JP2015104144A

JP2015104144A - 振動型アクチュエータ

Info

Publication number: JP2015104144A
Application number: JP2013240562A
Authority: JP
Inventors: 篤史木村; Atsushi Kimura; 晴滋山本; Harushige Yamamoto
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2013-11-21
Filing date: 2013-11-21
Publication date: 2015-06-04
Anticipated expiration: 2033-11-21
Also published as: US20150137663A1; US10236798B2; JP6271963B2

Abstract

【課題】加減速時、高速往復動作時に発生する騒音を軽減することが可能となる振動型アクチュエータを提供する。【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子１０３と弾性体１０２を有する振動子１０１と、前記振動子を保持する振動子固定部材１１４と、前記振動子と摩擦接触することで前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部１０７と、前記振動子を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、前記ガイド部は、前記振動子と一体的に移動するように構成された移動板１１０と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材１０９、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材１０８と、を有し、前記振動子固定部材１１４と前記移動板１１０との間に振動減衰部材１０５が設けられている。【選択図】図１

Description

本発明は弾性体に振動を発生させ、その振動エネルギーを利用して駆動力を得る振動型アクチュエータ、特にリニア振動型アクチュエータに関する。

従来から、移動部材を固定部材に対して高精度で位置決めガイドできるタイプの振動型アクチュエータ（例えば振動波モータ）に関する提案がいくつかなされている。
特許文献１（図１３参照）のような被駆動体を直線状に駆動するリニア型振動波モータもその１つである。
この特許文献に開示された従来技術では、円筒状の固定部材６０１の内周側に移動部材６０２が配置され、リニア型振動子６１２は固定部材６０１に固定されている。
また、スライダー６０３の中心軸Ｏを挟む対向位置には移動部材６０２の溝６０２ａ、６０２ｂ、６０２ｃ、移動部材６０２の外周部に設けられた固定部材６０１の溝６０１ａ、６０１ｂ、６０１ｃ、案内部材６１３ａ、６１３ｂ、６１３ｃからなるガイド部が設けられている。
そして、リニア型振動子６１２が移動部材６０２に設けられたスライダー６０３に押圧されることにより、移動部材６０２は固定部材６０１に対して中心軸を一致させるように配置され、中心軸方向に精度よく駆動、位置決めされる。

また、特許文献２（図１４参照）では、振動体７１４とガイド部を構成する固定板７１９との間に加圧バネ部材７１７が設けられ、加圧バネ部材７１７は固定板７１９側にはゴムシート７１６、７１８、振動体７１４側には長手方向中央の振動の節部７１４ａにゴムシート７１５を介して設けられている。
このような構成のリニア型振動波モータでは、ゴムシート７１５による振動の阻害がなく構成が簡略で小型化がはかれると述べられている。
さらに、特許文献３（図１５参照）では、第１ケース８０８に第２ケース８０９を押しこむことによって、アクチュエータ本体８０３をケース８０４に収納する構成であり、圧電素子８３０の長手方向両端面８３６に支持ゴム８５１、下面中央部に付勢ゴム８５２が配置されケース８０４に対して弾性的に支持されている。
このような構成の超音波アクチュエータでは、組立性が向上し、また圧電素子８３０の長手方向両端面８３６は縦振動の腹ではあるが支持ゴム８５１が弾性体であるため、振動を妨げないと述べられている。

