CN104833299A - 对测量台进行电启动的方法以及支承测量探头的测量台 - Google Patents

Abstract

本发明涉及对测量台进行电启动的方法以及支承测量探头的测量台。本发明涉及对测量台进行电启动而使至少一个测量探头(26)从开始位置(31)运动到测量位置(32)的方法，而且本发明还涉及用于支承特别是用于测量薄层的厚度的测量探头的测量台，其中，马达(34)由控制组件(25)启动，控制组件(25)通过传动组件(35)使冲杆(23)上下运动，其中，固持器(24)设置在冲杆(23)上，测量探头(26)可紧固到固持器上，其中，测量探头(26)或固持器(23)一旦下放在待测物品(14)上的测量位置(32)上，就启动在传动组件(35)和冲杆(33)之间的飞轮，而且传动组件(35)的运动与冲杆(23)的竖向运动脱开，其中，在到达测量位置(32)之前，至少一个测量探头(14)从开始位置(31)运动到测量位置(32)的速度通过机械阻尼作用或电阻尼作用降低。

Description

对测量台进行电启动的方法以及支承测量探头的测量台

技术领域

本发明涉及用于启动测量台而使至少一个测量探头运动的方法，该测量探头的运动是从开始位置转移到测量位置，其中，测量探头下放在待测物品上，特别是为了测量薄层的厚度。本发明还涉及用于执行该方法的测量台。

背景技术

从DE 10 2010 011 633 A1中了解到用于支承测量探头的测量台，提供测量探头是为了测量待测物品上的薄层的厚度。这个测量台包括测量桌，而且还包括壳体，壳体布置在测量桌上方，并且借助于柱相对于测量桌得到支持。在这个壳体中，提供马达，马达驱动传动组件，传动组件连接到冲杆上。传动组件包括托架，托架沿着导引件可动地上下被导引，其中，在托架和马达之间提供带齿带，以便控制托架的上下运动。

冲杆包括固持器，测量探头可紧固到固持器上。飞轮设置在冲杆和传动组件之间，并且测量探头一旦置于待测物品上，飞轮就启动，由此传动组件的运动与冲杆的竖向运动脱开。

在执行学习例程之后，以及在随后测量冲杆或测量探头的开始位置和待测物品上的测量位置之间的距离之后，此测量台可精确地启动测量探头的竖向运动，使得冲杆的竖向运动首先在快速模式中启动，然后转移到徐变模式。由于以前对在测量探头下放在测量表面之前所覆盖的整个行进路径的测量和了解，通过计算测量探头的轻缓下放来确定和实现减速。这种用于为了使测量探头下放在待测物品上而启动冲杆的竖向运动的测量台和方法被证明是值得的。由于要求越来越高，必须开发另一种测量台和用于启动它的方法。

发明内容

本发明的目标是提出一种用于支承至少一个测量探头的测量台，而且还提出至少一种用于启动测量台而使至少一个测量探头运动以特别地测量薄层的厚度的方法，所述测量台使得测量探头能够轻缓地下放在待测物品的测量表面上，而且另外能够在非常短的时段里准备好用于新的测量任务。

此目标由用于对测量台进行电启动的方法实现，其中，至少一个测量探头从冲杆的开始位置运动到冲杆的测量位置的高速度在到达这个测量位置之前通过机械阻尼作用或电阻尼作用降低，使得测量探头以降低的运动速度轻缓地下放。因而不必事先经过学习例程。由于直接在到达测量位置之前借助于机械阻尼作用或电阻尼作用降低运动速度，或者在到达测量位置之前的运动范围中，在测量位置上方的阻尼区域开始之前，从离开开始位置的快速模式实现可预先设定的速度降低，无需额外的调节措施。可使测量探头朝待测物品缓慢地运动，以及/或者使测量探头轻缓地下放在阻尼区域内的待测物品上。仅需要将测量探头设定在测量位置的高度，其中，所述测量探头优选利用传动组件而定位在下端位置上，以便随后进行测量。因而实现设立或转换测量台进行新的测量任务的时间的减少，从而提高生产率。

与第一输送速度相比的降低的运动速度优选由预定阻尼区域内的阻尼作用启动。用于启动传动组件(使运动速度转变成竖向运动冲杆)的两个运动速度进而被预先设定，而且相对于彼此确定，以便最大程度地减少时间以获得快速输送或粗略输送，以及以便设定最佳徐变速度或降低的运动速度，使得探头轻缓地下放在待测物品的测量表面上成为可能，而不造成损伤。测量探头非常猛烈地下放至少可导致待测物品的表面处的层有损伤，特别是引起压凹，而且可使测量有错误。

