JP2015110505A - 誘電体組成物、誘電体膜および電子部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一般式Bi12SiO20で表される結晶相と一般式Bi2SiO5で表される結晶相とを主成分として含有している誘電体組成物。好ましくは、前記誘電体組成物の含有率が、Bi2SiO5結晶相を5質量%〜99質量%であり、より好ましくは30質量%〜99質量%である。
【選択図】図1
Description
図1に示されるように、本実施態様にかかる薄膜コンデンサ10は、支持基板1の表面に用意した下地層2上に、下部電極構造体3と、上部電極構造体5と、下部電極構造体3および上部電極薄膜5の間に設けられた誘電体膜4とを備えている。支持基板1は、薄膜コンデンサ10全体の機械的強度を確保する機能を有する。下地層2は、支持基板と下部電極構造体1の電極薄膜と誘電体膜4を接着する役割を果たす。
図1に示す支持基板1を形成するための材料はとくに限定されるものではなく、単結晶としてはSi単結晶、SiGe単結晶、GaAs単結晶、InP単結晶、SrTiO3単結晶、MgO単結晶、LaAlO3単結晶、ZrO2単結晶、MgAl2O4単結晶、NdGaO3単結晶や、セラミック多結晶基板としてはAl2O3多結晶、ZnO多結晶、SiO2多結晶や、金属基板などによって、支持基板1を形成することができる。これらの中では、低コストであるため、Si単結晶が最も好ましい。支持基板1の表面は絶縁処理を施し、使用時の電流が支持基板1へ流れないようにする必要がある。例えば、支持基板1表面を酸化させて絶縁層を形成したものや、支持基板1表面にAl2O3、SiO2、Si3N4などの絶縁物で薄膜を形成してもよい。支持基板1の厚さは、薄膜コンデンサ全体の機械的強度を確保することができれば、とくに限定されるものではなく、たとえば、10nm〜1000nmに設定される。
本発明において、図1に示す薄膜コンデンサ10は、好ましくは、絶縁処理を施した支持基板1表面に、下地層2を有している。下地層2は、支持基板1と下部電極構造体3である電極薄膜と、下部電極構造体3である電極薄膜と誘電体膜4を接着する役割を果たす。下地層2はアニールすると下地層2の一部が酸化物となり下部電極構造体3の電極薄膜上に析出し、下部電極構造体3である電極薄膜と誘電体膜4を接着する。下地層2を形成するための材料は、支持基板1と下部電極構造体3である電極薄膜、下部電極構造体3である電極薄膜と誘電体膜4を接着するものであれば、とくに限定されるものではなく、例えばチタンやクロムの酸化物などによって、下地層2を形成することができる。
下部電極構造体3を形成するための材料は、導電性を有していれば、とくに限定されるものではなく、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)などの金属などによって形成することができる。これらの中で、高周波用電子部品に使用するにはCuが最も好ましい。本発明は融点の低いBi(ビスマス)を用いていることから、従来静電容量の温度特性が良好な材料として用いられている一般式(Ba1−xSrx)(Ti1−xZrx)O3系の材料よりも150℃以上低温で焼成ができるため、融点の低いCuを電極材料として使用することができる。下部電極構造体3の厚さは、薄膜コンデンサの一方の電極として、機能することができれば、とくに限定されるものではなく、たとえば、10nm〜10000nmに設定される。
誘電体膜4は、本実施形態に係る誘電体組成物から構成されている。該誘電体組成物は、一般式Bi12SiO20で表される結晶相と一般式Bi2SiO5で表される結晶相を主成分として含有している誘電体組成物である。ここで主成分とは、前記誘電体膜中に50質量%以上含有している化合物のことである。
本発明において、薄膜コンデンサは、誘電体膜4の表面に、薄膜コンデンサの他方の電極として機能する上部電極構造体5を備えている。上部電極構造体5を形成するための材料は、導電性を有していれば、とくに限定されるものではなく、下部電極構造体3と同様な材料によって、上部電極構造体5を形成することができる。さらに、前記上部電極構造体5である電極薄膜については、室温で形成することができるため、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)などの卑金属や、珪化タングステン(WSi)、珪化モリブデン(MoSi)などの合金を用いて、上部電極構造体の薄膜を形成することもできる。上部電極構造体5の厚さは、薄膜コンデンサの他方の電極として機能することができれば、とくに限定されるものではなく、たとえば、10nm〜10000nmに設定することができる。
図2に示されるように、本実施態様にかかる単板コンデンサ20は、電極層7と、2つの前記電極層7の間に設けられた誘電体層6とを備えている。
誘電体層6は、本実施形態に係る誘電体組成物から構成されている。該誘電体組成物は、一般式Bi12SiO20で表される結晶相と一般式Bi2SiO5で表される結晶相を主成分として含有している誘電体組成物であり、好ましくは、前記Bi2SiO5結晶相の含有率が、5質量%〜99質量%であり、より好ましくは30質量%〜99質量%である。これにより、比誘電率を高く維持しつつ、良好な静電容量の温度特性を実現できる。
電極層7に含有される導電材は導電性を有していれば特に限定されない。白金(Pt)、インジウム―ガリウム(In−Ga)、パラジウム(Pd)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)などの金属などの導電材から適宜選択すればよい。電極層7の厚みは、電極として機能することができれば、特に限定されない。
