縁膜、プラグ層、配線層などを形成する。このようにして、本実施形態の半導体装置が製造される。
(1)第1実施形態の比較例
図21は、第1実施形態とその比較例の半導体装置の製造方法を比較するための断面図である。図21(a)は、比較例の半導体装置の一製造工程を示す断面図である。図21(b)は、第1実施形態の半導体装置の一製造工程を示す断面図である。
図21は、第1実施形態とその比較例の半導体装置の製造方法を比較するための断面図である。図21(a)は、比較例の半導体装置の一製造工程を示す断面図である。図21(b)は、第1実施形態の半導体装置の一製造工程を示す断面図である。
図21(b)は、図11の工程を概略的に示している。図21(b)は、セル部と、周辺回路部と、セル部と周辺回路部との境界付近の領域とを示している。一方、図21(a)は、平坦面A2の高さがAAパターンPの上面A1の高さと同じである場合の図11の工程を概略的に示している。
図21(a)においては、平坦面A2の高さが、AAパターンPの上面A1の高さと同じに設定されている。そのため、セル部と周辺回路部との境界付近で、周辺回路部で過剰となった薄膜17の材料がセル部内のAAパターンP間に入り込んでいる。
一方、図21(b)においては、平坦面A2の高さが、AAパターンPの上面A1の高さよりも低く設定されている。そのため、図21(b)においては、周辺回路部で薄膜17の材料が過剰になることを抑制することができ、過剰な材料がセル部内のAAパターンP間に入り込むことを抑制することができる。
以上のように、本実施形態においては、周辺回路部の平坦面A2の高さが、セル部内のAAパターンPの上面A1の高さよりも低く設定されている。よって、本実施形態によれば、深さの均一性の良好なエアギャップ23を形成することが可能となる。
なお、本実施形態においては、ストッパ層11を利用して平坦面A2をAAパターンPの上面A1よりも低くしたが、その他の方法で平坦面A2をAAパターンPの上面A1よりも低くしてもよい。
また、本実施形態のエアギャップ23の形成方法は、素子領域1a間の素子分離溝22内のエアギャップ23に適用したが、その他の溝内のエアギャップにも適用可能である。
(第2実施形態)
図22は、第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図22は、第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図22(a)は、図19の工程を実行後のセル部のGC断面を示す。図22(a)は、基板1と、基板1上に形成された複数のセルトランジスタMC、複数の選択トランジスタSG、およびダミートランジスタDGとを示している。セルトランジスタMCと選択トランジスタSGは、トランジスタとして機能可能な複数の第1パターンの例である。ダミートランジスタDGは、トランジスタとして機能不能な1つ以上の第2パターンの例である。選択トランジスタSGとダミートランジスタDGは、セルトランジスタMCと同様に図18の工程により形成される。
セルトランジスタMC、選択トランジスタSG、およびダミートランジスタDGは、同一材料で形成されている。具体的には、セルトランジスタMC、選択トランジスタSG、およびダミートランジスタDGは、基板1上に順次形成されたゲート絶縁膜2、浮遊ゲート材3、ゲート間絶縁膜4、制御ゲート材5、およびマスク層6と、これらの層3〜6の側面に形成された側壁保護絶縁膜31とにより形成されている。制御ゲート材5は、第1および第2ゲート材5a、5bを含んでいる。マスク層6は、第1および第2マスク層6a、6bを含んでいる。
第1ゲート材5aの例は、ポリシリコン層である。第2ゲート材5bの例は、金属層である。第1マスク層6aの例は、減圧CVDにより形成されたシリコン窒化膜である。第1マスク層6aは、膜厚100〜200nmのポリシリコン層でもよい。第2マスク層6bの例は、減圧CVDにより形成されたTEOS膜である。側壁保護絶縁膜31の例は、ALD(Atomic Layer Deposition)により形成されたシリコン酸化膜である。
各選択トランジスタSGのゲート間絶縁膜4は、浮遊ゲート材3と制御ゲート材5とを電気的に接続する開口部4aを有している。一方、ダミートランジスタDGのゲート間絶縁膜4は、浮遊ゲート材3と制御ゲート材5とを電気的に接続する開口部4aを有していないが、このような開口部4aを有していてもよい。開口部4aは、図16の工程と図17の工程との間にゲート間絶縁膜4のエッチングにより形成される。
各セルトランジスタMCの制御ゲート材5は、図22(a)よりも後の工程において、基板1上の配線と電気的に接続される。同様に、各選択トランジスタSGの制御ゲート材5は、図22(a)よりも後の工程において、基板1上の配線と電気的に接続される。その結果、本実施形態のセルトランジスタMCや選択トランジスタSGは、トランジスタとして機能可能な状態となる。
