JP2015115555A - 切替弁、液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切替弁8の本体部81の払出口802からは、複数の処理液が切り替えて払い出され、第1受入口801及び第2受入口803は、第1処理液及び第2処理液を夫々受け入れる。第1流路83a〜83dは第1受入口801と払出口802とを接続し、上流端が第2受入口803に接続された第2流路84a〜84cは、第1流路83cに合流する。第1弁体部821は、第1流路83cと第2流路84cとが合流する合流部よりも上流側に設けられた第1弁座を開閉し、第2弁体部822は第2流路84bに設けられた第2弁座を開閉する。また、リサイクル流路85aは、第1弁座よりも上流側から分岐し、第1処理液を排出するための排出口804に接続される。
【選択図】図5
Description
このため、待機状態にあった処理液を再稼働させるときには、ウエハの処理を行わずにノズルから処理液を吐出するダミーディスペンスを行って切替弁の温度を処理液の温度に近づける操作を行うことがある。しかしながらこの操作の完了まではウエハの処理を開始できないため生産性が低下するほか、ダミーディスペンスにて消費される薬液が増加する。
また、引用文献2には、温度調節された液を供給する液供給機構と、ウエハへの液の吐出を行う吐出開口との間に接続された供給ラインの途中から、液供給機構へ向けて液を戻す戻しラインを分岐させ、この分岐部に三方弁を設けた液処理装置が記載されている。この液処理装置においては、ウエハへの液の吐出をしていないときは、前記三方弁を介して、供給ラインから戻しラインへと温度調節された液を流し続け、熱容量が大きい三方弁を液で予熱しておくことにより、ウエハ処理時の液の温度変動を防止している。
前記切替弁の本体部と、
前記本体部に設けられ、第1処理液を受け入れる第1受入口と、第2処理液を受け入れる第2受入口と、
前記本体部に設けられ、前記第1受入口と前記払出口とを接続する第1流路と、
前記本体部に設けられ、前記第1流路に合流し、上流端が前記第2受入口に接続された第2流路と、
前記本体部に設けられ、前記第1流路において、前記第1流路と第2流路とが合流する合流部よりも上流側に設けられた第1弁座、及びこの第1弁座を開閉する前記本体部とは別体の第1弁体部と、
前記本体部に設けられ、前記第2流路に設けられた第2弁座、及びこの第2弁座を開閉する前記本体部とは別体の第2弁体部と、
前記本体部に設けられ、前記第1流路において、前記第1弁座よりも上流側、または前記第1弁体部を収容するための前記第1流路に形成された第1弁室から分岐する分岐流路と、
前記本体部に設けられ、分岐流路の下流端に形成され、第1処理液を排出するための排出口と、を備えたことを特徴とする。
前記分岐流路は、当該分岐流路が分岐する位置よりも下流側の第1流路に沿って伸びており、前記第1弁座及び前記第2弁座は、前記1流路に沿って配置されていること。また、前記本体部は直方体形状に形成され、前記第1受入口は、前記本体部の一側面に設けられ、前記払出口は、前記一側面に対向する本体部の側面に設けられ、前記第2受入口は、前記第1受入口及び払出口が設けられている側面とは異なる本体部の側面に設けられ、前記排出口は、本体部の底面に設けられていること。
前記切替弁の第1受入口に接続される第1処理液供給路と、
前記切替弁の第2受入口に接続される第2処理液供給路と、
前記切替弁の払出口から払い出された処理液を基板に吐出して処理を行う吐出部と、
前記第1処理液供給路に流れる第1処理液を温度調整する温度調整部と、
前記分岐流路から前記排出口に第1処理液を流した状態で、前記切替弁の第1弁座及び第2弁座の一方を開き、他方を閉じるための制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
さらに、前記第1処理液供給路に第1処理液を供給する第1処理液供給部と、前記排出口に接続され、当該排出口から排出された第1処理液を前記第1処理液供給部へ戻すリサイクル路を備えてもよい。
