JP2013183138A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】配線抵抗を低減し、かつ配線の抵抗ばらつきを抑制することが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板内に形成された複数の素子分離領域と、前記半導体基板内の前記素子分離領域間に形成された複数の素子領域とを備える。さらに、前記装置は、前記素子領域および前記素子分離領域上に形成され、前記素子分離領域上の配線幅が、前記素子領域上の配線幅よりも太い第1配線を備える。
【選択図】図1
【解決手段】実施形態によれば、半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板内に形成された複数の素子分離領域と、前記半導体基板内の前記素子分離領域間に形成された複数の素子領域とを備える。さらに、前記装置は、前記素子領域および前記素子分離領域上に形成され、前記素子分離領域上の配線幅が、前記素子領域上の配線幅よりも太い第1配線を備える。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置およびその製造方法に関する。
DRAM(Dynamic Random Access Memory)のゲート電極は、ワード配線としても使用されており、ワード配線の配線抵抗を低減するために、ゲート電極の一部が金属膜で形成されている。しかしながら、ワード配線の配線幅が細くなると、細線効果により金属膜の比抵抗が高くなることが知られている。その結果、ワード配線の配線抵抗が増加すると共に、ワード配線の抵抗ばらつきが悪化してしまう。細線効果による比抵抗の上昇は、配線幅が30nm以下になると特に顕著となる。
配線抵抗を低減し、かつ配線の抵抗ばらつきを抑制することが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
一の実施形態による半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板内に形成された複数の素子分離領域と、前記半導体基板内の前記素子分離領域間に形成された複数の素子領域とを備える。さらに、前記装置は、前記素子領域および前記素子分離領域上に形成され、前記素子分離領域上の配線幅が、前記素子領域上の配線幅よりも太い第1配線を備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
1)メモリセルアレイ部の構造
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す平面図と断面図である。図1の半導体装置は、DRAMに相当する。
1)メモリセルアレイ部の構造
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す平面図と断面図である。図1の半導体装置は、DRAMに相当する。
図1(a)は、半導体基板101上のメモリセルアレイ部の構造を示す平面図である。また、図1(b)と図1(c)はそれぞれ、図1(a)に示すA−A’線、B−B’線に沿った断面図である。図1は、メモリセルアレイ部内に形成されたメモリセルトランジスタを示している。
図1の半導体装置は、半導体基板101と、複数の素子領域111と、複数の素子分離領域112と、各メモリセルトランジスタのゲート絶縁膜113、ゲート電極114、ハードマスク層115、および側壁絶縁膜116と、層間絶縁膜121と、コンタクトプラグ122と、層間絶縁膜123と、キャパシタ124とを備えている。
半導体基板101は、例えばシリコン基板である。図1には、半導体基板101の主面に平行で、互いに垂直なX方向およびY方向と、半導体基板101の主面に垂直なZ方向が示されている。
素子分離領域112は、半導体基板101内に形成されており、X方向に延びている。素子分離領域112は、STI(Shallow Trench Isolation)領域とも呼ばれる。素子分離領域112は、例えば、半導体基板101の表面に形成された溝TXの内部に、シリコン酸化膜を埋め込むことで形成される。
素子領域111は、半導体基板101内の素子分離領域112間に形成されており、X方向に延びている。素子領域111は、AA(Active Area)領域とも呼ばれる。素子領域111同士は、素子分離領域112により互いに電気的に分離されている。
ゲート絶縁膜113は、半導体基板101の表面に形成されている。ゲート絶縁膜113は、例えばシリコン酸化膜である。また、ゲート電極114は、半導体基板101上にゲート絶縁膜113を介して形成されている。ゲート電極114は、例えば、ポリシリコン膜114aと金属膜114bが順に積層された積層膜である。金属膜114bの例としては、タングステン膜が挙げられる。