特開平３−２２２６８１号公報特開２００１−２９２５８４号公報特開２００９−３３９６９号公報

しかしながら、特許文献１のような構成をとったとき、移動部材６０２を高速で往復移動を行うと、急加速、急減速運動による加速度の影響を受けて移動部材６０２には移動方向に対してピッチング方向のモーメントが発生する。
これは移動部材６０２の重心と駆動力発生部との位置に差があるときに起きる現象である。
このモーメントにより案内部材６１３ａ、６１３ｂ、６１３ｃの一部は固定部材６０１あ
るいは移動部材６０２から離反する方向に力を受ける。
そして、この力がリニア型振動子６１２と移動部材６０２との間の押圧力を上回ると、案内部材６１３ａ、６１３ｂ、６１３ｃの一部は往復運動の折り返し地点近傍において固定部材６０１の溝６０１ａ、６０１ｂ、６０１ｃあるいは移動部材６０２の溝６０２ａ、６０２ｂ、６０２ｃとの間に隙間が発生する。
その結果、起動時、停止時、特に連続往復駆動時に案内部材６１３ａ、６１３ｂ、６１３ｃと固定部材６０１あるいは移動部材６０２との間で離開と接触の繰り返しが生じ騒音を発生することになる。
特に、例えば光学機器の合焦動作において、合焦レンズを微小量光軸前後に駆動を行いながら被写体のコントラスト情報を元に合焦動作を行ういわゆるウォブリング動作を行うと上記騒音が発生し、記録音声に不要な騒音が記録されてしまうと言う問題が生じる。

また、特許文献２では振動体７１４は振動の節７１４ａのみで支持されているため、節部７１４ａを中心にピッチング方向に回転自由となり振動体７１４が回転しようとし、それに伴って移動体であるレール７１１ａが回転し、回転部材７１２との間に隙間が生じる。その結果、起動時、停止時、特に連続往復駆動時に騒音を発生することになる。
さらに、特許文献３では図１５（ｂ）に示すようにアクチュエータ本体８０３と被駆動体であるステージ８１１との間の加圧手段に関する記述がないので明確でないが、ステージ８１１が急加速、急減速するとき、ステージ８１１がピッチング方向に回転し、レール８１２等からなるリニアガイドで同様の騒音が発生する。

本発明は、上記課題に鑑み、加減速時、高速往復動作時に発生する騒音を軽減することが可能となる振動型アクチュエータの提供を目的とするものである。

本発明の一様態は、
電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子を保持する振動子固定部材と、
前記振動子と摩擦接触することで前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記振動子を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記振動子と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記振動子固定部材と前記移動板との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータに関する。
また、本発明の一様態は、
電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子と摩擦接触することで、前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を保持するように構成された振動子固定部材と、
前記被駆動体を保持するように構成された枠体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記振動子を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記振動子と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記被駆動体と前記枠体との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータに関する。
また、本発明の一様態は、
電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子と摩擦接触することで、前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記被駆動体を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記被駆動体と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記被駆動体と前記移動板との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータに関する。
また、本発明の一様態は、
電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子と摩擦接触することで、前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を保持するように構成された振動子固定部材と、
前記振動子固定部材を保持するように構成された枠体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記被駆動体を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記振動子と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記振動子固定部材と前記枠体との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータに関する。

本発明によれば、加減速時、高速往復動作時に発生する騒音を軽減することが可能となる振動型アクチュエータを実現することができる。

本発明の実施例１における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向直角断面）。本発明の実施例１における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例１における振動型アクチュエータの支持部材が接合された振動子の斜視図。本発明の実施例１における振動型アクチュエータの効果を説明する主要部断面図（駆動方向断面）。従来例の振動型アクチュエータの構成を説明するための主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例２における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例３における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例１の変形例における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例４における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例４における振動型アクチュエータの効果を説明する主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例５における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）。本発明の実施例６における振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）。特許文献１の構成を説明するためのリニア型振動波モータの断面図。特許文献２の構成を説明するためのリニア型振動波モータの説明図。特許文献３の構成を説明するためのリニア型振動波モータの説明図。

本発明によれば、加減速時、高速往復動作時に発生する騒音を軽減することが可能となるが、特に光学機器のフォーカス駆動源として用いることで、ウォブリング動作における不要な騒音を軽減してより静かな小型リニア振動型アクチュエータを実現することができる。よって、動画撮影時のウォブリング動作および静止画撮影時の起動、停止時において静音性の高い合焦レンズ駆動を行う小型リニア振動型アクチュエータを実現することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を、つぎの実施例により説明する。