阻尼区域内的降低的运动速度优选保持恒定。马达因而可按简化的方式启动。仅从高运动速度(也优选保持恒定)切换到降低的运动速度是必要的。因此可实现所谓的拐折(kink)曲线，其中，拐折的严重程度由高运动速度与降低的运动速度的比确定。

电阻尼作用可优选由启动马达的电压的变化执行，或者由马达的短路执行。以示例的方式，马达可用作短路之后的发电机，而且可阻碍快速模式中的高行进速度，以实现制动。取决于电压变化或短路时刻，可确定所谓的拐折特征线的分布，所述线由快速模式的特征线部分和徐变模式的第二特征线部分组成。

此外，可启动马达的快速旋转速度改变，以进行电阻尼作用。

电阻尼作用还可由传感器的信号启动，传感器定位在布置在传动组件的开始位置上的终点开关和冲杆的测量位置之间，并且由于其上布置有开关元件的冲杆运动而被触发。在竖向运动期间，特别是冲杆的向下运动期间，开关元件因而可被导引经过传感器，并且传感器可输出信号，由此实现到徐变模式的切换，并且保持直到测量探头下放在待测物品上为止。以示例的方式，传感器可形成为光电池、挡光板、叉状挡光板或接近开关等。

此外，在测量探头下放在待测物品上的测量位置上之后，优选启动飞轮，并且传动组件优选继续在徐变模式中运动，直到其促动下端开关。阻尼区域因此由在壳体上或在壳体中在开始位置和测量位置之间的传感器以及下端开关的位置确定。下端开关一旦被促动，控制组件就接收运动完成的信号，并且等待，直到测量信号借助于测量探头转送给控制组件为止，由此对控制组件提供提升冲杆以及使测量探头从测量位置返回开始位置的开始信号。测量探头到达这个开始位置进而被处于开始位置的上端开关检测到，并且运动停止。

此外，阻尼区域的大小(即，冲杆以降低运动速度所进行的竖向运动)可由可沿着冲杆调节的开关元件的位置确定。因而阻尼区域也可手动地设定成由冲杆覆盖的预定行进距离，也就是说，也可设定阻尼区域的调节或减小，并且因而减少穿过阻尼区域的时间。备选地，预定时段(对于冲杆的降低的运动速度，其特别地可取决于可预先选择的降低的运动速度)也可用作用于设定阻尼区域的度量。

阻尼区域优选包括至少一个运动距离，该运动距离在测量探头的测量位置上方开始，并且延伸至少略微超过飞轮的启动。

此外，阻尼区域可具有至少一个运动距离，该运动距离大于测量探头的传感器元件相对于测量探头的套管的沉浸运动，传感器元件在套管中以可沉浸的方式被导引。由于简单地调节冲杆相对于物品的测量表面的行进距离，因而确保在测量探头的传感器元件下放在待测物品上或测量探头下放在待测物品上之前，测量探头以降低的运动速度运动，因为测量探头已经位于阻尼区域中，而且机械阻尼作用或电阻尼作用起作用，以便因而实现轻缓地下放在待测物品的表面上。

运动速度的机械阻尼作用优选由阻尼组件启动，该阻尼组件具有调节部件，调节部件具有阻尼部件，利用该阻尼部件，沉浸速度保持恒定，或者随沉浸距离增加而降低。作为阻尼作用的电子启动的备选方案，因而可提供机械阻尼作用。

形成本发明的基础的目标进一步由测量台实现，可用测量台调节驱动控制器的运动速度，并且在到达测量位置之前，电阻尼作用或机械阻尼作用降低该运动速度。因而传动组件的运动(所述运动转变成冲杆的竖向运动或运动速度)可在测量探头支托在待测物品的测量表面上之前制动。

电阻尼作用优选可由控制组件启动，控制组件启动马达的控制电压或旋转速度。因而可使控制组件且因此冲杆的运动速度突然变化，这是由控制组件上的重力引起的。优选可在控制组件处调节电压和/或旋转速度的变化，使得适应不同的探头类型和/或灵敏的测量表面也成为可能。

为了启动电阻尼作用，在探头或冲杆的开始位置和测量位置之间提供传感器，借助于传感器，控制信号输出到控制组件，以便在布置在冲杆上的开关元件一旦行经传感器就启动阻尼作用。因而使得能够精确且可重复地启动阻尼作用的开始，而且因而可确定阻尼区域的开始。这里，传感器优选为挡光板，并且传感器元件形成为例如凸耳等，以便触发挡光板处的信号。