一方、ダミートランジスタDGの制御ゲート材5は、図22(a)よりも後の工程において、基板1上の配線とは電気的に接続されない。その結果、本実施形態のダミートランジスタDGは、トランジスタとして機能不能な状態となる。ダミートランジスタDGは、選択トランジスタSG間に形成されている。本実施形態のダミートランジスタDGは、選択トランジスタSGと同じサイズを有しているが、選択トランジスタSGとは異なるサイズを有していてもよい。
ここで、符号W1、W2、W3、W4について説明する。
符号W1は、互いに隣接するセルトランジスタMC間の幅を示す。符号W2は、互いに隣接するセルトランジスタMCと選択トランジスタSGとの間の幅を示す。符号W3は、互いに隣接する選択トランジスタSGとダミートランジスタDGとの間の幅を示す。符号W4は、ダミートランジスタDGの一側に隣接する選択トランジスタSGと、ダミートランジスタDGの他側に隣接する選択トランジスタSGとの間の幅を示す。
図22(a)は、セルトランジスタMC、選択トランジスタSG、およびダミートランジスタDGという3種類のパターンを示している。これらのパターンのうちの互いに隣接するパターン間の幅には、W1、W2、W3の3種類が含まれる(選択トランジスタSG同士は互いに隣接していないため、W4は含まれない)。これらの幅の最小値は、セルトランジスタMC間の幅W1である。一方、これらの幅の最大値は、選択トランジスタSGとダミートランジスタDGとの間の幅W3である。
なお、本実施形態においては、図22(a)の選択トランジスタSG間に2つ以上のダミートランジスタDGが形成されていてもよい。この場合、互いに隣接するパターン間の幅には、W1、W2、W3に加え、互いに隣接するダミートランジスタDG間の幅も含まれる。
以下、互いに隣接するパターン間の幅の最小値および最大値をそれぞれ、最小幅および最大幅と呼ぶ。図22(a)の最小幅は幅W1であり、図22(a)の最大幅は幅W3である。
本実施形態においては、最大幅が最小幅の1000倍よりも小さくなるように、セルトランジスタMC、選択トランジスタSG、およびダミートランジスタDGを形成する。さらに、本実施形態においては、最大幅が最小幅の100倍よりも小さくなるように、セルトランジスタMC、選択トランジスタSG、およびダミートランジスタDGを形成することが望ましい。また、本実施形態においては、選択トランジスタSG間の幅W4は、セルトランジスタMC間の幅W1(最小幅)の1000倍以上または100倍以上である。
図22(b)の工程においては、STPにより、基板1上の全面に薄膜32を形成する。薄膜32の形成方法、材料、膜厚の例は、第1実施形態の薄膜17と同様である。本実施形態の薄膜32は、層間絶縁膜として使用される。本実施形態の薄膜32は、高温熱工程での薄膜32の変質を避けるために、最終的にシリコン酸化膜に変化する材料で形成することが望ましい。このような材料の例は、ハイドロジェンシルセスキオキサン(HSQ)、ペルヒドロポリシラザン(PHPS)などである。これらの材料は、流動性を有する膜を形成可能である。薄膜32は、第1膜の例である。
図22(b)の工程の結果、セルトランジスタMC、選択トランジスタSG、およびダミートランジスタDG上に薄膜32が連続的に形成され、かつこれら3種類のパターンにおける互いに隣接するパターン間にエアギャップ33が形成される。
その後、基板1上に種々の層間絶縁膜、プラグ層、配線層などを形成する。このようにして、本実施形態の半導体装置が製造される。
(1)第2実施形態の比較例
図23は、第2実施形態の比較例の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図23は、第2実施形態の比較例の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図23(a)は、図22(a)と同様に、図19の工程を実行後のセル部のGC断面を示している。ただし、図23(a)においては、基板1上にダミートランジスタDGが形成されていない。よって、図23(a)における互いに隣接するパターン間の幅にはW1、W2、W4の3種類が含まれ、最小幅および最大幅はそれぞれ幅W1、W4である。
本比較例においてSTPを使用する場合、パターン間の幅が狭い領域とパターン間の幅が広い領域とで基板1(より正確には基板1上のパターン)と薄膜32との密着度が異なることが問題となる。具体的には、パターン間の幅がW4である領域の密着度が、パターン間の幅がW1である領域の密着度よりも低いことが問題となる。そのため、フィルムシートを基板1から剥がす際に、図23(b)または図23(c)に示す現象が起こる可能性がある。
