JP2015170831A5 - - Google Patents
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Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014047141A JP6436634B2 (ja) | 2014-03-11 | 2014-03-11 | 液状の膜材料の吐出装置 |
TW103140646A TWI558468B (zh) | 2014-03-11 | 2014-11-24 | Liquid film material dispensing device |
CN201410691416.2A CN104907222B (zh) | 2014-03-11 | 2014-11-25 | 液态的膜材料的吐出装置 |
KR1020140168741A KR101730506B1 (ko) | 2014-03-11 | 2014-11-28 | 액상의 막재료의 토출장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014047141A JP6436634B2 (ja) | 2014-03-11 | 2014-03-11 | 液状の膜材料の吐出装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015170831A JP2015170831A (ja) | 2015-09-28 |
JP2015170831A5 true JP2015170831A5 (ko) | 2016-09-23 |
JP6436634B2 JP6436634B2 (ja) | 2018-12-12 |
Family
ID=54076904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014047141A Expired - Fee Related JP6436634B2 (ja) | 2014-03-11 | 2014-03-11 | 液状の膜材料の吐出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6436634B2 (ko) |
KR (1) | KR101730506B1 (ko) |
CN (1) | CN104907222B (ko) |
TW (1) | TWI558468B (ko) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107262330B (zh) * | 2017-05-20 | 2019-05-07 | 郑州轻工业学院 | 一种带ccd计算机视觉定位的smt涂绘装置 |
JP6980339B2 (ja) * | 2017-09-05 | 2021-12-15 | 住友重機械工業株式会社 | 液体材料吐出装置及び液体材料吐出方法 |
KR102008709B1 (ko) * | 2017-12-27 | 2019-08-09 | (주)임펙 엔터프라이즈 | 코팅액 공급 장치 및 방법과 이를 위한 토출밸브 |
JP6964010B2 (ja) * | 2018-01-26 | 2021-11-10 | 日東シンコー株式会社 | コーティング剤供給装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09103727A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-04-22 | Misuzu:Kk | フローコータの温度制御装置 |
JP2001314801A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-13 | Seven Tec:Kk | 液剤施工システム |
JP3543813B2 (ja) * | 2002-07-31 | 2004-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出方法及び液滴吐出装置、液晶装置の製造方法及び液晶装置、並びに電子機器 |
JP2004087800A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置および成膜装置の供給ノズル吐出制御方法 |
JP2005131829A (ja) | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Sony Corp | 液体吐出性能維持方法及び液体吐出装置 |
KR100634288B1 (ko) * | 2003-12-01 | 2006-10-16 | 야스히로 모리 | 고체물질의 표면 개질방법 및 표면 개질된 고체물질 |
JP4438678B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2010-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出方法と液滴吐出装置、薄膜形成方法及びデバイス並びに電子機器 |
JP4911345B2 (ja) * | 2005-07-25 | 2012-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | パターニング方法、並びにこれを用いた電子装置の製造方法 |
JP2007216108A (ja) | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 塗布装置 |
US7770760B2 (en) * | 2007-02-12 | 2010-08-10 | Illinois Tool Works Inc. | Modular system for the delivery of hot melt adhesive or other thermoplastic materials |
JP2008264767A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Toshiba Corp | 液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法 |
JP5169120B2 (ja) * | 2007-10-05 | 2013-03-27 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | 液滴塗布装置 |
FI122502B (fi) * | 2007-12-20 | 2012-02-29 | Beneq Oy | Menetelmä ja laite lasin pinnoittamiseksi |
JP2012096524A (ja) * | 2010-05-24 | 2012-05-24 | Panasonic Corp | 循環式インクジェット装置 |
JP2012250230A (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-20 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 加熱装置、塗布装置及び加熱方法 |
JP2013110236A (ja) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 薄膜パターン形成装置及び薄膜パターン形成方法 |
JP5524154B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2014-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
JP5698638B2 (ja) | 2011-09-27 | 2015-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 液体付与装置及びインクジェット記録装置 |
US20140014683A1 (en) * | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Nordson Corporation | Hot melt dispensing unit and method with integrated flow control |
JP2014030807A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 薄膜形成装置及び基板製造方法 |
CN203370688U (zh) * | 2013-07-19 | 2014-01-01 | 中国科学院理化技术研究所 | 涂布装置 |
-
2014
- 2014-03-11 JP JP2014047141A patent/JP6436634B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-11-24 TW TW103140646A patent/TWI558468B/zh not_active IP Right Cessation
- 2014-11-25 CN CN201410691416.2A patent/CN104907222B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-11-28 KR KR1020140168741A patent/KR101730506B1/ko active IP Right Grant
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