开关元件可沿着冲杆进行高度调节，并且/或者传感器优选可沿着行进路径运动，由此可调节阻尼区域的大小。这个阻尼区域优选设定一次，然后仅通过壳体相对于测量桌或待测物品的测量表面的高度调节而再次被调节，以便然后执行测量。

在使用电阻尼作用使测量探头以降低的运动速度下放在待测物品的表面上的情况下，优选提供传动组件，传动组件具有沿着沿竖向的定向导引件的可动托架，托架被启动，以便马达可使托架上下运动，其中，马达在驱动方面连接到托架上。这里，可以示例的方式提供带传动件，以便上下运动托架。因为传动组件或托架向下运动，托架和冲杆的重力促进高运动速度，带齿带作为马达和托架之间的操作性连接是足够的。

此外，在具有电阻尼作用的测量台的情况下，上端开关优选设置在传动组件的开始位置上，并且另一个下端开关优选设置在驱动位置的下端位置上，下端开关布置在测量探头的测量位置下方。在飞轮启动(在测量探头下放在测量位置的测量表面上时进行)之后，因而可监测传动组件的进一步运动，然后停止运动，但是不影响测量探头下放在测量表面上。因而还可确定和限定阻尼区域的末端。

此外，机械阻尼组件布置在壳体中，并且阻碍传动组件的运动，以及因而阻碍冲杆沿朝待测物品的方向的竖向运动，机械阻尼组件优选与传动组件协作，以形成具有机械阻尼作用的测量台。因而又可大大减小在转移到测量位置的期间的传动组件和冲杆的运动能，其中，优选实现所谓的拐折特征线。特征线示出高运动速度(优选是恒定的)变成低运动速度或降低的运动速度(同样是恒定的)。这里，在切换期间产生互连示出相应的恒定运动速度的两条直线的弯曲部。

在机械阻尼组件的情况下，调节部件沉浸到阻尼部件中的速度优选保持恒定，或者甚至随沉浸距离增大而降低。因而可使测量探头轻缓下放在待测物品的表面上。

根据第一实施例，机械阻尼部件可具有往复活塞缸体。因而提供结构简单的构件，其使得能够长期使用。

机械阻尼部件中的阻尼介质优选包括液体或气体，特别是油、空气、凝胶或水。

机械阻尼组件可备选地包括电磁阻尼部件或涡电流阻尼，借助于此，确定调节部件的沉浸运动。

此外，优选提供传动组件，用传动组件沿着竖向导引件可动地上下导引托架，其中存在马达，马达具有驱动扭矩，以便阻碍机械阻尼组件。

机械阻尼组件优选设置成在物理上与传动组件(其特别地紧固在壳体上)分开或脱开。传动组件因而首先以高运动速度被驱动，其中，阻尼区域也由机械阻尼组件确定，特别是调节部件的沉浸距离确定。传动组件(特别是与托架一起)一旦支托在阻尼组件的调节部件上，就实现机械阻尼作用，即，测量探头下放在待测物品的测量位置上的运动速度降低。

机械阻尼组件的调节部件有利地阻碍传动组件的运动或马达的驱动扭矩。

此外，优选在马达和传动组件的托架之间提供枢轴杠杆机构、冲杆随动件机构、大导程螺纹心轴或盘式凸轮。因而可传递直接对抗机械阻尼组件的驱动扭矩。

此外，优选提供旋转磁体马达。可在其旋转角和其应用的驱动扭矩方面控制旋转磁体马达。另外，这样的旋转磁体马达具有可传递高加速度和大力的优点。马达且优选地传动组件独立地回到开始位置可优选地借助于布置在其中的复位弹簧而进行。

