JP2015159091A - 透明導電層付フィルム - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しつつ説明する。図1は、透明フィルム基板10上にアンダーコート層20、さらにその上に透明導電層30を形成した透明導電層付きフィルム100を示している。図2は、透明導電層付きフィルム100を方形にカットした際の概略斜視図を示している。図3は、透明導電層付きフィルム100をロール状態における長手方向に直交する幅方向に沿って切断した際の概略断面図を示している。
b=b(x)(bの最大値、即ちフィルムの厚みはb0)
d=d(x)(dの最大値、即ち薄膜層の厚みはd0)
とあらわせる。この時、曲率半径Δr(x)は応力σを用いて、Storneyの式より下記のように表せる。
d(x)〜Δx・tanω
Δx〜Δr・θ
と近似できることから、Δr(x)は
以下、本発明の好ましい実施の形態について、透明導電層付きフィルムの製造方法に沿って説明する。本発明の製造方法では、透明フィルム10上にアンダーコート層20が備えられる(基材準備工程)。透明導電層はスパッタリング法により形成され(製膜工程)、その後、透明電極層が結晶化される(結晶化工程)。一般に、酸化インジウムを主成分とする非晶質の透明電極層を結晶化するためには、150℃程度の加熱処理を実施する。このように加熱処理(アニール処理)を施すことで、フィルムはカールされ易くなることから、本願発明は、加熱工程によって透明導電層が結晶化されたものに対して、特に好ましい。
透明フィルム基板10のアンダーコート層20上に、スパッタリング法により透明導電層30が形成される。
非晶質の透明導電層が形成された基材は、結晶化工程に供される。結晶化工程では、当該基材が120〜170℃に加熱される。
本発明の透明導電層付きフィルムは、ディスプレイや発光素子、光電変換素子等の透明電極として用いることができ、タッチパネル用の透明電極として好適に用いられる。中でも、透明電極層が低抵抗であることから、静電容量方式タッチパネルに好ましく用いられる。
(透明フィルム基板の作製)
透明フィルム基板として、厚み50μmの2軸延伸PETフィルムを用いた。
透明電極の製膜は、ロールトゥロール型のスパッタ装置を用いて実施した。フィルムの幅は1100mmとし、長さ1000mに対して製膜を実施した。酸化インジウム・スズ(酸化スズ含量5質量%)をターゲットとして用い、酸素とアルゴンの混合ガスを装置内に導入しながら、酸素分圧10×10−3Pa、製膜室内圧力0.5Pa、基板温度0℃、パワー密度4W/cm2の条件で行った。
この透明導電層付きフィルムについて150℃で1時間熱処理を行った。表面について顕微鏡観察を行うと、ほぼ完全に結晶化されていることが確認された(結晶化度100%)。
ロールトゥロール方式のスリット加工には、シャースリット方式やギャングスリット方式などが代表として挙げられるが、本発明においては、端部処理の容易さからシャースリット方式が好ましく採用される。図4に、本発明におけるシャースリット方式の模式図を示す。1010は透明導電層付きフィルムを1つのフィルムとして模したものであり、紙面上側が透明電極層が形成されている側である。フィルムは紙面垂直方向に搬送される。透明導電層付きフィルム1010は下刃1020と上刃1030によりせん断されることでスリットされる。スリッターの上刃の形状は片刃であることが加工プロセスの観点から広く採用されている。本発明では、両刃の上刃を用いることで、効率よくスリット加工を実施することができる。
カールの評価は、スリット加工後のものと、スリット加工後に結晶化処理を施したものとについて実施した。それぞれのフィルムは1辺400mmの正方形にカットし、透明電極層を上側として、水平な台の上に固定することなく載置し、ハイトゲージを用いてカール量を測定した。なお、測定は気温と湿度が一定に保たれた恒温室で行い、その際の室温は23度、湿度は50%であった。フィルムが凹型(中央部分が下側に凹んでいる)にカールしている場合を+、凸型に変形している場合を−として値付けした。
表1に示すように、スリット角度を変更してスリット加工した。スリット角度はMD方向にのみ形成されており、TD方向は90°(通常のカッターナイフによる裁断)とした。
20:アンダーコート層
30:透明導電層
1010:透明導電層付きフィルム
1020:スリッター下刃
1030:スリッター上刃
Claims (8)
- 透明フィルム基板上に少なくとも透明導電層が形成され、一辺の長さが300mm以上である透明電極付きフィルムにおいて、
該透明電極付きフィルムの長手方向に直交する幅方向の両端には、前記透明電極付きフィルムの前記透明導電層側に向かって先細りとなる傾斜領域が形成されており、
前記傾斜領域は、前記透明電極付きフィルムの面方向を基準として30〜60°の傾斜を有していることを特徴とする透明導電層付きフィルム。 - 前記透明フィルム基板と前記透明導電層を合わせた厚さが10〜100μmである請求項1に記載の透明導電層付きフィルム。
- 前記傾斜領域は面一且つ直線である請求項1又は2に記載の透明導電層付きフィルム。
- 前記傾斜領域は、前記幅方向の両端部分の全長に渡って形成されている請求項1〜3のいずれかに記載の透明導電層付きフィルム。
- 前記傾斜領域は曲面形状であり、且つ、前記幅方向の両端における一部のみに形成されている請求項1又は2に記載の透明導電層付きフィルム。
- 前記透明導電層付きフィルムの少なくとも一面に、さらに粘着性の保護フィルムが貼り合わされている請求項1〜5のいずれかに記載の透明導電層付きフィルム。
- 前記透明導電層が加熱工程により結晶化している請求項1〜6のいずれかに記載の透明導電層付きフィルム。
- 前記透明導電層付きフィルムが1辺400mmの正方形にカットされ、前記透明フィルム基板上に前記透明導電層が形成されるように水平に配置された際、ハイトゲージを用いたときのカール量が±15mm以内である請求項1〜7のいずれかに記載の透明導電層付きフィルム。
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