JP2021002923A - 振動波モータおよび駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 振動波モータの部品たわみと異音原因となる不要振動を低減した振動波モータを提供する。【解決手段】 圧電素子と振動板とを有する振動子と、摩擦部材と、前記振動子と前記摩擦部材とを加圧接触させる加圧手段と、を有し、前記圧電素子により前記振動子を振動させることで前記振動子と前記摩擦部材とを相対的に移動させる振動波モータであって、前記振動子と前記摩擦部材との相対移動を案内する案内機構と、前記加圧手段の加圧方向において前記摩擦部材と前記案内部材とで挟持される減衰部材と、を有する。【選択図】 図１

Description

本発明は、振動波モータおよび振動波モータを有する駆動装置に関する。

従来、振動波モータでは駆動源となる振動子が摩擦部材に対して加圧付勢され、振動子の振動時に加圧付勢により発生する摩擦力を利用して駆動力が取り出される。特許文献１では、振動波モータユニット全体の薄型化と、摩擦部材の振動を伝搬させる部品を少なくする目的で、摩擦部材および加圧付勢力を受ける駆動方向の案内部材を駆動方向両端で支持する構成が提案されている。

特開２０１７−１９８９２５号公報

しかしながら特許文献１に記載された構成では、特に振動波モータの駆動距離を長くした際に、摩擦部材および駆動方向の案内部材を支持する部分の間隔が長くなり、部品たわみが発生しやすくなる。さらに摩擦部材は、支持する部分の間隔が長くなることで、共振モードが低域にシフトし、可聴域の振動であり異音の原因となる不要振動を発生しやすくなる。

そこで本発明は、振動波モータの部品たわみと異音原因となる不要振動を低減した振動波モータを提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本願発明に係る振動波モータは、圧電素子と振動板とを有する振動子と、摩擦部材と、前記振動子と前記摩擦部材とを加圧接触させる加圧手段と、を有し、前記圧電素子により前記振動子を振動させることで前記振動子と前記摩擦部材とを相対的に移動させる振動波モータであって、前記振動子と前記摩擦部材との相対移動を案内する案内機構と、前記加圧手段の加圧方向において前記摩擦部材と前記案内部材とで挟持される減衰部材と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、振動波モータの部品たわみと異音原因となる不要振動を低減することができる。

本発明の第１の実施形態に係る振動波モータの構成を示す図。 本発明の第１の実施形態に係る振動波モータの付勢力の関係を示す図。 本発明の第１の実施形態に係る振動波モータの摩擦部材近傍の展開斜視図。 本発明の第１の実施形態に係る振動波モータの摩擦部材の共振モードを示す図。 本発明の第１の実施形態に係る振動波モータの減衰部材の形状の例を示す図。 本発明の第１の実施形態に係る振動波モータにおける減衰部材と固定側案内部の位置関係を示す図。 本発明の第２の実施形態に係る振動波モータにおける減衰部材と固定側案内部の位置関係を示す図。 振動波モータを備えた駆動装置の例を示す図。

以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動波モータ３の構成を示す図である。図１（ａ）は振動波モータ３をＹ軸方向の振動子１０４側から見た図、図１（ｂ）は図１（ａ）で示すＡ−Ａ断面での振動波モータ３の断面図をそれぞれ示している。

振動子１０４は、矩形の平板部の２つ突起が設けられた弾性を有する振動板１０２と、平板部の突起が設けられていない側に公知の接着剤等により固着された圧電素子１０３と、により構成されている。圧電素子１０３へは給電のための不図示のフレキシブル基板が固定され、圧電素子１０３へ電圧が印加されることにより超音波振動が励振される。平板部に設けられた２つの突起は摩擦部材１０１と当接し、振動子１０４に超音波振動が励振されると振動子１０４には２種の定在波が発生し、２つの突起の先端に生じる略楕円運動により振動子１０４が摩擦部材１０１に対して相対的に移動する。以下では、振動子１０４と摩擦部材１０１とが相対移動する方向を駆動方向とし、図中ではＺ軸方向で示す。