［実施例１］
実施例１として、光学機器のフォーカス駆動源として用いられる振動型アクチュエータの構成例について、図１、２、３、４を用いて説明する。
図１はその振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向直角断面）、図２はその駆動方向断面図、図３は支持部材が接合された振動子の斜視図、図４は本発明の効果を説明する駆動方向断面図である。
なお、図２は図１の一点鎖線ＡーＡ’での断面図を示している。
本実施例の振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子と弾性体からなる振動子を備え、この振動子に被駆動体を摩擦接触させ、これらを相対的に移動させるように構成されている。
具体的にこれらの構成について説明すると、振動子１０１は、例えば特開２０１１−２３４６０８号公報等で開示されている構成を有し、弾性体１０２と弾性体１０２に接着等により接合された圧電素子１０３を有する。
また、弾性体の被接合部１０２ａが支持部材１１２に対して溶接等により結合される（図２、図３参照）。
圧電素子１０３は高周波電圧が印加されると、振動子１０１が長手方向、短手方向、それぞれ屈曲振動を起こすように設定されている。
その結果、図２に示すように、弾性体１０２に形成された圧接部１０２ｂの先端が楕円振動を起こし、この圧電素子に印加する高周波電圧の周波数や位相を変えることで、回転方向や楕円比を適宜変化させて所望の動きを発生させることができる。よって、相手部品である相対摺動部材であるところのスライダー１０４（被駆動体）との摩擦力により駆動力を発生させ、振動子自身を光軸（図１紙面直行方向、図２左右方向）に沿って進退させることが可能となる。つまり、スライダー１０４と振動子１０１は、摩擦接触により、互いの相対位置が移動可能に構成されている。

図１中、振動子固定部材１１４は振動子を保持するように構成され、振動子１０１と結合された支持部材１１２(図２）が、ネジ１１３により取り付け位置に固定される。
加圧部は、加圧板１０６、及び加圧バネ１０７を有し、加圧板１０６はフェルト１１５（
振動絶縁部材）を介して振動子１０１をスライダー１０４に押圧するように構成されている。なお、振動絶縁部材とは、振動子１０１の振動を阻害せずに、かつその振動をそこで遮断し加圧部にほとんど伝達しない機能を有し、スポンジ等でもよく、フェルトに限定されるものではない。
移動板１０８は、振動子固定部材１１４の当接部１１４ａにゴムシート１０５（振動減衰部材）を介してネジ止め等で固定され、押圧力の反力を受けるガイド部の一部を構成すし、振動子と一体的に移動する。
移動板１０８には、転動部材であるボール１０９が嵌入され振動子固定部材１１４を光軸方向にガイドする、複数のＶ溝部１０８ａが形成されている。ボール１０９は、振動子１０１とスライダー１０４の相対移動の方向に転動可能に配置されている。
押圧保持部材１１０は、枠体１１１にネジ等により固定され、ボール１０９を移動板１０８に押圧するように構成される。
押圧保持部材１１０も前述のガイド部の一部を構成している。
そして、移動板１０８のＶ溝部１０８ａと、Ｖ溝部１０８ａに対向する位置に設けられたＶ溝部１１０ａによって、ボール１０９を挟持することで、振動子固定部材１１４を駆動方向に沿って進退可能に支持することを可能としている。すなわち、押圧保持部材１１０は、ボール１０９を移動板１０８に押圧するよう構成されている。
さらに、この時移動板１０８はボール１０９の転動機能により押圧保持部材１１０に対して駆動方向（図１紙面直行方向）には移動自在に構成されることとなる。上記構成によって、ガイド部は、振動子１０１を相対移動の方向へガイド可能に構成されている。
枠体１１１には、スライダー１０４が長手方向（ここでは駆動方向）において、両端部付近でネジ等で固定される。なお、図１において、移動板１０８のＶ溝部１０８ａと押圧保持部材１１０のＶ溝部１１０ａは必ずしもすべてＶ溝形状である必要はなく、少なくとも、どれか１つは平面形状でもよい。
ここまでの構成により、本発明にかかわる振動型アクチュエータのモータユニットが完成する。