前記本体部に設けられ、前記第1流路において、前記合流部と払出口との間から分岐した廃液流路と、前記本体部に設けられ、前記廃液流路における第1流路側と反対側の端部に形成された廃液口と、前記本体部に設けられ、前記廃液流路に設けられた第3弁座、及びこの第3弁座を開閉する前記本体部とは別体の第3弁体部と、を備えたこと。このとき、前記廃液流路は、前記第1流路から下方側へ向けて処理液を排出するように分岐していること。
ここで、前記液処理装置に設けられている前記切替弁は、前記廃液流路、廃液口及び第3弁体部を備え、前記制御部は、前記第1弁座及び第2弁座のいずれか一方を開くときには、第3弁座を閉じ、第3弁座を開くときには、前記第1弁座及び第2弁座を閉じるように制御信号を出力するものであってもよい。
また、前記液処理装置は、基板を水平に保持するための基板保持部と、この基板保持部を鉛直軸周りに回転させるための回転機構と、を備え、前記吐出部は、回転する基板に処理液を吐出すること。
本実施形態の処理ユニット16に設けられている処理流体供給部40は、回転するウエハWに対して処理流体である処理液を吐出するノズル部(吐出部)41を備えている。処理流体供給部40は、吐出ライン42を介して切替弁である多連バルブ8と接続され、この多連バルブ8が第1処理液である薬液を供給する薬液タンク701、及び第2処理液であるDIW(DeIonized Water)を供給するリンス液供給部702に接続されている。
この薬液循環ライン731からは、薬液供給ライン(第1処理液供給路)732が分岐し、薬液供給ライン732の末端と接続された多連バルブ8を介して各処理ユニット16の処理流体供給部40へ薬液が供給される。
薬液タンク701、薬液循環ライン731や薬液ポンプ71は、第1処理液供給部を構成している。
なお、特記した場合を除き、以下の説明で用いる各外観斜視図や縦断側面図に示した多連バルブ8において、各図に向かって左側(各図に併記したX軸の原点側)を基端側、右側(X軸の矢印側)を先端側とする。
即ち、図6〜図8に示すように、薬液弁室83cには、薬液弁室83cの底面(第1弁座)に開口している薬液供給路83bの開閉を行う薬液弁体部(第1弁体部)821が配置されている。また、リンス液弁室84bには、リンス液弁室84bの底面(第2弁座)に開口しているリンス液供給路84aの開閉を行うリンス液弁体部(第2弁体部)822が配置されている。そして、ドレイン弁室86bには、ドレイン弁室86bの底面(第3弁座)に開口しているドレイン流路86aの開閉を行うドレイン弁体部(第3弁体部)823が配置されている。
なお本例では、他のリンス液弁体部822、ドレイン弁体部823や後述の実施形態に記載のリサイクル弁体部824も薬液弁体部821と同様の形状に形成されている。しかし、薬液弁体部821とは異なり、閉状態の中の処理液の通流を行わない場合には、弁体部822、823、824の形状は円錐台形状に限定されるものではなく、例えば円柱形状のものを用いてもよい。
以下、図3、図6〜図8を参照しながら処理液供給源70及び多連バルブ8aの動作について説明する。
そして、一の処理ユニット16にウエハWが搬送され、保持部(基板保持部)31に保持された後、駆動部(回転機構)33の回転によりウエハWが回転すると、回転するウエハWの上方にノズル部41を移動させる。
薬液弁体部821を閉状態としても薬液供給路83bとの分岐位置よりも上流側の薬液供給路83a及びリサイクル流路85aには薬液が流れ続けるので、当該薬液による多連バルブ8aの温度調整は継続される。
処理液の供給が停止された後もウエハWの回転を継続して振り切り乾燥を行う。そして処理を終えたウエハWを処理ユニット16から搬出して次のウエハWの搬入を待つ。
図9に示すように多連バルブ8bのリサイクルポート804は、本体部81の側壁面であってドレインポート805の下方位置に設けられている。このため、図10に示すようにリサイクル流路85aは、ドレイン弁室86bの下方位置にて本体部81の側壁面側へ向きを変え、リサイクルポート804と接続されている。
図11に示すように、多連バルブ8cは先端側から見て左側の本体部81の側壁面に、リサイクルポート804、薬液ポート801、ドレインポート805が基端側からこの順に横方向に並べて配置されている。また、先端側から見て右側の本体部81の側壁面には、リンス液ポート803が設けられている。さらに、本体部81の先端側の側壁面には払出ポート802が設けられている。