図23(b)は、フィルムシートを基板1から剥がす際に、パターン間の幅がW4である領域で基板1に薄膜32が転写されなかった場合を示す。この領域では薄膜32に穴32aが形成されており、その結果、この領域にはエアギャップ33が形成されていない。また、薄膜32に複数の穴32aが形成される場合、これらの穴32aのサイズは一般に不均一である。そのため、エアギャップ33に複数の穴32aが形成される場合には、基板1上に安定して同じ構造を形成することが難しくなる。
図23(c)は、フィルムシートを基板1から剥がした後に、パターン間の幅がW4である領域で薄膜32に盛り上がり32bが生じた場合を示している。薄膜32に盛り上がり32bが生じると、薄膜32bよりも上層で高精度の微細加工を行うことが難しくなり、セルトランジスタMCや選択トランジスタSGの特性にばらつきが生じる可能性がある。符号Hは、盛り上がり32bの高さを示す。
実験の結果、図23(b)のような穴32bは、一般に最大幅が最小幅の1000倍以上の場合に生じることが分かった。よって、本実施形態においては、選択トランジスタSG間の幅W4がセルトランジスタMC間の幅W1の1000倍以上である場合、選択トランジスタSG間に1つ以上のダミートランジスタDGを配置する。これにより、最大幅を最小幅の1000倍よりも小さくすることが可能となる。よって、本実施形態によれば、穴32aの発生を抑制することが可能となり、基板1上の全領域にわたってエアギャップ33を形成することが可能となる。
また、実験の結果、図23(c)のような盛り上がり32bは、一般に最大幅が最小幅の100倍以上の場合に生じることが分かった。よって、本実施形態においては、選択トランジスタSG間の幅W4がセルトランジスタMC間の幅W1の100倍以上である場合、選択トランジスタSG間に1つ以上のダミートランジスタDGを配置することが望ましい。これにより、最大幅を最小幅の100倍よりも小さくすることが可能となる。よって、本実施形態によれば、盛り上がり32bの発生を抑制することが可能となり、基板1上の全領域にわたってエアギャップ33を安定して形成することが可能となる。
図24は、第2実施形態とその比較例における最大幅と最小幅の比と盛り上がりの高さとの関係を示したグラフである。
図24の横軸は、最大幅と最小幅の比を示す。第2実施形態の場合、最大幅と最小幅の比はW3/W1である。第2実施形態の比較例の場合、最大幅と最小幅の比はW4/W1である。図24の縦軸は、盛り上がり32bの高さHを示す。図24のグラフは、最小幅W1が20nm、薄膜32の膜厚が400nm、薄膜32の材料がポリシラザンの場合の実験結果を示す。
図24のグラフにおいては、盛り上がり32bは、最大幅が最小幅の100倍以上の場合に生じることが分かる。さらに、盛り上がり32bの高さHは、最大幅と最小幅の比が大きくなるほど増加することが分かる。なお、図24に関する実験において、最大幅が最小幅の1000倍以上の場合には、薄膜32に穴32aが生じた。
(2)第2実施形態の変形例
図25は、第2実施形態の変形例の半導体装置の製造方法を示す断面図および平面図である。
図25は、第2実施形態の変形例の半導体装置の製造方法を示す断面図および平面図である。
図25(a)と図25(b)はそれぞれ、図22(b)の工程を実行後のセル部を示す断面図と平面図である。図25(a)は、図25(b)のC−C’線上の断面を示す。なお、図25(b)においては、作図の便宜上、マスク層6と薄膜32の図示は省略されている。
図25(a)および図25(b)は、選択トランジスタSG上に形成されたコンタクトプラグ34を示している。コンタクトプラグ34は、薄膜32およびマスク層6を貫通して制御ゲート材5に達するコンタクトホールを形成し、コンタクトホール内にコンタクトプラグ34の材料を埋め込むことにより形成可能である。コンタクトプラグ34は、制御ゲート材5に電気的に接続される。また、コンタクトプラグ34は、コンタクトプラグ34よりも上層の配線やビアプラグに電気的に接続される。
本変形例においては、選択トランジスタSG上にコンタクトプラグ34を形成するが、ダミートランジスタDG上にはコンタクトプラグ34を形成しない。その結果、選択トランジスタSGはトランジスタ(MOSFET)として機能可能となり、ダミートランジスタDGはトランジスタ(MOSFET)として機能不能となる。なお、セルトランジスタMC内の制御ゲート材5は、制御ゲート材5の引き出し配線を介してパッド部とつながっており、パッド部上のコンタクトプラグ34と電気的に接続される。
以上のように、本実施形態においては、基板1上にセルトランジスタMCおよび選択トランジスタSGに加えてダミートランジスタDGを形成する。よって、本実施形態によれば、パターン間の幅が広い領域で基板1に薄膜32が転写されず、この領域内にエアギャップ33が形成されない事態を抑制することが可能となる。