振動子保持部材１０５は、振動板１０２の平板部から延出した腕部を保持することで振動子１０４を保持している。振動子保持部材１０５と振動板１０２とは、公知の接着剤等により固定されているが、固定されればその方法は限定されない。

可動枠部材１０７は、薄板板金１０８を介して振動子保持部材１０５と連結されていて、振動子保持部材１０５と可動枠部材１０７とは、駆動方向の相対的な移動が、加圧力の方向の相対的な移動よりも規制されている。このような構成により、振動子保持部材１０５と可動枠部材１０７の駆動方向におけるガタつきを抑制しつつ振動子１０４を後述する摩擦部材１０１に安定して加圧接触させることができる。なお、薄板板金１０８と同様の効果を得ることができる構成であれば、可動枠部材１０７振動子保持部材１０５とを連結する構成は限定されない。

摩擦部材１０１は、振動子１０４と摩擦部材１０１との相対移動を案内する案内機構に含まれる固定側レール部材１１３とともにネジ等により、駆動方向における両端部にて固定枠部材１１２に固定されている。本実施形態では、摩擦部材１０１、固定枠部材１１２、固定側レール部材１１３は、振動子１０４に超音波振動が励振されても移動しない。

引っ張りバネであるバネ１１０は、振動子１０４の周りに４か所配置され、４つのバネ１１０それぞれの一方は加圧プレート１０９、他方は可動側レール部材１１５に支持されていて、振動子１０４と摩擦部材１０１とを加圧接触させる加圧力を生み出している。

加圧プレート１０９は、弾性部材貼り付け部材１１６と接触し、バネ１１０による加圧力を弾性部材貼り付け部材１１６に伝達している。弾性部材貼り付け部材１１６と圧電素子１０３との間には、弾性部材１０６が配置されている。弾性部材貼り付け部材１１６および弾性部材１０６は、加圧プレート１０９と圧電素子１０３との直接接触を妨げ、圧電素子１０３の損傷を防止しているが、いずれか一方または両方を省略した構成であってもよい。また、加圧力を与えるために４つのバネ１１０を用いる構成でなくてもよく、バネの種類も引っ張りバネに限定されない。

以下では、振動子１０４と摩擦部材１０１とを加圧接触させる加圧力の方向を加圧方向とし、図中ではＹ軸方向で示す。

可動側レール部材１１５は、２つの略Ｖ字形状の溝である可動側案内部１１５ａを備えており、それぞれの溝に転動ボール１１４が配置されている。一方、固定側レール部材１１３も略Ｖ字形状の溝である固定側案内部１１３ａを備えている。そして、固定側レール部材１１３が備える固定側案内部１１３ａと可動側レール部材１１５が備える可動側案内部１１５ａとにより、転動ボール１１４が挟持されている。このような固定側案内部１１３ａ、転動ボール１１４、可動側案内部１１５ａにより構成される案内機構によって、振動子１０４と摩擦部材１０１との相対移動が案内される。なお、可動枠部材１０７と可動側レール部材１１５とは不図示のネジ等で固定されるが、固定されればその方法は限定されない。

減衰部材１１７は、摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３により加圧方向に挟持される。減衰部材１１７は弾性を有し、摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３により挟持されることで、摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３に対し弾性反力による付勢力を発生する。このような構成により、摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３の部品たわみが低減されるとともに摩擦部材１０１の不要振動が低減される。

可動枠部材１０７には、駆動力取り出し部が設けられていて、振動子１０４による駆動力を駆動力取り出し部に接続された被駆動体に伝達し、被駆動体を駆動方向に移動させることができる。

次に、振動波モータ３の付勢力の関係を図２を用いて説明する。図２は、振動波モータ３の付勢力の関係を示す図であり、図１（ｂ）と同視点からの断面図を展開したものである。

前述したように、摩擦部材１０１は駆動方向（Ｚ軸方向）における両端部にて固定枠部材１０２に固定されている。同様に固定側レール部材１１３も駆動方向（Ｚ軸方向）における両端部にて固定枠部材１０２に固定されている。

