JP2009009988A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009009988A JP2009009988A JP2007167377A JP2007167377A JP2009009988A JP 2009009988 A JP2009009988 A JP 2009009988A JP 2007167377 A JP2007167377 A JP 2007167377A JP 2007167377 A JP2007167377 A JP 2007167377A JP 2009009988 A JP2009009988 A JP 2009009988A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fin
- insulating film
- groove
- semiconductor device
- active region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 79
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 135
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 31
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 31
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 28
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 8
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N azanylidynetungsten Chemical compound [W]#N IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/785—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate having a channel with a horizontal current flow in a vertical sidewall of a semiconductor body, e.g. FinFET, MuGFET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66787—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a gate at the side of the channel
- H01L29/66795—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a gate at the side of the channel with a horizontal current flow in a vertical sidewall of a semiconductor body, e.g. FinFET, MuGFET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/785—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate having a channel with a horizontal current flow in a vertical sidewall of a semiconductor body, e.g. FinFET, MuGFET
- H01L29/7853—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate having a channel with a horizontal current flow in a vertical sidewall of a semiconductor body, e.g. FinFET, MuGFET the body having a non-rectangular crossection
Abstract
【解決手段】基板2に埋め込まれた素子分離絶縁膜3により絶縁分離された活性領域4と、活性領域4上に形成されたゲート絶縁膜5と、ゲート絶縁膜5を介して活性領域4上を跨ぐように形成されたゲート電極6とを備え、活性領域4の両側に溝15が設けられ、この溝15の内側にゲート絶縁膜5を介してゲート電極6の一部が埋め込まれることによって、溝15の間で立ち上がり形成されたフィン16をゲート電極6が跨ぐように形成されたフィン型のチャネル構造を有するフィン型FET1において、ゲート絶縁膜5の溝15の底面15aに接する部分の膜厚SBをフィン16の上面16bに接する部分の膜厚STよりも厚くする。
【選択図】図2
Description
更に、溝の底面に幅をゲート絶縁膜の成膜する膜厚の2倍よりも小さくすることが好ましく、また、溝の底面に対してフィンの側面のなす角度を85゜以上90゜未満とすることが好ましい。
これにより、ゲート絶縁膜の成膜時に、自己整合的にゲート絶縁膜の溝の底面に接する部分の膜厚をフィンの上面に接する部分の膜厚よりも厚くすることが可能である。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
フィン型FET1では、このような構造を採用することによって、ゲート長を長くすることができ、その結果、短チャネル効果を抑制することが可能となっている。
なお、上記フィン型FET1の製造工程における各部の切断線を図4に示し、上記フィン型FET1の各製造工程を示す図5〜図21において、(a)は、図4中の切断線A−A’による断面図、(b)は、図4中の切断線B−B’による断面図、(c)は、図4中の切断線C−C’による断面図を示すものとする。
以上のような工程を経ることによって、上記フィン型FET1を製造することができる。
Claims (8)
- 基板に埋め込まれた素子分離絶縁膜により絶縁分離された活性領域と、前記活性領域上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を介して前記活性領域上を跨ぐように形成されたゲート電極と、前記ゲート電極を挟んだ両側の活性領域に形成されたソース領域及びドレイン領域とを備える半導体装置であって、
前記活性領域の両側に溝が設けられ、この溝の内側に前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極の一部が埋め込まれることによって、前記溝の間で立ち上がり形成されたフィンを前記ゲート電極が跨ぐように形成されたフィン型のチャネル構造を有し、
前記ゲート絶縁膜は、前記溝の底面に接する部分の膜厚が前記フィンの上面に接する部分の膜厚よりも厚いことを特徴とする半導体装置。 - 前記溝が底面に向かって幅狭となる形状を有することで、前記フィンの側面が前記溝の底面に向かって傾斜した形状を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記溝の底面の幅が前記フィンの上面に接するゲート絶縁膜の膜厚の2倍よりも小さいことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記溝の底面に対して前記フィンの側面のなす角度が85゜以上90゜未満であることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体装置。
- 基板に埋め込まれた素子分離絶縁膜により絶縁分離された活性領域と、前記活性領域上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を介して前記活性領域上を跨ぐように形成されたゲート電極と、前記ゲート電極を挟んだ両側の活性領域に形成されたソース領域及びドレイン領域とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記活性領域の両側に溝を形成し、この溝の内側に前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極の一部を埋め込むことによって、前記溝の間で立ち上がり形成されたフィンを前記ゲート電極が跨ぐように形成されたフィン型のチャネル構造を形成する際に、
前記ゲート絶縁膜の前記溝の底面に接する部分の膜厚を前記フィンの上面に接する部分の膜厚よりも厚くすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記溝を底面に向かって幅狭となる形状とすることで、前記フィンの側面を前記溝の底面に向かって傾斜した形状とすることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記溝の底面の幅を前記ゲート絶縁膜の成膜する膜厚の2倍よりも小さくすることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記溝の底面に対して前記フィンの側面のなす角度を85゜以上90゜未満とすることを特徴とする請求項6又は7に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007167377A JP2009009988A (ja) | 2007-06-26 | 2007-06-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