符号TYは、素子領域111と素子分離領域112の表面に形成された溝を示す。本実施形態のゲート絶縁膜113は、溝TYの表面に形成されている。また、本実施形態のゲート電極114は、その一部が溝TYの内部に埋め込まれている。
ゲート電極114は、Y方向に延びており、素子領域111および素子分離領域112上に形成されている。図1のゲート電極114は、ワード配線としても使用される。図1のゲート電極114は、本開示の第1配線の例である。
ハードマスク層115は、ゲート電極114上に形成されている。また、側壁絶縁膜116は、ゲート電極114とハードマスク層115の側面に形成されている。ハードマスク層115は、例えばシリコン窒化膜である。また、側壁絶縁膜116は、例えばシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜である。
層間絶縁膜121は、半導体基板101上に、メモリセルトランジスタを取り囲むように形成されている。層間絶縁膜121は、例えばシリコン酸化膜である。コンタクトプラグ122は、層間絶縁膜121内に形成されており、半導体基板101と電気的に接続されている。コンタクトプラグ122は、例えばタングステン膜である。
層間絶縁膜123は、層間絶縁膜121上に、キャパシタ124を覆うように形成されている。層間絶縁膜123は、例えばシリコン酸化膜である。キャパシタ124は、層間絶縁膜123内に形成されており、コンタクトプラグ122と電気的に接続されている。キャパシタ124は、DRAMの記憶素子として使用される。
なお、図1の半導体装置は、MRAM(Magnetic Random Access Memory)としてもよい。この場合、キャパシタ124は、MTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子に置き換えられる。
次に、図1(b)に示すAA断面と、図1(c)に示すSTI断面とを比較する。
図1(b)では、ワード配線(ゲート電極)114が素子領域111上に形成されている。符号W1は、素子領域111上のワード配線114の配線幅を示す。
図1(c)では、ワード配線114が素子分離領域112上に形成されている。符号W2は、素子分離領域112上のワード配線114の配線幅を示す。
本実施形態では、素子分離領域112上のワード配線114の配線幅W2を、素子領域111上のワード配線114の配線幅W1よりも太く設定している(W2>W1)。よって、本実施形態によれば、素子分離領域112上のワード配線114の配線抵抗を下げることで、ワード配線114全体の配線抵抗を下げることが可能となる。
さらに、本実施形態によれば、配線幅W2を太くすることで、素子分離領域112上のワード配線114の細線効果を低減し、素子分離領域112上のワード配線114の比抵抗を下げることが可能となる。よって、本実施形態によれば、ワード配線114の配線抵抗を低減し、かつワード配線114の抵抗ばらつきを抑制することが可能となる。
ワード配線114の細線効果は、その配線幅が30nm以下になると顕著になる。そのため、W2>W1という設定は、配線幅W1を30nm以下とする場合において、配線幅W2を配線幅W1よりも太くする場合に効果的である。理由は、配線幅W2を太くすることで、素子分離領域112上のワード配線114の細線効果を顕著に低減できるからである。ただし、W2>W1という設定は、配線幅W1が30nm以下の場合のみに適用されるものではなく、配線幅W1が30nmよりも太い場合にも効果的である。
また、符号Wは、溝TYの幅を示す。配線幅W1、W2は、幅Wより太くても細くてもよい。ただし、配線幅W1を幅Wよりも細くすることには、コンタクトプラグ122を配置しやすいという利点がある。また、配線幅W2を幅Wよりも太くすることには、配線幅W2を幅Wよりも細くする場合に比べ、配線抵抗を低減できるという効果がある。
2)周辺回路部の構造
次に、図2を参照し、半導体基板101上の周辺回路部について説明する。
次に、図2を参照し、半導体基板101上の周辺回路部について説明する。
図2は、図1と同様、第1実施形態の半導体装置の構造を示す平面図と断面図である。
図2(a)は、半導体基板101上の周辺回路部の構造を示す平面図である。また、図2(b)と図2(c)はそれぞれ、図2(a)に示すC−C’線、D−D’線に沿った断面図である。図2は、周辺回路部内に形成された周辺トランジスタを示している。
図2は、図1と同様、半導体基板101と、複数の素子領域111と、複数の素子分離領域112と、各周辺トランジスタのゲート絶縁膜113、ゲート電極114、ハードマスク層115、および側壁絶縁膜116と、層間絶縁膜121と、コンタクトプラグ122と、層間絶縁膜123とを示している。また、図2は、コンタクトプラグ122上に形成されたビアプラグ125を示している。
