JP2015138971A - 埋め込み絶縁領域を備えた半導体基板上のサーモパイル・ピクセルの形成のためのcmos集積方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板は、第1の表面と、実質的に第1の表面とは反対の第2の表面と、第1の表面と第2の表面との間の距離によって定義される厚さと、を含む。半導体基板の第1の表面内にトレンチを形成する。基板の第1の表面及びトレンチの上にパッシベーション層を塗布し、任意選択で基板の第1の表面の上に共形層を付着させることによりトレンチを充填する。基板の第1の表面から共形層及びパッシベーション層を平坦化し、基板の第1の表面上に膜を形成する。基板の第2の表面から、マスクされていない領域を介して膜及びトレンチの少なくとも一部分に隣接する空洞を基板内に形成する。
【選択図】図2
Description
Claims (20)
- 第1の表面と、実質的に前記第1の表面とは反対の第2の表面と、前記第1の表面と前記第2の表面との間の距離によって定義される厚さと、を有する基板を備える半導体ウェーハ内に撮像デバイスを製造するための方法であって、
前記半導体基板の第1の表面内にトレンチを形成するステップと、
前記基板の第1の表面及び前記トレンチの上にパッシベーション層を塗布するステップと、
前記基板の第1の表面から前記パッシベーション層を平坦化するステップと、
前記基板の第1の表面上に膜を形成するステップと、
前記基板の第2の表面から、マスクされていない領域を介して前記膜及び前記トレンチの少なくとも一部分に隣接する空洞を前記基板内に形成するステップと、を含む、方法。 - 前記基板の第2の表面に第1のマスクを塗布するステップであって、前記基板の第2の表面のマスクされていない領域が膜の中央領域に対応するステップを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基板の第1の表面上にCMOS構造を形成するステップを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記膜が、前記基板の第1の表面又は前記空洞を露出する開口部を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のマスクが、空洞の輪郭形状を定義する、請求項2に記載の方法。
- 前記基板内に前記空洞を形成することが、
実質的に前記空洞の輪郭形状に応じた形状を有する空洞をDRIEエッチングするステップと、
前記トレンチの少なくとも一部分に隣接するように実質的に前記膜に隣接する前記空洞の一部分を拡張するステップと、
を更に含む、請求項5に記載の方法。 - 前記基板内にトレンチを形成することが、前記基板の第1の表面に第2のマスクを塗布するステップであって、前記第2のマスクがトレンチの輪郭形状を定義する、ステップを更に含む、請求項2に記載の方法。
- 前記基板内に前記トレンチを形成することが、実質的に前記トレンチの輪郭形状に応じた形状を有するトレンチをDRIEエッチングするステップを更に含む、請求項7に記載の方法。
- 前記基板内に前記トレンチを形成することが、前記基板の第1の表面から前記第2のマスクを剥離するステップを更に含む、請求項8に記載の方法。
- 前記空洞をエッチングする前に、前記基板の第1の表面の上にフォトレジスト層を塗布するステップと、
前記空洞をエッチングした後に、前記フォトレジストを剥離するステップと、を更に含む、請求項4に記載の方法。 - 前記トレンチが、前記基板の前記厚さより小さい深さを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記基板の第1の表面の上に1つの材料の共形層を付着させるステップと、
前記基板の第1の表面から前記共形層を平坦化するステップと、を更に含み、
前記共形層を付着させることが、前記トレンチを少なくとも部分的に充填する、請求項1に記載の方法。 - 前記材料が、ポリシリコン、誘電体材料、ポリマー、及び金属からなるグループから選択される、請求項12に記載の方法。
- 第1の表面と、実質的に前記第1の表面とは反対の第2の表面と、前記第1の表面と前記第2の表面との間の距離によって定義される厚さと、を有する基板を備える半導体ウェーハ内に撮像デバイスを製造するための方法であって、
前記半導体基板の第1の表面内にトレンチを形成するステップと、
前記トレンチの上にパッシベーション層を塗布するステップと、
前記基板の第1の表面上に膜を形成するステップと、
前記基板の第2の表面から、マスクされていない領域を介して前記膜及び前記トレンチの少なくとも一部分に隣接する空洞を前記基板内に形成するステップと、を含む、方法。 - 前記基板の第2の表面に第1のマスクを塗布するステップであって、前記第2の基板の第2の表面のマスクされていない領域が膜の中央領域に対応する、ステップを更に含む、請求項14に記載の方法。
- 前記第1のマスクが、空洞の輪郭形状を定義する、請求項15に記載の方法。
- 前記基板内に前記空洞を形成することが、
実質的に前記空洞の輪郭形状に応じた形状を有する空洞をDRIEエッチングするステップと、
前記トレンチの少なくとも一部分に隣接するように実質的に前記膜に隣接する前記空洞の一部分を拡張するステップと、を更に含む、請求項16に記載の方法。 - 前記基板内にトレンチを形成することが、前記基板の第1の表面に第2のマスクを塗布するステップであって、前記第2のマスクがトレンチの輪郭形状を定義する、ステップを更に含む、請求項15に記載の方法。
- 前記基板内に前記トレンチを形成することが、実質的に前記トレンチの輪郭形状に応じた形状を有するトレンチをDRIEエッチングするステップを更に含む、請求項18に記載の方法。
- 前記基板の第1の表面の上にパッシベーション層及び/又は1つの材料の共形層を付着させるステップと、
前記基板の第1の表面から前記パッシベーション層及び/又は前記共形層を平坦化するステップと、を更に含み、
前記パッシベーション層及び/又は前記共形層を付着させることが、前記トレンチを少なくとも部分的に充填する、請求項14に記載の方法。
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6279011B2 (ja) * | 2016-05-13 | 2018-02-14 | 三菱電機株式会社 | 熱型赤外線検出器および熱型赤外線検出器の製造方法 |
US10923525B2 (en) | 2017-07-12 | 2021-02-16 | Meridian Innovation Pte Ltd | CMOS cap for MEMS devices |