附图说明

将在下文基于图中示出的示例来更详细地描述和阐明本发明和另外的有利实施例及其改进。根据本发明，从描述和图中推知的特征可单独应用，或者以任何组合共同应用。在图中：

图1显示根据本发明的测量台的透视图，

图2显示根据图1的测量台的壳体的示意性侧视图，测量探头处于开始位置，

图3显示根据图1的测量台的壳体的正面的透视图，

图4显示测量台的壳体的示意性侧视图，测量探头处于测量位置，

图5显示根据图1的测量台的开关装置的详细示意图，

图6显示根据图1的测量台的壳体的后壁的透视图，在测量台上布置有减重组件，

图7显示根据图2的测量台的备选实施例的示意性侧视图，

图8显示根据图7的测量台的示意性正视图，

图9显示处于第一运动位置的根据图7的测量台的示意性侧视图，

图10显示处于另一个运动位置的根据图7的测量台的示意性侧视图，以及

图11显示处于测量探头的测量位置的根据图7的测量台的示意性侧视图。

具体实施方式

在图1中，相应地以透视的方式示出根据本发明的测量台11，并且在图2中示出侧视图。这个测量台11包括测量桌12，单独的待测目标或待测物品14可直接放在测量桌12上，或者可由安装件16保持。在测量台11的脚处，或者在测量桌12上，提供沿竖向布置的柱17，柱17与螺纹柱18一起以高度可调的方式支承壳体19。由于两个柱17、18布置成彼此相邻，所以可允许平行的导引，以进行简单的高度调节。壳体19可借助于调节机构20定向，调节机构20包括至少一个调节螺丝。可通过调节螺丝21来设定高度。另外，提供夹持机构22，以便将壳体19相对于测量桌12固定在一定高度处。

与柱17、18相对，冲杆23以可上下运动的方式支承在壳体19上。在冲杆23的下端处，提供用于可脱开地固定测量探头26或传感器等的固持器24。固持器24也可备选地设计成支承多个测量探头26或传感器。以示例的方式，测量探头26意于测量薄层的厚度。例如，这个测量探头26具有带下放帽30的传感器元件25，下放帽30可下放在待测物品14的测量表面15上。传感器元件25在测量探头26的套管28中可移位地被导引，而且可沉浸在其中，使得传感器元件25完全定位在套管28内。在测量探头26的相对的端部处，提供连接线路27，连接线路27连接到单独的测量装置上(未更详细地示出)，或者可在测量台11的连接点(未更详细地示出)处连接到壳体19的端面处的控制组件25上。

例如，在壳体19的上侧上提供两个操作元件29、29'，特别是按钮。当按钮29被促动时，执行从开始位置31到测量位置32，然后又回到开始位置31的一次运动。当按钮29'被促动时，可连续地多次提供前面描述的一次例程，其中，优选自由地安排重复次数。

在图2中，测量探头26布置在开始位置31上。借助于冲杆23，测量探头26可下降和转移到测量位置32上，在这个示例性实施例中，测量位置32对应于待测物品14的测量表面15上的下放位置。在开始位置31和测量位置32之间的运动距离或运动路径小于冲杆23的工作范围或行进路径。优选事先通过调节螺丝21相对于待测物品14的测量表面来定位壳体19，使得开始位置31和测量位置32位于冲杆23的工作范围内。

为了启动运动，在壳体19中提供电动马达34，马达驱动连接到冲杆23上的传动组件35。传动组件35包括传动元件36，传动元件36特别地形成为带齿带。这个传动元件36由上部空转轮37和下部空转轮38支承。这些空转轮37、38优选形成为带齿柱体，并且匹配带齿带的齿的轮廓。由于选择带齿带和带齿柱体，驱动运动的防滑传递成为可能。下部空转轮37直接紧固到马达34的传动轴上。

在传动元件36上提供联接元件41，未在图3中更详细地示出联接元件41。联接元件41沿着导引件42被导引，导引件42优选包括彼此平行地定向的两个导引元件43，特别是导引杆。联接元件41通过夹持紧固器连接到传动元件36上。如在平面图中看到的那样，联接元件41具有U形轮廓，使得传动元件36在U形轮廓的两个分支内被导引，并且相应的分支对导引件元件43起作用。

开关凸耳45优选设置在联接元件41上，并且与传感器元件或叉状挡光板协作，叉状挡光板布置在印刷电路板(未更详细地示出)上，印刷电路板也是控制和调整组件的一部分。因而可检测传动组件35的上端位置。备选地，还可提供上端开关44。控制组件25可布置在壳体19中，或者如示出的那样，还可定位在壳体外部。

冲杆23和传动组件35通过飞轮51(图3)与彼此联接。这个飞轮51一方面由布置在联接元件41上的支承面52形成，另一方面由承载面53形成。由于冲杆23的固有重量，承载面53支托在支承面52上。这个承载面53优选设置在托架54上，托架54优选可在导引件42上可动地上下被导引。托架54具有接收部分56，冲杆23通过接收部分56可脱开地联接到托架54上。由于在马达34促使测量探头26运动的期间，冲杆23支托在传动组件35上，在测量探头26下放在待测物品14的测量表面上之后不久，马达34可继续运行，并且因而联接元件41可进一步下降，而驱动力不传递到冲杆23且因而不传送到测量探头26。在图4中示出飞轮51的这个脱开位置。借助于壳体19中的下端开关46，检测到传动组件35的下端位置，并且马达34停止。