また処理液供給路83dからはドレイン流路86aが分岐し、このドレイン流路86aはドレイン弁体部(第3弁体部)823を収容したドレイン弁室86bの底面(第3弁座)に向けて開口していること、及びドレイン弁室86bの内壁面はドレインポート805へ向けて開口していることは、図5に示した既述の多連バルブ8aと同様である。
図13に示すように、薬液供給時には薬液弁体部821を開状態、リンス液弁体部822、ドレイン弁体部823、リサイクル弁体部824を閉状態とする。この結果、薬液ポート801から流れ込んだ薬液が第1流路である薬液弁室83c→連結流路87→処理液供給路83dを流れて払出ポート802から払い出され、ノズル部41を介してウエハWに吐出される。
また、薬液弁体部821、リンス液弁体部822、ドレイン弁体部823を閉じても、リサイクル弁体部824を開状態としておけば、待機期間中も薬液を用いた多連バルブ8cの温度調整を継続できる。
また、薬液とリンス液の双方が流れる連結流路87−処理液供給路83dの流路が比較的短いので、薬液をリンス液に切り替えた後の処理液の置換性がよい。
処理液供給路83dからはドレイン流路86aが下方側へ向けて分岐し、このドレイン流路86aはドレイン弁体部(第3弁体部)823を収容したドレイン弁室86bの上面(第3弁座)に向けて開口している。また、ドレイン弁室86bの内側面には、本体部81の底面に開口するドレインポート805と接続されたドレイン流路86cの基端部が開口している。
一方、リンス液弁室84bの上面(第2弁座)に接続された連結流路87は、リンス液弁室84b内に収容されたリンス液弁体部822にて開閉される。
図19に示すように、薬液供給時には薬液弁体部821を開状態、リンス液弁体部822、ドレイン弁体部823、リサイクル弁体部824を閉状態とする。この結果、薬液ポート801から流れ込んだ薬液が第1流路である薬液弁室83c→連結流路87→処理液供給路83dを流れて払出ポート802から払い出され、ノズル部41を介してウエハWに吐出される。
また、薬液弁体部821、リンス液弁体部822、ドレイン弁体部823を閉じても、リサイクル弁体部824を開状態としておけば、待機期間中も薬液を用いた多連バルブ8dの温度調整を継続できる。
図22、図23に示すように、多連バルブ8eの本体部81は、中央部から上、右下、左下の三方向へ向けて伸び出す三叉形状に形成され、前記中央部の側壁面に払出ポート802が接続されている。一方、上部側へ突出した本体部81の基端側及び先端側の側壁面には薬液ポート801及びリサイクルポート804が接続されている。また本体部81の下面は平坦になっており、この下面からはリンス液ポート803及びドレインポート805が基端側から先端側へ向けてこの順に設けられている。
リンス液供給路84cは、リンス液弁体部(第2弁体部)822を収容したリンス液弁室84bの端面(第2弁座)に接続され、リンス液供給路84cはリンス液弁体部822にて開閉される。また、リンス液弁室84bの内側面にはリンス液供給路84aが開口し、このリンス液供給路84aは、本体部81の下面に開口するリンス液ポート803と接続されている。
図24に示すように、薬液供給時には薬液弁体部821を開状態、リンス液弁体部822、ドレイン弁体部823を閉状態とする。この結果、薬液ポート801から流れ込んだ薬液が第1流路である薬液供給路83a→薬液弁室83c→薬液供給路83bを流れて払出ポート802から払い出され、ノズル部41を介してウエハWに吐出される。
また、戻りライン742の開閉弁743を閉じてリサイクル流路85aにおける薬液の通流を停止する。
また、薬液弁体部821、リンス液弁体部822、ドレイン弁体部823を閉じても、薬液ポート801からリサイクルポート804向け薬液が流れ続けるので、待機期間中も薬液を用いた多連バルブ8cの温度調整を継続できる。
このように本体部81は、必ずしも廃液流路94を備えていなくてもよい。
さらに、図27(b)の多連バルブ8のように、分岐流路93に設けられた弁座(不図示)の開閉を行う弁体部931を本体部81内に設けてもよい。
多連バルブ
801 薬液ポート
802 払出ポート
803 リンス液ポート
804 リサイクルポート
81 本体部
821 薬液弁体部