図５は従来の構造を説明するための構成概略図である。
図中、本発明の実施例１と同じ部分は図１、図２と同じ符号を付してある。
従来においては、振動子固定部材１１４の当接部１１４ａと移動板１０８の間にゴムシートが介在せず、それらが直接固定されていた。
そのため、前述のように光学機器の合焦動作において、例えば合焦レンズを微小量光軸前後に駆動を行いながら被写体のコントラスト情報を元に合焦動作を行ういわゆるウォブリング動作を行うと、撮影に必要な静音性が損なわれることになる。
すなわち、駆動力発生部である振動子１０１とスライダー１０４との接触部の位置（図５中Ｆの発生する部分）と、振動子１０１と一体となって移動する駆動部の重心（図５中Ｇ）との位置の差から移動方向に対してピッチング方向のモーメントＭが発生する。
そして、その力が前述の加圧反力を上回ると、振動子固定部材１１４がピッチング方向に回転移動し、それに伴って移動板１０８も回転移動する。
この時、移動板１０８と押圧保持部材１１０に形成されたＶ溝部とボール１０９の間には隙間が発生することになる。この結果、ウォブリングの連続駆動によりＶ溝部とボールの間で衝突音が連続して発生し、撮影に必要な静音性が損なわれることになり、静止画撮影でも起動、停止時に衝突音が発生する。
これに対して、図１、図２に示した本実施例の構成によれば、振動子固定部材１１４の当接部１１４ａと移動板１０８の間に振動減衰部材を構成するゴムシート１０５が介在している。
このため、加減速時の振動子固定部材１１４の回転移動は図４に示したようにゴムシート１０５に吸収され、Ｖ溝部１０８ａまたは１１０ａとボール１０９との間における隙間の発生を阻止することができ、結果として衝突音を軽減することができる。

［実施例２］
実施例２として、光学機器のフォーカス駆動源として用いられる振動型アクチュエータの構成例について、図６を用いて説明する。
図６は、その振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）であり、図中、本発明の実施例１と同じ部分は図２と同じ符号を付している。
実施例１との違いは、フェルト２１５が圧電素子１０３の全面ではなく駆動方向において振動子の中心に対し対称に２か所設けられていることである。これにより、フェルトと圧電素子との接触領域を小さくすることができるため、フェルトによる振動子の振動の阻害をさらに小さくすることができる。特に、フェルト２１５は駆動速度と密接にかかわる長手方向の屈曲振動の節付近に配置されており、フェルトによる振動子の振動の阻害を最小限に抑えることができる。

［実施例３］
実施例３として、光学機器のフォーカス駆動源として用いられる振動型アクチュエータの構成例について、図７を用いて説明する。
図７は、その振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）であり、図中、本発明の実施例１と同じ部分は図２と同じ符号を付している。
実施例１との違いは、加圧板２０６がフェルト１１５側に凸部２０６ａを有していることである。凸部２０６ａは駆動方向において振動子の中心に対し対称に２か所設けられており、加圧力はこの２か所でほとんど受けることになる。よって、実施例２と同様の効果が得られる。特に、凸部２０６ａは駆動速度と密接にかかわる長手方向の屈曲振動の節付近に配置されており、フェルトによる振動子の振動の阻害を最小限に抑えることができる。

なお、実施例１、２、３では、ゴムシート１０５が、駆動方向において振動子固定部材１１４と移動板１０８の全面に設けられる例を示したが、図８のゴムシート２０５のように、駆動方向においてピッチング方向のモーメントを緩和できれば良いため、駆動方向において、振動子の中心に対し対称に設けられていればよい。したがって、ゴムシート２０５は、駆動方向において、振動子固定部材１１４または移動板１０８の両端に配置されていてもよい。また、駆動方向において、両端及び中心以外の２か所に、中心に対して対称となる位置に配置されていてもよい。また、図２のゴムシート１０５は、駆動方向において、ボール１０９が転動する範囲をカバーしていればよく、必ずしも振動子固定部材１１４や移動板１０８の両端までには設けられず、一枚のゴムシート１０５が、振動子の中心に対して対称となるよう設けられていてもよい。なお、本明細書において、ある部材が中心に対して対称とは、完全に対称な場合だけでなく、実質的に対称であるとして機能する場合を含む。