US12/145,129 US7884418B2 (en) | 2007-06-26 | 2008-06-24 | Semiconductor device and transistor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007167377A JP2009009988A (ja) | 2007-06-26 | 2007-06-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009009988A true JP2009009988A (ja) | 2009-01-15 |
Family
ID=40159338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007167377A Abandoned JP2009009988A (ja) | 2007-06-26 | 2007-06-26 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7884418B2 (ja) |
JP (1) | JP2009009988A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010021328A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその製造方法、並びに、データ処理システム |
CN106328522B (zh) * | 2016-09-12 | 2019-08-16 | 中国科学院微电子研究所 | 一种类Fin结构III-V族半导体场效应晶体管及其制备方法 |
KR102420163B1 (ko) * | 2018-01-18 | 2022-07-12 | 삼성전자주식회사 | 집적회로 소자 및 그 제조 방법 |
CN111261517B (zh) * | 2018-12-03 | 2023-10-17 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05343681A (ja) | 1992-06-11 | 1993-12-24 | Kawasaki Steel Corp | 半導体装置 |
JP4384739B2 (ja) | 1997-04-04 | 2009-12-16 | 聯華電子股▲ふん▼有限公司 | 半導体装置及びその製造方法 |
US6444528B1 (en) * | 2000-08-16 | 2002-09-03 | Fairchild Semiconductor Corporation | Selective oxide deposition in the bottom of a trench |
JP2002151688A (ja) | 2000-08-28 | 2002-05-24 | Mitsubishi Electric Corp | Mos型半導体装置およびその製造方法 |
KR100625126B1 (ko) * | 2005-08-16 | 2006-09-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
-
2007
- 2007-06-26 JP JP2007167377A patent/JP2009009988A/ja not_active Abandoned
-
2008
- 2008-06-24 US US12/145,129 patent/US7884418B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090001454A1 (en) | 2009-01-01 |
US7884418B2 (en) | 2011-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8053307B2 (en) | Method of fabricating semiconductor device with cell epitaxial layers partially overlap buried cell gate electrode | |
KR100763337B1 (ko) | 매립 게이트 라인을 갖는 반도체소자 및 그 제조방법 | |
JP4762060B2 (ja) | 半導体記憶装置およびその製造方法 | |
JP2001210801A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法および半導体集積回路装置 | |
JP2011129566A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007158269A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5718585B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法、並びにデータ処理システム | |
JP2013149686A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008004894A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2011159760A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
KR100924007B1 (ko) | 반도체 소자의 수직 채널 트랜지스터 형성 방법 | |
KR100668511B1 (ko) | 핀 트랜지스터 및 그 제조 방법 | |
JP2010050133A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US20060011971A1 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device and method of manufacturing the same | |
US8013373B2 (en) | Semiconductor device having MOS-transistor formed on semiconductor substrate and method for manufacturing thereof | |
US8748978B2 (en) | Sense-amp transistor of semiconductor device and method for manufacturing the same | |
CN113707612B (zh) | 存储器件及其形成方法 | |
JP2012253122A (ja) | 半導体装置の製造方法、並びにデータ処理システム | |
JP2009021503A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009094275A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP4600834B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009158813A (ja) | 半導体装置の製造方法、及び半導体装置 | |
JP2009009988A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20130115745A1 (en) | Methods of manufacturing semiconductor devices including device isolation trenches self-aligned to gate trenches | |
TWI769797B (zh) | 動態隨機存取記憶體及其製造法方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100513 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130905 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20131108 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140417 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140422 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140520 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140620 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20150107 |