JP6545330B2 - ステージ、ステージの製造方法 - Google Patents
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Claims (11)
- その上に基板が載置される表面側と裏面側とを有するプレートと、
前記プレートの前記裏面側の複数の領域であり、2次元的に分布し、且つ互いに内包しない該複数の領域に対して個別に熱交換媒体を供給して、供給した熱交換媒体を回収するように構成された熱交換器であり、
前記プレートの前記裏面側に向けて上方に延び、前記裏面側に対面する第1の開口端と該第1の開口端の反対側に設けられた第2の開口端を提供する複数の第1の管であり、前記プレートの下方において分布された、該複数の第1の管と、
前記複数の第1の管をそれぞれ囲む複数の空間を画成する隔壁と、
前記複数の空間にそれぞれ連通するよう前記隔壁に接続する複数の第2の管であり、各々が熱交換媒体を排出するための第3の開口端を提供する、該複数の第2の管と、
を有する、該熱交換器と、
前記複数の第1の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第1の流路、及び、前記複数の第2の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第2の流路が形成された流路部と、を備え、
前記流路部は、上面を有するブロック体であり、
前記複数の第1の流路の前記一端部の各々は、上下方向から見て、前記複数の第1の管のうち対応する第1の管の前記第2の開口端に対して重なる位置において、前記上面に開口し、
前記複数の第2の流路の前記一端部の各々は、上下方向から見て、前記複数の第2の管のうち対応する第2の管の前記第3の開口端に対して重なる位置において、前記上面に開口し、
前記プレートを支持するケースであって、前記熱交換器及び前記流路部を収容する空間を前記プレートと共に画成する、該ケースを更に備え、
前記流路部は、前記複数の第1の流路の他端部が局所的に集められた第1の集合部、及び、前記複数の第2の流路の前記他端部が局所的に集められた第2の集合部を有し、
前記ケースには、前記流路部の前記第1の集合部に対面する第1の開口、及び、前記流路部の前記第2の集合部に対面する第2の開口が形成されている、ステージ。 - 前記複数の第1の管、前記隔壁、及び、前記複数の第2の管が、樹脂によって一体的に形成されている、請求項1に記載のステージ。
- 前記熱交換器及び前記流路部が、樹脂によって一体的に形成されている、請求項1又は2に記載のステージ。
- 前記複数の第1の流路の各々は、前記複数の第1の流路のコンダクタンスが互いに等しくなるような径を有しており、
前記複数の第2の流路の各々は、前記複数の第2の流路のコンダクタンスが互いに等しくなるような径を有している、
請求項1〜3の何れか一項に記載のステージ。 - 前記プレートの前記裏面側には、互いに離間する複数の凹部が形成され、該複数の凹部には前記複数の第1の管の前記第1の開口端がそれぞれ挿入されている、請求項1〜4の何れか一項に記載のステージ。
- 前記複数の第1の管には、対応する前記第1の管に流入する前記熱交換媒体の流量を制御する複数のオリフィスがそれぞれ接続されている、請求項1〜5の何れか一項に記載のステージ。
- 前記複数の第2の管の各々は、前記第3の開口端に向かうにつれて先細っている、請求項1〜6の何れか一項に記載のステージ。
- その上に基板が載置される表面側と裏面側とを有するプレートを準備する工程と、
熱交換器及び流路部を個別に又は一括して準備する工程と、
前記プレート、前記熱交換器、及び前記流路部を有するステージを作成する工程と、を有し、
前記熱交換器は、
前記プレートの前記裏面側に向けて上方に延び、前記裏面側に対面する第1の開口端と該第1の開口端の反対側に設けられた第2の開口端を提供する複数の第1の管であり、前記プレートの下方において分布された、該複数の第1の管と、
前記複数の第1の管をそれぞれ囲む複数の空間を画成する隔壁と、
前記複数の空間にそれぞれ連通するよう前記隔壁に接続する複数の第2の管であり、各々が熱交換媒体を排出するための第3の開口端を提供する、該複数の第2の管と、
を有し、
前記流路部は、上面を有するブロック体であり、前記複数の第1の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第1の流路、及び、前記複数の第2の管にそれぞれ接続する一端部と他端部とを有する複数の第2の流路を有し、
前記複数の第1の流路の前記一端部の各々は、上下方向から見て、前記複数の第1の管のうち対応する第1の管の前記第2の開口端に対して重なる位置において、前記上面に開口し、
前記複数の第2の流路の前記一端部の各々は、上下方向から見て、前記複数の第2の管のうち対応する前記第3の開口端に対して重なる位置において、前記上面に開口し、
少なくとも前記流路部は、3Dプリンタを用いて形成されている、
ステージの製造方法。 - 前記熱交換器及び流路部を個別に又は一括して準備する工程は、
反転模型を準備する工程であり、該反転模型が、前記複数の第1の流路及び前記複数の第2の流路の反転形状を有する複数の中実ケーブルと、前記複数の中実ケーブルの素材とは異なる素材からなり、前記複数の中実ケーブルが互いに非接触となるように該複数の中実ケーブルを個別に被覆する複数の分離チューブとを含む、該工程と、
前記反転模型をコンピュータ断層撮影し、前記複数の中実ケーブルと複数の分離チューブとの素材の違いに基づいて、撮影された断層画像から前記複数の中実ケーブルの3次元データを抽出し、該3次元データの反転パターンに基づいて3Dプリンタ用のモデルデータを生成する工程と、
前記3Dプリンタ及び前記モデルデータを用いて、前記流路部を形成する工程と、
を含む、請求項8に記載のステージの製造方法。 - 前記反転模型が、前記複数の中実ケーブルの端部を束ねる結束チューブを更に含む、請求項9に記載のステージの製造方法。
- 前記熱交換器及び流路部を個別に又は一括して準備する工程は、前記複数の第1の流路及び前記複数の第2の流路に相当する部分の径、屈曲率又は長さが調整されるように、前記モデルデータを修正する工程を更に含む、請求項9又は10に記載のステージの製造方法。
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