JP2015115350A - ウェーハ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記載置テーブルは、前記ウェーハが載置される載置面を上下に貫通する貫通孔を備え、前記超音波供給部は、該載置面の下方に該載置面から離間して配置された超音波発振部を備え、該超音波発振部によって発生した超音波が該貫通孔を通過し、該ウェーハに対して下面側から供給されることが好ましい。
前記超音波供給部は、前記載置テーブルの上方に前記水槽内の水面に接して配置された超音波発振部を備え、該超音波発振部によって発生した超音波が、前記ウェーハに対して上面側から供給されることが好ましい。
前記載置テーブルは、前記ウェーハが載置される載置面を上下に貫通する貫通孔を備え、前記該超音波供給部は、該載置面の下方に該載置面から離間して配置された第1の超音波発振部と、前記載置テーブルの上方に前記水槽内の水面に接して配置された第2の超音波発振部と、を備え、該第1の超音波発振部によって発生した超音波が該貫通孔を通過し、該ウェーハに対して下面側から供給されるとともに、該第2の超音波発振部によって発生した超音波が、該ウェーハに対して上面側から供給されることが好ましい。
なお、超音波供給部14Bは、可変器42Bを有さず、超音波供給部14Aの可変器42が、超音波発振部41Bによって発生する超音波の周波数及び出力を変化させる構成であってもよい。
12,12A,12B 載置テーブル、21 載置面、211,211B 貫通孔、
13 水槽、31 排水口、
14,14A,14B 超音波供給部、41,41B 超音波発振部、
42,42B 可変器、43,44 支持部、
45 昇降手段、450 シリンダ、451 昇降ロッド
20 ウェーハ、22 保護テープ、30 洗浄水
Claims (5)
- ウェーハを分割するウェーハ加工装置であって、
該ウェーハを透過する波長のパルスレーザー光を、該ウェーハの内部に集光点を位置付け分割予定ラインに沿って照射することにより内部に改質層が形成されたウェーハが載置される載置テーブルと、
該載置テーブルに載置された該ウェーハを洗浄水に水没させる水槽と、
該洗浄水に水没した該ウェーハに対して超音波を供給する超音波供給部と、
を備え、
該超音波供給部によって供給される超音波により、該ウェーハを該分割予定ラインに沿って分割して小片化することにより複数のチップを生成するとともに、生成された該チップを洗浄する、ウェーハ加工装置。 - 前記超音波供給部は、
超音波を発生させる超音波発振部と、
該超音波発振部によって発生する超音波の周波数及び出力を変化させる可変器と、
を備え、
該可変器は、前記チップを洗浄するときに該超音波発振部によって発生する超音波の周波数及び出力を、前記ウェーハを分割するときに該超音波発振部によって発生する超音波の周波数及び出力と異なる周波数及び出力とする、請求項1記載のウェーハ加工装置。 - 前記載置テーブルは、前記ウェーハが載置される載置面を上下に貫通する貫通孔を備え、
前記超音波供給部は、該載置面の下方に該載置面から離間して配置された超音波発振部を備え、
該超音波発振部によって発生した超音波が該貫通孔を通過し、該ウェーハに対して下面側から供給される、請求項1または2記載のウェーハ加工装置。 - 前記超音波供給部は、前記載置テーブルの上方に前記水槽内の水面に接して配置された超音波発振部を備え、
該超音波発振部によって発生した超音波が、前記ウェーハに対して上面側から供給される、請求項1または2記載のウェーハ加工装置。 - 前記載置テーブルは、前記ウェーハが載置される載置面を上下に貫通する貫通孔を備え、
前記該超音波供給部は、
該載置面の下方に該載置面から離間して配置された第1の超音波発振部と、
前記載置テーブルの上方に前記水槽内の水面に接して配置された第2の超音波発振部と、
を備え、
該第1の超音波発振部によって発生した超音波が該貫通孔を通過し、該ウェーハに対して下面側から供給されるとともに、該第2の超音波発振部によって発生した超音波が、該ウェーハに対して上面側から供給される、請求項1または2記載のウェーハ加工装置。
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