飞轮51优选包括开关装置58，承载面53一旦升离支承面52，开关装置58就启动。为此，开关装置58具有布置在托架54或冲杆23上的第一构件59，以及连接到联接元件41或传动组件35上的第二构件60。第一构件59优选形成为叉状挡光板，而第二构件60则优选形成为开关指或开关凸耳45。飞轮51一旦启动，第二构件60就被导引出第一构件59，并且开关信号输出到控制和调整组件。这个位置在图5中由虚线示出。印刷电路板优选布置在托架54上，并且处理紧固到印刷电路板上的叉状挡光板的开关信号，并且将此转送给控制和调整组件。对此目的所必需的控制线路优选紧固在导引杆62上，导引杆62可在接近螺纹柱18的导引件中上下运动。导引杆62在一端处固定地连接到托架54上。相反，导引杆具有滚动轴承或普通轴承，其可在导引件中上下运动。由于这个导引杆62，对冲杆23起作用的可能径向驱动力被消除。

用于安装马达34的传动轴的轴承64可同时用作传动组件35的向下运动的止动件。

在传动组件35的上端位置和下端位置之间，提供传感器47，传感器47优选紧固到壳体19上。提供匹配传感器47的开关元件48，并且其优选紧固到冲杆23上。备选地，这个开关元件还可紧固到托架54上。在冲杆23从开始位置31沿竖向运动到测量位置32的期间经过传感器47。以示例的方式，传感器47可设定成使其在开关信号被发出时处于位置49。位置49的说明仅是示例性的，而且可更接近或远离待测物品14的测量表面15，或者可定位成靠近壳体19中的下端开关。这个传感器47和开关元件48可优选为具有开关凸耳的挡光板。备选地，也可对紧固到联接元件41上的开关凸耳45分配另一个挡光板，例如为了检测位置49。

在位置49和至少测量位置32或布置在其下方的位置(可延伸直到传动组件占据下端位置)之间，形成阻尼区域50，在阻尼区域50内，测量探头26的运动速度受到机械或电阻尼作用。在这个阻尼区域50上方(即，从开始位置31到位置49)，测量探头26存在处于快速模式的高运动速度或运动速度，并且其由马达34驱动。一旦已经经过位置49，就发生阻尼作用，也就是说，测量探头26的运动速度降低，以便实现测量探头26朝待测物品14的测量表面15缓慢地运动。阻尼区域50的大小可由传感器47和开关元件48或开关凸耳45和对其分配的另一个挡光板的高度设定。

在图6中，在壳体19的后侧67上提供减重组件68。然后当固持器24接收多个测量探头26或传感器或更大且更重的测量探头26等时，可附连这个减重组件68。这个减重组件68使至少一个测量探头26仅以较低的固有重量承坐在测量表面上。减重组件68通过承载销71紧固到后壁67上，并且可枢转地接收杠杆臂72。在杠杆臂72的一端处，提供紧固销74，紧固销74对冲杆23起作用，并且穿过后部面67中的贯通膛孔73。紧固销74紧固在杠杆臂72的凹槽75中，使得在杠杆臂72的枢转运动期间的补偿运动成为可能。相反，在杠杆臂72上提供至少一个质量元件77。固持器24可根据待吸收的负载，使这个质量元件沿着杠杆臂72移位。另外，可互换地在杠杆臂72上提供质量元件77，使得更大或更小的质量元件77可附连到其上。这个减重组件68优选由盖覆盖和保护。

这种测量台11优选用于测量层厚度。层厚度测量可由磁感方法或涡电流方法执行。使用相应的方法取决于基础材料和待测量的层。以示例的方式，在铁磁基础材料上有非磁性层的情况中使用磁感方法。在非铁金属上有不导电层的情况中执行涡电流方法。

备选地，测量台11还可用于另外的测量任务。固持器24可脱开地布置在冲杆23上，使得与测量元件匹配的固持器24可据此布置在冲杆23上。

特别是在测量待测物品14上的薄层的厚度时，以及在对待测物品14进行一系列测量时使用这样的测量台11，因为在用测量探头26进行人工测量的情况下，测量探头26以不同的速度或力下放在测量表面上，并且待测物品14的表面会受损，而且结果测量值是错误的。

为了设立这种具有电阻尼作用的测量台来进行新的测量任务，可采用以下方法：

将待测物品14放在有或没有安装件16的测量桌上。然后将传动组件35定位在下端位置上，并且将测量探头26放在待测物品14的测量表面15上。然后用调节机构20使壳体19略微向上运动，使得，例如，测量探头26(包括套管，传感器元件沉浸地布置在套管中)略微升离测量表面15，其中，传感器元件本身继续支托在测量表面15上。然后可执行第一测量循环。这里，执行独立例程，独立例程可为一次例程，或者包括多次重复。仅借助于一个按钮29来启动开始。