ゲート電極114は、Y方向に延びており、素子領域111および素子分離領域112上に形成されている。図2のゲート電極114は、周辺回路部内のゲート配線としても使用される。図2のゲート電極114は、本開示の第2配線の例である。なお、図2のゲート電極114は、溝TYの内部には埋め込まれてないことに留意されたい。
次に、図2(b)に示すAA断面と、図2(c)に示すSTI断面とを比較する。
図2(b)では、ゲート配線(ゲート電極)114が素子領域111上に形成されている。符号W3は、素子領域111上のゲート配線114の配線幅を示す。
図2(c)では、ゲート配線114が素子分離領域112上に形成されている。符号W4は、素子分離領域112上のゲート配線114の配線幅を示す。
上述のように、図1のメモリセルアレイ部内では、素子分離領域112上のワード配線114の配線幅W2を、素子領域111上のワード配線114の配線幅W1よりも太く設定している(W2>W1)。
一方、図2の周辺回路部内では、素子分離領域112上のゲート配線114の配線幅W4は、素子領域111上のゲート配線114の配線幅W3より太くても細くてもよく、あるいは同じ太さでもよい。図2は、一例として、配線幅W4が配線幅W3よりも細いゲート配線114を示している(W4<W3)。
なお、本実施形態のメモリセルアレイ部では、素子分離領域112の上面の高さが、素子領域111の上面の高さよりも低く設定されている。本実施形態では、この設定下でワード配線114を形成することで、配線幅W2が自己整合的に配線幅W1よりも太くなる。この処理の詳細については、後述する。
また、本実施形態の周辺回路部では、素子分離領域112の上面の高さが、素子領域111の上面の高さよりも高く設定されている。本実施形態では、この設定下でゲート配線114を形成することで、配線幅W4が自己整合的に配線幅W3よりも細くなる。この処理の詳細については、後述する。
3)第1実施形態の半導体装置の製造方法
次に、図3〜図11を参照し、第1実施形態の半導体装置の製造方法を説明する。
次に、図3〜図11を参照し、第1実施形態の半導体装置の製造方法を説明する。
図3〜図11は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す平面図と断面図である。
図3(a)、図4(a)、…、図7(a)は、メモリセルアレイ部の断面を示し、図3(b)、図4(b)、…、図7(b)は、周辺回路部の断面を示す。
まず、図3に示すように、半導体基板101上にハードマスク層201を形成する。ハードマスク層201は、例えばシリコン窒化膜である。次に、図3に示すように、半導体基板101とハードマスク層201内に、X方向に延びる複数の溝TXを形成する。次に、図3に示すように、溝TXの内部に絶縁膜(例えばシリコン酸化膜)を埋め込み、絶縁膜の表面をCMP(Chemical Mechanical Polishing)により平坦化する。その結果、溝TXの内部に素子分離領域(素子分離絶縁膜)112が形成される。さらには、素子分離領域112間に素子領域111が形成される。
次に、図4に示すように、ウェットエッチングにより素子分離絶縁膜112のみを落とし込み、素子分離絶縁膜112の上面の高さを所望の高さに調整する。ここでは、素子分離絶縁膜112の上面の高さを、素子領域111の上面の高さよりも高くする。
次に、図5に示すように、周辺回路部をレジスト膜202で覆った後、メモリセルアレイ部内の素子分離絶縁膜112をウェットエッチングにより落とし込む。ここでは、メモリセルアレイ部内の素子分離絶縁膜112の上面の高さを、素子領域111の上面の高さよりも低くする。
次に、図6に示すように、レジスト膜202を除去する。
次に、図7に示すように、ハードマスク層201を除去する。こうして、メモリセルアレイ部内と周辺回路部内で上面の高さが異なる素子分離絶縁膜112が形成される。具体的には、メモリセルアレイ部内の素子分離絶縁膜112の上面S1の高さが、半導体基板101(素子領域111)の上面Sの高さよりも低く設定され、周辺回路部内の素子分離絶縁膜112の上面S2の高さが、半導体基板101(素子領域111)の上面Sの高さよりも高く設定される。
一般的に、周辺トランジスタはプレーナー構造を採用しているため、上面S2の高さが上面Sの高さよりも低くなると、リセスした周辺トランジスタの側壁部に寄生チャネルが形成され、周辺トランジスタの特性に悪影響を及ぼす。よって、本実施形態では、上面S2の高さを上面Sの高さよりも高く設定している。その結果、後述するように、配線幅W4が自己整合的に配線幅W3よりも細くなる。
一方、メモリセルトランジスタは、例えば埋め込みチャネル型の構造を採用して、上面S1よりも深い位置にチャネルを形成すれば、上面S1の高さが上面Sの高さよりも低くても上記のような問題は起こらない。よって、本実施形態では、後述するように配線幅W2を自己整合的に配線幅W1よりも太くするために、上面S1の高さを上面Sの高さよりも低く設定している。
