JP2015144242A - ステージ、ステージの製造方法、熱交換器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
一実施形態に係るステージは、プレートと熱交換器とを備える。プレートは、その上に基板が載置される表面側と裏面側とを有する。熱交換器は、プレートの裏面側の複数の領域であり、2次元的に分布し、且つ互いに内包しない該複数の領域に対して個別に熱交換媒体を供給して、供給した熱交換媒体を回収するように構成されている。
【選択図】図2
Description
Claims (18)
- その上に基板が載置される表面側と裏面側とを有するプレートと、
前記プレートの前記裏面側の複数の領域であり、2次元的に分布し、且つ互いに内包しない該複数の領域に対して個別に熱交換媒体を供給して、供給した熱交換媒体を回収するように構成された熱交換器と、
を備える、ステージ。 - 前記熱交換器は、
前記プレートの前記裏面側に向けて上方に延び、前記裏面側に対面する開口端を提供する複数の第1の管であり、前記プレートの下方において分布された、該複数の第1の管と、
前記複数の第1の管をそれぞれ囲む複数の空間を画成する隔壁と、
前記複数の空間にそれぞれ連通するよう前記隔壁に接続する複数の第2の管と、
を有する、
請求項1に記載のステージ。 - 前記複数の第1の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第1の流路、及び、前記複数の第2の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第2の流路が形成されたブロック状の流路部であり、前記複数の第1の流路の他端部が局所的に集められた第1の集合部、及び、前記複数の第2の流路の前記他端部が局所的に集められた第2の集合部を有する、該流路部と、
前記ステージを支持するケースであって、前記熱交換器及び前記流路部を収容する空間を前記ステージと共に画成する、該ケースと、
を備え、
前記ケースには、前記流路部の前記第1の集合部に対面する第1の開口、及び、前記流路部の前記第2の集合部に対面する第2の開口が形成されている、
請求項2に記載のステージ。 - 前記複数の第1の流路は互いに等しいコンダクタンスを有し、
前記複数の第2の流路は互いに等しいコンダクタンスを有する、
請求項3に記載のステージ。 - 前記ケースは、前記プレートを支持する筒状の側壁を有しており、
前記側壁は、該側壁の外周面の一部を縮径する段差部を含んでおり、
前記段差部に沿って設けられた球体であり、断熱性材料から構成された該球体を更に備える、
請求項3又は4に記載のステージ。 - 前記熱交換器は、樹脂を主成分として構成されている、
請求項2〜5の何れか一項に記載のステージ。 - 前記複数の第1の管の前記開口端は、炭素を含有する樹脂により構成されている、
請求項6に記載のステージ。 - 前記プレートの前記裏面側には、前記複数の第1の管の前記開口端がそれぞれ挿入される複数の凹部が形成されている、
請求項2〜6の何れか一項に記載のステージ。 - 前記複数の第1の管の各々の外周面には、螺旋状に延びるスロープが形成されている、
請求項8に記載のステージ。 - 前記プレート内には、2次元的に分布するよう配置された複数のヒータが設けられている、
請求項1〜9の何れか一項に記載のステージ。 - 前記ステージの前記表面側には、前記基板を静電吸着する静電チャックが設けられている、
請求項1〜10の何れか一項に記載のステージ。 - その上に基板が載置される表面側と裏面側とを有するプレートを準備する工程と、
熱交換器及び流路部を個別に又は一括して準備する工程と、
前記プレート、前記熱交換器、及び前記流路部を有するステージを作成する工程と、
を有し、
前記熱交換器は、
前記プレートの前記裏面側に向けて上方に延び、前記裏面側に対面する開口端を提供する複数の第1の管であり、前記プレートの下方において分布された、該複数の第1の管と、
前記複数の第1の管をそれぞれ囲む複数の空間を画成する隔壁と、
前記複数の空間にそれぞれ連通するよう前記隔壁に接続する複数の第2の管と、
を有し、
前記流路部は、前記複数の第1の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第1の流路、及び、前記複数の第2の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第2の流路が形成され、且つ、前記複数の第1の流路の他端部が局所的に集められた第1の集合部、及び、前記複数の第2の流路の前記他端部が局所的に集められた第2の集合部を有するブロック体であり、
少なくとも前記流路部は、3Dプリンタを用いて形成されている、
ステージの製造方法。 - 3Dプリンタ用のモデルデータを準備する工程を更に含み、
前記モデルデータを準備する工程は、
前記複数の第1の流路及び前記複数の第2の流路の反転形状を有する模型を準備する工程と、
前記模型をコンピュータ断層撮影して前記模型の3次元データを生成した後に、該3次元データの反転パターンを生成し、該反転パターンに基づいて前記モデルデータを作成する工程と、
を含む、
請求項12に記載のステージの製造方法。 - 請求項12又は13に記載のステージの製造方法により製造された、ステージ。
- 2次元的に分布し、且つ互いに内包しないように並ぶ複数の熱交換部を備え、
前記複数の熱交換部が、個別に熱交換媒体を供給して、供給した熱交換媒体を回収する、熱交換器。 - 請求項1〜11の何れか一項に記載のステージを備える、基板処理装置。
- 前記複数の第1の管には、対応する前記第1の管に流入する前記熱交換媒体の流量を制御する複数の流量制御器がそれぞれ接続されている、
請求項2〜8の何れか一項に記載のステージ。 - 前記流量制御器はニードルバルブ又はオリフィスであり、
前記プレートが径方向において複数のゾーンに分割されているときに、前記複数の流量制御器の弁の開度は、前記複数のゾーンの各々に対面する前記複数の第1の管のそれぞれに接続された前記複数の流量制御器毎に異なっている、
請求項17に記載のステージ。
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