在例程开始时，传动组件35布置在开始位置31上。然后传动组件35以高运动速度或者在快速模式中下降，直到当传感器47由开关元件48经过时，信号通过传感器47而输出到控制组件25，由此开始对运动速度进行电阻尼作用。实现电压变化或驱动旋转速度降低，使得测量探头26以显著降低的运动速度在阻尼区域50内进一步下降。在测量探头26下放在测量表面15上之后，启动飞轮51，使得马达34可继续促动传动组件35，冲杆23上没有驱动力。阻尼区域最迟在传动组件35一旦到达下端位置时结束。备选地，借助于飞轮51的启动，可输出信号，由此阻尼区域50结束，也就是说，马达的启动停止，并且马达34停止。一旦已经到达下端位置，或者马达34已经停止，测量探头26就在待测物品14上保持预定的驻留时期，以便进行测量。借助于控制组件25，测量探头26然后返回到开始位置31。控制组件25一旦接收到来自测量探头26的控制信号，控制组件25就可开始从测量位置32到开始位置31的这个返回运动，所述控制信号指示已经获得测量值。

在图7中，示出与根据图2的实施例相比较的测量台11的备选实施例。这个实施例在传动组件35的具体设计方面，以及还在机械阻尼组件91对冲杆23的运动的阻尼作用方面有所不同。至于其它，可参照图1至6中描述的测量台11的结构、运行原理和变型。

将在下文详细地阐明不同：

根据图7和8，传动组件35包括马达34，马达34在外壁上侧向地固定到壳体19上。枢轴杠杆95通过马达34的传动轴来驱动，并且与传动组件35的托架54接合。滚子96优选设置在枢轴杠杆的自由端处，并且优选在凹部97(特别是凹槽97)中被导引，具有较小的游隙。由于枢轴杠杆95的枢轴运动，滚子96从十二点钟位置(例如沿逆时针方向)转移到六点钟位置，由此执行托架54沿着导引件42的向下运动。另外，杠杆臂72围绕枢轴轴线71可旋转地安装在壳体19的与马达34相对的外侧上，其中，杠杆臂72的一半接收配重77，配重可沿着右边杠杆臂运动和固定，以便设定合适的杠杆力。在杠杆臂72上相对地提供另一个滚子98，而且滚子98也与托架54的凹部97接合。这个减重组件68在功能方面对应于图6中描述的功能。

机械阻尼组件91布置在壳体19中，有利地布置在壳体19的基部处。这个机械阻尼组件例如包括调节部件92，调节部件92在阻尼部件93中可沉浸地被导引。以示例的方式，阻尼部件93形成为往复活塞缸体。机械阻尼部件91优选以流体、特别是油、气体、空气、凝胶或水工作。可容易地调节阻尼速率。

阻尼组件91优选与居中地在托架54上在两个导引件42之间的调节部件92接合，并且以阻尼的方式阻碍托架54的向下运动。

这种具有机械阻尼组件91的测量台11像下面这样运行：

待测物品14在有或没有安装件16的情况下定位在测量桌12上。传动组件35处于图7中示出的开始位置31。然后通过控制组件25激励马达34。这个马达34优选是旋转磁体马达，其可产生高的初始扭矩。然后枢轴杠杆95被驱动旋转，使得其沿逆时针方向旋转，并且使托架54沿着导引件42向下运动。由于向下运动得到冲杆23和测量探头26的重量的协助，并且配重77由于杠杆臂72仅略微进行阻碍，所以传动组件35的向下运动以高运动速度执行，也就是说处于快速模式。然后托架54贴靠着机械阻尼组件91的调节部件92。在图9中示出了这一点。此时的测量探头26已经沿待测物品14的测量表面15的方向，高速地覆盖了较大的路径。阻尼区域50现在开始，因为传动组件35的托架54支托在机械阻尼组件91的调节部件92上。枢轴杠杆95优选具有超过90°的枢转范围，优选大于100°，其中，枢轴杠杆95定向成使得在开始时在托架54上产生高运动速度，而且这朝运动的终点而降低，其中，提升力然后增大。因而，枢轴杠杆的开始位置或初始位置介于八点钟位置至十点钟位置之间，或者介于两点钟位置至四点钟位置之间，或者甚至是十一点钟位置至一点钟位置，分别在七点钟位置或六点钟位置或五点钟位置或六点钟位置之间的范围中。在枢转阶段结束时，可通过枢轴杠杆95用高杠杆力来抵抗阻尼组件91。从图9中示出的位置开始，冲杆23以及因而测量探头12的竖向运动转变成徐变运动，使得允许测量探头26朝待测物品14的测量表面缓慢地运动。机械阻尼组件91的调节部件92的沉浸速度由阻尼部件93确定。