符号H1は、上面S1と上面Sの高さの差を示し、符号H2は、上面S2と上面Sの高さの差を示す。本実施形態では、H1、H2の値を5〜15nm(例えば10nm)に設定する。
図8(a)は、メモリセルアレイ部を示す平面図であり、図8(b)と図8(c)はそれぞれ、図8(a)のA−A’線、E−E’線に沿った断面図である。また、図9(a)は、周辺回路部を示す平面図であり、図9(b)と図9(c)はそれぞれ、図9(a)のC−C’線、F−F’線に沿った断面図である。
次に、図8と図9に示すように、素子領域111と素子分離領域112内に、Y方向に延びる複数の溝TYを形成する。これらの溝TYは、埋め込みチャネルを形成するために使用される。次に、図8と図9に示すように、半導体基板101の表面に、ゲート絶縁膜113を形成する。次に、図8と図9に示すように、半導体基板101上の全面に、ゲート電極114を形成するためのゲート電極材料114a、114b(ポリシリコン膜、金属膜)と、ハードマスク層115を順に形成する。
符号P1、P2で示すように、ハードマスク層115の表面には、素子分離領域112の落とし込み量に応じた段差が形成される。メモリセルアレイ部内では、素子分離領域112の上方に凹部P1が形成される。一方、周辺回路部内では、素子分離領域112の上方に凸部P2が形成される。
図10(a)は、メモリセルアレイ部を示す平面図であり、図10(b)と図10(c)はそれぞれ、図10(a)のA−A’線、B−B’線に沿った断面図である。また、図11(a)は、周辺回路部を示す平面図であり、図11(b)と図11(c)はそれぞれ、図11(a)のC−C’線、D−D’線に沿った断面図である。
次に、図10と図11に示すように、ハードマスク層115とゲート電極材料114a、114bをエッチングして、ゲート電極材料114a、114bからゲート電極114を形成する。
この際、メモリセルアレイ部内では、素子分離領域112の上面が素子領域111の上面よりも低いため、素子分離領域112上のゲート電極材料114a、114bとハードマスク層115のエッチングレートが低くなる傾向にある。その結果、素子分離領域112上のワード配線(ゲート電極)114の配線幅W2が、自己整合的に素子領域111上のワード配線114の配線幅W1よりも太くなる。
一方、周辺回路部内では、素子分離領域112の上面が素子領域111の上面よりも高いため、素子分離領域112上のゲート電極材料114a、114bとハードマスク層115のエッチングレートが高くなる傾向にある。その結果、素子分離領域112上のゲート配線(ゲート電極)114の配線幅W4が、自己整合的に素子領域111上のゲート配線114の配線幅W3よりも細くなる。
なお、配線幅W2は、凹部P1を深くすることで太くすることが可能である。また、配線幅W4は、凸部P2を高くすることで細くすることが可能である。なお、凹部P1の深さや凸部P2の高さは、図7に示すH1、H2の値を調整することで制御可能である。
また、本実施形態では、ゲート電極114を、ポリシリコン膜114aと金属膜114bで形成したが、金属膜114bのみで形成してもよい。また、ゲート電極114は、2層以上の金属膜で形成してもよい。
その後、本実施形態では、側壁絶縁膜116、層間絶縁膜121、コンタクトプラグ122、層間絶縁膜123、キャパシタ124、ビアプラグ125などが形成される。さらには、種々の配線層、層間絶縁膜、ビアプラグなどが形成される。こうして、図1と図2に示す半導体装置が製造される。
4)第1実施形態の効果
最後に、第1実施形態の効果について説明する。
最後に、第1実施形態の効果について説明する。
以上のように、本実施形態では、メモリセルアレイ部内において、素子分離領域112上のワード配線114の配線幅W2を、素子領域111上のワード配線114の配線幅W1よりも太く設定する。
よって、本実施形態によれば、配線幅W2を太くすることで、素子分離領域112上のワード配線114の細線効果を低減し、素子分離領域112上のワード配線114の比抵抗を下げることが可能となる。その結果、本実施形態によれば、ワード配線114の配線抵抗を低減し、かつワード配線114の抵抗ばらつきを抑制することが可能となる。
また、本実施形態では、メモリセルアレイ部において、素子分離領域112の上面の高さを、半導体基板101の上面の高さよりも低く設定する。
よって、本実施形態によれば、この設定下でワード配線114を形成することで、配線幅W2を自己整合的に配線幅W1よりも太くすることが可能となる。
(第2実施形態)
図12は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す平面図と断面図である。図12の半導体装置は、NANDフラッシュメモリに相当する。
図12は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す平面図と断面図である。図12の半導体装置は、NANDフラッシュメモリに相当する。