このように駆動方向（Ｚ軸方向）における両端部のみで固定枠部材１０２に固定された摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３は、バネ１１０による付勢力Ｃおよび付勢力Ｄにより、Ｙ軸方向の両側から挟持される。そして、摩擦部材１０１は、振動子１０４を介して加圧方向に平行な方向Ｐ（第１の方向）に付勢力Ｄを受ける。また、固定側レール部材１１３は、転動ボール１１４を介して加圧方向に平行な方向Ｐと逆方向の方向Ｑ（第２の方向）に付勢力Ｃを受ける。そのため、特に振動波モータの駆動距離を長くするために摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３を駆動方向に長くした構成において、摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３は中央がたわみやすくなる。

本実施形態では、加圧方向において摩擦部材１０１と固定側レール部材１１３との間に減衰部材１１７が弾性変形を伴い挟持されている。そのため、減衰部材１１７から摩擦部材１０１に対し方向Ｑに付勢力Ｂが与えられ、固定側レール部材１１３に対しては方向Ｐに付勢力Ａが与えられる。摩擦部材１０１にとってはバネ１１０による付勢力Ｄに対し減衰部材１１７による付勢力Ｂが打消す方向に働き、固定側レール部材１１３にとってはバネ１１０による付勢力Ｃに対して減衰部材１１７による付勢力Ａが打消す方向に働く。このような付勢力の関係により摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３のたわみが低減される。また、減衰部材１１７と摩擦部材１０１との相対位置関係は、振動子１０４から可動枠部材１０７までの構成と摩擦部材１０１との位置変化にともなって変化しない。そのため、減衰部材１１７で発生する付勢力の位置は、振動子１０４と摩擦部材１０１との相対移動にともなう振動子１０４と摩擦部材１０１の位置変化によらず、摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３に対して所定の位置である。

また、摩擦部材１０１が長い構成においては、摩擦部材１０１が短い構成と比較して摩擦部材１０１の共振モードの周波数が低周波域へとシフトする。そのため、摩擦部材１０１の共振モードを励起源とした不要振動が可聴域になりやすく、使用者にとって不快な異音が発生しやすい。

しかしながら、本実施形態の構成では、摩擦部材１０１へと減衰部材１１７が付勢力Ｂを加えつつ接触している。そのため、減衰部材１１７の有する振動減衰性により摩擦部材１０１の振動が減衰され、摩擦部材１０１の異音の発生を低減することができる。

ここで、摩擦部材１０１と振動板１０２との加圧接触状態を安定させるため、摩擦部材１０１が固定される部材である固定枠部材１１２は剛性の高い材質であることが好ましい。これに対して、減衰部材１１７は振動減衰のため固定枠部材１１２よりも振動減衰性の高い（例えば、振動減衰率が高い）材質であることが好ましい。例えば、減衰部材１１７の材料は、ポリウレタンを発泡させたものや、ポリエチレン、ブチルゴム、フェルトなどが考えられる。

次に、摩擦部材１０１、固定側レール部材１１３、減衰部材１１７の詳細について図３を用いて説明する。図３は、摩擦部材１０１近傍の展開斜視図である。

減衰部材１１７は、図３に示すように矩形の内側に開口部１１７ａを有している。固定側レール部材１１３が備えた固定側案内部１１３ａは、この開口部１１７ａに入り込むように配置される。これにより、減衰部材１１７が固定側レール部材１１３に密着して挟持されていても、Ｙ軸方向の部品重なりによる固定側レール部材１１３の固定側案内部１１３ａによる厚みの増加を抑えることができる。

ここで、減衰部材１１７に発生する付勢力（付勢力Ａおよび付勢力Ｂ）は、バネ１１０による付勢力Ｃおよび付勢力Ｄとつり合うのが望ましい。本実施形態では、減衰部材１１７に開口部１１７ａを設けることで、減衰部材１１７に発生する付勢力Ａおよび付勢力Ｂを調整し、付勢力Ｃおよび付勢力Ｄと略つり合うように設定している。なお、付勢力Ａおよび付勢力Ｂと付勢力Ｃおよび付勢力Ｄとがつり合っていなくても、固定側案内部１１３ａに発生する付勢力が減衰部材１１７による付勢力Ａおよびバネ１１０による付勢力Ｃの半分以下となっていればよい。

