JP2015148613A - 測定スタンドを電気的に起動する方法及び測定用プローブを支持するための測定スタンド - Google Patents
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- G01B7/105—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
Abstract
Description
23 ラム
24 保持器
25 制御装置、センサ要素
26 測定用プローブ
28 スリーブ
31 開始位置
32 測定位置
34 モータ
35 駆動装置
42 ガイド
44 上端スイッチ
46 下端スイッチ
47 センサ
48 切替え要素
50 減衰領域
51 フリーホイール
54 キャリッジ
91 減衰装置
92 調整部材
93 減衰部材
23 ラム
24 保持器
25 制御装置、センサ要素
26 測定用プローブ
28 スリーブ
31 開始位置
32 測定位置
34 モータ
35 駆動装置
42 ガイド
44 上端スイッチ
46 下端スイッチ
47 センサ
48 切替え要素
50 減衰領域
51 フリーホイール
54 キャリッジ
91 減衰装置
92 調整部材
93 減衰部材
Claims (28)
- 特に薄層の厚さを測定するための、開始位置(31)から測定位置(32)への少なくとも1つの測定用プローブ(26)の運動を伴う、測定スタンドを電気的に起動するための方法であって、
‐モータ(34)は、駆動装置(35)を介してラム(23)を上下に運動させる制御装置(25)によって起動され、ここで保持器(24)が前記ラム(23)上に設けられ、前記測定用プローブ(26)は前記保持器に対して固定でき、
‐前記測定用プローブ(26)又は前記保持器(23)が、測定対象のアイテム(14)上の前記測定位置(32)に降下するとすぐに、フリーホイールが前記駆動装置(35)と前記ラム(33)との間で起動され、前記駆動装置(35)の運動は前記ラム(23)の垂直運動から分離される
方法において、
‐前記少なくとも1つの測定用プローブ(14)の前記開始位置(31)から前記測定位置(32)への運動速度は、前記測定位置(32)に到達する前に、機械的又は電気的減衰によって低減されることを特徴とする、方法。 - 初めの運動速度と比較して低下した、前記開始位置(31)からの前記運動速度は、調整可能な減衰領域(50)内で起動されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記低下した運動速度は、前記減衰領域(50)内で一定に保たれることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記電気的減衰は、前記モータ(34)を起動するための電圧変化によって、又は前記制御装置(25)からの短絡によって、又は前記モータ(34)の高い回転速度から低い回転速度への回転速度の変化によって起動されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記電気的減衰はセンサ(47)、特に光バリア又はフォトセルの信号によって開始され、前記信号は前記減衰領域(50)の開始を決定し、前記減衰領域(50)は、前記開始位置(31)に配設された上端スイッチと前記測定用プローブ(26)の測定位置(32)との間に位置決めされることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記減衰領域(50)は、前記駆動装置(35)の下端スイッチによって、又は前記低下した運動速度を有する所定の期間によって範囲を画定されることを特徴とする、請求項5に記載の方法。
- 特に切替え突起である切替え要素(48)は前記ラム(23)上に位置決めされ、前記切替え要素が前記センサ(42)を通過すると、前記切替え要素によって前記減衰が起動されることを特徴とする、請求項5に記載の方法。
- 前記減衰領域(50)は少なくとも1つの運動経路を有し、前記少なくとも1つの運動経路は、スリーブに対して侵入可能に案内される前記測定用プローブ(26)のセンサ要素の侵入運動より大きいことを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記減衰領域(50)は、前記駆動装置(35)の運動を測定する下端スイッチによって範囲を画定され、前記駆動装置(35)を検出した場合に前記制御装置(25)に信号が出力され、前記信号によって前記運動が停止することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記駆動装置(35)は、前記測定用プローブ(26)から前記制御装置(25)に測定信号が送られるまで、事前に決定可能な期間に亘って、前記下端スイッチへと向かう比較的低い位置に位置決めされることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記減衰領域(50)は、少なくとも1つの運動経路を備え、前記少なくとも1つの運動経路は、前記測定用プローブ(26)の前記測定位置(32)の上方で始まり、前記フリーホイール(51)の起動位置を少なくとも僅かに超えて延在することを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記減衰領域(50)は、前記駆動装置(35)又は前記ラム(23)の移動経路に沿って可動かつ調整可能である前記センサ(47)によって決定されることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記機械的減衰は、調整部材(92)を有する減衰装置(91)によって起動され、前記減衰装置は減衰部材(93)を有し、