［実施例４］
実施例４として、図２に示す実施例１の変形例の振動型アクチュエータの構成例について、図９、１０を用いて説明する。
図９はその振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）、図１０はその効果を説明する駆動方向断面図である。
図中、実施例１と同じ部分は図２と同じ符号を付している。
本実施例においては、振動子固定部材１１４の当接部１１４ａと移動板１０８との間にゴムシートを設ける代わりに、スライダー１０４と枠体２１１との間にゴムシート３０５（振動減衰部材）を介在させる。枠体２１１は、被駆動体であるスライダー１０４を保持するように構成されている。
このような構成の場合は、加減速時の移動方向に対するピッチング方向のモーメントにより振動子固定部材１１４、枠体２１１、押圧保持部材１１０等がピッチング方向に一体的に回転移動する。その移動を、図１０に示すように、振動減衰部材を構成するゴムシート
３０５で吸収することにより、Ｖ溝部とボールの間に隙間が発生せず、騒音を軽減することができる。

［実施例５］
実施例５として、スライダーが移動するタイプの光学機器のフォーカス駆動源として用いられる振動型アクチュエータの構成例について、図１１を用いて説明する。
図１１は、その振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）である。
図中、実施例４と同じ部分は図９と同じ符号を付している。
図１１中、振動子固定部材２１４は、枠体３１１に保持され、スライダー１０４には移動板２０８がゴムシート４０５（振動減衰部材）を介してねじ止め等で固定される。
移動板２０８には転動部材であるボール２０９が嵌入され、スライダー１０４を光軸方向にガイドするＶ溝部が形成されている。
押圧保持部材２１０は、枠体３１１にネジ等により固定される。押圧保持部材２１０も前述のガイド部の一部を構成している。移動板２０８のＶ溝部と、移動板２０８のＶ溝部に対向する位置に設けられたＶ溝部とによって、ボール２０９を挟持することで、押圧保持部材２１０は、スライダー１０４を駆動方向に沿って進退可能に支持可能に構成されている。
さらに、この時移動板２０８は、ボール２０９の転動機能により押圧保持部材２１０に対して駆動方向（図１１紙面左右方向）には移動自在に構成されることとなる。なお、移動板２０８のＶ溝部と押圧保持部材２１０のＶ溝部は、必ずしもすべてＶ溝形状である必要はなく、少なくともどれか１つは平面形状でもよい。

前述のように光学機器の合焦動作において、たとえば合焦レンズを微小量光軸前後に駆動を行いながら被写体のコントラスト情報を元に合焦動作を行う、いわゆるウォブリング動作を行うと、移動方向に対してピッチング方向のモーメントＭが発生し、その力が加圧反力を上回るとスライダー１０４がピッチング方向に回転移動する。
これに対して、本実施例では、スライダー１０４と移動板２０８の間にゴムシート４０５が介在しているため、加減速時のスライダー１０４の回転移動は振動減衰部材を構成するゴムシート４０５に吸収され、Ｖ溝部とボール２０９との間の隙間発生を阻止することができる。結果として衝突音を軽減することができる。
なお、本実施例では図１１に示すようにゴムシート４０５は、駆動方向において、スライダー１０４または移動板２０８の全面に設けられているが、ゴムシート４０５の形状、配置は、これに限定されず、駆動方向の中央に対し対称になるように設けられていればよい。例えば、駆動方向において、スライダー１０４または移動板２０８の両端部２か所のみ設けられていてもよい。