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DE102020100244A1 (de) * | 2020-01-08 | 2021-07-08 | X-FAB Global Services GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Membran-Bauelements und ein Membran-Bauelement |
WO2023091084A1 (en) * | 2021-11-16 | 2023-05-25 | Meridian Innovation Pte Ltd | Highly sensitive thermoelectric-based infrared detector with high cmos integration |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6425435A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device and manufacture thereof |
US6165854A (en) * | 1998-05-04 | 2000-12-26 | Texas Instruments - Acer Incorporated | Method to form shallow trench isolation with an oxynitride buffer layer |
JP2005233671A (ja) * | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 熱型赤外センサ素子および熱型赤外センサアレイ |
US20130134542A1 (en) * | 2011-11-28 | 2013-05-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Dark current reduction for back side illuminated image sensor |
JP2013529295A (ja) * | 2010-04-12 | 2013-07-18 | マイクロセンス エレクトロニク サン.ヴェ ティク.エー.エス. | 非冷却赤外線検出装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4558342A (en) * | 1983-05-31 | 1985-12-10 | Rockwell International Corporation | Thermoelectric infrared detector array |
US5283459A (en) * | 1989-11-15 | 1994-02-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor sensor including an aperture having a funnel shaped section intersecting a second section |
US5059543A (en) * | 1990-09-21 | 1991-10-22 | The Board Of Regents Acting For And On Behalf Of The University Of Michigan | Method of manufacturing thermopile infrared detector |
DE4221037C2 (de) | 1992-06-26 | 1998-07-02 | Heimann Optoelectronics Gmbh | Thermischer Strahlungssensor |
JP3339276B2 (ja) | 1995-11-08 | 2002-10-28 | 日産自動車株式会社 | 赤外線検出素子 |
DE19735379B4 (de) | 1997-08-14 | 2008-06-05 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh | Sensorsystem und Herstellungsverfahren |
DE69732862T2 (de) | 1997-12-18 | 2006-04-13 | Mitsubishi Denki K.K. | Halbleiteranordnung zur aufnahme von infrarotbildern |
JP3399399B2 (ja) * | 1999-04-14 | 2003-04-21 | 株式会社村田製作所 | 赤外線センサ及びその製造方法 |
KR100313909B1 (ko) * | 1999-11-22 | 2001-11-17 | 구자홍 | 적외선 센서 및 그 제조방법 |
JP3514681B2 (ja) | 1999-11-30 | 2004-03-31 | 三菱電機株式会社 | 赤外線検出器 |
IL154945A0 (en) * | 2000-09-21 | 2003-10-31 | Cambridge Semiconductor Ltd | Semiconductor device and method of forming a semiconductor device |
JP4508495B2 (ja) * | 2000-10-26 | 2010-07-21 | 株式会社デンソー | 赤外線検出装置 |
JP4009046B2 (ja) * | 2001-04-10 | 2007-11-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 赤外線センサ |
DE10225377B4 (de) * | 2001-06-11 | 2014-10-09 | Denso Corporation | Verfahren zur Herstellung eines Thermosäuleninfrarotstrahlungssensors |
KR100860184B1 (ko) * | 2001-07-12 | 2008-09-24 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 적외선 어레이 검출 장치 |
IL165248A0 (en) | 2002-06-24 | 2005-12-18 | Basf Ag | Method for the production of 1,2,4-triazolylmethyl-oxiranes |