次に、摩擦部材１０１に生じる振動について図４を用いて説明する。図４は摩擦部材１０１の共振モードを説明する図であり、図４（ａ）は面外振動の共振モードを、図４（ｂ）はねじれ振動の共振モードを、図４（ｃ）は面外振動およびねじれ振動の振動腹部の模式図を、それぞれ示している。

図４（ａ）に示す１０１−Ｂは、摩擦部材１０１が面外へと屈曲する面外屈曲振動の共振モードの１つを示している。この振動は摩擦部材１０１と振動子１０４との接触方向に変位する共振モードであり、振動を伝搬させ異音を引き起こしやすい。面外屈曲振動の共振モードにおいて最も振幅の大きい振幅の腹部は、１０１−Ｂ腹に示すようにＺ軸方向に離散的に発生する。この共振モードの振幅の腹部において、減衰部材１１７を接触させることで高い振動減衰効果が得られる。ただし、面外屈曲振動の共振モードは図４（ａ）に示す振幅の腹部が６つある共振モード以外にも、振幅の腹部の数が異なる他の共振モードが無数に存在するため、Ｚ軸方向の両端を除いたほぼ全域に面外屈曲振動の腹部が発生し得る。

図４（ｂ）に示す１０１−Ｔは、摩擦部材１０１がねじれるねじれ振動の共振モードの１つを示している。このねじれ振動も摩擦部材１０１と振動子１０４との接触方向に変位成分をもつ共振モードであり、振動を伝搬させ異音を引き起こしやすい。ねじれ振動の共振モードにおいて最も振幅の大きい振幅の腹部は、１０１−Ｔ腹に示すようにＸ軸方向のエッジ部に発生する。ねじれ振動の共振モードは図４（ｂ）に示す腹部がＸ軸方向の各端に５つある共振モード以外にも、振幅の腹部の数が異なる他の共振モードが無数に存在するが、共振モードにおける振幅の腹部は常にＸ軸方向のエッジ部に発生する。

図４（ｃ）に斜線部で示す１０１−Ｂ腹および１０１−Ｔ腹は、前述した共振モードの振幅の腹部を摩擦部材１０１上に示している。

次に、摩擦部材１０１の共振モードの振幅の腹部に対する減衰部材１１７の配置を図５を用いて説明する。図５は、減衰部材１１７の形状の例を示す図である。

図５は、Ｙ軸から見た摩擦部材１０１の投影に対する、減衰部材１１７の配置を示している。図５（ａ）から図５（ｅ）のそれぞれは、摩擦部材１０１の振動を減衰するために好適な減衰部材１１７の形状の例を示している。

図５（ａ）は、図３で示した減衰部材１１７の形状を示している。図５（ａ）に示すように、ねじれ振動の振幅の腹部１０１−Ｔ腹の略全域と重なるように減衰部材１１７が配置されている。また、屈曲振動の振幅の腹部１０１−ＢについてもＸ軸方向における半分以上の範囲で重なるように減衰部材１１７が配置されている。このような減衰部材１１７の形状および配置にすることで、摩擦部材１０１のもっとも振動が大きい箇所にて付勢力をもって減衰材１１７を摩擦部材１０１に接触させることができ、摩擦部材１０１の振動を効果的に減衰することができる。

図５（ｂ）は、減衰部材１１７がＹ軸方向で分割されて配置されている例を示している。図５（ｂ）の例においても図５（ａ）と同様に、ねじれ振動の振幅の腹部１０１−Ｔ腹および屈曲振動の振幅の腹部１１０−Ｂ腹の半分以上の範囲と重なるように減衰部材１１７が配置されている。そのため、図５（ａ）に示した減衰部材１１７の形状および配置と同様に、摩擦部材１０１の振動を効果的に減衰することができる。

図５（ｃ）は、減衰部材１１７がＺ軸方向で分割されて配置されている例を示している。図５（ｃ）の例においても図５（ｂ）と同様に、ねじれ振動の振幅の腹部１０１−Ｔ腹および屈曲振動の振幅の腹部１１０−Ｂ腹の半分以上の範囲と重なるように減衰部材１１７が配置されている。そのため、図５（ａ）に示した減衰部材１１７の形状および配置と同様に、摩擦部材１０１の振動を効果的に減衰することができる。