在图10中示出在测量探头12下放在待测物品16上之前不久，在阻尼区域50内的转移位置。

在测量探头12根据图11下放在待测物品14的测量表面15上之后，马达34的驱动扭矩可继续起作用，使得调节部件92穿过其余的行进路径，这可从图10和11的比较看出。同时，如图11中由参考记号A示出的那样，飞轮51启动，使得没有驱动力对测量探头12且因而对测量表面15起作用。

一旦已经到达图11中示出的结束位置(优选地可由下端开关(未示出)检测到)，马达34就通过控制组件25断开达预定时段，以便使枢轴杠杆95保持在这个位置上，这对于至少为了使用测量探头2进行测量来说是必要的。包含在马达34中的复位弹簧优选在电流断开之后产生返回运动。另外或专有地，马达34还可被驱动来实现返回运动。这里，传动组件35返回到开始位置31得到了配重77的协助，特别是在马达中未提供返回元件时，以便在测量之后使测量探头12升离待测物品14，以及以便使传动组件35返回根据图1的开始位置31。

作为图7至11中示出的马达34的备选方案，以及作为传动组件35的备选方案，还可提供备选方案，以便启动托架54的上下运动，其中，借助于阻尼组件91，对托架54的向下运动添加机械阻尼作用。以示例的方式，马达可通过传动件驱动，诸如链条、带齿带等，或冲杆随动件机构，诸如凸轮盘或大导程螺纹心轴，它们在弯曲轮廓或螺纹轮廓方面适合快速速度的运动路径和后续的阻尼区域50的大小或长度。

Claims (26)

1.一种对测量台进行电启动而使至少一个测量探头(26)从开始位置(31)运动到测量位置(32)以便测量薄层的厚度的方法，

其中，马达(34)由控制组件(25)启动，所述控制组件(25)通过传动组件(35)来使冲杆(23)上下运动，其中，在所述冲杆(23)上提供固持器(24)，所述测量探头(26)可紧固到所述固持器上，

其中，所述测量探头(26)或固持器(23)一旦下放在待测物品(14)上的测量位置(32)上，就启动在所述传动组件(35)和所述冲杆(33)之间的飞轮，并且所述传动组件(35)的运动与所述冲杆(23)的竖向运动脱开，

其特征在于，

在到达所述测量位置(32)之前，所述至少一个测量探头(14)从所述开始位置(31)运动到所述测量位置(32)的速度通过机械阻尼作用或电阻尼作用降低。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在可调阻尼区域(50)内启动比离开所述开始位置(31)的第一运动速度降低的运动速度。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述降低的运动速度在所述阻尼区域(50)内保持恒定。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电阻尼作用通过用来启动所述马达(34)的电压的变化而启动，或者通过来自所述控制组件(25)的短路而启动，或者通过所述马达(34)的从高旋转速度到低旋转速度的旋转速度变化而启动。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电阻尼作用由传感器(47)的信号启动，所述信号确定所述阻尼区域(50)的开始，所述传感器(47)定位在布置在所述开始位置(31)上的上端开关和所述测量探头(26)的测量位置(32)之间。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述阻尼区域(50)由所述传动组件(35)的下端开关(46)界定，或者由具有所述降低的运动速度的预定时段界定。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，开关元件(48)定位在所述冲杆(23)上，借助于所述开关元件，所述阻尼作用在所述开关元件行经所述传感器(47)时启动。

8.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述阻尼区域(50)具有至少一个运动路径，所述至少一个运动路径大于所述测量探头(26)的传感器元件(25)的沉浸运动，相对于套管(28)可沉浸地导引所述传感器元件(25)。

9.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述阻尼区域(50)由下端开关(46)界定，所述下端开关(46)测量所述传动组件(35)的运动，并且在检测所述传动组件(35)的情况下，信号输出到所述控制组件(25)，借助于所述信号，所述运动被停止。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述传动组件(35)定位在靠近所述下端开关(46)的下部位置达可预定时段，直到测量信号从所述测量探头(26)转送到所述控制组件(25)。

11.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述阻尼区域(50)包括至少一个运动路径，所述至少一个运动路径在所述测量探头(26)的测量位置(32)上方开始，并且延伸至少略微超过所述飞轮(51)的启动。