図12(a)は、半導体基板301上のメモリセルアレイ部の構造を示す平面図である。また、図12(b)と図12(c)はそれぞれ、図12(a)に示すA−A’線、B−B’線に沿った断面図である。図12は、メモリセルアレイ部内に形成されたメモリセルトランジスタを示している。
図12の半導体装置は、半導体基板301と、複数の素子領域311と、複数の素子分離領域312と、各メモリセルトランジスタのゲート絶縁膜321、浮遊ゲート322、ゲート間絶縁膜323、および制御ゲート324と、拡散層325と、層間絶縁膜331とを備えている。
半導体基板301、素子領域311、素子分離領域312の構造は、第1実施形態とほぼ同様である。
ゲート絶縁膜321、浮遊ゲート322、ゲート間絶縁膜323、および制御ゲート324は、半導体基板301上に順に形成されている。制御ゲート324は、例えば、ポリシリコン膜324aと金属膜324bが順に積層された積層膜である。金属膜324bの例としては、タングステン膜が挙げられる。また、拡散層325は、半導体基板301内に、浮遊ゲート322と制御ゲート324を挟むように形成されている。
浮遊ゲート322は、素子領域311と同様に、素子分離領域312間に形成されている。一方、制御ゲート324は、Y方向に延びており、素子領域311および素子分離領域312上に形成されている。図12の制御ゲート324は、ワード配線としても使用される。図12の制御ゲート324は、本開示の第1配線の例である。
層間絶縁膜331は、半導体基板301上に、メモリセルトランジスタを覆うように形成されている。層間絶縁膜331は、例えばシリコン酸化膜である。
次に、図12(b)に示すAA断面と、図12(c)に示すSTI断面とを比較する。
本実施形態では、第1実施形態と同様に、素子分離領域312上のワード配線(制御ゲート)324の配線幅W2を、素子領域311上のワード配線324の配線幅W1よりも太く設定している(W2>W1)。よって、本実施形態によれば、素子分離領域312上のワード配線324の配線抵抗を下げることで、ワード配線324全体の配線抵抗を下げることが可能となる。
さらに、本実施形態によれば、配線幅W2を太くすることで、素子分離領域312上のワード配線324の細線効果を低減し、素子分離領域312上のワード配線324の比抵抗を下げることが可能となる。よって、本実施形態によれば、第1実施形態と同様に、ワード配線324の配線抵抗を低減し、かつワード配線324の抵抗ばらつきを抑制することが可能となる。
なお、本実施形態のメモリセルアレイ部では、素子分離領域312の上面の高さが、浮遊ゲート322の上面の高さよりも低く設定されている。本実施形態では、この設定下で制御ゲート324を形成することで、第1実施形態と同様に、配線幅W2が自己整合的に配線幅W1よりも太くなる。
なお、本実施形態の周辺回路部の構造は、第1実施形態とほぼ同様である。ただし、本実施形態の周辺トランジスタのゲート電極は、浮遊ゲート322を形成する電極材と、制御ゲート324を形成する電極材により形成される。
最後に、第2実施形態の効果について説明する。
以上のように、本実施形態では、メモリセルアレイ部内において、素子分離領域312上のワード配線324の配線幅W2を、素子領域311上のワード配線324の配線幅W1よりも太く設定する。よって、本実施形態によれば、第1実施形態と同様に、ワード配線324の配線抵抗を低減し、かつワード配線324の抵抗ばらつきを抑制することが可能となる。
以上、第1及び第2実施形態について説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施することができる。また、これらの実施形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことにより、様々な変形例を得ることもできる。これらの形態や変形例は、発明の範囲や要旨に含まれており、特許請求の範囲及びこれに均等な範囲には、これらの形態や変形例が含まれる。
101:半導体基板、111:素子領域、112:素子分離領域、
113:ゲート絶縁膜:114:ゲート電極、115:ハードマスク層、
116:側壁絶縁膜、121:層間絶縁膜、122:コンタクトプラグ、
123:層間絶縁膜、124:キャパシタ、125:ビアプラグ、
201:ハードマスク層、202:レジスト膜、
301:半導体基板、311:素子領域、312:素子分離領域、
321:ゲート絶縁膜、322:浮遊ゲート、323:ゲート間絶縁膜、
324:制御ゲート、325:拡散層、331:層間絶縁膜
113:ゲート絶縁膜:114:ゲート電極、115:ハードマスク層、
116:側壁絶縁膜、121:層間絶縁膜、122:コンタクトプラグ、
123:層間絶縁膜、124:キャパシタ、125:ビアプラグ、