なお、選択トランジスタSGとダミートランジスタDGとの間の幅W3は、均一でなくてもよい。例えば、ダミートランジスタDGと一側に選択トランジスタSGとの間の幅W3と、ダミートランジスタDGと他側の選択トランジスタSGとの間の幅W3は、異なっていてもよい。この場合、大きい方の幅W3が最大幅である。同様に、幅W1や幅W2も均一でなくてもよい。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な方法は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した方法の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:基板、1a:素子領域、
2:ゲート絶縁膜、3:浮遊ゲート材、4:ゲート間絶縁膜、4a:開口部、
5:制御ゲート材、5a:第1ゲート材、5b:第2ゲート材、
6:マスク層、6a:第1マスク層、6b:第2マスク層、
11:ストッパ層、12:ハードマスク層、13:素子分離絶縁膜、
14:レジスト膜、15:ハードマスク層、16:ライナー層、
17:薄膜、18:レジスト膜、
21:素子分離溝、22:素子分離溝、
23:エアギャップ、24:溝、25:エアギャップ、
31:側壁保護絶縁膜、32:薄膜、32a:穴、32b:盛り上がり、
33:エアギャップ、34:コンタクトプラグ、
MC:セルトランジスタ、SG:選択トランジスタ、DG:ダミートランジスタ
2:ゲート絶縁膜、3:浮遊ゲート材、4:ゲート間絶縁膜、4a:開口部、
5:制御ゲート材、5a:第1ゲート材、5b:第2ゲート材、
6:マスク層、6a:第1マスク層、6b:第2マスク層、
11:ストッパ層、12:ハードマスク層、13:素子分離絶縁膜、
14:レジスト膜、15:ハードマスク層、16:ライナー層、
17:薄膜、18:レジスト膜、
21:素子分離溝、22:素子分離溝、
23:エアギャップ、24:溝、25:エアギャップ、
31:側壁保護絶縁膜、32:薄膜、32a:穴、32b:盛り上がり、
33:エアギャップ、34:コンタクトプラグ、
MC:セルトランジスタ、SG:選択トランジスタ、DG:ダミートランジスタ
Claims (8)
- 基板上に、複数のパターンを有するパターン部と、前記パターンの上面よりも低い位置に平坦面を有する平坦部とを形成し、
前記基板上に第1膜を転写することにより、前記パターンの上面上および前記平坦部の平坦面上に前記第1膜を連続的に形成し、かつ前記パターン間に第1のエアギャップを形成する、
ことを含む半導体装置の製造方法。 - 前記パターンの各々は、前記基板の素子領域と、前記素子領域上の第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上の第1電極材とを含み、
さらに、
前記第1電極材および前記第1膜上に第2絶縁膜を形成し、
前記第2絶縁膜上に第2電極材を形成し、
前記第2電極材の形成後に前記第1膜を除去する、
ことを含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2電極材の形成後に前記第1膜を除去して、前記第1のエアギャップの体積を増大させる、請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2電極材の形成後に前記第1膜の一部を除去して、前記第1のエアギャップの上方に前記第1膜を介して第2のエアギャップを形成する、請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に、トランジスタとして機能可能な複数の第1パターンと、前記第1パターンと同一材料で前記第1パターン間に形成され、トランジスタとして機能不能な1つ以上の第2パターンとを形成し、
前記基板上に第1膜を転写することにより、前記第1および第2パターン上に前記第1膜を連続的に形成し、かつ前記第1および第2パターンにおける互いに隣接するパターン間にエアギャップを形成する、
ことを含む半導体装置の製造方法。 - 前記互いに隣接するパターン間の幅の最大値は、前記互いに隣接するパターン間の幅の最小値の1000倍よりも小さい、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記最小値は、互いに隣接する前記第1パターン間の幅であり、前記最大値は、互いに隣接する前記第1パターンと前記第2パターンとの間の幅である、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1および第2のパターンの各々は、前記基板上の第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上の第1電極材と、前記第1電極材上の第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上の第2電極材とを含む、請求項5から7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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