AU2003265988A1 (en) * | 2002-09-09 | 2004-03-29 | Rosemount Aerospace, Inc. | Method for making an infrared detector and infrared detector |
JP2006071601A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Denso Corp | 赤外線センサ、赤外線式ガス検出器、及び赤外線光源 |
US7622717B2 (en) | 2007-08-22 | 2009-11-24 | Drs Sensors & Targeting Systems, Inc. | Pixel structure having an umbrella type absorber with one or more recesses or channels sized to increase radiation absorption |
US20090184402A1 (en) * | 2008-01-22 | 2009-07-23 | United Microelectronics Corp. | Method of fabricating a shallow trench isolation structure including forming a second liner covering the corner of the trench and first liner. |
US7863063B2 (en) * | 2008-03-04 | 2011-01-04 | Memsmart Semiconductor Corp. | Method for fabricating a sealed cavity microstructure |
JP5645240B2 (ja) | 2009-03-31 | 2014-12-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線アレイセンサ |
JP5185207B2 (ja) * | 2009-02-24 | 2013-04-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | フォトダイオードアレイ |
US8026177B2 (en) * | 2009-05-14 | 2011-09-27 | Texas Instruments Incorporated | Silicon dioxide cantilever support and method for silicon etched structures |
JP2012026861A (ja) | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Seiko Epson Corp | 熱型検出器、熱型検出装置及び電子機器 |
JP5636787B2 (ja) | 2010-07-26 | 2014-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | 熱型光検出器、熱型光検出装置及び電子機器 |
US8512588B2 (en) | 2010-08-13 | 2013-08-20 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Method of fabricating a scalable nanoporous membrane filter |
WO2013089824A1 (en) | 2011-12-13 | 2013-06-20 | The Board Of Regents For Oaklahoma State University | Nanowire thermoelectric infrared detector |
US8758650B2 (en) * | 2011-07-05 | 2014-06-24 | Excelitas Technologies Singapore Pte. Ltd. | Graphene-based thermopile |
US20130206989A1 (en) | 2012-02-01 | 2013-08-15 | Agency For Science, Technology And Research | Radiation Sensor |
DE112013001011B4 (de) | 2012-02-16 | 2017-07-27 | Heimann Sensor Gmbh | Thermopile Infrarot-Sensorstruktur mit hohem Füllgrad |
-
2014
- 2014-01-21 US US14/159,762 patent/US9324760B2/en active Active
- 2014-09-05 JP JP2014181577A patent/JP2015138971A/ja active Pending
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6425435A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device and manufacture thereof |
US6165854A (en) * | 1998-05-04 | 2000-12-26 | Texas Instruments - Acer Incorporated | Method to form shallow trench isolation with an oxynitride buffer layer |
JP2005233671A (ja) * | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 熱型赤外センサ素子および熱型赤外センサアレイ |
JP2013529295A (ja) * | 2010-04-12 | 2013-07-18 | マイクロセンス エレクトロニク サン.ヴェ ティク.エー.エス. | 非冷却赤外線検出装置及びその製造方法 |
US20130134542A1 (en) * | 2011-11-28 | 2013-05-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Dark current reduction for back side illuminated image sensor |
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