201:ハードマスク層、202:レジスト膜、
301:半導体基板、311:素子領域、312:素子分離領域、
321:ゲート絶縁膜、322:浮遊ゲート、323:ゲート間絶縁膜、
324:制御ゲート、325:拡散層、331:層間絶縁膜
Claims (11)
- 半導体基板と、
前記半導体基板内に形成された複数の素子分離領域と、
前記半導体基板内の前記素子分離領域間に形成された複数の素子領域と、
前記素子領域および前記素子分離領域上に形成され、前記素子分離領域上の配線幅が、前記素子領域上の配線幅よりも太い第1配線と、
前記素子領域および前記素子分離領域上に形成され、前記素子分離領域上の配線幅が、前記素子領域上の配線幅よりも細い第2配線とを備え、
前記第1配線は、前記半導体基板上のメモリセルアレイ部内に配置され、前記第2配線は、前記半導体基板上の周辺回路部内に配置されており、
前記メモリセルアレイ部内における前記素子分離領域の上面の高さは、前記半導体基板の上面の高さよりも低く、
前記周辺回路部内における前記素子分離領域の上面の高さは、前記半導体基板の上面の高さよりも高く、
前記第1配線は、前記半導体基板上に、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極、または前記半導体基板上に、ゲート絶縁膜、浮遊ゲート、およびゲート間絶縁膜を介して形成された制御ゲートである、
半導体装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板内に形成された複数の素子分離領域と、
前記半導体基板内の前記素子分離領域間に形成された複数の素子領域と、
前記素子領域および前記素子分離領域上に形成され、前記素子分離領域上の配線幅が、前記素子領域上の配線幅よりも太い第1配線と、
を備える半導体装置。 - さらに、前記素子領域および前記素子分離領域上に形成され、前記素子分離領域上の配線幅が、前記素子領域上の配線幅よりも細い第2配線を備え、
前記第1配線は、前記半導体基板上のメモリセルアレイ部内に配置され、前記第2配線は、前記半導体基板上の周辺回路部内に配置されている、
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記メモリセルアレイ部内における前記素子分離領域の上面の高さは、前記半導体基板の上面の高さよりも低い、請求項3に記載の半導体装置。
- 前記周辺回路部内における前記素子分離領域の上面の高さは、前記半導体基板の上面の高さよりも高い、請求項3または4に記載の半導体装置。
- 前記第1配線は、前記半導体基板上に、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極である、請求項2から5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1配線は、前記半導体基板上に、ゲート絶縁膜、浮遊ゲート、およびゲート間絶縁膜を介して形成された制御ゲートである、請求項2から5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体基板と、
前記半導体基板内に形成された複数の素子分離領域と、
前記半導体基板内の前記素子分離領域間に形成された複数の素子領域と、
前記半導体基板上のメモリセルアレイ部内において、前記素子領域および前記素子分離領域上に形成された第1配線とを備え、
前記メモリセルアレイ部内における前記素子分離領域の上面の高さは、前記半導体基板の上面の高さよりも低い、半導体装置。 - さらに、前記半導体基板上の周辺回路部内において、前記素子領域および前記素子分離領域上に形成された第2配線を備え、
前記周辺回路部内における前記素子分離領域の上面の高さは、前記半導体基板の上面の高さよりも高い、請求項8に記載の半導体装置。 - 半導体基板内に、複数の素子分離領域と、前記素子分離領域間に挟まれた複数の素子領域とを形成し、
前記半導体基板上のメモリセルアレイ部内における前記素子分離領域の上面の高さを、前記半導体基板の上面の高さよりも低くし、
前記メモリセルアレイ部内の前記素子領域および前記素子分離領域上に第1配線を形成することで、前記素子分離領域上の前記第1配線の配線幅を、前記素子領域上の前記第1配線の配線幅よりも太くする、
半導体装置の製造方法。 - さらに、
前記半導体基板上の周辺回路部内における前記素子分離領域の上面の高さを、前記半導体基板の上面の高さよりも高くし、
前記周辺回路部内の前記素子領域および前記素子分離領域上に第2配線を形成することで、前記素子分離領域上の前記第2配線の配線幅を、前記素子領域上の前記第2配線の配線幅よりも細くする、
請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
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