JP2006134100A - 流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子12と超音波振動子12から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部60に出力する超音波振動子13とを有する流量計センサ部4と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁5とを具備し、少なくとも流量計センサ部4と空気駆動式ピンチ弁5とが、流体流入口3と流体流出口6とを有する1つのケーシング2内に接続されて設置されてなる。
【選択図】 図1
Description
超音波を流体中に発信する超音波振動子12と超音波振動子12から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部60に出力する超音波振動子13とを有する流量計センサ部4と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁5とを具備し、
少なくとも流量計センサ部4と空気駆動式ピンチ弁5とが、流体流入口3と流体流出口6とを有する1つのケーシング2内に接続されて設置されてなる、ことを第1の特徴とする。
流量計センサ部4の信号によって流量を演算する流量計アンプ部60と、空気駆動式ピンチ弁5の操作圧を調整する電空変換器62と、流量計アンプ部60で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部61とが1つのケーシング59内に設置してなる電装モジュール58とを備え、
前記バルブモジュール1と前記電装モジュール58とが別体で構成される、ことを第2の特徴とする。
弾性体からなる管体14と、
内部にシリンダー部21を有し上部にシリンダー蓋22が接合されたシリンダー本体15と、
シリンダー部21の内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され、且つシリンダー本体15の下面中央に設けられた貫通孔23を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部31を有するピストン16と、
ピストン16の連結部31の下端部に固定されシリンダー本体15の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット24内に収納される挟圧子17と、
シリンダー本体15の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体14を受容する第一の溝33と、該第一の溝33の両端部で該第一の溝33よりも深く設けられる第二の溝34とを有する本体18と、
一端に本体18の第二の溝34と嵌合する嵌合部36を有し他端内部に連結体受口38を有しさらに管体14を受容する貫通孔42を有する一対の連結体受け19と、
シリンダー本体15の周側面に設けられ、シリンダー部21の底面及び内周面とピストン16の下端面とで囲まれて形成された第一空間部25と、シリンダー蓋22の下端面とシリンダー部21の内周面とピストン16の上面とで囲まれた第二空間部26とにそれぞれ連通される一対のエアー口27、28とを、具備する、ことを第3の特徴とする。
該排出孔29、30が前記バルブモジュール1のケーシング2に設けられたコネクタボックス50の吸気孔51に連通され、コネクタボックス50にケーシング2の外部と連通する排気孔52が設けられている、ことを第5の特徴とする。
前記流量計アンプ部60は、超音波振動子12、13がケーブル68、69を介して接続される流量計アンプ部60であり、
前記流量計センサ部4と前記流量計アンプ部60とが、超音波振動子12、13の送受信を交互に切り替えて超音波振動子12、13間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路9を流れる流体の流量を演算する超音波流量計を構成する、ことを第6の特徴とする。
前記流量計アンプ部103は、各超音波振動子98、99がケーブル109、110を介して接続される流量計アンプ部103であり、
前記流量計センサ部91と前記流量計アンプ部103とが、渦発生体95の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子98が送信した信号と超音波振動子99が受信した信号との位相差によって流量を演算する超音波式渦流量計を構成する、ことを第7の特徴とする。
(1)流量計センサ部と空気駆動式ピンチ弁とが1つのケーシング内に接続されているため、流体制御装置をコンパクトに設けることができ、配管接続が容易となるとともに、継手などによる接続部分が少なくて済むので接続部分による圧力損失を低減することができる。
(2)バルブモジュールと電装モジュールとが2つに分かれて構成されていることにより、流体に腐食性流体を使用した場合に腐食性ガスが透過したとしても、腐食の恐れのある部品を有する電装モジュールは、腐食性流体が流れるバルブモジュールから隔離できるため腐食することがない。
(3)流体制御を行なう各部品が、バルブモジュールと電装モジュールとにそれぞれ設置されて2つに分かれて構成され、コネクタを介して脱着可能に配線接続されることにより、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易で短時間に行なうことができるとともに、外すことも容易であり、各モジュールの配置の変更も容易に行なえる。
(4)本発明の構成の空気駆動式ピンチ弁を用いることにより、コンパクトで流量レンジの広い流体制御装置が得られるとともに、流量を制御する箇所にスラリーが固着しにくいので流体にスラリーを使用しても安定した流体制御を維持することができる。