図５（ｄ）は、減衰部材１１７がＺ軸方向の中央部分においてＸ軸方向の接続部を有する形状を示している。図５（ｄ）の例においても、図５（ｂ）と同様に、ねじれ振動の振幅の腹部１０１−Ｔ腹および屈曲振動の振幅の腹部１１０−Ｂ腹の半分以上の範囲と重なるように減衰部材１１７が配置されている。ただし、この形状の減衰部材１１７では、図３の固定側レール部材１１３の固定側案内部１１３ａの構造に対して干渉してしまう。そのため、図５（ｄ）の減衰部材１１７に対しては固定側レール部材１１３の固定側案内部１１３ａをＺ軸方向で２つに分割し、分割された領域と減衰部材１１７の接続部が重なるように配置することで干渉を避けることができる。なお、固定側案内部１１３ａをＺ軸方向で２つに分割した構成の場合は、分割されたそれぞれの固定側案内部１１３ａに転動ボール１１４が挟持されるようにする。

図５（ｅ）は、減衰部材１１７が矩形外形の内側に開口部１１７ａを有していない例を示している。図５（ｅ）の例においても、図５（ｂ）と同様に、ねじれ振動の振幅の腹部１０１−Ｔ腹および屈曲振動の振幅の腹部１１０−Ｂ腹の半分以上の範囲と重なるように減衰部材１１７が配置されている。この構成においては開口部１１７ａの形状を調整することで減衰部材１１７に発生する付勢力の調整はできない。しかしながら、加圧方向において摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３の間に減衰部材１１７を挟持しない構成と比較すると、摩擦部材１０１の振動を効果的に減衰することができる。

次に、振動波モータにおける小型化の効果について図６を用いて説明する。図６は、減衰部材１１７と固定側案内部１１３ａの位置関係を示す図であり、図６（ａ）は振動波モータ３をＹ軸方向の摩擦部材１０１側から見た図であり、図１（ａ）と逆側の視点から見た図を示している。図６（ｂ）は、図６（ａ）で示すＢ−Ｂ断面での断面図、図６（ｃ）は図６（ｂ）の拡大図である。

図６（ａ）に示すように、固定側レール部材１１３の固定側案内部１１３ａおよび可動側レール部材１１５の２つの可動側案内部１１５ａがＺ軸方向に延在して、同一直線上に配置されている。図６（ｃ）に示すように、固定側案内部１１３ａは減衰部材１１７の開口部１１７ａに入り込むようにＹ軸方向へと突出して配置される。これにより、Ｙ軸方向の部品の重なりによる振動波モータ３の大型化を抑制することができる。

以上のように、本実施形態では、加圧方向において摩擦部材１０１および固定側レール部材１１３の間に減衰部材１１７を挟持することで、固定側レール部材１１３のたわみと異音原因となる摩擦部材１０１の不要振動を減衰することができる。さらに、案内機構の一部である固定側案内部１１３ａと減衰部材１１７とが、相対移動の方向及び加圧方向と直交する方向（Ｘ軸方向）において重なっているので、Ｙ軸方向の部品の重なりによる振動波モータ３の大型化を抑制することができる。

（第２の実施形態）
第１の実施形態では、摩擦部材１０１と、固定側案内部１１３ａ、転動ボール１１４、可動側案内部１１５ａにより構成される案内機構とが、加圧方向に重なる構成を説明した。第１の実施形態の構成の場合、摩擦部材１０１および振動子１０４が案内機構を軸としたＺ軸まわりに回転可能な構成であったが、本実施形態では摩擦部材１０１および振動子１０４がＺ軸まわりに回転規制された構成を説明する。

なお、以下では、第１の実施形態の構成と同様な部分については詳細な説明は省略する。

図７は、減衰部材１１７と固定側案内部１１３ａの位置関係を示す図であり、図７（ａ）は振動波モータ３をＹ軸方向の摩擦部材１０１側から見た図であり、図１（ａ）と逆側の視点から見た図を示している。図７（ｂ）は、図７（ａ）で示すＢ−Ｂ断面での断面図、図７（ｃ）は図７（ｂ）の拡大図である。