822 リンス液弁体部
83a、83b
薬液供給路
83d 処理液供給路
84a、84c
リンス液供給路
85a、85c
分岐流路
Claims (9)
- 複数の処理液を切り替えて払出口から払い出す切替弁において、
前記切替弁の本体部と、
前記本体部に設けられ、第1処理液を受け入れる第1受入口と、第2処理液を受け入れる第2受入口と、
前記本体部に設けられ、前記第1受入口と前記払出口とを接続する第1流路と、
前記本体部に設けられ、前記第1流路に合流し、上流端が前記第2受入口に接続された第2流路と、
前記本体部に設けられ、前記第1流路において、前記第1流路と第2流路とが合流する合流部よりも上流側に設けられた第1弁座、及びこの第1弁座を開閉する前記本体部とは別体の第1弁体部と、
前記本体部に設けられ、前記第2流路に設けられた第2弁座、及びこの第2弁座を開閉する前記本体部とは別体の第2弁体部と、
前記本体部に設けられ、前記第1流路において、前記第1弁座よりも上流側から分岐し、または前記第1弁体部を収容するための前記第1流路に形成された第1弁室に接続される分岐流路と、
前記本体部に設けられ、分岐流路の下流端に形成され、第1処理液を排出するための排出口と、を備えたことを特徴とする切替弁。 - 前記分岐流路は、当該分岐流路が分岐する位置よりも下流側の第1流路に沿って伸びており、前記第1弁座及び前記第2弁座は、前記第1流路に沿って配置されていることを特徴とする請求項1に記載の切替弁。
- 前記本体部は直方体形状に形成され、前記第1受入口は、前記本体部の一側面に設けられ、前記払出口は、前記一側面に対向する本体部の側面に設けられ、前記第2受入口は、前記第1受入口及び払出口が設けられている側面とは異なる本体部の側面に設けられ、前記排出口は、本体部の底面に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の切替弁。
- 前記本体部に設けられ、前記第1流路において、前記合流部と払出口との間から分岐した廃液流路と、
前記本体部に設けられ、前記廃液流路における第1流路側と反対側の端部に形成された廃液口と、
前記本体部に設けられ、前記廃液流路に設けられた第3弁座、及びこの第3弁座を開閉する前記本体部とは別体の第3弁体部と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の切替弁。 - 前記廃液流路は、前記第1流路から下方側へ向けて処理液を排出するように分岐していることを特徴とする請求項4に記載の切替弁。
- 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の切替弁と、
前記切替弁の第1受入口に接続される第1処理液供給路と、
前記切替弁の第2受入口に接続される第2処理液供給路と、
前記切替弁の払出口から払い出された処理液を基板に吐出して処理を行う吐出部と、
前記第1処理液供給路に流れる第1処理液を温度調整する温度調整部と、
前記分岐流路から前記排出口に第1処理液を流した状態で、前記切替弁の第1弁座及び第2弁座の一方を開き、他方を閉じるための制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記切替弁は、請求項4に記載の廃液流路、廃液口及び第3弁体部を備え、
前記制御部は、前記第1弁座及び第2弁座のいずれか一方を開くときには、第3弁座を閉じ、第3弁座を開くときには、前記第1弁座及び第2弁座を閉じるように制御信号を出力するものであることを特徴とする請求項6記載の液処理装置。 - 前記第1処理液供給路に第1処理液を供給する第1処理液供給部と、
前記排出口に接続され、当該排出口から排出された第1処理液を前記第1処理液供給部へ戻すリサイクル路を備えたことを特徴とする請求項6または7に記載の液処理装置。 - 基板を水平に保持するための基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させるための回転機構と、を備え、
前記吐出部は、回転する基板に処理液を吐出することを特徴とする請求項6ないし8のいずれか一項に記載の液処理装置。
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