本実施形態の単板コンデンサは、主成分が一般式Bi12SiO20で表される結晶相と、Bi2SiO5で表される結晶相とを含有している誘電体層を、2つの電極層で挟むことによって製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
実施例1〜実施例7は、スパッタリング法を用いて誘電体膜を形成した薄膜コンデンサである。まず、Siの表面にSiO2を備えた10mm×10mm角の基板の表面上に、スパッタリング法にて下地層であるTi薄膜を50nmの厚さとなるように形成した。
比誘電率εrは、誘電体試料に対し、基準温度25℃において、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1MHz,入力信号レベル(測定電圧)1.0Vrmsの条件下で測定された静電容量Cから算出した(単位なし)。比誘電率は高いほうが好ましく、本実施例では、40以上を良好とし、50以上をさらに良好とし、60以上を特に良好とした。結果を表1に示す。
誘電体試料に対し、−55℃〜125℃における静電容量を1MHz,入力信号レベル(測定電圧)1.0Vrmsにおいて測定し、基準温度を25℃としたとき、温度に対する温度係数が、1000ppm/℃以下を良好とし、700ppm/℃以下をさらに良好とした。温度特性係数TCC(ppm/℃)は下記数式1により算出した。ただし、数式1中、C125は125℃における静電容量、C25は25℃における静電容量を表す。
まず、X線回折において、薄膜試料は平行ビーム法による測定を行い、単板試料は集中法による測定を行った。X線源としてCu−Kα線を用い、その測定条件は、電圧45kV、2θ=20°〜70°の範囲とした。得られたX線回折結果と、Bi12SiO20とBi2SiO5それぞれのPDFデータベースの参照強度比を用いて、定量分析法であるマトリックスフラッシング法にて結晶相の質量比率を算出した。測定データの解析は、解析ソフトH’Pert High Score Plusを用いた。PDFデータベースのリファレンスコードは、Bi12SiO20は01−072−7675、Bi2SiO5は01−075−1483を用いた。質量比率はより精度の高い結果を得る為、測定サンプル数は各試料3個ずつとし平均値を算出した。
実施例8は、PLD法を用いて誘電体膜を形成した薄膜コンデンサである。まず、実施例8のターゲット原料であるBi2O3とSiO2の質量比が、表1で示すようになるようにBi2O3粉末とSiO2粉末をそれぞれ準備し、実施例1と同様のターゲット作製方法でPLD用ターゲットを作製した。
実施例9〜実施例11は、単板コンデンサの実施例である。
まず、実施例9〜実施例11の誘電体層の原料として、Bi2O3とSiO2の質量比が、表1で示すようになるようにBi2O3粉末とSiO2粉末を準備した。
まず、Bi12SiO20のターゲット原料であるBi2O3とSiO2の質量比が、表1で示すようになるようにBi2O3粉末とSiO2粉末を準備し、実施例1と同様の方法でBi12SiO20スパッタリング用ターゲットを作製した。
まず、Bi2SiO5のターゲット原料であるBi2O3とSiO2の質量比が、表1で示すようになるようにBi2O3粉末とSiO2粉末を準備し、実施例1と同様の方法でBi2SiO5スパッタリング用ターゲットを作製した。
表1より、薄膜形成法に関係なく、主成分がBi12SiO20で表される結晶相と、Bi2SiO5で表される結晶相とを含有している誘電体組成物の場合には、比誘電率を高く維持しつつ、良好な静電容量の温度特性を実現できることが確認できた。
表1より、単板形状であってもBi12SiO20で表される結晶相と、Bi2SiO5で表される結晶相とを含有している誘電体組成物の場合には、比誘電率を高く維持しつつ、良好な静電容量の温度特性を実現できることが確認できた。
表1より、Bi12SiO20で表される結晶相と、Bi2SiO5で表される結晶相とを含有している誘電体組成物は、単板形状よりも薄膜形状の方が比誘電率は高かった。
表1より、Bi12SiO20で表される結晶相と、Bi2SiO5で表される結晶相とを含有している誘電体組成物ではない場合には、比誘電率と静電容量の温度特性の両立ができなかった。
2・・・ 下地層
3・・・ 下部電極構造体
4・・・ 誘電体膜
5・・・ 上部電極構造体
10・・・ 薄膜コンデンサ
6・・・ 誘電体層
7・・・ 電極層
20・・・ 単板コンデンサ
Claims (5)
- 一般式Bi12SiO20で表される結晶相と一般式Bi2SiO5で表される結晶相とを主成分として含有していることを特徴とする誘電体組成物。
- 前記Bi2SiO5で表される結晶相の含有率が、5質量%〜99質量%であることを特徴とする請求項1に記載の誘電体組成物。
- 前記Bi2SiO5で表される結晶相の含有率が、30質量%〜99質量%であることを特徴とする請求項1に記載の誘電体組成物。
- 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の誘電体組成物を含有している誘電体膜。
- 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の誘電体組成物を含有している誘電体層と、電極とを有する電子部品。
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