JP2009281476A - ミキシングバルブ及びそれを用いたミキシング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ミキシングバルブは、貫通するように形成された主流路4と、主流路4に連通する連通流路5、6と、連通流路5、6に各々連通する弁室2、3と、各々の弁室2、3に連通する副流路9、10が設けられた本体1と、弁室2、3の、連通流路5、6に通じる開口部の周辺を弁座7、8として開閉動作する弁体23、24と、弁体23、24を駆動する駆動部11、12と、を有し、連通流路5、6が、主流路4の軸線方向に互いに同じ位置で主流路4に連通しており、且つ連通流路5、6の長さが互いに等しくなっている。
【選択図】図1
Description
また、主流路から流すベースの流体に対して、副流路から供給して混合させる他の流体を、ベースの流体の流れの方向に同じ位置で、ベースの流体の流れから等距離の位置で流量を制御して流入させることができる。したがって、副流路から供給する複数の流体間で、それらの流体が、合流部の下流の任意の位置に達するまでの時間に、タイムラグが生じるのを抑制することができる。それによって、必要な全ての流体の混合流体を迅速に得ることができる。また、副流路から供給する複数の流体間で、合流した流体のパラメータの計測にタイムラグが生じるのを抑制することができ、それによって、合流した流体のパラメータの正確な制御を行うことができる。
2 第一弁室
3 第二弁室
4 主流路
5 第一連通流路
6 第二連通流路
7 弁座
8 弁座
9 第一副流路
10 第二副流路
11 第一駆動部
12 第二駆動部
13 シリンダ本体
14 ピストン
23 第一弁体
24 第二弁体
31 ミキシングバルブ
32 濃度計
38 制御部
42 第一副流路
43 第二副流路
44 ニードルバルブ
45 ニードルバルブ
51 本体
52 主流路
53 第一弁室
54 第二弁室
55 第三弁室
56 第一連通流路
57 第二連通流路
58 第三連通流路
59 第一弁体
60 第二弁体
61 第三弁体
62 弁座
63 弁座
64 弁座
65 第一副流路
66 第二副流路
67 第三副流路
68 第一駆動部
69 第二駆動部
70 第三駆動部
71 スタティックミキサーエレメント
74 本体
75 第一弁室
76 第二弁室
77 主流路
78 第一副弁室
79 第二副弁室
80 主流路絞り部
81 第一出口連通流路
82 第一入口連通流路
83 第二出口連通流路
84 第二入口連通流路
91 第一駆動部
92 第二駆動部
96 第一弁体
97 第二弁体
Claims (12)
- 貫通するように形成された主流路と、該主流路に連通する少なくとも2つの連通流路と、該連通流路に各々連通する弁室と、各々の該弁室に連通する副流路が設けられた本体と、
前記弁室の、前記連通流路に通じる開口部の周辺を弁座として開閉動作する弁体と、
該弁体を駆動する駆動部と、
を有し、
前記少なくとも2つの連通流路が、前記主流路の軸線方向に互いに同じ位置で前記主流路に連通しており、且つ前記少なくとも2つの連通流路の長さが互いに等しいことを特徴とするミキシングバルブ。 - 前記少なくとも2つの連通流路が、周方向に等間隔の位置に放射状に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のミキシングバルブ。
- 前記主流路から各々の前記弁室の前記弁座までの距離が、前記主流路の直径より短いことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のミキシングバルブ。
- 前記少なくとも2つの連通流路として、第一連通流路及び第二連通流路が設けられ、
前記第一連通流路及び前記第二連通流路が、前記主流路の軸線方向に同じ位置で対峙するように設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のミキシングバルブ。 - 前記少なくとも2つの連通流路として、第一連通流路、第二連通流路及び第三連通流路が設けられ、
前記第一連通流路、前記第二連通流路及び前記第三連通流路が、前記主流路の軸線方向に同じ位置で周方向に等間隔に放射状に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のミキシングバルブ。 - 前記主流路の、前記連通流路が連通している部分より下流側の位置にスタティックミキサーエレメントが配置されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のミキシングバルブ。
- 前記主流路の一部に主流路絞り部が設けられ、
前記弁室に連通する副弁室が設けられ、
前記少なくとも2つの連通流路の各々が、前記副弁室と前記主流路の、前記主流路絞り部より上流側の部分とに連通する入口連通流路と、前記副弁室と前記主流路絞り部内とに連通する出口連通流路で構成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のミキシングバルブ。 - 前記駆動部が、モータ部と、該モータ部の駆動力を前記弁体に伝達して前記弁体を上下動させるステムとを有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のミキシングバルブ。
- 前記駆動部が、
シリンダ部と、
該シリンダ部の内周面に、該内周面との間がシールされるように接触した状態で該シリンダ部内を上下動可能に配置されたピストンと、
該ピストンの中央から下方に延び、前記シリンダ部の底面中央に設けられた貫通孔を貫通し、該貫通孔の内周面に、該内周面との間がシールされるように接触しており、下端部に前記弁体が固定された連結部と、
前記シリンダ部の底面及び内周面と前記ピストンの下端面とで形成された第一空間部と、前記シリンダ部の天井面及び内周面と前記ピストンの上端面とで形成された第二空間部とにそれぞれ連通する各エアー口の少なくとも一方に圧縮空気を注入する機構と、
を有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のミキシングバルブ。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のミキシングバルブと、
該ミキシングバルブで混合された流体の特性を表すパラメータを計測し該パラメータの計測値を信号に変換して出力する計測器と、
該計測器による前記パラメータの計測値と前記パラメータの設定値との偏差に基づいて、前記ミキシングバルブの各々の前記弁体を各々制御するための信号を、前記ミキシングバルブの前記駆動部または前記駆動部を操作する機器へ出力する制御部と、
を有することを特徴とするミキシング装置。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のミキシングバルブと、
該ミキシングバルブで混合された流体の特性を表すパラメータを計測し該パラメータの計測値を信号に変換して出力する計測器と、
前記副流路に各々接続され、前記副流路に流れる流体の流量を制御する流体制御弁と、
前記計測器による前記パラメータの計測値と前記パラメータの設定値との偏差に基づいて、前記流体制御弁の各々を制御するための信号を、前記流体制御弁の駆動部または該駆動部を操作する機器へ出力する制御部と、
を有することを特徴とするミキシング装置。 - 前記計測器が濃度計、温度計、pH計のいずれかであることを特徴とする請求項10または請求項11に記載のミキシング装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012163190A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Ckd Corp | 薬液供給ユニット |
JP2015115555A (ja) * | 2013-12-13 | 2015-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 切替弁、液処理装置 |
KR20160019130A (ko) * | 2014-08-11 | 2016-02-19 | 이명상 | 조립식 3방 유량제어밸브 |
Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4316789Y1 (ja) * | 1966-03-16 | 1968-07-11 | ||
JPS639785A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Daiwa Handotai Sochi Kk | 半導体プロセス用ガス供給制御バルブ装置 |
JPH0214873U (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-30 | ||
WO1991009243A1 (en) * | 1989-12-19 | 1991-06-27 | Asahi Yukizai Kogyo Co., Ltd. | Ball valve |
JPH04321885A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-11-11 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 非滞留ボールバルブ |