12.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述阻尼区域(50)由传感器(47)确定，所述传感器(47)可沿着所述传动组件(35)或所述冲杆(23)的运动路径运动和调节。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机械阻尼作用由具有调节部件(92)的阻尼组件(91)启动，所述阻尼组件具有阻尼部件(93)，所述阻尼部件(93)保持恒定，或者随着沉浸到所述阻尼部件(93)中的距离增大而降低所述调节部件(92)的沉浸速度。

14.一种测量台，其用于支承用于测量待测物品(14)上的薄层的厚度的测量探头(26)，所述测量台意于执行根据权利要求1至13中的任一项所述的方法，所述测量台包括测量桌(12)和壳体(19)，所述壳体(19)布置在所述测量桌(12)上方，并且在所述壳体(19)中提供传动组件(35)，所述传动组件(35)启动冲杆(23)从开始位置(31)到测量位置(32)的竖向运动，而且借助于控制组件(25)通过马达(34)驱动所述传动组件(35)，所述测量台包括固持器(24)，所述固持器(24)布置在所述冲杆(23)上，并且所述测量探头(26)可紧固在所述固持器(24)中，所述测量台包括设置在所述传动组件(35)和所述冲杆(23)之间的飞轮(51)，在所述测量探头(26)或所述固持器(24)下放在所述待测物品(14)上的测量位置(31)上的情况下，所述传动组件(35)的运动与所述冲杆(23)的竖向运动借助于所述飞轮脱开，其特征在于，在到达所述测量探头(26)的测量位置(32)之前，所述传动组件(35)的运动速度通过电阻尼作用或机械阻尼作用降低。

15.根据权利要求14所述的测量台，其特征在于，所述电阻尼作用由所述控制组件(25)启动，所述控制组件(25)改变所述马达(34)的旋转速度或用于启动所述马达(34)的电压。

16.根据权利要求14所述的测量台，其特征在于，在所述冲杆(23)的开始位置(31)和测量位置(32)之间提供传感器(47)，当紧固到所述冲杆(23)上的开关元件(48)在所述冲杆(23)的竖向运动中经过时，用于启动所述电阻尼作用的控制信号借助于所述传感器输出到所述控制组件(25)。

17.根据权利要求16所述的装置，其特征在于，可改变所述传感器(47)的沿着所述冲杆(23)的运动路径的位置，并且所述阻尼区域(50)的大小得到调节。

18.根据权利要求14所述的测量台，其特征在于，上端开关(44)设置在所述传动组件(35)的开始位置(31)上，并且下端开关(46)设置在下端位置上，而且布置在所述测量探头(26)的测量位置(32)下方。

19.根据权利要求14所述的测量台，其特征在于，所述机械阻尼作用由机械阻尼组件(91)启动，所述机械阻尼组件(91)布置在所述壳体(19)上或布置在所述壳体(19)中，并且阻碍所述冲杆(23)沿朝所述待测物品(14)的方向的竖向运动。

20.根据权利要求19所述的测量台，其特征在于，所述阻尼组件(91)包括调节部件(92)，所述调节部件(92)沉浸到阻尼部件(93)中的速度保持恒定，或者随沉浸距离增大而降低。

21.根据权利要求19所述的测量台，其特征在于，所述机械阻尼组件(91)形成为往复活塞缸体。

22.根据权利要求20所述的测量台，其特征在于，所述机械阻尼部件(93)具有液体或气体作为阻尼介质，所述机械阻尼组件(91)具有电磁阻尼部件，并且形成为涡电流阻尼。

23.根据权利要求14所述的测量台，其特征在于，所述传动组件(35)具有托架(54)，所述托架(54)沿着导引件(42)可动地上下被导引，所述导引件(42)设置成在传动方面连接到马达(34)上，并且在物理上与所述机械阻尼组件(91)分开或脱开。

24.根据权利要求20所述的测量台，其特征在于，所述阻尼组件(91)的调节部件(92)直接在所述传动组件(35)的运动的阻尼区域(50)内对所述托架(54)起作用，并且阻碍由所述马达(34)驱动的运动。

25.根据权利要求23所述的测量台，其特征在于，枢轴杠杆机构、冲杆随动件机构、大导程螺纹心轴或凸轮盘设置在所述马达(34)和所述托架(54)之间，并且将所述马达(34)的驱动运动转化成所述托架(54)的运动。

26.根据权利要求14所述的测量台，其特征在于，将所述马达(34)设置为旋转磁体马达，其包括复位弹簧。