図７（ａ）に示すように、本実施形態の固定側レール部材３１３には固定側案内部３１３ａ、３１３ｂが２列にわたって配置され、可動側レール部材３１５にも可動側案内部３１５ａ、３１５ｂが２列にわたって配置されている。このような構成では、Ｚ軸方向と直交する平面上の２か所で振動子１０４と摩擦部材１０１との相対移動を案内するため、摩擦部材１０１および振動子１０４がＺ軸まわりに回転することを規制できる。

図７（ｃ）で示されるように、固定側レール部材３１３の固定側案内部３１３ａ、３１３ｂは、減衰部材１１７の外形外側においてＹ軸方向へと突出している。そのため、減衰部材１１７と固定側レール部材３１３が干渉しないため、固定側レール部材１１３のたわみと異音原因となる摩擦部材１０１の不要振動を減衰することができるとともに、Ｙ軸方向の部品の重なりによる大型化を抑制することができる。

また、本実施形態であれば、減衰部材１１７に開口部を設ける必要はないため、図５（ｅ）に示す形状の減衰部材１１７であっても、減衰部材１１７と固定側レール部材３１３との干渉を避けることができる。

なお、第１および第２の実施形態では、減衰部材１１７に開口部や切り欠き部を設けた構成や減衰部材１１７を分割した構成によって減衰部材１１７と固定側レール部材とが干渉しない例を説明した。しかしながら、減衰部材１１７に開口部や切り欠き部を設けず減衰部材１１７を分割していない構成であっても、Ｙ軸方向の部品の重なりによる大型化を抑制することができる。例えば、図５（ａ）に示した開口部１１７ａの位置に、固定側レール部材側に凹形状となる溝部を設け、溝部に固定側案内部が入りこむようにすれば、Ｙ軸方向の部品の重なりによる大型化を抑制することができる。その他、図５（ｂ）〜（ｄ）の減衰部材１１７が存在しない位置に溝部を設けてもよい。

続いて、第１および第２の実施形態で説明した振動波モータ３を用いて被駆動体を移動させる駆動装置の例を説明する。

図８は、振動波モータ３を用いた駆動装置の例であるレンズ鏡筒の断面図である。図８では、振動波モータ３を備えたレンズ鏡筒１が脱着自在にカメラ本体２に取りついている構成を説明するが、レンズ鏡筒１とカメラ本体２が一体となっている撮像装置であっても構わない。なお、図８では、レンズ鏡筒１は光軸に対して略回転対象形であるため、上側半分のみを図示している。

撮像装置としてのカメラ本体２にはレンズ鏡筒１が脱着自在に取り付けられ、カメラ本体２内には撮像素子２ａが設けられている。カメラ本体２のマウント２１１にはレンズ鏡筒１をカメラ本体２に取り付けるためのバヨネット部を有している。レンズ鏡筒１は固定筒２１２を有しており、マウント２１１のフランジ部と当接している。そして、固定筒２１２とマウント２１１とは不図示のビスに固定されている。固定筒２１２にはさらに、レンズＧ１を保持する前鏡筒２１３とレンズＧ３を保持する後ろ鏡筒２１４とが固定される。レンズ鏡筒１にはさらにフォーカスレンズ保持枠２１６を備え、レンズＧ２を保持している。フォーカスレンズ保持枠２１６にはさらに、前鏡筒２１３と後鏡筒２１４に保持されたガイドバー２１７によって直進移動可能の保持されている。振動波モータ３の固定枠部材１１２には、不図示のフランジ部が形成されており、後鏡筒２１４にビス等で固定されている。

振動波モータ３の振動子１０４が移動すると、可動枠部材１０７には、駆動力取り出し部を介して駆動力が被駆動体であるレンズ保持部材２１６に伝達される。レンズ保持枠２１６はガイドバー２１７によって直線移動する。以上のように、振動波モータ３を用いたレンズ鏡筒１が構成される。