JPH1038106A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Fujikin:Kk | 多連制御器 |
JP2000133628A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2000320697A (ja) * | 1999-05-12 | 2000-11-24 | Benkan Corp | ガス供給制御ライン用弁 |
JP2002081557A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Advance Denki Kogyo Kk | 混合比率制御弁構造 |
JP2002093773A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-03-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2002147645A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-22 | Piolax Inc | 湯水混合栓 |
JP2003049962A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Kitz Sct:Kk | 分岐弁 |
JP2004530190A (ja) * | 2001-02-28 | 2004-09-30 | ポーター・インストゥルメント・カンパニー・インコーポレイテッド | 流量コントローラ |
JP2004314011A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Noritake Co Ltd | インライン静止型混合装置及びその混合方法 |
JP2004316667A (ja) * | 2003-04-10 | 2004-11-11 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 配管部材の接続構造 |
JP2005051205A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-02-24 | Asm Internatl Nv | ガス供給システム、弁アセンブリ、および弁アセンブリを操作することによる反応物質パルス形成方法 |
JP2005196401A (ja) * | 2004-01-06 | 2005-07-21 | Toflo Corporation Kk | 流量制御弁及び流量制御装置 |
JP2005252037A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Kaijo Corp | 洗浄処理装置 |
JP2006125501A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | ダイヤフラム弁 |
JP2007092959A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Ckd Corp | 複合流体制御ユニット |
JP2007224984A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | ダイヤフラム弁 |
-
2008
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Patent Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4316789Y1 (ja) * | 1966-03-16 | 1968-07-11 | ||
JPS639785A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Daiwa Handotai Sochi Kk | 半導体プロセス用ガス供給制御バルブ装置 |
JPH0214873U (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-30 | ||
WO1991009243A1 (en) * | 1989-12-19 | 1991-06-27 | Asahi Yukizai Kogyo Co., Ltd. | Ball valve |
JPH04321885A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-11-11 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 非滞留ボールバルブ |
JPH1038106A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Fujikin:Kk | 多連制御器 |
JP2000133628A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2000320697A (ja) * | 1999-05-12 | 2000-11-24 | Benkan Corp | ガス供給制御ライン用弁 |
JP2002081557A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Advance Denki Kogyo Kk | 混合比率制御弁構造 |
JP2002093773A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-03-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2002147645A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-22 | Piolax Inc | 湯水混合栓 |
JP2004530190A (ja) * | 2001-02-28 | 2004-09-30 | ポーター・インストゥルメント・カンパニー・インコーポレイテッド | 流量コントローラ |
JP2003049962A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Kitz Sct:Kk | 分岐弁 |
JP2004316667A (ja) * | 2003-04-10 | 2004-11-11 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 配管部材の接続構造 |
JP2004314011A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Noritake Co Ltd | インライン静止型混合装置及びその混合方法 |
JP2005051205A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-02-24 | Asm Internatl Nv | ガス供給システム、弁アセンブリ、および弁アセンブリを操作することによる反応物質パルス形成方法 |
JP2005196401A (ja) * | 2004-01-06 | 2005-07-21 | Toflo Corporation Kk | 流量制御弁及び流量制御装置 |
JP2005252037A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Kaijo Corp | 洗浄処理装置 |
JP2006125501A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | ダイヤフラム弁 |
JP2007092959A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Ckd Corp | 複合流体制御ユニット |
JP2007224984A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | ダイヤフラム弁 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012163190A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Ckd Corp | 薬液供給ユニット |
JP2015115555A (ja) * | 2013-12-13 | 2015-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 切替弁、液処理装置 |
KR20160019130A (ko) * | 2014-08-11 | 2016-02-19 | 이명상 | 조립식 3방 유량제어밸브 |
KR101636353B1 (ko) | 2014-08-11 | 2016-07-20 | 이명상 | 조립식 3방 유량제어밸브 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5202101B2 (ja) | 2013-06-05 |
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