前記減衰部材(93)により、前記調整部材(92)の侵入速度は一定に保つか、又は前記減衰部材(93)への侵入距離の増大と共に低減される
ことを特徴とする、請求項1に記載の方法。 - 特に測定対象のアイテム(14)上の薄層の厚さを測定するための測定用プローブ(26)を支持するための測定スタンドであって、
前記測定スタンドは好ましくは、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法を実施するよう構成され、
前記測定スタンドは、測定用テーブル(12)及び前記測定用テーブル(12)の上方に配設されたハウジング(19)を備え、前記ハウジング(19)内には駆動装置(35)が設けられ、前記駆動装置(35)は、開始位置(31)から測定位置(32)へのラム(23)の垂直運動を起動し、また前記駆動装置は、制御装置(25)を用いてモータ(34)によって駆動され、
前記測定スタンドは、前記ラム(23)上に配設された保持器(24)を備え、前記保持器(24)において前記測定用プローブ(26)を固定でき、
前記測定スタンドは、前記駆動装置(35)と前記ラム(23)との間にフリーホイール(51)を備え、前記フリーホイールを用いて、前記測定用プローブ(26)又は前記保持器(24)が前記測定対象のアイテム(14)上の測定位置(31)に降下した場合に、前記駆動装置(35)の運動を前記ラム(23)の垂直運動から分離する、測定スタンドにおいて、
前記駆動要素(35)の運動速度は、前記測定用プローブ(26)の前記測定位置(32)に到達する前に、機械的又は電気的減衰によって低減される
ことを特徴とする、測定スタンド。 - 前記電気的減衰は前記制御装置(25)によって駆動され、前記制御装置(25)は、前記モータ(34)の回転速度又は前記モータ(34)を起動するための電圧を変化させることを特徴とする、請求項14に記載の測定スタンド。
- センサ(47)は、前記ラム(23)の開始位置(31)と測定位置(32)との間に、好ましくは前記ハウジング(19)に設けられ、
前記ラム(23)に固定された切替え要素(48)が前記ラム(23)の垂直運動によって前記センサ(47)を通過した場合に、前記センサ(47)によって、前記電気的減衰を起動するための制御信号が前記制御装置(25)に出力される
ことを特徴とする、請求項14に記載の測定スタンド。 - 前記ラム(23)の運動経路に沿って前記センサ(47)の位置が変化し、前記減衰領域(50)のサイズが調整されることを特徴とする、請求項16に記載のデバイス。
- 前記駆動装置(35)はキャリッジ(54)を有し、
前記キャリッジ(54)は垂直ガイド(42)に沿って運動し、また前記キャリッジ(54)の垂直運動は前記モータ(34)によって起動され、
前記モータ(24)及び前記キャリッジ(53)は、駆動を目的として、好ましくは歯付きベルト駆動手段を介して、互いに対して接続される
ことを特徴とする、請求項14に記載の測定スタンド。 - 上端スイッチは前記駆動要素(35)の開始位置(31)に設けられ、下端スイッチは下端位置に設けられ、かつ前記測定用プローブ(26)の前記測定位置(32)の下方に配設されることを特徴とする、請求項14に記載の測定スタンド。
- 前記機械的減衰は、前記ハウジング(19)上又は前記ハウジング(19)内に配設された、前記駆動要素(35)の運動、特に前記ラム(23)の垂直運動を前記測定対象のアイテム(14)の方向に抑制する機械的減衰装置(91)によって起動されることを特徴とする、請求項14に記載の測定スタンド。
- 前記減衰装置(91)は調整部材(92)を備え、
前記調整部材(92)の減衰部材(93)への侵入速度は一定に保持されるか、又は侵入距離の増大と共に減少する
ことを特徴とする、請求項20に記載の測定スタンド。 - 前記機械的減衰装置(91)は、往復式ピストンシリンダとして形成されることを特徴とする、請求項20に記載の測定スタンド。
- 前記機械的減衰部材(93)は減衰媒体として液体又はガス、特に油、空気、ゲル又は水を有することを特徴とする、請求項20に記載の測定スタンド。
- 前記機械的減衰装置(91)は、電磁減衰部材を有し、好ましくは渦電流減衰部材として形成されることを特徴とする、請求項20に記載の測定スタンド。
- 前記駆動装置(35)はキャリッジ(54)を有し、
前記キャリッジ(54)は、ガイド(42)に沿って上下に可動に案内され、
前記ガイド(42)は、駆動を目的としてモータ(34)に接続された形式で設けられ、前記機械的減衰装置(91)から物理的に離間又は分離されている
ことを特徴とする、請求項20に記載の測定スタンド。 - 前記減衰装置(91)の前記調整部材(92)は、前記駆動装置(35)の運動の前記減衰領域(50)内で前記キャリッジ(54)に直接作用することを特徴とする、請求項25に記載の測定スタンド。
- 枢動レバー機構、カムフォロワ機構、急勾配ねじ山付きスピンドル又はディスクカムは、前記モータ(34)と前記キャリッジ(54)との間に設けられ、前記モータ(34)の駆動運動を前記キャリッジ(54)の運動へと伝動することを特徴とする、請求項25に記載の測定スタンド。
- 前記モータは(34)は、好ましくは戻しばねを備える回転磁石モータとして設けられることを特徴とする、請求項14に記載の測定スタンド。
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