(5)本発明の構成の超音波流量計を用いることにより、微小流量の流体が流れているときに正確で安定した流体制御を行なうことができる。
(6)本発明の構成の超音波式渦流量計を用いることにより、大きな流量の流体が流れているときに正確で安定した流体制御を行なうことができる。
(7)流体流入口の内部または外部に圧力調整弁を設置することにより、流入した流体が脈動しているときでも安定した流体制御が可能である。
(8)電空変換器の操作により空気駆動式ピンチ弁は開閉弁として使用することができるため、別途流体遮断用のバルブを接続する必要がなく、流体制御装置自体をコンパクトに形成することができる。
明する。
流量計センサ部4に流入した流体は、直線流路9で流量が計測される。流体の流れに対して上流側に位置する超音波振動子12から下流側に位置する超音波振動子13に向かって超音波振動を伝搬させる。超音波振動子13で受信された超音波振動は電気信号に変換され、流量計アンプ部60の演算部へ出力される。超音波振動が上流側の超音波振動子12から下流側の超音波振動子13へ伝搬して受信されると、瞬時に演算部内で送受信が切換えられて、下流側に位置する超音波振動子13から上流側に位置する超音波振動子12に向かって超音波振動を伝搬させる。超音波振動子12で受信された超音波振動は、電気信号に変換され、流量計アンプ部60の演算部へ出力される。このとき、超音波振動は直線流路9内の流体の流れに逆らって伝搬していくので、上流側から下流側へ超音波振動を伝搬させるときに比べて流体中での超音波振動の伝搬速度が遅れ、伝搬時間が長くなる。出力された相互の電気信号は流量計アンプ部60の演算部内で伝搬時間が各々計測され、伝搬時間差から流量が演算される。流量計アンプ部60で演算された流量は電気信号に変換されて制御部61に出力される。
2 ケーシング
3 流体流入口
4 流量計センサ部
5 空気駆動式ピンチ弁
6 流体流出口
7 入口流路
8 第一立上り流路
9 直線流路
10 第二立上り流路
11 出口流路
12 超音波振動子
13 超音波振動子
14 管体
15 シリンダー本体
16 ピストン
17 挟圧子
18 本体
19 連結体受け
20 連結体
21 シリンダー部
22 シリンダー蓋
23 貫通孔
24 長円状スリット
25 第一空間部
26 第二空間部
27 エアー口
28 エアー口
29 排出孔
30 排出孔
31 連結部
33 溝
34 溝
36 嵌合部
48 入口流路
49 出口流路
50 コネクタボックス
51 吸気孔
52 排気孔
54 コネクタ
55 コネクタ
58 電装モジュール
59 ケーシング
60 流量計アンプ部
61 制御部
62 電空変換器
63 排出口
64 コネクタ
65 コネクタ
68 ケーブル
69 ケーブル
72 空気駆動式ピンチ弁
73 バネ
74 ピストン
77 第二空間部
78 第一空間部
80 エアー口
81 シリンダー本体
82 排出孔
91 流量計センサ部
92 バルブモジュール
93 ケーシング
94 入口流路
95 渦発生体
96 出口流路
97 直線流路
98 超音波振動子
99 超音波振動子
103 流量計アンプ部
104 制御部
105 電装モジュール
106 ケーシング
111 圧力調整弁
112 出口流路
113 入口流路
114 本体
115 蓋体
116 第一ダイヤフラム
117 第二ダイヤフラム
118 プラグ
119 気室
120 第一弁室
124 第二弁室
131 流体制御部
Claims (9)
- 超音波を流体中に発信する超音波振動子(12)と超音波振動子(12)から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部(60)に出力する超音波振動子(13)とを有する流量計センサ部(4)と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁(5)とを具備し、
少なくとも流量計センサ部(4)と空気駆動式ピンチ弁(5)とが、流体流入口(3)と流体流出口(6)とを有する1つのケーシング(2)内に接続されて設置されてなる、
ことを特徴とする流体制御装置。 - 前記流量計センサ部(4)と空気駆動式ピンチ弁(5)とが1つのケーシング(2)に設置されてなるバルブモジュール(1)と、
流量計センサ部(4)の信号によって流量を演算する流量計アンプ部(60)と、空気駆動式ピンチ弁(5)の操作圧を調整する電空変換器(62)と、流量計アンプ部(60)で演算された流量値に基づいて操作圧を調整しフィードバック制御するための制御部(61)とが1つのケーシング(59)内に設置してなる電装モジュール(58)とを備え、
前記バルブモジュール(1)と前記電装モジュール(58)とが別体で構成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の流体制御装置。 - 前記空気駆動式ピンチ弁(5)は、
弾性体からなる管体(14)と、
内部にシリンダー部(21)を有し、上部にシリンダー蓋(22)が接合されたシリンダー本体(15)と、
シリンダー部(21)の内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され、且つシリンダー本体(15)の下面中央に設けられた貫通孔(23)を密封状態で貫通するように中央より垂下して設けられた連結部(31)を有するピストン(16)と、
ピストン(16)の連結部(31)の下端部に固定されシリンダー本体(15)の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状スリット(24)内に収納される挟圧子(17)と、