なお、振動波モータ３を用いた駆動装置はレンズ鏡筒に限定されず、撮像素子を保持する保持枠を被駆動体とした撮像装置やステージを被駆動体としたステージ装置などに適用可能である。

また、第１および第２の実施形態では、振動子１０４が振動することで振動子１０４が移動する構成を説明したが、振動子が振動することで摩擦部材１０１が移動する構成であってよい。そのような構成の場合、第１の実施形態における移動側の部材が固定され、固定側の部材が移動することになり、減衰部材１１７、摩擦部材１０１、固定側レール部材１１３、３１３は一体的に移動する。そして、摩擦部材１０１を固定する固定枠部材１１２に駆動力取り出し部を設ければよい。

３ 振動波モータ
１０１ 摩擦部材
１０４ 振動子
１１３ 固定側レール部材
１１７ 減衰部材

Claims (17)

1. 圧電素子と振動板とを有する振動子と、
   摩擦部材と、
   前記振動子と前記摩擦部材とを加圧接触させる加圧手段と、を有し、
   前記圧電素子により前記振動子を振動させることで前記振動子と前記摩擦部材とを相対的に移動させる振動波モータであって、
   前記振動子と前記摩擦部材との相対移動を案内する案内機構と、
   前記加圧手段の加圧方向において前記摩擦部材と前記案内部材とで挟持される減衰部材と、を有することを特徴とする振動波モータ。
2. 前記加圧手段は、前記振動子を介して前記摩擦部材を前記加圧方向と平行な第１の方向に付勢するとともに、前記案内機構を前記第１の方向と逆方向である第２の方向に付勢し、
   前記減衰部材は、前記摩擦部材を前記第２の方向に付勢するとともに、前記案内部材を前記第１の方向に付勢することを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記減衰部材が前記案内機構を前記第１の方向に付勢する付勢力と、
   前記加圧手段が前記案内機構を前記第２の方向に付勢する付勢力と、が互いに打消し、
   前記案内機構に発生する付勢力は、前記減衰部材による付勢力および前記加圧手段による付勢力の半分以下であることを特徴とする請求項２に記載の振動波モータ。
4. 前記減衰部材による付勢力は、前記振動子と前記摩擦部材との相対移動にともなう前記振動子と前記摩擦部材の位置変化によらず所定の位置に発生することを特徴とする請求項２または３に記載の振動波モータ。
5. 前記減衰部材は、前記摩擦部材の共振における面外屈曲振動の腹部及びねじれ振動の腹部に接触することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
6. 前記減衰部材は、前記加圧方向に設けられ前記相対移動の方向に延在する開口部を有する形状であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
7. 前記案内機構の一部が前記開口部に入り込んでいることを特徴とする請求項６に記載の振動波モータ。
8. 前記案内機構は、転動ボールを有し、
   前記開口部は、前記加圧方向において前記転動ボールと重なっていることを特徴とする請求項６または７に記載の振動波モータ。
9. 前記減衰部材は、前記加圧方向における前記案内機構の側に凹形状となる溝部が前記相対移動の方向に延在していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
10. 前記案内機構の一部が前記溝部に入り込んでいることを特徴とする請求項６に記載の振動波モータ。
11. 前記案内機構は、転動ボールを有し、
    前記開口部は、前記加圧方向において前記転動ボールと重なっていることを特徴とする請求項９または１０に記載の振動波モータ。
12. 前記減衰部材と前記案内機構の一部は、前記相対移動の方向及び前記加圧方向と直交する方向に重なっていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載に振動波モータ。
13. 前記摩擦部材を保持する保持部材を有し、
    前記減衰部材は、前記保持部材より振動減衰性が高いことを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の振動波モータ。
14. 請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の振動波モータと、
    前記振動波モータの駆動力により移動する被駆動体と、
    を有することを特徴とする駆動装置。
15. 前記被駆動体は、レンズ保持枠であることを特徴とする請求項１４に記載の駆動装置。
16. 前記被駆動体は、撮像素子を保持する保持枠であることを特徴とする請求項１４に記載の駆動装置。
17. 前記被駆動体は、ステージであることを特徴とする請求項１４に記載の駆動装置。

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