［実施例６］
実施例６として、図１１に示す実施例５の変形例の振動型アクチュエータの構成例について、図１２を用いて説明する。
図１２はその振動型アクチュエータの主要部断面図（駆動方向断面）である。
図中、実施例５と同じ部分は図１１と同じ符号を付している。
本実施例においては、スライダー１０４と移動板２０８との間にゴムシートを設ける代わりに振動子固定部材２１４と枠体３１１との間にゴムシート５０５（振動減衰部材）を介在させる。
このような構成の場合は、加減速時の移動方向に対するピッチング方向のモーメントによりスライダー１０４、枠体３１１、押圧保持部材２１０等がピッチング方向に一体的に回転移動し、その移動を振動減衰部材を構成するゴムシート５０５で吸収する。よって、Ｖ溝部とボール２０９の間に隙間が発生せず、騒音を軽減することができる。

なお、本実施例では図１２に示すようにゴムシート５０５は振動子固定部材２１４の駆
動方向全面に設けられているが、ゴムシート５０５の形状、配置は、これに限定されず、駆動方向の中央に対し対称になるように設けられていればよい。例えば、駆動方向において、振動子固定部材２１４の両端部２か所のみ設けてもよい。
また、実施例１乃至実施例６は、移動板１０８、２０８、押圧保持部材１１０、２１０あるいはボール１０９、２０９の少なくとも１つを樹脂により形成することにより、さらに衝突音を軽減することができる。
以上、本発明に関わる振動型アクチュエータに関してその具体例を詳述したが、本発明は上記実施例のようなリニア型に限定されるものではなく、請求項記載の範囲に示したものであれば回転型、多自由度等どのような形態をとることも可能である。

１０１：振動子
１０２：弾性体
１０３：圧電素子
１０４：スライダー
１０５、２０５、３０５、４０５：ゴムシート（振動減衰部材）
１０６、２０６：加圧板
１０７：加圧バネ
１０８、２０８：移動板
１０９、２０９ボール
１１０、２１０：押圧保持部材
１１１、２１１、３１１：枠体
１１２：支持部材
１１３：ネジ
１１４、２１４：振動子固定部材
１１５、２１５：フェルト（振動絶縁部材）

Claims

電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子を保持する振動子固定部材と、
前記振動子と摩擦接触することで前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記振動子を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記振動子と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記振動子固定部材と前記移動板との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
前記加圧部と前記振動子の間には振動絶縁部材を介することを特徴とする請求項１に記
載の振動型アクチュエータ。
前記振動絶縁部材は前記振動子の移動方向において、前記振動子の中心に対して略対称となるように設けられていることを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータ。
前記加圧部材の前記振動絶縁部材に接する面には、前記振動子の移動方向において、前記振動子の中心に対して略対称となる位置に凸部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動減衰部材が、前記振動子の移動方向において、前記振動子の中心に対して略対称となるように、前記振動子固定部材と前記移動板との間に設けられていることを特徴とする請求項１乃至４に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動減衰部材は、前記振動子の駆動方向において、前記振動子固定部材あるいは前記移動板の両端に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の振動型アクチュエータ。
電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子と摩擦接触することで、前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を保持するように構成された振動子固定部材と、
前記被駆動体を保持するように構成された枠体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記振動子を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記振動子と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記被駆動体と前記枠体との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子と摩擦接触することで、前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記被駆動体を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記被駆動体と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記被駆動体と前記移動板との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
電気−機械エネルギー変換素子と弾性体を有する振動子と、
前記振動子と摩擦接触することで、前記振動子との相対位置が移動するように構成された被駆動体と、
前記振動子を保持するように構成された振動子固定部材と、
前記振動子固定部材を保持するように構成された枠体と、
前記振動子を前記被駆動体に押圧するように構成された加圧部と、
前記被駆動体を移動方向にガイドするように構成されたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記振動子と一体的に移動するように構成された移動板と、前記移動方向に転動するように構成された転動部材、および前記転動部材を前記移動板に押圧するように構成された押圧保持部材と、を有し、
前記振動子固定部材と前記枠体との間に振動減衰部材が設けられていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
前記移動板と前記押圧保持部材の少なくとも一方に前記転動部材が前記移動方向に転動する溝部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記移動板、前記転動部材、前記押圧保持部材の少なくとも１つは樹脂により形成されることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。