シリンダー本体(15)の下端面に接合固定され、流路軸線上に管体(14)を受容する第一の溝(33)と、該第一の溝(33)の両端部で該第一の溝(33)よりも深く設けられる第二の溝(34)とを有する本体(18)と、
一端に本体(18)の第二の溝(34)と嵌合する嵌合部(36)を有し、他端内部に連結体受口(38)を有し、さらに管体(14)を受容する貫通孔(42)を有する一対の連結体受け(19)と、
シリンダー本体(15)の周側面に設けられ、シリンダー部(21)の底面及び内周面とピストン(16)の下端面とで囲まれて形成された第1空間部(25)と、シリンダー蓋(22)の下端面とシリンダー部(21)の内周面とピストン(16)の上面とで囲まれた第二空間部(26)とにそれぞれ連通される一対のエアー口(27、28)とを、具備する、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の流体制御装置。 - 前記バルブモジュール(1)の流量計センサ部(4)と電装モジュール(58)の流量計アンプ部(60)とを接続するケーブル(68、69)が、コネクタ(54、55、64、65)を介して流量計センサ部(4)および/または流量計アンプ部(60)と脱着可能に設けられている、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。 - 前記バルブモジュール(1)の流量計センサ部(4)と電装モジュール(58)の流量計アンプ部(60)とを接続するケーブル(68、69)が、コネクタ(54、55、64、65)を介して流量計センサ部(4)および/または流量計アンプ部(60)と脱着可能に設けられ、
前記空気駆動式ピンチ弁(5)の前記第一空間部(25)内の気体を排出する排出孔(29)または前記第二空間部(26)内の気体を排出する排出孔(30)の少なくともどちらか一方が、シリンダー本体(15)および/またはシリンダー蓋(22)に設けられ、
該排出孔(29、30)が前記バルブモジュール(1)のケーシング(2)に設けられたコネクタボックス(50)の吸気孔(51)に連通され、コネクタボックス(50)にケーシング(2)の外部と連通する排気孔(52)が設けられている、
ことを特徴とする請求項3に記載の流体制御装置。 - 前記流量計センサ部(4)は、流体流入口(3)に連通する入口流路(7)と、入口流路(7)から垂設された第一立上り流路(8)と、第一立上り流路(8)に連通し入口流路(7)の軸線に略平行に設けられた直線流路(9)と、直線流路(9)から垂設された第二立上り流路(10)と、第二立上り流路(10)に連通し入口流路(7)の軸線に略平行に設けられ空気駆動式ピンチ弁(5)の入口流路(24)に連通する出口流路(11)とが連続して設けられ、第一、第二立上り流路(8、10)の側壁の直線流路(9)の軸線と交わる位置に、超音波振動子(12、13)が互いに対向して配置された流量計センサ部(4)であり、
前記流量計アンプ部(60)は、超音波振動子(12、13)がケーブル(68、69)を介して接続される流量計アンプ部(60)であり、
前記流量計センサ部(4)と前記流量計アンプ部(60)とが、超音波振動子(12、13)の送受信を交互に切り替えて超音波振動子(12、13)間の超音波伝搬時間差を測定することにより直線流路(9)を流れる流体の流量を演算する超音波流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。 - 前記流量計センサ部(91)は、流体流入口(3)に連通する入口流路(94)と、入口流路(94)内に垂設されたカルマン渦を発生させる渦発生体(95)と、出口流路(96)とを備える直線流路(97)とが連続して設けられ、直線流路(97)の渦発生体(95)の下流側の側壁に、各超音波振動子(98、99)が流路軸線方向に直交する位置に互いに対向して配置された流量計センサ部(91)であり、
前記流量計アンプ部(103)は、各超音波振動子(98、99)がケーブル(109、110)を介して接続される流量計アンプ部(103)であり、
前記流量計センサ部(91)と前記流量計アンプ部(103)とが、渦発生体(95)の下流に発生するカルマン渦の発生周波数を超音波振動子(98)が送信した信号と超音波振動子(99)が受信した信号との位相差によって流量を演算する超音波式渦流量計を構成する、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。 - 前記電装モジュール(58)のケーシング(59)は、ケーシング(59)内に充填された気体を排出するために設けられた排出口(63)が形成されている、
ことを特徴とする請求項2乃至請求項7のいずれか一つの請求項に記載の流体制御装置。 - 前記流体流入口(3)の内部または外部に圧力調整弁(111)が設けられた、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の流体制御装置。
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JP2008023814A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタ |
JP2008256096A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Asahi Breweries Ltd | 流体ストッパー装置 |
JP2019013910A (ja) * | 2017-07-11 | 2019-01-31 | 旭有機材株式会社 | 流体混合装置 |
-
2004
- 2004-11-05 JP JP2004322711A patent/JP2006134100A/ja active Pending
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